JP4453494B2 - シート貼り付け装置及びシート貼り付け方法 - Google Patents

Description

本発明はシート貼り付け装置及びシート貼り付け方法に関する。

従来、電子部品の製造工程において、半導体ウェハ、電子部品のマザー基板などのワークを、ダイシングシートなどの粘着シートに貼り付けて支持するシート貼り付け装置が用いられている。

例えば特許文献１には、図７に示す装置７０が開示されている。この装置７０は、粘着テープ７５を貼り付けた治具７４と、支点７１を中心に揺動し粘着テープ７５に対向して半導体ウェハ７３を保持する保持台７２とを備え、粘着テープ７５と保持台７２とを挟持する一対のローラ７６，７７を、同期しながら実線の位置から鎖線の位置まで移動させ、保持台７２を回動させて、粘着テープ７５に半導体ウェハ７３を貼り付ける。

また、特許文献２には、図８に示す装置８０が開示されている。この装置８０は、支点８３を中心に揺動するトレーテーブル８４に、接着テープ８６を貼り付けたトレー８５を載置する。トレーテーブル８４の一端はスプリング８７で浮き上り、接着テープ８６が、固定台８１に配置された半導体ウェハ８２と隙間を設けて対向するようになっている。この状態で、ローラ８８が支点８３側からスプリング８７側に接着テープ８６を押し下げながら移動し、接着テープ８６に半導体ウェハ８２を貼り付ける。

特許文献３には、多孔質セラミックスの吸着テーブルに吸着した保護テープを傾けた状態で半導体ウェハに重ね、傾きを閉じるようにして貼り付ける装置が開示されている。この装置では、図９に示すように、スイングローラ５１が移動して吸着テーブル４９が水平の姿勢に揺動し、該吸着テーブル４９の下面に吸着保持されている保護テープＴは、粘着面がウェハＷの上面に加圧接着される。
特開平１０−２３３４３１号公報 特開平８−７８３６６号公報 特開２００１−１４８４１２号公報

上記のいずれの装置も、ワーク（半導体ウェハ）と粘着シート（粘着テープ、接着テープ）との間の角度を徐々に小さくしていき、隙間を徐々に小さくすることにより、ワークを粘着シートに貼り付けている。このような従来例の揺動式の装置では、ワークと粘着シートの間の角度が小さくなるにつれて、気泡を巻き込む問題が発生する。貼りつけ終端では、ワークと粘着シート間の角度が小さくなり貼りつけ面積が大きくなってしまうため、気泡が入るなどして粘着状態が悪化する。

特許文献１、２の装置の場合、ワークと粘着シートの角度が小さくなると、平面と平面を合せて貼り付ける状態に近くなる。この場合、貼りつけ面積が増大することで、粘着シートとワークの接触が断面においては２点以上になり、空気を閉じ込めるように貼りつけてしまう可能性がある。

特許文献３の装置では、吸着テーブルに吸着された粘着シートの平面度を管理するのは難しい。多孔性の吸着テーブルに粘着シートを吸着させるので、吸着テーブルの吸着孔と吸着された粘着シートとの間に凹部が生じ、粘着シートの平面度が維持できなくなる。特にミクロン単位での厳しい平面度が要求される場合には、吸着孔と粘着シートとの間に生じた凹部を避けることができない。吸着孔と粘着シートとの問に生じた凹部を避けられず、平面度の管理が困難なことから、貼りつける角度が小さくなるにつれて、粘着シートがワークに断面において２点以上で接触し、気泡を巻き込む可能性がある。また、吸着テーブルの下面自体の平面度により下面に凹凸が発生する。この下面の凹凸の影響をなくすには吸着テーブルの下面を高精度に加工すればよいが、その場合、作業時間やコストの増大を招くので、実用的ではない。

粘着シートとワークとの間に空気を巻き込むと、粘着力が不均一になるため、粘着したワークをダイシング等により切断する工程や切断後に切断片をピックアップする工程において姿勢が乱れるなど、不具合が発生する原因となる。そのため、例えば電子部品の製造工程においては、製造途中の電子部品（ワーク）を、一端から他端まで全く気泡を含まない状態で、粘着シートに貼りつけることが要求される場合がある。

本発明は、かかる実情に鑑み、貼り付け面への空気の巻き込みを防止することができるシート貼り付け装置及びシート貼り付け方法を提供しようとするものである。

本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成したシート貼り付け装置を提供する。

請求項１のシート貼り付け装置は、シートを両端で保持するシート保持部と、前記シート保持部に保持された前記シートの前記両端間に対して所定角度傾けてワークを保持し、該ワークを前記シートに対向させるワーク保持部と、前記シート保持部に保持された前記シートを介して、前記ワーク保持部に保持された前記ワークに対向して配置される押さえ部と、前記ワーク保持部又は前記押さえ部の少なくとも一方を、他方に向けて押圧する押圧部と、前記押さえ部を、前記ワークの対向面の前記シートに対する傾き方向の前記シート側の一端から他端に向けて、前記ワークの前記他端側と前記シートとの間に所定角度以上の開き角を保持しながら、前記ワークの前記対向面に沿って相対移動させて、前記シートを弾性変形させながら前記シートに前記ワークの前記対向面を前記一端から前記他端まで順次密着させる、貼り付け駆動部とを備える。

上記構成において、押さえ部がワークに沿って、ワークのシートに対する傾き方向のシート側の一端（始端）から他端（終端）に向けて相対移動すると、シートはワークの始端側から順次貼り付けられる。このとき、シートの押さえ部とワークの間に挟み込まれた部分よりもワークの終端側のまだ密着していない部分がワークとなす開き角は、シートに対してワークを傾けて保持することにより、所定角度以上に保持することができる。つまり、ワークの始端から終端までシートを密着させるときに、シートとワークとの間に形成されるくさび状の空間のなす開き角は、所定角度より小さくなることはない。したがって、ワークの終端側のシートがまだ密着していない部分がワークに接して気泡を巻き込むことを防止することができる。

請求項２のように好ましくは、前記シートに前記ワークの前記対向面を前記一端から前記他端まで順次密着させるとき、前記シートは、その前記ワークの前記対向面の前記一端の周辺部分が、前記ワークの前記対向面の前記一端における、前記ワークの前記対向面の前記シートに対する傾き方向の接線よりも、前記ワーク側に配置される。

この場合、ワークの対向面の一端の周辺において、シート張力の分力はワーク側に向き、ワークの対向面の一端側に貼り付けられたシートがワークから剥がれることを防止する。

請求項３のように好ましくは、前記押圧部は、前記ワーク保持部に保持された前記ワークの前記対向面に対して略垂直方向に摺動自在に前記ワーク保持部を案内する案内部と、該案内部を有するベース部と、該ベース部と前記ワーク保持部との間に介在する押圧調整手段とを含む。

この場合、押圧調整手段により、ワーク保持部を押さえ部に向けて押圧する押圧力を調整することができる。これにより、ワーク保持部に保持されたワークと押さえ部との間にシートを挟み込むときの押圧力を一定範囲内に保ち、ワークに無理な力が加わらないようにすることができる。

請求項４のように好ましくは、前記シートは粘着面を有する。前記シート保持部は、前記シートの前記粘着面を上向きにして保持する。前記ワーク保持部により、前記ワークが前記シート保持部に保持された前記シートよりも上側に配置される。前記押さえ部が前記シート保持部に保持された前記シートよりも下側に配置される。

この場合、シートの垂れ下がりを押さえ部で防ぎ、貼り付け時のワークとシートの位置関係を一定に維持し、貼り付け状態を安定化することができる。また、上からワークをつかんで搬送し、シート上に配置して、粘着面に貼り付けることができ、ワークの向きを反転する必要がなく、ワークの取り扱いが容易である。また、装置の調整や監視なども容易である。

請求項５のように好ましくは、前記押さえ部は、外周面が弾性体により形成されたローラである。

ローラの外周面が弾性体で形成されていることにより、ワーク保持部に保持されたワークの取り付け角度や位置などがばらついたり、反りのあるワークに対しても、シートをワークとローラの間に略均一に挟みこみ、片当たりによる気泡の巻き込みを防止することができる。また、ワーク貼り付け時にワークに作用する衝撃を緩和することができる。シートの貼り付けに際して、ローラが回転することにより、ローラとシートの摩擦が少なくなりシートを変形させにくくなる。

また、本発明は以下のように構成したシート貼り付け方法を提供する。

請求項６のシート貼り付け方法は、第１〜第３のステップを含む。前記第１のステップにおいて、シートを両端で保持する。前記第２のステップにおいて、前記シートの前記両端間に対して所定角度傾けてワークを保持し、前記ワークを前記シートに対向させ、前記シートを介して前記ワークに対向して押さえ部を配置し、前記シートに対向する前記ワークの対向面の前記シートに対する傾き方向の一端と前記押さえ部との間に前記シートを挟み込む。前記第３のステップにおいて、前記押さえ部を、前記ワークの前記対向面の前記シートに対する傾き方向の他端に向けて、前記ワークの前記他端側と前記シートとの間に所定角度以上の開き角を保持しながら、前記ワークの前記対向面に沿って相対移動させて、前記シートを弾性変形させながら前記シートに前記ワークの前記対向面を前記一端から前記他端まで順次密着させる。

上記方法において、押さえ部がワークに沿って、ワークのシートに対する傾き方向のシート側の一端（始端）から他端（終端）に向けて相対移動すると、シートにはワークが始端側から順次貼り付けられる。このとき、シートの押さえ部とワークの間に挟み込まれた部分よりもワークの終端側のまだ密着していない部分がワークとなす開き角は、シートに対してワークを傾けて保持することにより、所定角度以上に保持することができる。つまり、ワークの始端から終端までシートを貼り付けるときに、シートとワークとの間に形成されるくさび状の空間のなす開き角は、所定角度より小さくなることはない。したがって、ワークの終端側のシートがまだ密着していない部分がワークに接して気泡を巻き込むことを防止することができる。

請求項７のように好ましくは、前記第２及び第３のステップにおいて、前記ワークを保持するワーク保持部と、該ワーク保持部に保持された前記ワークの前記対向面に対して略垂直方向に摺動自在に前記ワーク保持部を案内する案内部と、該案内部を有するベース部と、該ベース部と前記ワーク保持部との間に介在する押圧調整手段とを用いて、前記ワーク保持部に保持された前記ワークが前記押さえ部との間に前記シートを挟み込む。

この場合、押圧調整手段によって、ワーク保持部を押さえ部に向けて押圧する押圧力を調整することができる。ワーク保持部に保持されたワークと押さえ部との間にシートを挟み込むときの押圧力を略一定に保ち、ワークに無理な力が加わらないようにすることができる。

請求項８のように好ましくは、前記第２のステップの前に、前記ワークの厚みデータの入力を受け付けるステップと、前記ステップで受け付けた前記ワークの前記厚みデータに応じて、前記第２及び第３のステップにおける前記ベース部の位置を設定するステップとをさらに備える。

この場合、第２及び第３のステップにおいて、ワークの厚みにかかわらずワークがシートに接触してからの押し込み量が一定になるように、第２及び第３のステップでのベース部の位置の設定を、ワークの厚みに応じて変更する。これにより、第２及び第３のステップにおいて、ワークがシートを押し込む押圧力を一定に保つことできる。

また、請求項９の発明は、上記各シート貼り付け方法を用いた、電子部品の製造方法を提供する。

本発明によれば、ワークの始端から終端までシートを貼り付ける際に、シートとワークのなす開き角は、ワークを傾けて保持することにより、所定角度より小さくならないため、貼り付け面への空気の巻き込みを防止することができるので、シートに密着したワークをダイシング等により切断する工程や、切断後に切断片をピックアップする工程において、姿勢が乱れるなどの不具合を解消することができる。

以下、本発明の実施の形態として実施例を、図１〜図６を参照しながら説明する。

図１に示すように、シート貼り付け装置１０は、大略、ベース板１２上に、部品供給部１４と、粘着シート６を貼り付けたトレー４を載置するステージ２０と、ローラユニット３０と、部品搬送ユニット４０とを備え、部品搬送ユニット４０は、部品供給部１４からワーク２を搬送し、そのワーク２を、ローラユニット３０と連携しながら粘着シート６に貼り付ける。ワーク２は、例えば電子部品の中間製品であり、シート貼り付け装置１０を用いて粘着シート６に列を揃えて貼り付けた後、ダイシングにより電子部品の個片に分割する。なお、図１において鎖線で示した部分は、シート２の下方を透視した状態で図示している。

部品供給部１４には、ワーク２がパレットに載せられた状態で供給される。

ステージ２０は、直進ガイド２２，２４に沿って移動自在に支持され、直交する２方向Ｘ_１，Ｙ_１に駆動される。ステージ２０は、粘着シート６を貼り付けた矩形の枠であるトレー４が載置され、粘着シート６を保持する。粘着シート６は、上面が粘着面であり、ワーク２が貼り付けられ、下面は、非粘着面である。

ローラユニット３０は、ステージ２０の下方に配置される。ローラユニット３０は、Ｙ_１方向に直進駆動されるローラベース（貼り付け駆動部）３２と、ローラベース３２に回転自在に支持されたローラ３４とを備える。ローラ３４は、その回転軸がＸ_１方向に配置され、その外周面が粘着シート６の下面（非粘着面）に接するようになっている。ローラ３４の外周面は、弾性体であるゴムで形成されている。なお、ローラは全周構造でなくて、扇形構造であってもよい。

部品搬送ユニット４０は、横断ガイド１６に沿って、部品供給部１４とステージ２０との間をＸ_２方向（Ｘ_１方向と同じであることが好ましい）に移動可能である。部品搬送ユニット４０は、ワーク２を吸着する吸着ヘッド４２を備え、吸着ヘッド４２は上下方向に昇降するようになっている。

詳しくは図２に示すように、部品搬送ユニット４０（押圧部）は、横断ガイド１６に沿ってＸ_２方向に移動する本体部４８と、不図示の送りねじ機構により本体部４８に沿って略上下方向９１に移動する移動部４６（ベース部）とを備える。移動部４６は、ボールスプライン４７（案内部）を有し、略上下方向９２に摺動自在にスライド軸４４を案内する。スライド軸４４の下端には、吸着ヘッド４２が固定されている。

スライド軸４４のスプリングホルダ４４ｂと移動部４６のスプリングホルダ４６ａには、スプリング４５（押圧調整手段）が係止され、スライド軸４４を下方に付勢するようになっている。すなわち、移動部４６が図２において下方に移動して、吸着ヘッド４２に吸着したワーク２が粘着シート６を介してローラ４２に当接した後、さらに移動部４６が図２において下方に移動すると、スプリング４５が自然長から伸び、そのばね力によって吸着ヘッド４２を下方に押圧する。

この押圧力は、移動部４６が下方に移動する距離により調節することができる。移動部４６が下方に移動する距離が同じであっても、移動部４６側のスプリングホルダ４６ａの位置を変えることによって調節することができる。これらの調整により、例えばワーク２の厚みが変わっても、押圧力を一定に保つことができる。

具体的には、シート貼り付け装置１０全体の制御を統括する制御部（例えば、シーケンサ）は、ワーク２の厚みデータの入力を受け付けると、そのデータに応じて移動部４６の移動距離の設定を変更する。すなわち、ワーク２の厚みの増減に応じて、ワーク貼り付け時に移動部４６が下降する位置を調整し、ワーク２の厚みにかかわらず、ワーク貼り付け時のスプリング４５の伸びを一定に保ち（すなわち、ワークがシートに接触してからの押し込み量を一定にし）、その結果、ワーク２をシート６に押圧するときの押圧力を一定に保つ。

なお、本実施例では押圧調整手段としてスプリングを用いたがこれに限られない。スプリング以外に、ボイスコイルモータや、アクチュエータを用いて押圧力を調整してもよい。

スライド軸４４の上端には、配管継ぎ手４４ａが設けられ、スライド軸４４の内部には、配管継ぎ手４４ａと吸着ヘッド４２との間を連通する配管（不図示）が設けられ、矢印９９で示すようにエアーを吸引し、これによって吸着ヘッド４２の下面４２ｓにワーク２の上面２ｔを吸着するようになっている。

部品搬送ユニット４０は、全体が所定の傾斜角θ傾いた状態で、横断ガイド１６に沿って移動し、部品吸着ヘッド４２に吸着されたワーク２の下面２ｓは、ステージ２０に載置されたトレー４に貼り付けられた粘着シート６の粘着面に対して、所定の傾斜角θ傾くようになっている。なお、部品搬送ユニット４０を所定の傾斜角θに傾けるのは、部品吸着ヘッド４２をステージ２０に向けて下降させる時点において傾けてもよく、部品供給部１４からトレー４上に移動する一連のプロセスの任意の時点において傾けてよい。

例えば、傾斜角θは、長さが２０ｍｍのワーク２に対して、約１°程度であり、ワーク２の一端２ａに対して他端２ｂを約０．３ｍｍ浮かせる程度とする。

次に、シート貼り付け装置１０の動作について説明する。

部品搬送ユニット４０は、まず、部品供給部１４の上まで移動し、図１において矢印Ｚ_１で示すように、吸着ヘッド４２が下降し、部品供給部１４に載置されたワーク２を吸着ヘッド４２に吸着した後、上昇する。次に、トレー４の上まで移動した後、図１において矢印Ｚ_２で示すように、吸着ヘッド４２が下降し、これと連動してローラ３４がＹ_１方向に移動して、ワーク２を粘着シート６に貼り付ける。吸着ヘッド４２がワーク２の吸着を解除して上昇した後、ステージ２０が移動する。以下、同様に貼り付け動作を繰り返し、ワーク２ａを粘着シート６上に列を揃えて貼り付ける。部品搬送ユニット４０は、ピックアンドプレースによる貼り付けが可能であり、汎用マウンタを用いて安価に製作することが可能である。なお、ワーク２を粘着シート６に貼り付ける際には、ローラベース３２がＹ_１方向に移動して貼り付けてもよく、図示しないがステージ２０および部品搬送ユニット４０がＹ_１方向に移動して貼り付けてもよい。

次に、ワーク貼り付け時の動作について、図３を参照しながら、さらに説明する。

図３に示すように、ローラ３４は、粘着シート６の非粘着面６ｂに接しながら、粘着シート６と平行に移動するようになっている。図２に示した移動部４６が下方に移動し、図３（ａ）に示すように、吸着ヘッド４２が下降して、吸着ヘッド４２に斜めに保持されたワーク２の下側の一端２ａが粘着シート６の粘着面６ａに接する。このとき、ローラ３４は、粘着シート６を介して、ワーク２の端部２ａに対向する初期位置に配置されている。移動部４６がさらに下方に移動し、スプリング４５が伸び、これによって、吸着ヘッド４２は所定の押圧力Ｆでワーク２を粘着シート６に付勢する。このとき、ワーク２は、粘着シート６に対して所定の傾斜角θ傾いた状態に保たれ、粘着シート６はワーク２とローラ３４の間に挟み込まれる。

この状態から、ローラ３４は、矢印９４で示すように粘着シート６と平行に、粘着シート６の下面６ｂに接しながら、ワーク２の上側の端部２ｂ側に移動する。ローラ３４の移動に伴い、粘着シート６がローラ３４とワーク２との間に挟まれる位置が、ワーク２の下側の端部２ａ側から上側の端部２ｂ側に向けて、ワーク２の端部２ｂと粘着シート６のなす開き角θを保持しながら移動し、粘着シート６は、ローラ３４の進行方向後ろ側の部分がワーク２の下面２ｓに貼り付けられる。ワーク２は、押圧力Ｆにより、ワーク２の下面２ｓの法線方向（粘着シート６の法線に対して角度θ傾いた方向）に平行移動し、粘着シート６は、ローラ３４の進行方向後ろ側の部分が押し下げられる。このとき、ローラ３４の進行方向後ろ側の部分において、粘着シート６が弾性変形して張力が発生するが、この張力は粘着シート６をワーク２に押し付ける方向に作用するため、ワーク２に粘着した部分が剥れることはない。

図３（ｂ）に示すように、ローラ３４が、粘着シート６を介して、ワーク２の上側の端部２ｂに対向する位置まで移動すると、ワーク２の下面２ｓ全体に粘着シート６が貼り付けられ、吸着ヘッド４２はワーク２の吸着を停止し、上昇する。これにより、ワーク２は、粘着シート６上に貼り付けられた状態で残る。

粘着シート６とワーク２の間に所定角度以上の開き角θを保ち、ローラ３４の移動に伴い粘着シート６とワーク２の間から空気を押し出しながら、ワーク２の下面２ｓに粘着シート６の粘着面６ａを徐々に貼り付ける。そのため、貼り付け面に空気を巻き込むことなく、粘着シート６の粘着面６ａをワーク２の下面２ｓに貼り付けることができる。ローラ３４を一定速度で移動すれば、吸着ヘッド４２が一定速度で下降し、粘着速度を一定にできるため、粘着状態の安定化を図ることができる。

上記実施例では、粘着シート６の下にローラ３４を設け、粘着シート６の上にワーク２を配置し、ローラ３４で粘着シート６の垂れ下がりを防ぎ、貼り付け時における粘着シート６とワーク２との間の位置関係を一定に維持できるため、安定した粘着状態を得ることができる。また、搬送・貼り付け・貼り付け荷重制御を、部品搬送ユニット４０に集約し、１ブロック化しているので、作業の連続性がよく、コスト低減を図ることができる。

次に、他の実施例について、説明する。

図４に示すように、粘着シート６に対してローラ３４とワーク２の上下関係を逆にしてもよい。この場合、ローラ３４ａは、粘着シート６を介して、ワーク２の上側の端部２ａが粘着シート６に接する位置に対向する初期位置から、粘着シート６と平行に、ワーク２の下側の端部２ｂ側に移動させる。

また、図５に示すように、ワーク２の一方の端部２ａが粘着シート６に接し、ワーク２が粘着シート６に対して所定の傾斜角で傾いた状態で保持され、ローラ３４ｂのみが、矢印９６で示すように、ワーク２に沿って他方の端部２ｂに向けて移動するようにしてもよい。この場合、ローラ３４ｂはワーク２の下面２ｓに沿って、粘着シート６を押し上げるように移動する。ローラ３４ｂの移動に伴って、粘着シート６とワーク２との間の開き角は略一定（厳密には、若干大きくなる）ので、ワーク２と粘着シート６との間に空気が巻き込まれることを効果的に防止することができる。

一般に、ワーク２の端部２ａの周辺部分の粘着シート６ａが、ワーク２の端部２ａにおける接線２ｃよりもワーク２側に配置されることが、好ましい。ワーク２の端部２ａにおいて、その周辺部分の粘着シート６ａの張力の分力がワーク２側に向き、粘着シート６のワーク２に貼り付けられた部分がワーク２から剥がれることを防止することができるからである。

図６に示すように、ローラ３４ｂを粘着シート６よりも上方に配置することも可能ではある。ただし、この場合、ワーク２の端部２ａの周辺部分の粘着シート６ａが、ワーク２の端部２ａにおける接線２ｃよりもワーク２側に配置されていないため、ローラ３４ｂが矢印９７のようにワーク２に沿って進むと、鎖線６ｘで示すように、粘着シート６のワーク２に貼り付けた部分が、粘着シート６の張力によって剥がれるおそれがある。

なお、本発明は、上記した実施例に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。

例えば、ワークは、粘着シートを貼り付け面の法線方向とは異なる方向（例えば、粘着シートの初期位置に対して垂直方向など）に、平行移動してもよい。また、実施例ではシートに粘着面を持たせた粘着シートであったが、ワークに粘着部分を設け、シートが粘着面を有さなくともよい。

また、本発明は、電子部品に限らず、種々のワークに対して適用可能である。

シート貼り付け装置の全体構成図である。（実施例１） 部品搬送ユニットの構成図である。（実施例１） シート貼り付けの説明図である。（実施例１） シート貼り付けの説明図である。（実施例２） シート貼り付けの説明図である。（実施例３） シート貼り付けの説明図である。（変形例） シート貼り付け装置の全体構成図である。（従来例１） シート貼り付け装置の全体構成図である。（従来例２） シート貼り付け装置の構成図である。（従来例３）

符号の説明

２ ワーク
２ａ 端部（一端）
２ｂ 端部（他端）
２ｃ 接線
６ 粘着シート
６ａ 周辺部分の粘着シート（周辺部分）
１０ シート貼り付け装置
２０ ステージ（シート保持部）
３２ ローラベース（貼り付け駆動部）
３４ ローラ（押さえ部）
４０ 部品搬送ユニット（押圧部）
４２ 吸着ヘッド（ワーク保持部）
４６ 移動部（ベース部）
４７ ボールスプライン（案内部）

Claims (9)

1. シートを両端で保持するシート保持部と、
   前記シート保持部に保持された前記シートの前記両端間に対して所定角度傾けてワークを保持し、該ワークを前記シートに対向させるワーク保持部と、
   前記シート保持部に保持された前記シートを介して、前記ワーク保持部に保持された前記ワークに対向して配置される押さえ部と、
   前記ワーク保持部又は前記押さえ部の少なくとも一方を、他方に向けて押圧する押圧部と、
   前記押さえ部を、前記ワークの対向面の前記シートに対する傾き方向の前記シート側の一端から他端に向けて、前記ワークの前記他端側と前記シートとの間に所定角度以上の開き角を保持しながら、前記ワークの前記対向面に沿って相対移動させて、前記シートを弾性変形させながら前記シートに前記ワークの前記対向面を前記一端から前記他端まで順次密着させる、貼り付け駆動部と、
   を備えたことを特徴とする、シート貼り付け装置。
2. 前記シートに前記ワークの前記対向面を前記一端から前記他端まで順次密着させるとき、前記シートは、その前記ワークの前記対向面の前記一端の周辺部分が、前記ワークの前記対向面の前記一端における、前記ワークの前記対向面の前記シートに対する傾き方向の接線よりも、前記ワーク側に配置されることを特徴とする、請求項１に記載のシート貼り付け装置。
3. 前記押圧部は、
   前記ワーク保持部に保持された前記ワークの前記対向面に対して略垂直方向に摺動自在に前記ワーク保持部を案内する案内部と、
   該案内部を有するベース部と、
   該ベース部と前記ワーク保持部との間に介在する押圧調整手段とを含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載のシート貼り付け装置。
4. 前記シートは粘着面を有し、
   前記シート保持部は、前記シートの前記粘着面を上向きにして保持し、
   前記ワーク保持部により、前記ワークが前記シート保持部に保持された前記シートよりも上側に配置され、
   前記押さえ部が前記シート保持部に保持された前記シートよりも下側に配置されることを特徴とする、請求項１、２又は３に記載のシート貼り付け装置。
5. 前記押さえ部は、外周面が弾性体により形成されたローラであることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一つに記載のシート貼り付け装置。
6. シートを両端で保持する第１のステップと、
   前記シートの前記両端間に対して所定角度傾けてワークを保持し、前記ワークを前記シートに対向させ、前記シートを介して前記ワークに対向して押さえ部を配置し、前記シートに対向する前記ワークの対向面の前記シートに対する傾き方向の一端と前記押さえ部との間に前記シートを挟み込む第２のステップと、
   前記押さえ部を、前記ワークの前記対向面の前記シートに対する傾き方向の他端に向けて、前記ワークの前記他端側と前記シートとの間に所定角度以上の開き角を保持しながら、前記ワークの前記対向面に沿って相対移動させて、前記シートを弾性変形させながら前記シートに前記ワークの前記対向面を前記一端から前記他端まで順次密着させる第３のステップとを備えたことを特徴とする、シート貼り付け方法。
7. 前記第２及び第３のステップにおいて、前記ワークを保持するワーク保持部と、該ワーク保持部に保持された前記ワークの前記対向面に対して略垂直方向に摺動自在に前記ワーク保持部を案内する案内部と、該案内部を有するベース部と、該ベース部と前記ワーク保持部との間に介在する押圧調整手段とを用いて、前記ワーク保持部に保持された前記ワークが前記押さえ部との間に前記シートを挟み込むことを特徴とする、請求項６に記載のシート貼り付け方法。
8. 前記第２のステップの前に、
   前記ワークの厚みデータの入力を受け付けるステップと、
   前記ステップで受け付けた前記ワークの前記厚みデータに応じて、前記第２及び第３のステップにおける前記ベース部の位置を設定するステップとをさらに備えたことを特徴とする、請求項７に記載のシート貼り付け方法。
9. 請求項６、７又は８に記載のシート貼り付け方法を用いた、電子部品の製造方法。

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