JP4470754B2 - シート材の加工処理装置 - Google Patents
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Description
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1〜2に記載の発明について図面を参照しながら説明する。
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項3〜4に記載の発明について図面を参照しながら説明する。図8は、本発明の実施の形態2におけるシート材の加工処理装置の模式平面および側面図である。
2 下地銅
3 ワーク
4 電子部品形成体
5 生産ライン
6 浸漬式前処理機構
7 ラミネート機構
8 露光機構
9 現像機構
10 浸漬式めっき機構
11 レジスト剥離機構
12 エッチング機構
13 加工処理機構
14 浸漬槽
15 浸漬槽液面
16、16A、16B シートチャックガイド板
17 シートチャック機構
18、19 チャックアーム
18A、18B、19A、19B チャックアーム片
20A〜20H ボルト
21A、21B 軸受
22A、22B 開閉カム
23 引張りバネ
24 テンション調整部
25A、25B ハンドルレバー
26 調整バネ
27、28 シャフト
29 保持板
30 支持シャフト
51 上移送ローラ
52 下移送ローラ
53 上ガイド線
54 下ガイド線
55、56 円筒ローラ
57 上スプレーノズル
58 下スプレーノズル
100 シート材
Claims (1)
- 毎葉のシート材を載置して水平に移送するコンベア機構と、このコンベア機構の投入部から搬出部へ引張して設けられるとともに、前記シート材の直上および直下に配設された搬送ガイドと、この搬送ガイドを挟んで前記シート材の上方および下方に配設された加工用液のスプレーノズルとからなり、前記搬送ガイドはスプレーノズルからシート材へ加工液の噴射を妨げないように線材としたシート材の加工処理装置。
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