JP5308218B2 - 加工装置 - Google Patents
加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5308218B2 JP5308218B2 JP2009095856A JP2009095856A JP5308218B2 JP 5308218 B2 JP5308218 B2 JP 5308218B2 JP 2009095856 A JP2009095856 A JP 2009095856A JP 2009095856 A JP2009095856 A JP 2009095856A JP 5308218 B2 JP5308218 B2 JP 5308218B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- storage means
- unit
- frame
- mounting table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
2:保持手段 20:吸引部 21:クランプ部
3:収納手段載置機構
30:第一の収納手段
31:第二の収納手段
32:枠体
320:第一の搬送口 321:第二の搬送口
33:被加工物載置台
330:回転部 330a:把持部 330b:スロット
331:スライド部 332:入出部
333:回転機構 333a:回転軸
334:掛止部 334a:立ち上がり部 334b:ストッパ部 334c:山部
4:洗浄手段 40:保持テーブル
5:第一の搬送手段 50:ガイドレール 51:アーム部 52:挟持部
6:第二の搬送手段 60:ガイドレール 61:アーム部 62:昇降部
63:吸着部
7:第三の搬送手段 70:ガイドレール 71:アーム部 72:昇降部
73:吸着部
8:表示手段
10:第一の切削手段 100:第一のブレード
11:第二の切削手段
12:第一の送り手段
120:ボールネジ 121:ガイドレール 122:可動部 123:昇降機構
13:第二の送り手段
130:ボールネジ 131:パルスモータ 132:可動部 133:昇降機構
W:ウェーハ W1:インスペクションウェーハ T:テープ F:フレーム
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、
該被加工物を収納する収納手段と、
該収納手段から該被加工物を搬出して該保持手段に搬送する搬送手段と
を有する加工装置であって、
該収納手段は、該被加工物を載置可能な被加工物載置台を有し、
該被加工物載置台は、
該被加工物の該収納手段への搬入または該被加工物の該収納手段からの搬出時に該被加工物の出入口となる入出部と、
該被加工物の搬出入方向と水平面内において垂直に交わる方向を回転軸として、該入出部が上方を向くように該被加工物載置台を回転させる回転機構と
を有する加工装置。 - 前記収納手段は、前記搬送手段側に開口する第一の搬送口と、該第一の搬送口に対向しオペレータ側に開口する第二の搬送口とを有する枠体を有し、
前記被加工物載置台は、該第二の搬送口を介して該枠体から引き出し可能である
請求項1に記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009095856A JP5308218B2 (ja) | 2009-04-10 | 2009-04-10 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009095856A JP5308218B2 (ja) | 2009-04-10 | 2009-04-10 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010251356A JP2010251356A (ja) | 2010-11-04 |
JP5308218B2 true JP5308218B2 (ja) | 2013-10-09 |
Family
ID=43313414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009095856A Active JP5308218B2 (ja) | 2009-04-10 | 2009-04-10 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5308218B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016104500A (ja) * | 2014-12-01 | 2016-06-09 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2509202Y2 (ja) * | 1990-03-05 | 1996-08-28 | 日東電工株式会社 | ウエハ貼付用フレ―ム |
JPH0880989A (ja) * | 1994-07-11 | 1996-03-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハカセット及びその使用方法 |
JPH10199958A (ja) * | 1997-01-14 | 1998-07-31 | Sony Corp | ウェハ支持体用ステージ並びにウェハ搬送システム |
JP2997766B2 (ja) * | 1998-03-16 | 2000-01-11 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置 |
JP5286142B2 (ja) * | 2009-04-10 | 2013-09-11 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
-
2009
- 2009-04-10 JP JP2009095856A patent/JP5308218B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010251356A (ja) | 2010-11-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5286142B2 (ja) | 加工装置 | |
JP6679157B2 (ja) | 加工装置の搬送機構 | |
JP5580066B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2007210079A (ja) | ワーク搬送装置及びワーク搬送方法 | |
TW200831377A (en) | Processing table | |
JP5422345B2 (ja) | 加工装置 | |
JP6202962B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2010171321A (ja) | ワーク搬出トレイ及びワーク搬出方法 | |
TWM441208U (en) | Processing device for plate | |
KR20170063379A (ko) | 절삭 장치 | |
JP2016154168A (ja) | 被加工物の受け渡し方法 | |
JP5308218B2 (ja) | 加工装置 | |
JP7357521B2 (ja) | 加工装置 | |
JP5025282B2 (ja) | フレームクランプ装置および切削装置 | |
JP5773841B2 (ja) | ユニット搬出入装置 | |
JP4705765B2 (ja) | 円板ワークのローダハンド | |
JP5530801B2 (ja) | 粘着テープ貼着装置 | |
JP2010087443A (ja) | 搬送機構 | |
JP6522476B2 (ja) | 搬送機構 | |
JP6208587B2 (ja) | 切削装置 | |
JP5676168B2 (ja) | 研削装置 | |
JP5653183B2 (ja) | 加工装置 | |
JP5943585B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2005045134A (ja) | 半導体ウエーハの加工装置 | |
JP2016092237A (ja) | フレームユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120323 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130604 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130628 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5308218 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |