KR20090055977A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

안정적인 그립(grip)을 통하여 기판의 이탈에 의한 파손을 줄이는 기판 이송 장치가 제공된다. 기판 이송 장치는, 구동수단에 의해 동작이 제어되는 로봇 아암부와, 로봇 아암부의 선단에 설치되며 기판이 안착되는 안착 날개와, 안착 날개에 안착된 기판을 정위치시키면서 고정하는 클램핑 부재를 포함한다. 여기서, 클램핑 부재는, 전진 및 후퇴하는 연결대와, 연결대를 기준으로 회전가능한 한 쌍의 지지대를 포함한다. 또한, 한 쌍의 지지대의 사이가 벌어지면서 한 쌍의 지지대는 기판에 장력을 가할 수 있다.
기판, 그립, 이송, 클램핑

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring substrate}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 안정적인 그립(grip)을 통하여 기판의 이탈에 의한 파손을 줄이는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
기판은 세정, 침적, 증착, 에칭 등의 공정 단계를 거치는 과정에서 각 공정의 실행위치로 이송되어야 하며, 이를 위해 다양한 기판 이송 장치가 사용되고 있다.
일반적으로, 대기압 상태에서 사용되는 기판 이송 장치에서는 진공을 이용하여 기판을 고정하고 있다. 그리고 고진공 시스템에서 사용되는 기판 이송 장치에서는 진공을 이용하여 기판을 그립할 수 없기 때문에 기판이 놓여지는 블레이드의 전후단에 슈(shoe)라는 것이 형성되어 있다.
종래 기술에 따른 고진공 시스템에 사용되는 기판 이송 장치는 고속으로 기판을 이송할 경우 블레이드로부터 기판이 이탈되는 경우가 발생된다. 또한, 블레이드 상에 기판이 틀어진 상태로 놓여지더라도 기판의 위치를 보정하기 위한 방법이 전혀 구현되어 있지 않았다.
따라서 블레이드 상에 기판이 틀어진 상태로 이송되는 경우 다른 장치들과의 간섭 등에 의해 기판이 파손될 우려가 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 안정적인 그립을 통하여 기판의 이탈을 방지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 구동수단에 의해 동작이 제어되는 로봇 아암부와, 상기 로봇 아암부의 선단에 설치되며 기판이 안착되는 안착 날개와, 상기 안착 날개에 안착된 상기 기판을 정위치시키면서 고정하는 클램핑 부재를 포함한다. 여기서, 상기 클램핑 부재는, 전진 및 후퇴하는 연결대와, 상기 연결대를 기준으로 회전가능한 한 쌍의 지지대를 포함한다. 또한, 상기 한 쌍의 지지대의 사이가 벌어지면서 상기 한 쌍의 지 지대는 상기 기판에 장력을 가할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 이송 장치에 의하면, 부정확하게 얹혀진 기판의 위치를 바로 잡음(정상적인 포지션으로 조정)음으로써 다음 위치로의 정확한 이동이 가능하다. 그 뿐만 아니라, 기판을 적어도 4포인트에서 물리적으로 지지(잡음)함으로 빠른 반송이 가능하며 기판이 떨어지지 않게 된다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대하여 설명한다.
도 1는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면도이다. 도 2는 도 1의 블레이드를 확대한 사시도이다. 도 3은 도 2의 클램핑 부재의 끝단을 나타 낸 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 기판 이송 장치(100)는 스테핑 모터 등의 구동수단(미도시됨)에 의해 동작이 제어되는 로봇 아암부(110)와, 기판(200)가 놓여지는 블레이드(120)를 갖는다.
여기서, 블레이드(120)는 로봇 아암부(110)의 선단에 고정 결합된다. 로봇 아암부(110)는 승강 및 회전 운동을 할 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 블레이드(120)는, 로봇 아암부(110)의 선단에 결합되는 결합부(122)와, 이 결합부(122)로부터 연장되어 기판(S)이 안착되는 안착 날개(124)와, 안착 날개(124)의 끝단에 설치된 고정 그립핀(128)과, 결합부(122) 상에 설치된 클램핑 부재(130)를 포함한다.
여기서 안착 날개(124)는 전체적으로 Y자 또는 U자 형상을 가지며 그 끝단에서 결합부(122) 측으로 갈수록 그 폭이 점차 넓어지는 구조를 가진다. 그리고 안착 날개(124)의 끝단에 설치된 고정 그립핀(128)은 기판(S)의 일측을 고정지지하는 역할을 한다. 안착 날개(124)에는 기판의 밑면을 지지하는 복수의 받침돌기(미도시)들이 설치될 수 있다.
한편, 클램핑 부재(130)는 결합부(122) 상에 설치되어 안착 날개(124) 상의 기판(S)을 보다 안정적으로 클램핑한다.
클램핑 부재(130)는 기판(S)을 정위치 시킴과 동시에 기판(S)을 고정하는 역할을 한다. 클램핑 부재(130)는 기판(S)에 장력을 가하는 한 쌍의 지지대(136)와, 지지대(136)에 연결된 연결대(134)와, 연결대(134)에 연결된 구동부(132)를 포함한 다.
구동부(132)는 예를 들어 공압 실린더로 이루어질 수 있으며, 연결대(134)를 길이 방향으로 전진 및 후퇴시킬 수 있다.
지지대(136)는 안착 날개(124) 상에 놓여진 기판(S)을 고정 그립핀(128)쪽으로 밀어붙이는 역할을 한다. 지지대(136)의 일단은 연결대(134)에 결합되어 있고, 지지대(136)의 타단에는 기판(S)과 접촉 저항을 줄이기 위한 이동 그립롤러(138)가 설치되어 있다. 이동 그립롤러(138)는 지지대(136)에 형성된 축을 중심으로 회전운동을 하며, 기판(S)과 접촉 시에 회전함으로써 기판(S)에 외상을 주는 것을 방지할 수 있다. 본 실시예에서는 실린더 형상의 이동 그립롤러(138)를 예로 들어 설명하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 이동 그립롤러는 기판(S)과의 그립 정도를 높이기 위하여 가운데가 오목한 원통 형상으로 이루어질 수도 있다.
지지대(136)는 연결대(134)에 형성된 축을 기준으로 연결대(134)에 대하여 접히는 구조를 가지며, 한 쌍의 지지대(136) 사이에는 탄성부(139)가 설치되어 있다. 구동부(132)에 의해 연결대(134)가 전진하고 이동 그립롤러(138)에 기판(S)이 접촉하면, 이동 그립롤러(138)는 기판(S)의 에지를 따라 회전하고 한 쌍의 지지대(136)가 벌어지게 된다. 즉, 지지대(136)는 바깥쪽으로 접히게 되고, 탄성부(139)는 벌어진 지지대(136)에 회복력을 준다. 탄성부(139)로는 예를 들어, 스프링이 사용될 수 있다.
이하 도 4a 및 도 4b를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 동작에 대하여 설명한다. 도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장 치가 기판을 클램핑하기 전의 상태를 나타낸 평면도이고, 도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치가 기판을 클램핑한 후의 상태를 나타낸 평면도이다.
도 4a를 참조하면, 안착 날개(124) 상에 기판(S)이 놓여지기 전에 한 쌍의 지지대(136)는 구동부(132)에 의해 충분히 후퇴되어 있다. 안착 날개(124) 상에 기판(S)이 놓여지면 구동부(132)에 의해 연결대(134)가 전진하고 지지대(136)의 끝단에 설치된 이동 그립롤러(138)가 기판(S)에 접촉하게 된다. 도 4a에 도시된 점선은 기판(S)의 정위치를 나타내고, 현재 기판(S)의 중심이 조금 틀어진 경우를 나타내고 있다.
도 4b를 참조하면, 이동 그립롤러(138)가 기판(S)에 접촉한 후, 지속적으로 연결대(134)가 전진하면 한 쌍의 지지대(136) 사이가 벌어지고 한 쌍의 지지대(136) 사이의 설치된 탄성부(139)에 의해 기판(S)의 중심이 조정된다. 도 4b에 도시된 점선은 초기 상태에서 기판(S)이 위치가 잘못된 상태를 나타내고, 실선으로 그려진 기판(S)은 지지대(136)에 의해 기판(S)의 중심이 조정되어 기판(S)이 정위치에 놓여진 것을 나타낸다.
이상 본 발명의 실시예들에서 설명된 기판은 포토레티클(reticlo: 회로 원판)용 기판, 액정 디스플레이 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 전자 디바이스용 웨이퍼 등을 포함한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수 적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
도 1는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면도이다.
도 2는 도 1의 블레이드를 확대한 사시도이다.
도 3은 도 2의 클램핑 부재의 끝단을 나타낸 사시도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치가 기판을 클램핑하기 전의 상태를 나타낸 평면도이다.
도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치가 기판을 클램핑한 후의 상태를 나타낸 평면도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
100: 기판 이송 장치 110: 로봇 아암부
120: 블레이드 122: 결합부
124: 안착 날개 128: 고정 그립핀
130: 클램핑 부재 132: 구동부
134: 연결대 136: 지지대
138: 이동 그립롤러 139: 탄성부

Claims (5)

  1. 구동수단에 의해 동작이 제어되는 로봇 아암부;
    상기 로봇 아암부의 선단에 설치되며 기판이 안착되는 안착 날개; 및
    상기 안착 날개에 안착된 상기 기판을 정위치시키면서 고정하는 클램핑 부재를 포함하되,
    상기 클램핑 부재는, 전진 및 후퇴하는 연결대와, 상기 연결대를 기준으로 회전가능한 한 쌍의 지지대를 포함하고,
    상기 한 쌍의 지지대의 사이가 벌어지면서 상기 한 쌍의 지지대는 상기 기판에 장력을 가하는 기판 이송 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 클램핑 부재는 상기 지지대 사이에 형성된 탄성부를 더 포함하는 기판 이송 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 탄성부는 스프링으로 이루어진 기판 이송 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 기판과 인접한 상기 지지대의 일단에 형성되고 상기 기판과 접촉하는 이동 그립롤러를 더 포함하는 기판 이송 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 안착 날개에 설치되고 상기 클램핑 부재와 함께 상기 기판을 고정하는 고정 그립핀을 더 포함하는 기판 이송 장치.
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