KR100799437B1 - 엘씨디용 포토마스크 이재기 - Google Patents

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KR100799437B1
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Abstract

본 발명은 엘씨디(LCD:Liquid Crystal Dispaly)의 제조 공정에서 케이스(case)에 장치된 엘씨디용 포토마스크(Photo Mask)(이하, 단순히 포토마스크라고 함)를 인출하거나, 공정을 마친 포토마스크를 케이스에 수납할 수 있는 엘씨디용 포토마스크 이재기에 관한 것으로, 캐스터(1)를 갖는 하부 프레임(3)에 연결된 ∏형 스크류 프레임(5)의 중심부에 마련되고, 유압모터(7)의 구동에 의하여 회전하는 수직이동 스크류(9); 상기 수직이동 스크류(9)와 체결되는 너트(11)가 부착되어 상기 수직이동 스크류(9)가 회전하면 상기 스크류 프레임(5) 내부를 따라 상하 이동하는 가동부스(13); 상기 가동부스(13) 하부를 수평 방향으로 가로 질러 고정된 가이드축(15);
상기 가동부스(13) 하부를 수평 방향으로 가로 질러 회전가능하게 설치되고 그 일단에는 핸들(18)이 마련된 수평이동 스크류(17); 상기 가동 부스(18)로 부터 수평하게 전방으로 돌출되고, 그 일단에는 너트(19)가 마련되어 상기 수평이동 스크류(17)가 체결되며, 상기 너트(19)와 일정 간격을 두고 상기 가이드축(15)이 슬라이드 가능하게 삽입된 1쌍의 그립퍼 지지대(21a, 21b); 및 상기 1쌍의 그립퍼 지지대(21a, 21b)를 가로 질러 회전 가능하게 설치되고, 그 중심부에는 그립퍼 연결대(43)가 결합되어, 감속모터(23)에 의하여 회전하면서 그립퍼(37)를 상하방향으로 회전시키는 그립퍼 회전축(25)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하고, 본 발명에 의하면, 포토마스크와 포토마스크 케이스 내벽 사이의 공간이 매우 비좁은 경우에도 용이하게 포토마스크를 케이스 내에서 들어 올려 꺼내거나 케이스 내부에 적재할 수 있고, 포토마스크의 사이즈 및 하중이 매우 큰 경우에도 안전하게 포토마스크를 케이스 내에서 들어 올려 꺼내거나 케이스 내부에 적재할 수 있으며, 기존에 2인 1조 작업으로만 가능하였던 대형 포토마스크 이재 작업을 1인이 수행할 수 있을 뿐만 아니라, 상방에서 용이하게 포토마스크 표면의 이물 검사를 수행할 수 있으므로, 공정 중 이물에 의해 발생할 수 있는 불량을 줄일 수 있는 효과가 있다.
엘씨디, 포토마스크, 이재기, 그립퍼

Description

엘씨디용 포토마스크 이재기{TRANSPORTER FOR PHOTOMASK FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY}
도 1a는 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 이재기의 정면도이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 엘씨디용 포토마스크 이재기의 평면도이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 이재기에 그립퍼를 부착하여 테이블 상에 놓인 포토마스크 케이스에서 포토마스크를 인출하는 과정을 보여 주는 사용상태도이다.
도 3은 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 이재기에 그립퍼를 부착하여 포토마스크의 이면 검사를 수행하는 방법을 보여 주는 사용상태도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 캐스터 3 : 바닥 프레임
5 : 스크류 프레임 6 : 핸들
7 : 유압모터 8 : 유압모터박스
9 : 수직이동 스크류 11 : 너트
13 : 가동부스 15 : 가이드 축
17 : 수평이동 스크류 18 : 핸들
19 : 너트 21a, 21b : 그립퍼 지지대
23 : 감속모터 25 : 그립퍼 회전축
27 : 브라켓 29, 31 : 풀리
33 : 벨트 35 : 풋스톱퍼
37 : 그립퍼 39 : 핑거
41 : 포토마스크 43 : 그립퍼 연결대
45 : 케이스 47 ; 테이블
본 발명은 엘씨디용 포토마스크 이재기에 관한 것으로, 더 상세하게는 엘씨디(LCD:Liquid Crystal Dispaly)의 제조 공정에서 케이스(case)에 장치된 엘씨디용 포토마스크(Photo Mask)(이하, 단순히 포토마스크라고 함)를 인출하여 공정 장비에 장착하거나 검사를 하고, 공정을 마친 포토마스크를 케이스에 수납할 수 있는 엘씨디용 포토마스크 이재기에 관한 것이다.
종래, 6세대 이하의 소형 엘씨디 제조 공정에서, 1인 또는 2인의 작업자가 지그(jig)를 사용하여 케이스에 장치된 포토마스크를 안전하게 인출하거나 수납할 수 있었다.
그러나, 엘씨디가 7세대 및 8세대에 이르면서, 그 크기가 1220mm×1400mm 이상의 크기로 커지고, 그 무게도 80Kg 이상에 이르러, 이 전처럼 1인의 작업자가 지그를 이용하여 포토마스크를 인출하거나 수납하는 것은 불가능해 졌다. 따라서 현재 이들 대형 포토마스크는 2인 1조의 작업자가 지그를 이용하여 케이스로 부터 인출하거나 케이스에 수납하고 있다. 그러나, 포토마스크 가장자리와 케이스의 내벽간의 거리가 매우 좁아(통상 39mm 내외), 이러한 2인 1조의 작업 방식으로 포토마스크를 인출하거나 수납할 경우에도 2인이 정확히 타이밍과 균형을 유지하지 않으면 포토마스크가 지그로 부터 이탈하여 바닥에 떨어지기 쉽고, 포토마스크가 기울어져 케이스 등에 접촉함으로써 포토마스크에 스크래치가 발생하기 쉽다. 즉, 대형 포토마스크는 2인 1조의 작업으로도 용이하고 안전하게 케이스로 부터 인출하거나 케이스에 수납할 수 없는 것이다.
뿐만 아니라, 포토마스크의 대형화로 제조 공정에서 포토마스크의 이면을 검사하기 위하여 포토마스크를 뒤집는 것이 매우 어려운 작업이 되어 버렸다. 2인 1조의 작업자라도 크기와 무게가 증가된 포토마스크를 뒤집는 것은 매우 어려운 일일 뿐만 아니라, 지그로 부터 포토마스크가 이탈하기 쉽고, 뒤집는 과정에서 인접한 케이스 등 물체와 접촉하여 포토마스크에 스크래치가 발생하기 쉽기 때문이다.
상술한 종래 엘씨디용 포토마스크 이재기의 단점을 해결하고자 안출된 본 발명은 포토마스크와 포토마스크 케이스 내벽 사이의 공간이 매우 비좁은 경우에도 용이하게 포토마스크를 케이스 내에서 들어 올려 꺼내거나 케이스 내부에 적재할 수 있는 엘씨디용 포토마스크 이재기를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 포토마스크의 사이즈 및 하중이 매우 큰 경우에도 안전하게 포토마스크를 케이스 내에서 들어 올려 공정 장비에 장착하거나, 공정을 마친 포토마스크를 안전하게 케이스 내부에 적재할 수 있는 엘씨디용 포토마스크 이재기를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 기존에 2인 1조 작업으로만 가능하였던 대형 포토마스크 운반(運搬) 및 이재(移載) 작업을 1인이 수행할 수 있는 엘씨디용 포토마스크 이재기를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 상방에서 용이하게 대형 포토마스크 표면의 이물 검사를 수행할 수 있는 엘씨디용 포토마스크 이재기를 제공하는 데 있다.
상술한 목적을 달성하고자 하는 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 이재기는 캐 스터를 갖는 하부 프레임에 연결된 ∏형 스크류 프레임의 중심부에 마련되고, 유압모터의 구동에 의하여 회전하는 수직이동 스크류; 상기 수직이동 스크류와 체결되는 너트가 부착되어 상기 수직이동 스크류가 회전하면 상기 스크류 프레임 내부를 따라 상하 이동하는 가동부스; 상기 가동부스 하부를 수평 방향으로 가로 질러 고정된 가이드축; 상기 가동부스 하부를 수평 방향으로 가로 질러 회전가능하게 설치되고 그 일단에는 핸들이 마련된 수평이동 스크류; 상기 가동 부스로 부터 수평하게 전방으로 돌출되고, 그 일단에는 너트가 마련되어 상기 수평이동 스크류가 체결되며, 상기 너트와 일정 간격을 두고 상기 가이드축이 슬라이드 가능하게 삽입된 1쌍의 그립퍼 지지대; 및 상기 1쌍의 그립퍼 지지대를 가로 질러 회전 가능하게 설치되고, 그 중심부에는 그립퍼 연결대가 결합되어, 감속모터에 의하여 회전하면서 그립퍼를 상하방향으로 회전시키는 그립퍼 회전축을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 이재기의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다.
도 1a는 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 이재기의 정면도를, 도 1b는 도 1a에 도시된 엘씨디용 포토마스크 이재기의 평면도를, 도 2a 내지 도 2c는 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 이재기에 그립퍼를 부착하여 테이블 상에 놓인 포토마스크 케이스에서 포토마스크를 인출하는 과정을 보여 주는 사용상태도를, 도 2d는 본 발 명에 따른 엘씨디용 포토마스크 이재기에 그립퍼를 부착하여 포토마스크의 이면 검사를 수행하는 방법을 보여 주는 사용상태도를 각각 나타낸다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명의 특징은 포토마스크 그립퍼(37)를 매달 수 있는 그립퍼 지지대(21a, 21b)를 수평 방향으로 길게 형성하고, 이 그립퍼 지지대(21a, 21b)를 상하 방향 및 수평 방향으로 이동시킬 수 있는 이동 수단을 구비한 점과, 상기 그립퍼 지지대(21a, 21b)에 포토마스크 그립퍼(37)를 180°회전시킬 수 있는 회전 수단을 구비한 데 있다.
도 1a에 도시된 바와 같이, 상하 이동 수단으로 유압모터(7), 수직 이동 스크류(9) 및 가동부스(13)에 부착한 너트(11)를 사용하고, 도 1b에 도시된 바와 같이, 수평 이동 수단으로 수평 이동 스크류(17), 상기 그립퍼 지지대(21a, 21b)에 부착한 너트(19) 및 핸들(18)을 사용하며, 그립퍼(37) 회전 수단으로 감속모터(23) 및 그립퍼 회전축(25)을 사용한다.
다시 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 상기 수직이동 스크류(9)는 캐스터(1)를 갖는 하부 프레임(3)에 연결된 ∏형 스크류 프레임(5)의 중심부에 마련되고, 유압모터(7)의 구동에 의하여 회전한다. 이를 위하여 유압모터(7)에는 풀리(31)가 연결되고, 상기 수직이동 스크류(9) 하단에도 풀리(29)가 연결되며, 이들 풀리(31, 29)에는 벨트(33)가 체결된다. 따라서, 상기 유압모터(7)가 회전하면, 상기 수직이동 스크 류(9)가 회전하고, 유압모터(7)의 회전 방향을 바꾸면, 상기 수직이동 스크류(9)의 회전 방향도 바뀌게 된다. 상기 하부 프레임(3)에는 풋스톱퍼(35)를 구비하여 바닥에 이재기를 이동할 수 없게 고정하는 데 사용할 수도 있다. 또한, 상기 스크류 프레임(5)에는 작업자가 이재기를 밀면서 이동시킬 수 있게 핸들(6)을 더 구비할 수도 있다.
상기 가동부스(13)에는 상기 수직이동 스크류(9)와 체결되는 너트(11)가 부착되어 상기 수직이동 스크류(9)가 회전하면 상기 가동부스(13)가 상기 스크류 프레임(5) 내부를 따라 상하 이동하게 된다. 또한, 상기 가동부스(13)는 그립퍼 지지대(21a)를 수평방향으로 고정하는 역할을 한다. 따라서, 가동부스(13)가 상하이동하면, 상기 그립퍼 지지대(21a, 21b)도 상하이동하게 된다.
그립퍼 지지대(21a, 21b)는 1쌍의 막대 형상을 가지며, 상기 가동부스(13) 하부를 수평 방향으로 가로 질러 고정된 가이드축(15) 및 상기 가동부스(13) 하부를 수평 방향으로 가로 질러 회전가능하게 설치되고 그 일단에는 핸들(18)이 마련된 수평이동 스크류(17)에 의하여 가동부스(13)에 결합한다.
또한, 상기 그립퍼 지지대(21a, 21b)는 상기 가동 부스(18)로 부터 수평하게 전방으로 돌출되고, 그 일단에는 너트(19)가 마련되어 그 너트(19)에는 상기 수평이동 스크류(17)가 체결되며, 상기 너트(19)와 일정 간격을 두고 상기 가이드축(15)이 슬라이드 가능하게 삽입된다.
상기 1쌍의 그립퍼 지지대(21a, 21b)에는 그립퍼 지지대(21a, 21b)를 가로 질러 그립퍼 회전축(25)이 회전 가능하게 설치되고, 상기 회전축(25)을 회전시킬 수 있는 감속모터(23)가 설치된다. 또한, 상기 회전축(25)의 중심부에는 그립퍼 연결대(43)가 마련되어, 그립퍼(37)를 연결하는 데 사용한다.
도 2a 내지 도 2c를 참조하여 본 발명에 따른 엘씨디용 포토마스크 이재기를 사용하는 방법을 설명하면 다음과 같다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 포토마스크 그립퍼(37)가 상기 연결대(43)에 연결된다. 작업자는 핸들(6)을 잡고, 이재기를 포토마스크 케이스(45)가 놓인 테이블(47)로 이동하고 풋스톱퍼(35)에 의하여 정지시킨 후, 도 2b에 도시된 바와 같이, 유압모터(7)를 일 방향으로 회전시켜 가동부스(13), 그립퍼 지지대(21a, 21b) 및 그립퍼(37)를 하방으로 이동시킨다. 이 때 그립퍼(37)의 핑커(39)는 케이스(39)와 포토마스크(41) 사이의 틈으로 들어가 포토마스크(41)의 측면을 파지한다. 이 때, 상기 핑거(39)의 수평 위치가 케이스(39)와 포토마스크(41) 사이의 틈 위치가 맞지 않을 경우, 상기 수평 이동 수단용 핸들을 돌려 그립퍼 지지대(21a, 21b)를 이동시키거나, 핸들(6)을 잡고 캐스터(1)를 이용하여 하부 프레임(3)을 이동시킨다. 상기 핑거(39)에 의한 포토마스크(41)의 파지가 이루어지면, 상기 유압모터(7)를 반대방향 으로 회전시켜 포토마스크(41)를 파지한 그립퍼(37)를 상방으로 이동시킨 후, 공정 장비에 장착하거나 다른 공정으로 이동시킨다.
도 3을 참조조하면, 상기 그립퍼 지지대(21a, 21b)에 마련된 감속모터(23)를 회전시키면, 그립퍼 연결대(43) 및 그립퍼(37)가 회전하게 되고, 작업자는 포토마스크(41)의 이면에 대한 이물 검사를 수행할 수 있게 된다.
상술한 본 발명의 구성에 의하면, 포토마스크와 포토마스크 케이스 내벽 사이의 공간이 매우 비좁은 경우에도 용이하게 포토마스크를 케이스 내에서 들어 올려 꺼내거나 케이스 내부에 적재할 수 있고, 포토마스크의 사이즈 및 하중이 매우 큰 경우에도 안전하게 포토마스크를 케이스 내에서 들어 올려 꺼내거나 케이스 내부에 적재할 수 있으며, 기존에 2인 1조 작업으로만 가능하였던 대형 포토마스크 이재 작업을 1인이 수행할 수 있을 뿐만 아니라, 상방에서 용이하게 포토마스크 표면의 이물 검사를 수행할 수 있으므로, 공정 중 이물에 의해 발생할 수 있는 불량을 줄일 수 있는 효과가 있다.

Claims (1)

  1. 캐스터(1)를 갖는 하부 프레임(3)에 연결된 ∏형 스크류 프레임(5)의 중심부에 마련되고, 유압모터(7)의 구동에 의하여 회전하는 수직이동 스크류(9);
    상기 수직이동 스크류(9)와 체결되는 너트(11)가 부착되어 상기 수직이동 스크류(9)가 회전하면 상기 스크류 프레임(5) 내부를 따라 상하 이동하는 가동부스(13);
    상기 가동부스(13) 하부를 수평 방향으로 가로 질러 고정된 가이드축(15);
    상기 가동부스(13) 하부를 수평 방향으로 가로 질러 회전가능하게 설치되고 그 일단에는 핸들(18)이 마련된 수평이동 스크류(17);
    상기 가동 부스(18)로 부터 수평하게 전방으로 돌출되고, 그 일단에는 너트(19)가 마련되어 상기 수평이동 스크류(17)가 체결되며, 상기 너트(19)와 일정 간격을 두고 상기 가이드축(15)이 슬라이드 가능하게 삽입된 1쌍의 그립퍼 지지대(21a, 21b); 및
    상기 1쌍의 그립퍼 지지대(21a, 21b)를 가로 질러 회전 가능하게 설치되고, 그 중심부에는 그립퍼 연결대(43)가 결합되어, 감속모터(23)에 의하여 회전하면서 그립퍼(37)를 상하방향으로 회전시키는 그립퍼 회전축(25)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 엘씨디용 포토마스크 이재기.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050029138A (ko) * 2005-01-21 2005-03-24 이동헌 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치
KR20060126538A (ko) * 2003-12-12 2006-12-07 동경 엘렉트론 주식회사 기판 처리 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060126538A (ko) * 2003-12-12 2006-12-07 동경 엘렉트론 주식회사 기판 처리 장치
KR20050029138A (ko) * 2005-01-21 2005-03-24 이동헌 디스플레이 제품용 카세트 반송이재 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100968189B1 (ko) 2008-08-18 2010-07-05 (주)둔포기계 그립퍼의 자동 센터링이 가능한 엘씨디용 포토마스크 검사시스템

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