CN215622167U - 一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，包括底座、龙门架、升降组件、气缸和套筒，所述底座的表面开设有置物槽，且底座的底部设置有滚轮，所述龙门架的一侧固定有滑块，且滑块套接在导向杆的表面，用于带动龙门架调整高度位置的所述升降组件设置在底座的表面另一侧，所述气缸固定在龙门架的顶部，且气缸的底部固定有固定块，所述套筒套接在横杆的两端，且横杆固定在龙门架的内侧。该半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置设置有气缸和套筒，通过气缸带动固定块上升，使固定块通过其两端的连接杆带动套筒在横杆表面相向运动，使得能够带动套筒底部的夹块对储罐的两侧进行夹持固定，从而提高在运输过程中储罐的稳定性。

Description

一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片加工相关技术领域，具体为一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置。

背景技术

显影液是一种溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域的一种化学溶剂，显影液是一种用水稀释的强碱溶液，早期的是氢氧化钾与水的混合物，但这两种都包含了可动离子玷污，最普通的是四甲基氢氧化铵，在显影液加工过程中，需要用到运输装置来对装有显影液的储罐进行运输，而现有的运输装置通常为人工手扶储罐来进行运输，储罐在运输过程中的稳定性较差，容易出现侧翻和泄露的现象。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，以解决上述背景技术中提出的现有的运输装置容易出现侧翻和泄露的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，包括底座、龙门架、升降组件、气缸和套筒，

所述底座的表面开设有置物槽，且底座的底部设置有滚轮，同时底座的一侧固定有固定管；

所述龙门架的一侧固定有滑块，且滑块套接在导向杆的表面，同时导向杆固定在底座的表面一侧；

用于带动龙门架调整高度位置的所述升降组件设置在底座的表面另一侧；

所述气缸固定在龙门架的顶部，且气缸的底部固定有固定块；

所述套筒套接在横杆的两端，且横杆固定在龙门架的内侧，同时套筒的底部固定有夹块。

优选的，所述升降组件包括L形固定架、手轮、丝杆和活动块，所述L形固定架固定在底座的表面另一侧，且L形固定架的顶部转动连接有手轮，所述手轮与丝杆相连接，且丝杆转动连接在L形固定架的内侧下方，所述丝杆的表面螺纹连接有活动块，且活动块与龙门架的另一侧相连接。

通过采用上述技术方案，在L形固定架、手轮、丝杆和活动块之间的相互配合下可以对龙门架的高度位置进行调节。

优选的，所述固定管的内部滑动连接有活动杆，且活动杆的外侧固定有把手，同时固定管的外侧设置有锁紧螺栓。

通过采用上述技术方案，可以对把手的高度进行调节。

优选的，所述固定块的两端转动连接有连接杆，且连接杆与套筒相连接。

通过采用上述技术方案，在气缸、固定块和连接杆之间的相互配合下可以方便对储罐进行夹持固定。

优选的，所述套筒的内壁表面设置有滚珠，且滚珠设置有多组。

通过采用上述技术方案，可以降低套筒与横杆之间的摩擦力。

优选的，所述套筒和夹块均设置有两组，且夹块的表面开设有弧形槽。

通过采用上述技术方案，可以提高对储罐的固定效果。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，

(1)设置有气缸和套筒，通过气缸带动固定块上升，使固定块通过其两端的连接杆带动套筒在横杆表面相向运动，使得能够带动套筒底部的夹块对储罐的两侧进行夹持固定，从而提高在运输过程中储罐的稳定性；

(2)设置有丝杆和活动块，通过转动L形固定架顶部的手轮使其带动丝杆转动，使丝杆能够通过活动块以及滑块带动龙门架提升高度，使得能够根据不同储罐的尺寸来进行调节，提高其适用范围；

(3)设置有活动杆和锁紧螺栓，通过拉动活动杆即可调节把手的高度位置，之后转动锁紧螺栓即可对活动杆以及把手的位置进行限位固定，使得能够根据不同身高的工作人员来进行调节，提高其功能性。

附图说明

图1为本实用新型正视结构示意图；

图2为本实用新型龙门架侧视结构示意图；

图3为本实用新型套筒结构示意图。

图中：1、底座，2、置物槽，3、滚轮，4、固定管，5、活动杆，6、把手，7、锁紧螺栓，8、龙门架，9、滑块，10、导向杆，11、升降组件，1101、L形固定架，1102、手轮，1103、丝杆，1104、活动块，12、气缸，13、固定块，14、连接杆，15、套筒，16、横杆，17、夹块，18、滚珠。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，如图1和图2所示，底座1的表面开设有置物槽2，且底座1的底部设置有滚轮3，同时底座1的一侧固定有固定管4，龙门架8的一侧固定有滑块9，且滑块9套接在导向杆10的表面，同时导向杆10固定在底座1的表面一侧，固定管4的内部滑动连接有活动杆5，且活动杆5的外侧固定有把手6，同时固定管4的外侧设置有锁紧螺栓7，通过在固定管4内部设置有可滑动的活动杆5，使得能够根据工作人员的身高来对把手6的高度位置进行调节，之后可以通过转动固定管4外侧的锁紧螺栓7来对活动杆5进行固定，提高其功能性，方便使用。

如图1所示，用于带动龙门架8调整高度位置的升降组件11设置在底座1的表面另一侧，升降组件11包括L形固定架1101、手轮1102、丝杆1103和活动块1104，L形固定架1101固定在底座1的表面另一侧，且L形固定架1101的顶部转动连接有手轮1102，手轮1102与丝杆1103相连接，且丝杆1103转动连接在L形固定架1101的内侧下方，丝杆1103的表面螺纹连接有活动块1104，且活动块1104与龙门架8的另一侧相连接，通过转动L形固定架1101顶部的手轮1102，使其带动丝杆1103转动，以便使丝杆1103通过与其螺纹连接的活动块1104来带动龙门架8调整高度位置，以便对不同尺寸的储罐进行夹持固定。

如图1和图2所示，气缸12固定在龙门架8的顶部，且气缸12的底部固定有固定块13，固定块13的两端转动连接有连接杆14，且连接杆14与套筒15相连接，通过龙门架8顶部的气缸12带动固定块13上升，使得能够通过固定块13两端的连接杆14带动套筒15在横杆16两端向靠近横杆16中轴线的一端滑动，以便带动套筒15底部的夹块17对储罐的两侧进行夹持固定，从而提高运输过程中的稳定性。

如图2和图3所示，套筒15套接在横杆16的两端，且横杆16固定在龙门架8的内侧，同时套筒15的底部固定有夹块17，套筒15的内壁表面设置有滚珠18，且滚珠18设置有多组，通过套筒15内壁表面的滚珠18可以在滑动时降低与横杆16之间的摩擦力，降低磨损，提高其使用寿命，套筒15和夹块17均设置有两组，且夹块17的表面开设有弧形槽，以便通过夹块17表面的弧形槽对储罐的两侧进行限位，避免脱落。

工作原理：在使用该半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置时，首先将装有显影液的储罐置于底座1表面的置物槽2中，并打开龙门架8顶部的气缸12使其带动固定块13上升，使固定块13通过其两端的连接杆14带动横杆16两端的套筒15向靠近横杆16中轴线的一端移动，并同时带动套筒15底部的夹块17对储罐的两侧进行夹持限位，之后即可推动把手6来对储罐进行运输，当需要对把手6的高度进行调节时，首先转动固定管4外侧的锁紧螺栓7使得能够滑动活动杆5，之后即可拉动活动杆5对把手6的高度进行调节，调节后转动锁紧螺栓7即可对活动杆5以及把手6的高度位置进行固定，当需要对尺寸较大的储罐进行运输时，首先转动L形固定架1101顶部的手轮1102，使其带动丝杆1103转动，并通过丝杆1103表面的活动块1104以及导向杆10表面的滑块9来带动龙门架8上升，由此即可对不同尺寸的储罐进行运输，这就完成整个操作，且本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为便于描述本实用新型的简化描述，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、为特定的方位构造和操作，因而不能理解为对本实用新型保护内容的限制。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，包括底座(1)、龙门架(8)、升降组件(11)、气缸(12)和套筒(15)，其特征在于：

所述底座(1)的表面开设有置物槽(2)，且底座(1)的底部设置有滚轮(3)，同时底座(1)的一侧固定有固定管(4)；

所述龙门架(8)的一侧固定有滑块(9)，且滑块(9)套接在导向杆(10)的表面，同时导向杆(10)固定在底座(1)的表面一侧；

用于带动龙门架(8)调整高度位置的所述升降组件(11)设置在底座(1)的表面另一侧；

所述气缸(12)固定在龙门架(8)的顶部，且气缸(12)的底部固定有固定块(13)；

所述套筒(15)套接在横杆(16)的两端，且横杆(16)固定在龙门架(8)的内侧，同时套筒(15)的底部固定有夹块(17)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，其特征在于：所述升降组件(11)包括L形固定架(1101)、手轮(1102)、丝杆(1103)和活动块(1104)，所述L形固定架(1101)固定在底座(1)的表面另一侧，且L形固定架(1101)的顶部转动连接有手轮(1102)，所述手轮(1102)与丝杆(1103)相连接，且丝杆(1103)转动连接在L形固定架(1101)的内侧下方，所述丝杆(1103)的表面螺纹连接有活动块(1104)，且活动块(1104)与龙门架(8)的另一侧相连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，其特征在于：所述固定管(4)的内部滑动连接有活动杆(5)，且活动杆(5)的外侧固定有把手(6)，同时固定管(4)的外侧设置有锁紧螺栓(7)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，其特征在于：所述固定块(13)的两端转动连接有连接杆(14)，且连接杆(14)与套筒(15)相连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，其特征在于：所述套筒(15)的内壁表面设置有滚珠(18)，且滚珠(18)设置有多组。

6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，其特征在于：所述套筒(15)和夹块(17)均设置有两组，且夹块(17)的表面开设有弧形槽。

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