KR101486601B1 - 보호 유리 부착 유리 기판 및 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

보호 유리 부착 유리 기판 및 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

표시 장치의 제조 공정에서 유리 기판의 이면에 생기는 미세한 흠집의 발생을 억제하여, 공정 중에 있어서의 유리 기판의 강도 저하나 화학적 에칭 처리 후의 에칭 피트의 발생을 방지하는 보호 유리 부착 유리 기판, 및 그 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치를 제조하는 방법, 그리고 그 보호 유리 부착 유리 기판용의 양면 재박리성 수지 시트의 제공.
유리 기판과 보호 유리판을 적층시켜 이루어지는 보호 유리 부착 유리 기판으로서, 상기 유리 기판과 상기 보호 유리판이 양면 재박리성 수지 시트를 개재하여 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 보호 유리 부착 유리 기판.
유리 기판

Description

보호 유리 부착 유리 기판 및 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치의 제조 방법 {GLASS SUBSTRATE PROVIDED WITH PROTECTION GLASS AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE USING GLASS SUBSTRATE PROVIDED WITH PROTECTION GLASS}
본 발명은, 액정 표시체, 유기 EL 표시체 등의 표시 장치에 사용되는 유리 기판, 보다 구체적으로는 유리 기판을 사용하여 표시 장치를 제조할 때에 사용되는 그 유리 기판과 이면 보호 유리판의 적층체, 및 그것을 사용한 표시 장치의 제조 방법, 그리고 그 보호 유리 부착 유리 기판용의 양면 재박리성 수지 시트에 관한 것이다.
액정 표시 장치 (LCD) 의 제조 공정은 크게 나누어, 유리 기판 상에 어레이를 형성하는 공정, 상기 유리 기판과는 상이한 유리 기판 상에 컬러 필터를 형성하는 공정, 어레이가 형성된 유리 기판과, 컬러 필터가 형성된 유리 기판을 부착시키는 공정 (어레이·컬러 필터 부착 공정), 액정 주입 공정 및 주입구의 봉지 공정이 있다. 상기 각 공정에 있어서, 유리 기판의 이면 즉, 어레이나 컬러 필터를 형성하는 면의 반대면은, 반송 지그나 핫 플레이트 등과 직접 접촉하기 때문에, 표면에 미세한 흠집이 발생하여, 유리 기판 자체의 강도 저하로 이어질 가능성이 있다 는 문제가 있다.
중소형 액정 표시 장치 (LCD), 유기 EL 표시 장치 (OLED), 특히 모바일, 디지털 카메라나 휴대 전화 등의 휴대형 표시 장치 분야에서는, 표시 장치의 경량화, 박형화가 중요한 과제로 되어, 유리 기판의 박판화가 진전되고 있으며, 특히 이 공정에서 기인되는 유리 기판의 강도 저하가 심각한 문제가 될 가능성이 있다.
또한, 더욱 유리 기판의 박판화를 실현하기 위해서, 어레이·컬러 필터 부착 공정 후에 유리 기판에 화학적 에칭 처리를 실시하여, 판두께를 얇게 하는 공정이 널리 채용되고 있다. 그러나, 유리 기판에 상기 서술한 공정 내에서 발생한 미세한 흠집이 존재하는 경우에는, 화학적 에칭 처리 후의 유리 기판 표면에 수 10 ∼ 수 100㎛ 직경의 패임부 (에칭 피트) 가 발생하여, 광학적인 결함으로 이어진다는 문제도 있었다.
그래서, 상기 문제를 해결하기 위해서, 유리 기판을 다른 보호 유리 기판과 부착시킨 상태에서 표시 장치를 제조하기 위한 소정의 처리를 실시하고, 그 처리의 종료 후에 유리 기판과 보호 유리 기판을 분리함으로써 표시 장치를 제조하는 방법이 제안되어 있다 (특허 문헌 1 ∼ 6 참조).
이들 표시 장치를 제조하는 방법에 있어서, 유리 기판과 보호 유리 기판을 적층시켜 고정시키는 방법으로는, 유리 기판 사이에 발생하는 정전 흡착력이나 진공 흡착력을 이용하여 양자를 고정시키는 방법 (예를 들어 특허 문헌 1 참조), 유리 기판의 양 끝을 유리 플릿을 사용하여 고정시키는 방법 (예를 들어 특허 문헌 2 참조), 주연부의 끝면 근방에 레이저 광을 조사하여 2 장의 유리 기판을 융합시키 는 방법 (예를 들어 특허 문헌 3 참조), 또는 유리 기판 사이에 재박리성의 점착제 또는 점착 시트를 전체면에 걸쳐서 배치하여, 그 점착력으로 양자를 고정시키는 방법 (예를 들어 특허 문헌 4 ∼ 6 참조) 등이 제안되어 있다.
이들 방법은, 제조되는 표시 장치에 악영향을 미칠 우려가 있는 잠재적인 문제점을 갖고 있었다.
즉, 유리 기판끼리를 정전 흡착력이나 진공 흡착력을 이용하여 고정시키는 방법, 유리 기판의 양 끝을 유리 플릿을 사용하여 고정시키는 방법, 또는 주연부의 끝면 근방에 레이저 광을 조사하여 2 장의 유리 기판을 융합시키는 방법에서는, 유리 기판끼리를 아무런 중간층을 개재시키지 않고 적층 밀착시키는 과정에 있어서 기포의 혼입이나, 먼지 개입 등의 이물질을 개재로 한 볼록 형상 결함을 피하기 곤란하여, 표면이 평활한 유리 기판의 적층체를 얻기 어렵다.
유리 기판 사이에 재박리성 점착제 또는 점착 시트를 전체면에 걸쳐서 배치하는 방법의 경우에는, 유리 기판끼리를 직접 적층하는 경우와 비교하여 기포의 혼입을 피하기는 용이하고, 또한 이물질에 의한 볼록 형상 결함의 발생도 적다고 생각된다. 그러나, 유리 기판과 보호 유리 기판을 분리하는 것이 곤란해져, 분리할 때에 유리 기판이 파손될 우려가 있다. 또한 분리 후의 유리 기판에 점착제가 잔존하는 것도 문제가 된다. 또한, 표시 장치의 제조 공정에는, 액정 표시 장치의 제조 공정에 있어서의 절연막이나 배향막의 소성 공정과 같이, 고온에서의 처리가 필요한 공정을 포함하고 있기 때문에, 점착제 및 점착 시트에는 표시 장치용으로서의 내열성이 요구되지만, 내열성과 재박리성을 양립시키는 방법은 제안되 어 있지 않다.
상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해서, 먼저 본 발명자들은, WO2008/007622호의 명세서에서, 유리 기판과 보호 유리 기판이 재박리성을 갖는 수지층을 개재하여 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 보호 유리 부착 유리 기판을 제안하였다. 이러한 제안에 따른 보호 유리 부착 유리 기판의 제조 방법은, 보호 유리 기판 상에 재박리성을 갖는 수지층을 형성하는 공정과, 상기 보호 유리 기판의 상기 수지층 형성면에 유리 기판을 적층하는 공정으로 이루어지고, 보호 유리 기판 상에 재박리성을 갖는 수지층을 형성하는 공정은, 상기 보호 유리 기판 상에 박리지용 실리콘을 도공하고, 그 후 상기 박리지용 실리콘을 경화시키는 것을 포함하는 것이다.
또한, 상기 제안된 보호 유리 부착 유리 기판의 제조 방법은, 표시 장치의 제조 공정에서 유리 기판의 이면에 생기는 미세한 흠집의 발생을 억제하여, 공정 중에 있어서의 유리 기판의 강도 저하나 화학적 에칭 처리 후의 에칭 피트의 발생을 방지한다는 과제는 충분히 해결할 수 있는 것이다. 그러나, 재박리성을 갖는 수지층이 보호 유리 기판 상에 고정되기 때문에, 보호 유리 기판으로부터 재박리성을 갖는 수지층을 용이하게 박리할 수 없다는 과제가 있어, 보호 유리 기판의 재활용 등의 관점에서는 문제가 있었다.
특허 문헌 1 : 일본 공개특허공보 2000-241804호
특허 문헌 2 : 일본 공개특허공보 소58-54316호
특허 문헌 3 : 일본 공개특허공보 2003-216068호
특허 문헌 4 : 일본 공개특허공보 평8-86993호
특허 문헌 5 : 일본 공개특허공보 평9-105896호
특허 문헌 6 : 일본 공개특허공보 2000-252342호
본 발명은, 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해서, 표시 장치의 제조 공정에서 유리 기판의 이면에 발생하는 미세한 흠집의 발생을 억제하여, 공정 중에 있어서의 유리 기판의 강도 저하나 화학적 에칭 처리 후의 에칭 피트의 발생을 방지하고, 또한 보호 유리판의 재활용성이 우수한 보호 유리 부착 유리 기판, 및 그 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치를 제조하는 방법, 그리고 그 보호 유리 부착 유리 기판용의 양면 재박리성 수지 시트를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 유리 기판과 보호 유리판을 적층시켜 이루어지는 보호 유리 부착 유리 기판으로서,
상기 유리 기판과 상기 보호 유리판이 양면 재박리성 수지 시트를 개재하여 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 보호 유리 부착 유리 기판 (이하,「본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판」이라고 한다) 을 제공한다.
상기 양면 재박리성 수지 시트가, 아크릴 수지 시트, 폴리올레핀 수지 시트, 폴리우레탄 수지 시트 또는 실리콘 수지 시트인 것이 바람직하다.
상기 실리콘 수지 시트가, 양면이 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트, 또는 양면이 박리 용이성 및 미 (微) 점착성을 갖는 실리콘 수지 시트인 것이 바람직하다.
상기 양면이 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트, 또는 상기 양면이 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트가, 박리지용 실리콘의 경화물로 이루어지는 실리콘 수지 시트인 것이 바람직하다.
상기 박리지용 실리콘의 경화물이, 양 말단 및/또는 측사슬 중에 비닐기를 갖는 직사슬형 폴리오르가노실록산과, 분자 내에 하이드로실릴기를 갖는 메틸하이드로겐폴리실록산의 가교 반응물인 것이 바람직하다.
상기 박리지용 실리콘의 경화물은, 경화 전에 있어서, 상기 메틸하이드로겐폴리실록산이 갖는 하이드로실릴기와, 상기 직사슬형 폴리오르가노실록산이 갖는 비닐기의 몰비가 1.3/1 ∼ 0.7/1 인 것이 바람직하다.
본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판에 있어서, 상기 유리 기판의 두께가 0.04㎜ 이상 1.0㎜ 미만이고, 상기 보호 유리판의 판두께와 상기 양면 재박리성 수지 시트의 두께의 합계가 0.1㎜ 이상인 것이 바람직하다.
본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판에 있어서, 상기 보호 유리판의 선팽창 계수와, 상기 유리 기판의 선팽창 계수의 차가 15×10-7/℃ 이하인 것이 바람직하다.
또한 본 발명은, 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치의 제조 방법으로서, 유리 기판과 보호 유리판을 양면 재박리성 수지 시트를 개재하여 적층시키는 공정과, 상기 유리 기판 상에 표시 장치를 제조하기 위한 소정의 처리를 실시하는 공정과, 상기 유리 기판과 상기 보호 유리판을 분리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치의 제조 방법 (이하, 「본 발명의 표시 장치의 제조 방법」이라고 한다) 을 제공한다.
본 발명의 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 유리 기판과 상기 보호 유리판을 양면 재박리성 수지 시트를 개재하여 적층시키는 공정이, 진공 프레스 또는 진공 라미네이트를 사용하여 실시되는 것이 바람직하다.
본 발명의 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 유리 기판과 상기 보호 유리판을 양면 재박리성 수지 시트를 개재하여 적층시키는 공정이, 양면에 박리재가 적층된 양면 재박리성 수지 시트의 일방의 면으로부터 박리재를 제거하고, 유리 기판 또는 보호 유리판 중 일방의 표면에 흡착 적층시킨 후, 상기 양면 재박리성 수지 시트의 타방의 면으로부터 박리재를 제거하고, 유리 기판 또는 보호 유리판 중 타방의 표면에 흡착 적층시키는 것을 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 양면 재박리성 수지 시트가, 아크릴 수지 시트, 폴리올레핀 수지 시트, 폴리우레탄 수지 시트 또는 실리콘 수지 시트인 것이 바람직하다.
상기 실리콘 수지 시트가, 양면이 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트, 또는 양면이 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트인 것이 바람직하다.
상기 양면이 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트, 또는 상기 양면이 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트가, 박리지용 실리콘의 경화물로 이루어지는 실리콘 수지 시트인 것이 바람직하다.
상기 박리지용 실리콘의 경화물이, 양 말단 및/또는 측사슬 중에 비닐기를 갖는 직사슬형 폴리오르가노실록산과, 분자 내에 하이드로실릴기를 갖는 메틸하이드로겐폴리실록산의 가교 반응물인 것이 바람직하다.
상기 박리지용 실리콘에 있어서, 상기 메틸하이드로겐폴리실록산이 갖는 하이드로실릴기와, 상기 직사슬형 폴리오르가노실록산이 갖는 비닐기의 몰비가 1.3/1 ∼ 0.7/1 인 것이 바람직하다.
본 발명의 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 양면에 박리재가 적층된 양면 재박리성 수지 시트가, 일방의 박리재의 박리면에 박리지용 실리콘을 도포하고 경화시킨 후, 상기 양면 재박리성 수지 시트의 면에 타방의 박리재를 적층함으로써 형성되는 것이 바람직하다.
상기 박리지용 실리콘을 50 ∼ 250℃ 의 온도에서 가열 경화시키는 것이 바람직하다.
또한 본 발명은, 유리 기판과 보호 유리판의 적층에 사용되는 보호 유리 부착 유리 기판용의 양면 재박리성 수지 시트 (이하,「본 발명의 양면 재박리성 수지 시트」라고 한다) 를 제공한다.
본 발명의 양면 재박리성 수지 시트는, 양면에 박리재가 적층되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 양면 재박리성 수지 시트는, 박리지용 실리콘의 경화물로 이루어지는 것이 바람직하다.
본 발명의 양면 재박리성 수지 시트에 있어서, 상기 박리지용 실리콘이, 양 말단 및/또는 측사슬 중에 비닐기를 갖는 직사슬형 폴리오르가노실록산, 분자 내에 하이드로실릴기를 갖는 메틸하이드로겐폴리실록산, 및 백금계 촉매를 함유하는 것이 바람직하다.
상기 박리지용 실리콘에 있어서, 상기 메틸하이드로겐폴리실록산이 갖는 하이드로실릴기와, 상기 직사슬형 폴리오르가노실록산이 갖는 비닐기의 몰비가 1.3/1 ∼ 0.7/1 인 것이 바람직하다.
본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판은, 양면 재박리성 수지 시트를 개재하여 유리 기판과 보호 유리판이 적층되어 있기 때문에, 유리 기판과 보호 유리판을 분리하는 공정에 있어서, 유리 기판과 보호 유리판의 쌍방으로부터 양면 재박리성 수지 시트를 박리할 수 있어, 보호 유리판을 단독으로 재이용할 수 있다. 또한, 보호 유리판에 대한 재박리성 수지의 도공·건조 공정이 불필요하기 때문에, 높은 생산성도 확보할 수 있다.
본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판은, 양면 재박리성 수지 시트를 개재하여 유리 기판과 보호 유리판이 적층되어 있고, 유리 기판의 이면 (어레이나 컬러 필터를 형성하는 면의 반대면) 이 표시 장치의 제조 공정에 있어서, 반송 지그나 핫 플레이트 등과 직접 접촉하는 경우가 없기 때문에, 공정 내에서 유리 기판의 이면에 흠집이 발생할 우려가 없다. 또한, 유리 기판 및 보호 유리판의 이면은, 재박리성을 갖는 유연한 수지층과 접촉되어 있기 때문에, 유리 기판과 보호 유리판으로 용이하게 분리할 수 있어, 유리 기판과 보호 유리판을 분리할 때에 유리 기판의 이면에 흠집이 발생하거나 유리 기판이 파손될 우려가 없다.
따라서, 보호 유리판을 박리한 후의 유리 기판의 강도 저하 및, 그 후에 화학적 에칭 처리를 실시한 경우의 에칭 피트의 발생을 현저하게 억제할 수 있다.
본 발명의 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 유리 기판과 보호 유리판을 양면 재박리성 수지 시트를 개재하여 적층하는 공정을 진공 프레스 또는 진공 라미네이트를 사용하여 실시한 경우, 그 수지 시트와 유리 기판의 계면으로 기포가 혼입되는 것을 억제할 수 있다. 이 결과, 진공하에서 ITO 등의 투명 전극을 형성하는 공정에 있어서, 혼입된 기포를 기점으로 한 결함의 발생을 억제할 수 있다는 이점이 있다.
양면에 박리재가 적층된 본 발명의 양면 재박리성 수지 시트는, 양면 재박리성 수지 시트의 유리 기판과 적층시키는 면에 박리재가 적층되어 있기 때문에, 사용 전에는 먼지 등의 이물질이 부착되는 것이 방지된다. 사용시에는, 박리재를 제거하고 유리 기판 및 보호 유리판에 흡착 적층시키면 되므로, 조작이 용이하고, 특히 사업화에 대해서는 중요한 점이다.
도 1 의 (a) ∼ (d) 는, 본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판을 제조하는 순서를 나타낸 단면(斷面) 모식도이다.
도 2 는, 본 발명의 실시예 1 에서 제작한 보호 유리 부착 유리 기판의 단면 모식도이다.
도 3 은, 박리 시험 (1) 실시시에 있어서의 도 1 에 나타내는 보호 유리 부 착 유리 기판 (1) 과 지그의 관계를 나타낸 단면 모식도이다.
도 4 는, 전단 강도 시험 실시시에 있어서의 도 1 에 나타내는 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 과 지그의 관계를 나타낸 단면 모식도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 보호 유리 부착 유리 기판
11 : 유리 기판
12 : 보호 유리판
13 : 양면 재박리성 수지 시트 (실리콘 수지 시트)
14, 15 : 박리재
20, 21, 25, 26, 30, 31 : 폴리카보네이트제 부재
이하, 본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판에 대하여 설명한다.
본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판은, 유리 기판과 보호 유리판을 적층시켜 이루어지는 보호 유리 부착 유리 기판으로서, 상기 유리 기판과 상기 보호 유리판이 양면 재박리성 수지 시트를 개재하여 적층되어 있는 것을 특징으로 한다.
여기서, 양면 재박리성 수지 시트 (이하, 간단히 수지 시트라고도 한다) 는, 유리 기판 및 보호 유리판 표면에 고정되어 있지 않다. 즉, 수지 시트의 재박리성은 유리 기판 및 보호 유리판의 쌍방에서 발휘된다.
유리 기판은, LCD, OLED 와 같은 표시 장치용 유리 기판으로서, 0.04㎜ 이상, 구체적으로는 0.04㎜ 이상 1.0㎜ 미만, 나아가서는 0.04 ∼ 0.7㎜ 의 판두께를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 0.1㎜ 이상, 구체적으로는 0.1㎜ ∼ 0.7㎜ 의 판두께를 갖는 것이 보다 바람직하다. 유리 기판의 판두께는, 유리 기판을 사용하여 표시 장치를 제조할 때에 취급하기 쉽고, 취급시에도 잘 균열되지 않는 등의 이유로부터, 특히 바람직하게는 0.4㎜ ∼ 0.7㎜ 이다. 화학적 에칭 처리를 실시하여 유리 기판을 박판화하는 경우, 판두께 0.4㎜ ∼ 0.7㎜ 의 유리 기판으로부터, 판두께 0.1㎜ ∼ 0.4㎜ 의 유리 기판을 얻는 경우가 많다. 한편, 화학적 에칭 처리가 필수가 아닌 경우에는, 유리 기판으로서 그대로 표시 장치용으로 사용할 수 있다는 점에서, 유리 기판의 두께는 0.04 ∼ 0.4㎜ 인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명이 대상으로 하는 표시 장치는, 주로 휴대 전화나 PDA 와 같은 모바일 단말, 혹은 디지털 카메라에 사용되는 중·소형 표시 장치이다. 표시 장치는, 주로 LCD 또는 OLED 이며, LCD 로는, TN 형, STN 형, FE 형, TFT 형, MIM 형을 포함한다.
열 수축률, 표면 형상, 내약품성 등 유리 기판에 요구되는 특성은, 표시 장치의 종류에 따라 상이하다. 따라서, 유리 기판은 알칼리 유리제여도 된다. 단, 열 수축률이 적다는 점에서 무알칼리 유리가 바람직하다.
본 발명에 있어서, 유리 기판은 열 수축률이 적은 것이 바람직하다. 유리의 경우, 열 팽창 및 열 수축의 지표로서 JIS R3102 (1995년) 규정의 선팽창 계수가 사용된다. 유리 기판은, 선팽창 계수가 50×10-7/℃ 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 45×10-7/℃ 이하이며, 40×10-7/℃ 이하인 것이 더욱 바람직 하고, 30×10-7/℃ 이하인 것이 특히 바람직하고, 20×10-7/℃ 이하인 것이 극히 바람직하다. 유리 기판의 선팽창 계수의 하한은 0.1×10-7/℃ 인 것이 바람직하다.
보호 유리판은, 유리 기판을 보호하는 목적, 구체적으로는, 유리 기판 이면에 공정 내에서 발생하는 흠집을 방지하는 목적으로 유리 기판과 적층시킨다. 여기서, 유리 기판의 이면이란, LCD 의 제조 공정에 있어서, 어레이나 컬러 필터를 형성하는 면과는 반대측의 면으로서, 반송 지그나 핫 플레이트 등과 직접 접촉하는 측의 면이다.
보호 유리판의 판두께는 특별히 한정되지 않지만, 유리 기판과의 적층체가 현행 제조 라인에서 반송시킬 수 있는 두께인 것이 바람직하다. 예를 들어 현행 제조 라인이 판두께 0.5㎜ 의 기판을 반송시키도록 설계된 것으로서, 유리 기판의 판두께가 0.3㎜ 인 경우, 보호 유리판의 판두께는, 양면 재박리성 수지 시트의 두께와 합하여 0.2㎜ 인 것이 바람직하다. 현행 제조 라인은, 판두께 0.7㎜ 의 유리 기판을 반송시키도록 설계되어 있는 것이 가장 일반적이다. 이 경우에는, 유리 기판의 판두께가 0.4㎜ 인 경우, 보호 유리판의 판두께는, 양면 재박리성 수지 시트의 두께와 합하여 0.3㎜ 인 것이 바람직하다. 단, 제조 라인은, 판두께 0.5㎜ 또는 0.7㎜ 의 유리 기판을 반송시키도록 설계되어 있는 것에 한정되지 않고, 이것들 이외의 두께의 유리 기판을 반송시키도록 설계되어 있는 경우도 있다. 예를 들어 판두께 0.5㎜ 미만의 유리 기판을 반송시키도록 설계되어 있는 경우 도 있고, 판두께 0.7㎜ 초과, 예를 들어 1.1㎜ 의 유리 기판을 반송시키도록 설계되어 있는 경우도 있다. 이 경우, 유리 기판의 판두께가 0.7㎜ 이면, 보호 유리판의 판두께는, 양면 재박리성 수지 시트의 두께와 합하여 0.4㎜ 인 것이 바람직하다.
또한, 화학적 에칭 처리가 필수가 아닌 경우에는, 유리 기판으로서 그대로 표시 장치용으로 사용할 수 있다는 점에서, 보호 유리판의 두께는, 수지 시트의 두께와 합하여 0.1 ∼ 0.7㎜, 나아가서는 0.3 ∼ 0.7㎜ 인 것이 바람직하다.
후술하는 양면 재박리성 수지 시트의 두께를 고려하면, 보호 유리판의 판두께는 양면 재박리성 수지 시트의 두께와 합하여 0.1㎜ 이상, 구체적으로는 0.1 ∼ 0.8㎜ 인 것이 바람직하다.
또한 보호 유리판은, 유리 기판 이면의 흡집 발생을 방지하기 위한 것으로서, 그 재질은 특별히 한정되지 않고, 알칼리 유리, 무알칼리 유리의 어느 것이어도 된다. 단, 보호 유리판은, 그 선팽창 계수가 유리 기판의 선팽창 계수와 실질적으로 동일한 것이 바람직하다. 보호 유리판의 선팽창 계수가 유리 기판의 선팽창 계수보다 큰 경우에는, 표시 장치의 제조 공정에 있어서의 가열 공정에서, 보호 유리판의 팽창이 보호 유리 부착 유리 기판에 의해 억제되기 때문에, 보호 유리 부착 유리 기판이 휘어질 가능성이 있다. 반대로, 보호 유리판의 선팽창 계수가 유리 기판의 선팽창 계수보다 작은 경우에는, 유리 기판의 팽창이 보호 유리 부착 유리 기판에 의해 억제되기 때문에, 보호 유리 부착 유리 기판이 휘어지는 문제가 발생할 가능성이 있기 때문이다.
본 명세서에 있어서, 선팽창 계수가 실질적으로 동일하다고 한 경우, 유리 기판의 선팽창 계수와 보호 유리판의 선팽창 계수가 완전히 일치하는 것을 의미하는 것이 아니라, 양자에는 다소의 차가 있어도 된다. 유리 기판과 보호 유리판의 선팽창 계수의 차는 35×10-7/℃ 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 25×10-7/℃ 이하이며, 더욱 바람직하게는 15×10-7/℃ 이하이다. 특히 바람직하게는, 유리 기판과 보호 유리판의 선팽창 계수의 차가 없는 것이다.
또한 보호 유리판은, 유리 기판의 이면을 보호한다는 목적을 갖기 때문에, 그 크기는 유리 기판의 크기와 동등하거나, 또는 그 이상인 것이 바람직하다.
본 발명의 양면 재박리성 수지 시트는, 사용 유리 기판에 적층시키는 면에 먼지 등의 이물질이 부착되지 않도록, 양면에 박리재를 적층시킨 상태로 되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판을 제조하는 경우, 박리재가 양면에 적층된 양면 재박리성 수지 시트로부터 박리재를 제거하고, 유리 기판 및 보호 유리판의 표면에 흡착 적층시킨다. 보다 구체적으로는, 보호 유리판과 유리 기판의 이면이 양면 재박리성 수지 시트를 개재하여 대향하도록 양자를 적층시킨다. 더욱 구체적으로는, 양면에 박리재가 적층된 양면 재박리성 수지 시트의 일방의 면으로부터 박리재를 제거하고, 유리 기판 또는 보호 유리판 중 일방의 표면에 흡착 적층시킨 후, 양면 재박리성 수지 시트의 타방의 면으로부터 박리재를 제거하고, 유리 기판 또는 보호 유리판 중 타방의 표면에 흡착 적층시킨다.
도 1 의 (a) ∼ 도 1 의 (d) 는, 상기한 본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판을 제조하는 순서를 나타낸 도면이다. 도 1 의 (a) 에 나타내는 양면 재박리성 수지 시트 (13) 는, 양면에 박리재 (14), 박리재 (15) 를 적층시킨 상태로 되어 있다. 이 상태로부터, 보호 유리판 (12) 에 면하는 측의 박리재 (14) 를 제거하고, 도 1 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, 보호 유리판 (12) 의 표면에 양면 재박리성 수지 시트 (13) 를 흡착 적층시킨다. 다음으로, 도 1 의 (c) 에 나타내는 바와 같이, 유리 기판 (11) 에 면하는 측의 박리재 (15) 를 제거하고, 도 1 의 (d) 에 나타내는 바와 같이, 유리 기판 (11) 의 표면에 양면 재박리성 수지 시트 (13) 를 흡착 적층시킴으로써, 본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 이 제조된다.
또한, 도 1 의 (a) ∼ 도 1 의 (d) 에서는, 양면 재박리성 수지 시트 (13) 를 보호 유리판 (12) 의 표면에 흡착 적층시킨 후, 유리 기판 (11) 의 표면에 흡착 적층시키고 있지만, 양면 재박리성 수지 시트 (13) 를 유리 기판 (11) 의 표면에 흡착 적층시키고 나서 보호 유리판 (12) 의 표면에 흡착 적층시켜도 된다. 또한, 양면의 박리재 (14), 박리재 (15) 를 제거한 후, 양면 재박리성 수지 시트 (13) 를 유리 기판 (11) 및 보호 유리판 (12) 과 동시에 흡착 적층시킬 수도 있다.
본 명세서에 있어서, 「양면 재박리성 수지 시트」란, 유리 기판의 미크로한 요철에 추종할 수 있는 적당한 유연성을 갖고, 그 수지 시트의 양면이 유리 기판을 적층시킨 후 재박리할 수 있는 수지 시트를 의미한다. 구체적으로는, 양면이 박리 용이성을 갖고, 또한 적당한 점착성 (미점착성) 을 갖는 수지 시트, 또는 양면이 박리 용이성을 갖고, 또한 비점착성을 갖는 수지 시트 모두 사용할 수 있다.
양면 재박리성 수지 시트로는, 아크릴 수지 시트, 폴리올레핀 수지 시트, 폴리우레탄 수지 시트 또는 실리콘 수지 시트인 것이 바람직하다.
양면 재박리성 수지 시트는, 그 중에서도 특히 양면이 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트, 또는 양면이 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트인 것이 바람직하다.
양면이 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트란, 적당한 유연성을 갖는 실리콘 수지 시트로서, 그 실리콘 수지 시트의 양면이 점착제와 같이 점착력에 의해 유리 기판 및 보호 유리판을 고정시키는 것이 아니라, 매우 근접한, 대향하는 고체 분자 사이에 있어서의 반데르발스의 힘에서 기인되는 힘, 즉 밀착력에 의해 유리 기판 및 보호 유리판을 고정시키는 것을 가리킨다.
한편, 양면이 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트란, 그 실리콘 수지 시트의 양면이, 상기한 밀착력에 추가하여 어느 정도의 점착력에 의해 유리 기판 및 보호 유리판을 고정시키는 것을 가리킨다. 또한, 양면이 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트, 및 양면이 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트를 아울러「양면이 박리 용이성 및 약점착성을 갖는 실리콘 수지 시트」라고 부른다.
구체적으로는, 양면이 박리 용이성 및 약점착성을 갖는 실리콘 수지 시트는, 그 실리콘 수지 시트의 양면이, 밀착력에 의해, 또는 밀착력과 미점착력에 의해 유리 기판 및 보호 유리판을 고정시키고 있기 때문에, 적층 계면에 평행으로 유리 기판과 보호 유리판을 어긋나게 하는 힘, 즉 전단력은 높은 값을 나타낸다. 이 때문에, 표시 장치의 제조 공정 중에 유리 기판이 보호 유리판으로부터 어긋나는 경우가 없다. 따라서, 어긋남에 의해 유리 기판과 보호 유리판이 떼어질 우려가 없다.
양면이 박리 용이성 및 약점착성을 갖는 실리콘 수지 시트의 전단력은, 표시 장치의 제조 공정 중에 유리 기판이 보호 유리판으로부터 어긋나는 경우가 없다는 점에서, 후술하는 전단 강도 시험에 있어서, 유리가 박리될 때의 하중이 0.1㎏중/㎠ 이상, 특히 0.3㎏중/㎠ 이상, 나아가서는 0.5㎏중/㎠ 이상인 것이 바람직하다.
한편, 실리콘 수지 시트가 갖는 박리 용이성 및 약점착성에 의해, 유리 기판을 보호 유리판으로부터 수직 방향으로 떼어내는 힘, 즉 박리력은 낮다. 이 때문에, 유리 기판 상에 표시 장치를 제조하기 위한 소정의 처리를 실시한 후에, 보호 유리판을 유리 기판으로부터 용이하게 분리할 수 있다. 또한, 보호 유리판으로부터 실리콘 수지 시트를 박리할 때에 필요한 힘은, 상기 박리력보다 훨씬 작기 때문에, 유리 기판으로부터 분리한 후의 보호 유리판으로부터 실리콘 수지 시트를 용이하게 박리할 수 있다.
양면이 박리 용이성 및 약점착성을 갖는 실리콘 수지 시트의 박리력은, 보호 유리판을 유리 기판으로부터 용이하게 분리할 수 있다는 점에서, 후술하는 박리 시험 (1) 에 있어서, 보호 유리판이 박리되는 하중이 2㎏중/㎠ 이하, 특히 1㎏중/㎠ 이하, 나아가서는 0.8㎏중/㎠ 이하인 것이 바람직하다.
롤투롤 (roll-to-roll) 이 가능한 유연성 있는 수지 필름과 같은 것을 유리 기판의 보호에 사용하는 경우에는, 90°박리 시험이나 180°박리 시험과 같은 각도 가 있는 박리 시험에 의해 박리력을 평가해야 한다. 그러나, 어느 정도의 강성을 갖는 유리 기판과 보호 유리판의 박리 시험에 있어서는, 박리 시험 (1) (이른바 0°박리 시험) 과 같은 시험 방법으로 박리력을 평가할 필요가 있다. 따라서, 박리력을 평가하는 경우에도, 박리 시험 (1) 과 같은 시험 방법으로, 상기와 같은 범위에 있는 것이 바람직하다.
양면이 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트, 그리고 양면이 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트의 구체적인 양태에 대해서는 후술한다.
양면이 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트는, 적층시에 혼입된 기포를 제거하기 쉽고, 보호 유리판을 유리 기판으로부터 용이하게 분리할 수 있다는 이유에서, 양면의 표면 에너지가 각각 16 ∼ 21erg/㎠ (단위) 인 것이 바람직하고, 17 ∼ 20erg/㎠ (단위) 가 보다 바람직하다.
양면이 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트는, 밀착력에 의해 유리 기판을 고정시키고 있기 때문에, 적층 계면에 평행으로 유리 기판과 보호 유리판을 어긋나게 하는 힘, 즉 전단력은 높은 값을 나타낸다. 이 때문에, 표시 장치의 제조 공정 중에 유리 기판이 보호 유리판으로부터 어긋나는 경우가 없다. 따라서, 어긋남에 의해 유리 기판과 보호 유리판이 떼어질 우려가 없다.
한편, 실리콘 수지 시트가 갖는 박리 용이성 및 비점착성에 의해, 유리 기판을 보호 유리판으로부터 수직 방향으로 떼어내는 힘, 즉 박리력은 현저하게 낮다. 이 때문에, 유리 기판 상에 표시 장치를 제조하기 위한 소정의 처리를 실시한 후에, 보호 유리판을 유리 기판으로부터 매우 용이하게 분리할 수 있고, 유리 기판으로부터 분리한 후의 보호 유리판으로부터 실리콘 수지 시트를 용이하게 박리할 수 있다.
양면이 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트는, 전단력이 0.1㎏중/㎠ 이상인 것이 바람직하고, 0.3㎏중/㎠ 이상인 것이 보다 바람직하며, 0.5㎏중/㎠ 이상인 것이 특히 바람직하다. 또한, 박리력이 1㎏중/㎠ 이하인 것이 바람직하고, 0.8㎏중/㎠ 이하인 것이 보다 바람직하며, 0.5㎏중/㎠ 이하인 것이 특히 바람직하다.
단, 유리 기판과 보호 유리판과 양방의 판두께가 큰 경우, 예를 들어 유리 기판과 보호 유리판 중 얇은 것의 판두께가 0.7㎜ 이상인 경우, 유리 기판 및 보호 유리판에 대한 수지 시트의 형상 추종성이 낮아지기 때문에, 밀착력만으로는 유리 기판 및 보호 유리판을 고정시키는 힘이 불충분해질 우려가 있다. 이와 같은 경우, 양면이 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트를 사용하는 것이 바람직하다. 양면이 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트는, 박리력이 비교적 낮아, 0.8㎏중/㎠ 이하인 것이 바람직하다.
양면이 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트인 경우, 밀착력에 추가하여 적당한 점착력에 의해 유리 기판을 고정시키기 때문에, 유리 기판과 보호 유리판의 양방의 판두께가 큰 경우에도, 유리 기판 및 보호 유리판의 고정력이 불충분해질 우려가 없다. 게다가, 0.8㎏중/㎠ 이하의 박리력이기 때문에, 유리 기판을 보호 유리판으로부터 분리할 때에 필요한 힘, 즉 박리력은 낮아, 유리 기판 상에 표시 장치를 제조하기 위한 소정의 처리를 실시한 후에, 보호 유리판을 유리 기판으로부터 용이하게 분리할 수 있고, 유리 기판으로부터 분리한 후의 보호 유리판으로부터 실리콘 수지 시트를 용이하게 박리할 수 있다.
양면이 박리 용이성 및 약점착성을 갖는 실리콘 수지 시트는, 내열성이 우수하기 때문에, 가열 처리 후, 예를 들어 대기 중 300℃ 의 온도에서 1 시간 가열한 후에도, 전단력은 높지만, 박리력은 낮다는 상기한 특성을 발휘할 수 있다.
이하, 본 명세서에 있어서, 양면이 박리 용이성 및 약점착성을 갖는 실리콘 수지 시트에 대하여, 공통되는 특성을 나타내는 경우, 총칭하여 「본 발명의 실리콘 수지 시트」라고 기재한다.
본 발명의 실리콘 수지 시트는 적당한 유연성을 갖기 때문에, 적층시에 기포가 잘 혼입되지 않고, 또한 수지 시트의 양면이 비점착성 또는 미점착성이기 때문에, 기포가 혼입된 경우에도, 롤이나 프레스 등을 사용하여 압착함으로써, 용이하게 그 기포를 제거할 수 있다.
본 발명의 실리콘 수지 시트는, 박리지용 실리콘의 경화물로 이루어지는 것이 바람직하다. 박리지용 실리콘은, 실리콘 중에서도 특히 이형성이 우수한 직사슬형 디메틸폴리실록산을 분자 내에 함유하는 실리콘을 주제 (主劑) 로 한다. 박리지용 실리콘은, 상기한 주제와 가교제를 포함하고, 촉매, 광중합 개시제 등을 사용하여 경화시킴으로써 기재 표면에 고정된다. 박리지용 실리콘의 경화물로 이루어지는 실리콘 수지 시트는, 적당한 유연성과, 양면이 우수한 이형성을 갖는다.
이와 같은 특성을 갖는 박리지용 실리콘을 본 발명의 실리콘 수지 시트로서 사용하면, 적당한 유연성을 갖고, 또한 양면이 박리 용이성 및 약점착성을 갖는 실리콘 수지 시트가 얻어진다.
박리지용 실리콘은, 그 경화 기구에 따라 축합 반응형 실리콘, 부가 반응형 실리콘, 자외선 경화형 실리콘, 전자선 경화형 실리콘으로 분류된다. 본 발명에서는, 이들 모두 사용할 수 있다. 단, 이들 중에서도 경화 반응이 용이하고, 경화 피막을 형성하였을 때에 본 발명의 실리콘 수지 시트를 형성하기 쉬운 점, 및 경화물의 내열성의 관점에서 부가 반응형 실리콘이 가장 바람직하다. 또한, 실리콘 수지 시트 중에 박리지용 실리콘을 함유하는지의 여부는, IR (적외 분광) 이나 그 수지 시트의 강도나 점착성으로부터 어느 정도 추측할 수 있다.
부가 반응형 실리콘은, 양 말단 및/또는 측사슬 중에 비닐기를 갖는 직사슬형 폴리오르가노실록산으로 이루어지는 주제와 분자 내에 하이드로실릴기를 갖는 메틸하이드로겐폴리실록산으로 이루어지는 가교제를 포함하고, 백금계 촉매의 존재하에서 가열 경화 반응시키는 것이다.
양 말단 및/또는 측사슬 중에 비닐기를 갖는 직사슬형 폴리오르가노실록산은, 하기 식의 어느 것으로 나타내는 화합물이다.
[화학식 1]
Figure 112009032443616-pct00001
상기 식 중의 m, n 은 정수를 나타내고, 0 이어도 된다. m 이 0 인 경우, 양 말단에 비닐기를 갖는 직사슬형 폴리오르가노실록산이 된다. m 이 1 이상의 정수인 경우, 양 말단 및 측사슬 중에 비닐기를 갖는 직사슬형 폴리오르가노실록산이 된다.
[화학식 2]
Figure 112009032443616-pct00002
상기 식 중의 m 은 2 이상의 정수, n 은 정수를 나타내고 0 이어도 된다. 이 경우, 측사슬 중에 비닐기를 갖는 직사슬형 폴리오르가노실록산이 된다.
분자 내에 하이드로실릴기를 갖는 메틸하이드로겐폴리실록산은, 하기 식으로 나타내는 화합물이다.
[화학식 3]
Figure 112009032443616-pct00003
상기 식 중의 a 는 정수를 나타내고, b 는 1 이상의 정수를 나타낸다.
또한, 메틸하이드로겐폴리실록산의 말단의 메틸기의 일부는 수소 원자나 수산기이어도 된다.
부가 반응형 실리콘에 있어서, 양 말단, 측사슬 중 또는 양 말단 및 측사슬 중에 비닐기를 갖는 직사슬형 폴리오르가노실록산으로 이루어지는 주제와, 분자 내 에 하이드로실릴기를 갖는 메틸하이드로겐폴리실록산으로 이루어지는 가교제의 혼합 비율은, 하이드로실릴기와 비닐기의 몰비가 0.7/1 ∼ 1.3/1, 특히 0.8/1 ∼ 1.2/1 인 것이 바람직하다.
하이드로실릴기와 비닐기의 몰비가 1.3/1 을 초과하는 경우에는, 가열 처리 후의 박리력이 상승하여, 박리성이 악화될 가능성이 있다. 또한, 하이드로실릴기와 비닐기의 몰비가 0.7/1 미만인 경우에는, 경화물의 가교 밀도가 저하되기 때문에, 내약품성 등에 문제가 발생할 가능성이 있다. 하이드로실릴기와 비닐기의 몰비가 1.3/1 을 초과하는 경우에, 가열 처리 후의 박리력이 상승하는 원인은 분명하지 않지만, 가열 처리에 의해, 경화물 중의 미반응 하이드로실릴기와 유리 표면의 실란올기의 어떠한 반응이 관여하고 있는 것으로 생각된다.
가열 경화 반응에 사용하는 촉매로는 백금계 촉매가 바람직하게 사용되고, 백금계 촉매로는 공지된 것을 사용할 수 있다. 구체적으로는, 염화제1백금산, 염화제2백금산 등의 염화백금산 화합물 ; 염화백금산의 알코올 화합물, 혹은 알데히드 화합물 : 염화백금산과 각종 올레핀의 사슬염 등을 들 수 있다.
백금계 촉매는, 박리지용 실리콘 100 질량부에 대하여 0.1 ∼ 20 질량부 사용하는 것이 바람직하고, 1 ∼ 10 질량부 사용하는 것이 보다 바람직하다.
또한, 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트를 형성하는 경우와, 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트를 형성하는 경우에서 사용하는 박리지용 실리콘의 구조가 대폭 상이한 것은 아니다. 구체적으로는, 박리지용 실리콘을 가열 경화시킴으로써 얻어지는 수지 경화물 중의 가교 밀도의 많고 적음에 따라, 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트가 되는 경우와, 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트가 되는 경우로 나누어진다. 보다 구체적으로는, 수지 경화물 중의 가교 밀도가 많은 경우, 수지 경화물이 점착성을 띠게 된다.
이러한 관점에서, 상기한 직사슬형 폴리오르가노실록산에 있어서 측사슬에 포함되는 비닐기가 증가하면, 얻어지는 수지 경화물이 점착성을 띠게 된다.
박리지용 실리콘은, 형태적으로 용제형, 에멀션형, 무용제형이 있고, 어떠한 형태라도 사용할 수 있다. 단, 생산성, 안전성, 환경 특성의 면에서 무용제형이 바람직하다. 무용제형을 사용한 경우, 경화시, 즉 가열 경화, 자외선 경화 또는 전자선 경화시에 발포를 발생하는 용제를 포함하지 않기 때문에, 실리콘 수지 시트 중에 기포가 잔류하기 어렵다.
본 발명의 실리콘 수지 시트는, 1 종류의 박리지용 실리콘만으로 형성되어 있어도 되지만, 2 종 이상의 박리지용 실리콘을 사용하여 형성되어 있어도 된다. 2 종 이상의 박리지용 실리콘을 사용하여 형성되어 있는 경우, 2 종 이상의 박리지용 실리콘이 서로 적층된 다층 구조의 실리콘 수지 시트로 되어 있어도 되고, 1 층 중에 2 종 이상의 박리지용 실리콘을 포함한 혼합 실리콘 수지 시트로 되어 있어도 된다.
본 발명의 실리콘 수지 시트는, 유리 기판과 보호 유리판을 분리하였을 때, 및 유리 기판 혹은 보호 유리판으로부터 실리콘 수지 시트를 박리하였을 때에, 실리콘 수지 시트 중의 성분이 유리 기판 혹은 보호 유리판으로 이행되기 어려운 것, 즉 저실리콘 이행성을 갖는 것이 바람직하다.
실리콘 수지 시트 중의 성분의 이행 용이성은, 그 실리콘 수지 시트의 잔류 접착률을 지표로 하여 판단할 수 있다. 실리콘 수지 시트의 잔류 접착률은 이하의 방법으로 측정할 수 있다.
잔류 접착률의 측정 방법 :
실리콘 수지 시트의 일방의 표면으로부터 박리재를 박리하고, 15㎜ 폭의 표준 점착 테이프 (셀로테이프 (등록 상표) CT405A-15 (니치반사 제조)) 를 사람 손의 힘으로 압착하고, 70℃ 에서 20 시간 대기 중에서 가열한다. 20 시간 경과 후, 표준 점착 테이프로부터 실리콘 수지 시트를 박리한다. 박리된 표준 점착 테이프를 청정한 유리 기판 (예를 들어 AN100 (아사히 가라스사 제조)) 표면에 부착시킨 후, 180°박리 강도 (300㎜/min) 를 측정한다 (박리 강도 (A)).
상기와 동일한 표준 점착 테이프를 청정한 유리 기판 (예를 들어 AN100 (아사히 가라스사 제조)) 표면에 사람 손의 힘으로 압착한 후, 상온 대기 중에서 20 시간 방치한다. 20 시간 경과 후, 표준 점착 테이프를 유리 기판 표면으로부터 박리한다. 박리된 표준 점착 테이프를 유리 기판 (예를 들어 AN100 (아사히 가라스사 제조) 표면에 부착시킨 후, 180°박리 강도 (300㎜/min) 를 측정한다 (박리 강도 (B)).
잔류 접착률은 하기 식에 의해 구한다.
잔류 접착률 (％) = 박리 강도 (A)/박리 강도 (B) × 100
본 발명의 실리콘 수지 시트는, 상기 측정 방법에 의해 구한 잔류 접착률이 95％ 이상인 것이 바람직하고, 98％ 이상인 것이 보다 바람직하다. 잔류 접착률이 95％ 이상이면, 실리콘 수지 시트로부터 유리 기판 표면 혹은 보호 유리판 표면으로의 수지 시트 중의 성분의 이행이 매우 낮다고 생각된다. 그 때문에, 분리 후의 유리 기판의 표면에 실리콘 수지 시트 중의 성분이 잘 이행되지 않기 때문에, 유리 기판의 표면에 편광판 등을 부착할 때에 부착 불량 등이 발생할 우려가 없다. 또한, 실리콘 수지 시트를 박리한 후의 보호 유리판의 표면에 실리콘 수지 시트 중의 성분이 잘 이행되지 않기 때문에, 보호 유리판을 재이용하는 데에 바람직하다.
저실리콘 이행성을 갖는 실리콘 수지 시트를 얻기 위해서는, 이행성이 높은 성분을 함유하지 않는 박리지용 실리콘을 사용하면 된다. 박리지용 실리콘을 용이하게 박리하기 위해서, 비반응성 실리콘을 혼합하는 경우가 있다. 이 경우, 비반응성 실리콘으로서 직사슬 디메틸폴리실록산을 들 수 있고, 매우 고분자량의 것이나, 페닐기나 고급 알킬기를 도입하여, 경화 피막에 대한 상용성(相溶性)을 낮춘 비교적 저분자량의 것이 사용된다. 이와 같은 비반응성 실리콘은 이행성이 높은 성분이기 때문에, 본 발명에 사용하는 박리지용 실리콘은, 비반응성 실리콘의 함유량이 5질량％ 이하인 것이 바람직하고, 비반응성 실리콘을 실질적으로 함유하지 않는 것이 보다 바람직하다.
본 발명에 있어서, 바람직한 박리지용 실리콘으로는, 구체적으로는 KNS-320A, KS-847 (모두, 신에츠 실리콘사 제조), TPR6700 (GE 토시바 실리콘사 제조), 비닐 실리콘「8500」(아라카와 화학 공업사 제조) 과 메틸하이드로겐폴리실록산「 12031」(아라카와 화학 공업사 제조) 의 조합, 비닐 실리콘「11364」(아라카와 화학 공업사 제조) 와 메틸하이드로겐폴리실록산「12031」(아라카와 화학 공업사 제조) 의 조합, 비닐 실리콘「11365」(아라카와 화학 공업사 제조) 와 메틸하이드로겐폴리실록산「12031」(아라카와 화학 공업사 제조) 의 조합 등을 들 수 있다.
상기한 실리콘 수지 시트를 포함시킨 양면 재박리성 수지 시트의 바람직한 두께는, 유리 기판과 보호 유리판 중 얇은 것의 판두께에 의해 지배된다. 당해 판두께가 커질수록 유리 기판 및 보호 유리판에 대한 수지 시트의 형상 추종성이 낮아져, 유리 기판 및 보호 유리판에 대한 수지 시트의 밀착성이 저하되기 때문에, 유리 기판 및 보호 유리판의 충분한 밀착성을 확보하기 위해서, 수지 시트를 두껍게 할 필요가 있다. 또한, 최적의 수지 시트의 두께는 사용하는 수지 시트의 유연성이나 점착성의 정도에 따라서도 달라진다. 구체적으로는, 유리 기판과 보호 유리판 중 얇은 것의 판두께를 X㎜, 수지 시트의 두께를 Y㎛ 로 한 경우, 수지 시트의 두께는, Y = 50X + 20 ± 10 의 범위에 존재하는 것이 바람직하다.
일반적으로는 양면 재박리성 수지 시트의 두께는 1 ∼ 100㎛ 인 것이 바람직하다. 수지 시트의 두께가 1㎛ 보다 얇은 경우에는, 유리 기판 및 보호 유리판에 대한 수지 시트의 밀착이 불충분해질 우려가 있다. 또한, 이물질이 개재된 경우에 유리 기판의 볼록 형상 결함으로 이어지기 쉽다. 한편 100㎛ 를 초과하는 경우에는, 양면 재박리성 수지 시트로서의 특성에 대한 기여도 물론 적고, 수지 시트의 제조시, 수지의 경화에도 시간을 필요로 하기 때문에 경제적이지 않다.
양면 재박리성 수지 시트의 두께는 5 ∼ 50㎛ 인 것이 보다 바람직하다. 수지 시트의 두께가 5 ∼ 50㎛ 이면, 유리 기판 및 보호 유리판의 판두께가 큰 경우, 예를 들어 유리 기판 또는 보호 유리판 중 얇은 것의 판두께가 0.5㎜ 이상이어도, 양 기판에 대한 수지 시트의 밀착이 불충분해질 우려가 없다. 수지 시트의 두께는 15 ∼ 40㎛ 인 것이 더욱 바람직하다.
양면 재박리성 수지 시트를 형성하는 방법은 특별히 한정되지 않고, 공지된 방법으로부터 적절히 선택할 수 있다. 양면 재박리성 수지 시트에 박리지용 실리콘을 사용하는 경우, 점착용 세퍼레이트 필름 등에 사용되는 박리재의 박리면에, 박리지용 실리콘을 소정의 두께로 도포, 경화시킨 후, 경화 후의 박리지용 실리콘 상에 다른 박리재를 적층함으로써, 양면에 박리재가 적층된 양면 재박리성 수지 시트가 얻어진다.
박리지용 실리콘을 박리재의 박리면에 도공하는 방법으로는 공지된 방법을 사용할 수 있고, 구체적으로는, 예를 들어 스프레이 코팅법, 다이 코팅법, 스핀 코팅법, 딥 코팅법, 롤 코팅법, 바 코팅법, 스크린 인쇄법, 그라비아 코팅법 등을 들 수 있다. 이들 도공 방법은, 박리지용 실리콘의 종류에 따라 적절히 선택할 수 있지만, 박리재가 롤상인 경우에는, 다이 코팅법, 롤 코팅법, 그라비아 코팅법이 바람직하다.
박리지용 실리콘이 무용제형인 경우, 그 도공량은 1g/㎡ ∼ 100g/㎡ 인 것이 바람직하다.
박리재로는, PET 필름, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 표면에 이형제를 도포한 것을 들 수 있다. 또한, 경화 후의 박리지용 실리콘 상에 적층시키는 박 리재로는, 표면에 이형제가 도포되어 있지 않은 PET 필름, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등을 사용해도 된다.
부가 반응형 실리콘의 경우에는, 상기한 어떠한 방법에 의해, 주제 및 가교제를 함유하는 박리지용 실리콘과 촉매의 혼합물을 박리재의 박리면에 도공한 후에 가열 경화시킨다. 가열 경화 조건은, 촉매의 배합량에 따라서도 상이한데, 예를 들어 박리지용 실리콘 100 질량부에 대하여 백금계 촉매를 2 질량부 배합한 경우, 대기 중에서 50℃ ∼ 250℃, 바람직하게는 80℃ ∼ 200℃ 에서 5 ∼ 60 분간, 바람직하게는 10 ∼ 30 분간 가열 경화시킨다. 또한 가열 온도는, 박리재의 재질에 따라, 상기 온도 범위로부터 원하는 온도를 적절히 선택한다.
저실리콘 이행성을 갖는 실리콘 수지 시트로 하기 위해서는, 실리콘 수지 시트 중에 미반응 실리콘 성분이 남지 않도록, 경화 반응을 가능한 한 진행시키는 것이 바람직하다. 상기한 조건으로 가열 경화시키면, 실리콘 수지 시트 중에 미반응 실리콘 성분이 남지 않게 할 수 있다. 상기한 조건과 비교하여, 가열 시간이 지나치게 길거나 가열 온도가 지나치게 높은 경우에는, 실리콘 수지의 산화 분해가 동시에 일어나고, 저분자량의 실리콘 성분이 생성되기 때문에, 실리콘 이행성이 높아진다.
실리콘 수지 시트 중에 미반응 실리콘 성분이 남지 않도록 경화 반응을 가능한 한 진행시키는 것은, 가열 처리 후의 박리성을 양호하게 하기 위해서도 바람직하다.
유리 기판과 보호 유리판 사이에 적층되는 양면 재박리성 수지 시트의 형상 은, 보호 유리 부착 유리 기판을 사용하여 표시 장치의 제조 공정을 실시하였을 때에, 유리 기판이 보호 유리판으로부터 어긋나는 경우가 없는 한 특별히 한정되지 않는다. 따라서, 유리 기판 또는 보호 유리판의 표면 전체를 덮도록 수지 시트가 적층되어 있을 필요는 전혀 없고, 유리 기판 또는 보호 유리판의 표면의 일부를 덮도록 수지 시트가 적층되어 있어도 된다. 또한, 유리 기판 또는 보호 유리판의 표면의 일부를 덮도록 수지 시트를 적층시키는 경우, 그 수지 시트끼리가 서로 중첩되지 않는 한, 복수의 그 수지 시트를 유리 기판과 보호 유리판 사이에 적층시켜도 된다. 단, 유리 기판 및 보호 유리판의 표면의 랜덤한 위치에 수지 시트가 적층되어 있으면, 유리 기판 및 보호 유리판의 밀착성이 열등한 경우가 있다.
상기 순서로 얻어진 양면에 박리재가 적층된 양면 재박리성 수지 시트로부터 박리재를 제거하고, 유리 기판 및 보호 유리판의 표면에 흡착 적층시킨다. 보다 구체적으로는, 보호 유리판과 유리 기판의 이면이 수지 시트를 개재하여 대향하도록 양자를 적층시킨다. 더욱 구체적으로는, 도 1 의 (a) ∼ 도 1 의 (d) 를 사용하여 설명한 바와 같이, 양면에 박리재가 적층된 양면 재박리성 수지 시트의 일방의 면으로부터 박리재를 제거하고, 유리 기판 또는 보호 유리판 중 일방의 표면에 흡착 적층시킨 후, 수지 시트의 타방의 면으로부터 박리재를 제거하고, 유리 기판 또는 보호 유리판 중 타방의 표면에 흡착 적층시킨다. 단, 양면 재박리성 수지 시트는 유리 기판의 이면에 적층시킨다. 여기서, 양면 재박리성 수지 시트를 흡착 적층시킨 유리 기판 또는 보호 유리판에, 보호 유리판 또는 유리 기판을 적층시키는 순서는 공지된 방법을 사용하여 실시할 수 있다. 예를 들어 상압 환경하에서, 그 수지 시트의 타방의 면에 보호 유리판 또는 유리 기판을 적층시킨 후, 롤이나 프레스를 사용하여 적층체를 압착시켜도 된다. 롤이나 프레스로 압착함으로써 적층체가 보다 밀착된다. 즉, 그 수지 시트와 보호 유리판이 보다 밀착되고, 그 수지 시트와 유리 기판이 보다 밀착된다. 또한, 롤 또는 프레스에 의한 압착에 의해, 그 수지 시트 중에 혼입되어 있는 기포가 용이하게 제거된다. 단, 기포 혼입의 억제나 양호한 밀착 확보의 관점에서 진공 라미네이트법, 진공 프레스법의 채용이 바람직하다. 진공하에서 적층함으로써, 미소한 기포가 잔존한 경우에도 가열에 의해 기포가 성장하는 경우가 없어, 유리 기판의 볼록 형상 결함으로 잘 이어지지 않는다는 이점도 있다.
또한, 양면의 박리재를 박리한 후, 유리 기판 및 보호 유리판과 동시에 흡착 적층할 수도 있다.
유리 기판과 보호 유리판을 수지 시트를 개재하여 적층할 때에는, 유리 기판과 보호 유리판의 표면을 충분히 세정하여, 클린도가 높은 환경에서 적층할 필요가 있다.
극미소한 이물질이면, 유연성을 갖는 수지 시트가 변형됨으로써 그 수지 시트에 흡수되어 적층 후의 보호 유리 부착 유리 기판의 밀착성에 영향을 주는 경우는 없지만, 그 양이나 크기에 따라서는 보호 유리 부착 유리 기판의 밀착성 불량으로 이어질 가능성이 있기 때문이다.
다음으로 본 발명의 표시 장치의 제조 방법에 대하여 설명한다.
본 발명의 표시 장치의 제조 방법에서는, 상기 순서로 본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판을 형성한 후, 보호 유리 부착 유리 기판의 유리 기판 상에 표시 장치를 제조하기 위한 소정의 처리를 실시한다. 본 명세서에 있어서, 표시 장치를 제조하기 위한 소정의 처리라고 한 경우, LCD 또는 OLED 와 같은 표시 장치를 제조할 때에, 제조 공정에서 실시되는 각종 처리를 널리 포함한다.
여기서 실시되는 처리의 구체예로는, LCD 를 제조하는 경우를 예로 들면, 유리 기판 상에 어레이를 형성하는 공정, 상기 유리 기판과는 상이한 유리 기판 상에 컬러 필터를 형성하는 공정, 어레이가 형성된 유리 기판과, 컬러 필터가 형성된 유리 기판을 부착시키는 공정 (어레이·컬러 필터 부착 공정) 등의 각종 공정을 포함한다. 이들 공정에서 실시되는 처리로서 구체적으로는 예를 들어 순수 세정, 건조, 성막, 레지스트 도포, 노광, 현상, 에칭 및 레지스트 제거 등을 들 수 있다.
또한 어레이·컬러 필터 부착 공정을 실시한 후에 행해지는 공정으로는, 화학적 에칭 처리에 의한 유리 기판의 판두께를 얇게 하는 공정, 액정 주입 공정 및 그 처리의 실시 후에 행해지는 주입구의 봉지 공정이 있고, 이들 공정에서 실시되는 처리도 상기 각종 처리 중에 포함된다.
단, 이들 처리를 모두 보호 유리 부착 유리 기판의 상태에서 실시할 필요는 없다. 예를 들어 취급성 면에서는, 어레이·컬러 필터 부착 공정까지를 보호 유리 부착 유리 기판의 상태에서 실시한 후, 유리 기판과 이면 보호 유리판을 분리하고 나서 액정 주입 처리를 실시하는 것이 바람직하다. 또한, 어레이·컬러 필터 부착 공정을 실시한 후에 화학적 에칭 처리를 실시하는 경우에는, 화학적 에칭 처리를 실시하기 전에 유리 기판과 보호 유리판을 분리해야 한다.
또한, 본 발명의 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 어레이를 형성하는 유리 기판 및 컬러 필터를 형성하는 유리 기판의 양방이 보호 유리 부착 유리 기판이 아니어도 된다. 예를 들어 어레이가 형성된 보호 유리 부착 유리 기판과, 컬러 필터가 형성된 통상적인 유리 기판을 부착시켜도 되고, 또는 어레이가 형성된 통상적인 유리 기판과, 컬러 필터가 형성된 보호 유리 부착 유리 기판을 부착시켜도 된다.
또한, OLED 를 제조하는 경우를 예로 들면, 보호 유리 부착 유리 기판 상에 유기 EL 구조체를 형성하기 위한 공정으로서, 투명 전극을 형성하는 공정, 홀 주입층·홀 수송층·발광층·전자 수송층 등을 증착하는 공정, 봉지 공정 등의 각종 공정을 포함하고, 이들 공정에서 실시되는 처리로서, 구체적으로는 예를 들어 성막 처리, 증착 처리, 봉지판의 접착 처리 등을 들 수 있다.
상기 소정의 처리를 실시한 후, 유리 기판과 보호 유리판을 분리한다. 분리는 손 박리에 의해 실시할 수 있지만, 면도날 등으로 끝부에 박리 시작부를 만들거나, 적층 계면으로 에어를 주입함으로써, 보다 용이하게 박리할 수 있게 된다. 박리 후에는, 보호 유리판 표면에 양면 재박리성 수지 시트가 흡착된 상태여도 된다. 이 경우에는, 양면 재박리성 수지 시트 표면에 흠집 등의 결함이 없으면, 그대로 다시 다른 유리 기판과의 적층에 사용할 수도 있다. 단, 다음에 사용할 때까지 시간이 걸리는 경우, 그 수지 시트 표면에 먼지 등의 이물질이 부착되는 것을 방지하기 위해서, 그 수지 시트 표면에는 박리재를 적층시켜 두는 것이 바람직하다.
한편, 양면 재박리성 수지 시트 표면에 흠집 등의 결함이 발생한 경우, 보호 유리판 표면으로부터 양면 재박리성 수지 시트를 박리하고 세정한 후, 새로운 양면 재박리성 수지 시트를 적층하여, 다시 유리 기판과의 적층에 사용할 수 있다. 보호 유리판으로부터의 양면 재박리성 수지 시트의 박리 자체는 매우 용이하다.
유리 기판과 보호 유리판을 분리한 후, 필요한 원하는 공정을 거쳐, 유리 기판을 갖는 표시 장치가 얻어진다. 여기서 실시되는 공정으로는, LCD 의 경우에는, 예를 들어 화학적 에칭 처리에 의해 유리 기판의 판두께를 얇게 하는 공정, 원하는 크기의 셀로 분단하는 공정, 액정을 주입하고 그 후 주입구를 봉지하는 공정, 편광판을 부착하는 공정, 모듈 형성 공정 등을 들 수 있다. OLED 의 경우에는, 이들 공정에 추가하여, 유기 EL 구조체가 형성된 유리 기판과 대향 기판을 조립하는 공정이 포함된다.
또한 본 발명은, 유리 기판과 보호 유리판의 적층에 사용되는 보호 유리 부착 유리 기판용의 양면 재박리성 수지 시트도 제공한다.
이하 본 발명의 실시예에 의해 더욱 상세히 설명하지만, 이것들에 한정하여 해석되는 것은 아니다.
(실시예 1)
무용제 부가 반응형 박리지용 실리콘 (신에츠 실리콘사 제조 KNS-320A, 점도 : 400cs) 100 질량부와 백금계 촉매 (신에츠 실리콘사 제조 CAT-PL-56) 2 질량부의 혼합물을 PET 박리 필름에 두께 25㎛ 로 되도록 도공을 실시하고, 100℃ 에서 30 분간 대기 중에서 가열 경화시킨 후 PET 박리 필름 (두께 50㎛) 을 부착시켜, 2 장의 박리재 (PET 박리 필름) 사이에 끼운 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 를 얻는다.
세로 400㎜, 가로 300㎜, 판두께 0.3㎜, 선팽창 계수 38×10-7/℃ 의 보호 유리판 (아사히 가라스사 제조 AN100) 을 순수 세정, UV 세정 등으로 청정화한 후, 상기 2 장의 박리재 사이에 끼운 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 의 편면의 박리재를 박리하고, 상기 보호 유리판 표면에 부착시킨다.
세로 400㎜, 가로 300㎜, 판두께 0.4㎜, 선팽창 계수 38×10-7/℃ 의 유리 기판 (아사히 가라스사 제조 AN100) 의 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 를 부착시키는 측의 면을 순수 세정, UV 세정 등으로 청정화한 후, 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 로부터 박리재를 박리하고, 보호 유리판의 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 부착면과 유리 기판을 실온하에서 진공 프레스로 부착시켜, 본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판 (보호 유리 부착 유리 기판 (1)) 을 얻는다. 도 2 는, 이와 같이 하여 얻어지는 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 의 단면 모식도이다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 은, 유리 기판 (11) 과 보호 유리판 (12) 이 양면 재박리성 수지 시트 (실리콘 수지 시트) (13) 를 개재하여 적층된다.
보호 유리 부착 유리 기판 (1) 에 있어서, 유리 기판 (11) 은, 양면 재박리성 수지 시트 (13) 와 기포를 발생하지 않고 밀착되어 있어, 볼록 형상 결점도 없고 평활성도 양호하다.
형성된 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 을 하기와 같이 평가한다.
(1) 박리 시험
보호 유리 부착 유리 기판 (1) 을 유리 기판 (11) 이 상측으로 되도록 설치하고, 유리 기판 (11) 을 지그를 사용하여 고정시킨다. 이 상태에서 보호 유리판 (12) 을 손의 힘으로 하방으로 떼어낸 결과, 용이하게 박리할 수 있다. 또한, 300℃ 1 시간 대기 중에서 가열 처리한 후의 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 에 대해서도 박리 시험을 실시하면, 보호 유리판 (12) 을 용이하게 박리할 수 있고, 내열성도 양호하다. 또한, 가열 처리 유무의 어떠한 경우에 있어서도, 상기 순서로 유리 기판 (11) 으로부터 박리한 보호 유리판 (12) 으로부터는 양면 재박리성 수지 시트 (실리콘 수지 시트) (13) 를 용이하게 박리할 수 있다.
(2) 박리 시험 (1) (가열 전)
도 3 과 같은 지그를 사용하여 시험을 실시한다. 또한, 도면의 여건상, 지그의 가로 길이는 실제보다 작게 되어 있다.
보호 유리 부착 유리 기판 (1) 을 세로 50㎜ × 가로 50㎜ 의 크기로 절단하고, 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 의 유리 기판 (11) 및 보호 유리판 (12) 의 표면에, 세로 50㎜ × 가로 50㎜ × 두께 5㎜ 의 폴리카보네이트제 부재 (20, 21) 를 에폭시 2 액 유리용 접착제로 각각 부착시킨다. 또한, 양방의 부착된 폴리카보네이트제 부재 (20, 21) 의 표면에, 세로 50㎜ × 가로 50㎜ × 두께 5㎜ 의 폴리카보네이트제 부재 (25, 26) 를 각각 추가로 부착시킨다. 폴리카보네이트제 부재 (25, 26) 를 부착시킨 장소는, 도 3 과 같이, 가로 방향은 폴리카보네이트제 부 재 (20, 21) 의 가장 왼쪽끝의 위치로, 세로 방향은 폴리카보네이트제 부재 (20, 21) 의 변과 평행한 위치로 한다.
폴리카보네이트제 부재 (20, 21 및 25, 26) 를 부착시킨 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 을 보호 유리판 (12) 이 하측으로 되도록 설치한다. 유리 기판 (11) 측의 폴리카보네이트제 부재 (25) 를 고정시키고, 보호 유리판 (12) 측의 폴리카보네이트제 부재 (26) 를 수직 하방으로 300㎜/min 의 속도로 떼어내면, 13.8㎏중의 하중 (0.55㎏중/㎠) 이 가해질 때에 보호 유리판 (12) 이 박리된다. 보호 유리판 (12) 이나 유리 기판 (11) 에 균열 등은 발생하지 않는다.
(3) 박리 시험 (1) (가열 후)
(2) 의 박리 시험 (1) (가열 전) 에 있어서의 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 을 사용하는 대신에, 적층 후에 300℃ 1 시간 대기 중에서 가열 처리 후의 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 을 사용하는 것 이외에는 (2) 의 박리 시험 (1) (가열 전) 과 동일하게 하여, (3) 의 박리 시험 (1) (가열 후) 을 실시한다. 45㎏중의 하중 (1.8㎏중/㎠) 이 가해질 때에 보호 유리판 (12) 이 박리된다. 보호 유리판 (12) 이나 유리 기판 (11) 에는 균열 등은 발생하지 않는다.
또한 이 가열 처리의 조건은, 액정을 형성하는 경우에 실시되는 가열 처리와 거의 동일하다.
(4) 전단 강도 시험
도 4 와 같은 지그를 사용하여 시험을 실시한다. 또한, 도면의 여건상, 지그의 가로 길이는 실제보다 작게 되어 있다.
보호 유리 부착 유리 기판 (1) 을 세로 25㎜ × 가로 25㎜ 의 크기로 절단하고, 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 의 유리 기판 (11) 및 보호 유리판 (12) 의 표면에, 세로 25㎜ × 가로 50㎜ × 두께 3㎜ 의 폴리카보네이트제 부재 (30, 31) 를 에폭시 2 액 유리용 접착제로 부착시킨다. 부착시키는 장소의 면적은, 세로 25㎜ × 가로 25㎜ 로 한다. 또한 부착시키는 장소는, 보호 유리판 (12) 과 폴리카보네이트제 부재 (31) 의 오른쪽 절반 부분으로 하고, 유리 기판 (11) 과 폴리카보네이트제 부재 (30) 의 왼쪽 절반 부분으로 한다.
유리 기판 (11) 에 부착시킨 폴리카보네이트제 부재 (30) 를 고정시키고, 보호 유리판 (12) 에 부착시키는 폴리카보네이트제 부재 (31) 를 인장 속도 0.5㎜/min 로 도 3 에 있어서의 가로 방향 (폴리카보네이트제 부재 (30, 31) 의 길이 방향) 으로 잡아 당긴다. 13㎏중 (2.1㎏중/㎠) 의 하중이 가해질 때에 보호 유리판 (12) 이 박리된다. 보호 유리판 (12) 이나 유리 기판 (11) 에는 균열 등은 발생하지 않는다. 또한, 적층 후에 300℃ 1 시간 대기 중에서 가열 처리 후의 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 에 대해서도 전단 시험을 실시하는데, 동일한 값이다.
(5) 잔류 접착률 측정
상기 순서로 형성한 양면 재박리성 수지 시트 (실리콘 수지 시트) 의 일방의 표면으로부터 박리재를 박리하고, 15㎜ 폭의 표준 점착 테이프 (셀로테이프 (등록 상표) CT405A-15 (니치반사 제조)) 를 사람 손의 힘으로 압착하고, 70℃ 에서 20 시간 대기 중에서 가열한다. 20 시간 경과 후, 표준 점착 테이프로부터 실리콘 수지 시트를 박리한다. 박리된 표준 점착 테이프를 청정한 유리 기판 (예를 들어 AN100 (아사히 가라스사 제조)) 표면에 부착 후, 180°박리 강도 (300㎜/min) 를 측정한다 (박리 강도 (A)).
상기와 동일한 표준 점착 테이프를 청정한 유리 기판 (예를 들어 AN100 (아사히 가라스사 제조)) 표면에 사람 손의 힘으로 압착 후, 상온 대기 중에서 20 시간 방치한다. 20 시간 경과 후, 표준 점착 테이프를 유리 기판 표면으로부터 박리한다. 박리된 표준 점착 테이프를 유리 기판 (예를 들어 AN100 (아사히 가라스사 제조) 표면에 부착 후, 180°박리 강도 (300㎜/min) 를 측정한다 (박리 강도 (B)).
하기 식에 의해 잔류 접착률을 구한다.
잔류 접착률 (％) = 박리 강도 (A)/박리 강도 (B) × 100
실시예 1 의 양면 재박리성 수지 시트의 잔류 접착률은 106％ 이다.
(실시예 2)
보호 유리판의 판두께가 0.4㎜ 인 것을 제외하고, 실시예 1 과 동일한 순서를 실시하여 본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판 (보호 유리 부착 유리 기판 (2)) 을 얻는다.
보호 유리 부착 유리 기판 (2) 에 있어서, 유리 기판은, 양면 재박리성 수지 시트 (실리콘 수지 시트) 와 기포를 발생하지 않고 밀착되어 있어, 볼록 형상 결점도 없고 평활성도 양호하다.
보호 유리 부착 유리 기판 (2) 에 대하여 박리 시험을 실시하면, 보호 유리 판을 용이하게 박리할 수 있다. 또한, 300℃ 1 시간 대기 중에서 가열 처리 후의 보호 유리 부착 유리 기판 (2) 에 대해서도 박리 시험을 실시하면, 보호 유리판을 용이하게 박리할 수 있고, 내열성도 양호하다. 또한, 가열 처리 유무의 어떠한 경우에 있어서도, 박리 후의 보호 유리판으로부터는 양면 재박리성 수지 시트 (실리콘 수지 시트) 를 용이하게 박리할 수 있다.
또한, 실시예 1 과 동일하게 보호 유리 부착 유리 기판 (2) 에 대해서도 박리 시험 (1) (가열 전), 박리 시험 (1) (가열 후), 전단 강도 시험을 실시하면, 각각 13.8㎏중의 하중 (0.55㎏중/㎠), 45㎏중의 하중 (1.8㎏중/㎠) 및 13㎏중의 하중 (2.1㎏중/㎠) 이 가해질 때에 보호 유리판이 박리된다.
실시예 1 과 동일하게, 상기 순서로 형성된 양면 재박리성 수지 시트 (실리콘 수지 시트) 의 잔류 접착률을 측정하면, 잔류 접착률은 106％ 이다.
(실시예 3)
양 말단에 비닐기를 갖는 직사슬형 폴리오르가노실록산 (아라카와 화학 공업사 제조, 상품명「8500」) 100 질량부와, 분자 내에 하이드로실릴기를 갖는 메틸하이드로겐폴리실록산 (아라카와 화학 공업사 제조, 상품명「12031」) 5 질량부와. 및 백금계 촉매 (아라카와 화학 공업사 제조, 상품명「CAT12070」) 5 질량부의 혼합물을 PET 박리 필름 (두께 50㎛) 에 두께 30㎛ 로 되도록 도공을 실시하고, 100℃ 에서 30 분간 대기 중에서 가열 경화시킨 후 PET 박리 필름을 부착시켜, 2 장의 박리재 (PET 박리 필름) 사이에 끼운 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 를 얻는다.
세로 400㎜, 가로 300㎜, 판두께 0.3㎜, 선팽창 계수 38×10-7/℃ 의 보호 유리판 (아사히 가라스사 제조 AN100) 을 순수 세정, UV 세정 등으로 청정화한 후, 상기 2 장의 박리재 사이에 끼운 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 의 편면의 박리재를 박리하고, 상기 보호 유리판 표면에 부착시킨다.
세로 400㎜, 가로 300㎜, 판두께 0.4㎜, 선팽창 계수 38×10-7/℃ 의 유리 기판 (아사히 가라스사 제조 AN100) 의 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 를 부착시키는 측의 면을 순수 세정, UV 세정 등으로 청정화한 후, 보호 유리판의 실리콘 수지 시트 부착면과 유리 기판을 실온하에서 진공 프레스로 부착시켜, 본 발명의 보호 유리 부착 유리 기판 (보호 유리 부착 유리 기판 (3)) 을 얻는다. 보호 유리 부착 유리 기판 (3) 에 있어서, 유리 기판은, 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 와 기포를 발생하지 않고 밀착되어 있어, 볼록 형상 결점도 없고 평활성도 양호하다.
보호 유리 부착 유리 기판 (3) 에 대하여 박리 시험을 실시하면, 보호 유리판을 용이하게 박리할 수 있다. 또한, 300℃ 1 시간 대기 중에서 가열 처리 후의 보호 유리 부착 유리 기판 (3) 에 대해서도 박리 시험을 실시하는데, 보호 유리판을 용이하게 박리할 수 있고, 내열성도 양호하다. 또한, 가열 처리 유무의 어떠한 경우에 있어서도, 박리된 보호 유리판으로부터는 양면 재박리성 수지 시트 (실리콘 수지 시트) 를 용이하게 박리할 수 있다.
또한, 실시예 1 과 동일하게 보호 유리 부착 유리 기판 (3) 에 대해서도 박 리 시험 (1) (가열 전), 박리 시험 (1) (가열 후), 전단 강도 시험을 실시하면, 각각 12㎏중의 하중 (0.47㎏중/㎠), 12㎏중의 하중 (0.47㎏중/㎠) 및 12㎏중의 하중 (1.9㎏중/㎠) 이 가해질 때에 보호 유리판이 박리된다.
실시예 1 과 동일하게, 상기 순서로 형성된 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 의 잔류 접착률을 측정하면, 잔류 접착률은 105％ 이다.
(실시예 4)
보호 유리판의 판두께 0.4㎜ 로 하고, 유리 기판의 판두께를 0.7㎜ 로 하는 것 이외에는 실시예 3 과 동일한 순서를 실시하여 보호 유리 부착 유리 기판 (보호 유리 부착 유리 기판 (4)) 을 얻는다.
보호 유리 부착 유리 기판 (4) 에 있어서, 유리 기판은, 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 와 기포를 발생하지 않고 밀착되어 있어, 볼록 형상 결점도 없고 평활성도 양호하다.
보호 유리 부착 유리 기판 (4) 에 대하여 박리 시험을 실시하면, 보호 유리판을 용이하게 박리할 수 있다. 또한, 300℃ 1 시간 대기 중에서 가열 처리한 후의 보호 유리 부착 유리 기판 (4) 에 대해서도 박리 시험을 실시하는데, 보호 유리판을 용이하게 박리할 수 있고, 내열성도 양호하다. 또한, 가열 처리 유무의 어떠한 경우에 있어서도, 박리된 보호 유리판으로부터는 양면 재박리성 수지 시트 (실리콘 수지 시트) 를 용이하게 박리할 수 있다.
또한, 실시예 1 과 동일하게 보호 유리 부착 유리 기판 (4) 에 대해서도 박리 시험 (1) (가열 전), 박리 시험 (1) (가열 후), 전단 강도 시험을 실시하면, 각 각 12.0㎏중의 하중 (0.47㎏중/㎠), 12㎏중의 하중 (0.47㎏중/㎠) 및 12㎏중의 하중 (1.9㎏중/㎠) 이 가해질 때에 보호 유리판이 박리된다.
실시예 1 과 동일하게, 상기 순서로 형성된 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 의 잔류 접착률을 측정하면, 잔류 접착률은 105％ 이다.
(실시예 5)
본 실시예에서는, 실시예 1 에서 얻은 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 을 사용하여 LCD 를 제조한다. 2 장의 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 을 준비하고, 1 장에는 어레이 형성 공정을 실시하여 유리 기판의 표면에 어레이를 형성한다. 나머지 1 장에는 컬러 필터 형성 공정을 실시하여 유리 기판의 표면에 컬러 필터를 형성한다. 어레이가 형성된 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 과, 컬러 필터가 형성된 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 을 부착시킨 후, 면도날로 끝부에 박리 시작부를 만들어 각각 보호 유리판을 분리한다. 분리 후의 유리 기판 표면에는 강도 저하로 이어질 흠집은 보이지 않는다. 계속해서, 유리 기판 부착체를 절단하고, 세로 51㎜ × 가로 38㎜ 의 28 개의 셀로 분단한 후, 액정 주입 공정 및 주입구의 봉지 공정을 실시하여 액정 셀을 형성한다. 형성된 액정 셀에 편광판을 부착하는 공정을 실시하고, 계속해서 모듈 형성 공정을 실시하여 LCD 를 얻는다. 이렇게 하여 얻어지는 LCD 는 특성상 문제는 발생하지 않는다.
한편 박리된 보호 유리판으로부터는 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 를 용이하게 박리할 수 있고, 세정 후, 새로운 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 를 부착함으로써, 다시 보호 유리판을 보호 유리 부착 유리 기판 의 제조에 제공할 수 있다.
(실시예 6)
본 실시예에서는, 실시예 3 에서 얻은 보호 유리 부착 유리 기판 (3) 을 사용하여 LCD 를 제조한다. 2 장의 보호 유리 부착 유리 기판 (3) 을 준비하고, 1 장에는 어레이 형성 공정을 실시하여 유리 기판의 표면에 어레이를 형성한다. 나머지 1 장에는 컬러 필터 형성 공정을 실시하여 유리 기판의 표면에 컬러 필터를 형성한다. 어레이가 형성된 보호 유리 부착 유리 기판 (3) 과, 컬러 필터가 형성된 보호 유리 부착 유리 기판 (3) 을 부착시킨 후, 면도날로 끝부에 박리 시작부를 만들어 각각 보호 유리판을 분리한다. 분리 후의 유리 기판 표면에는 강도 저하로 이어질 흠집은 보이지 않는다. 계속해서, 화학적 에칭 처리에 의해 각각의 유리 기판의 두께를 0.3㎜ 로 한다. 화학적 에칭 처리 후의 유리 기판 표면에는 광학적으로 문제가 될 에칭 피트의 발생은 보이지 않는다. 그 후, 유리 기판 부착체를 절단하여 세로 51㎜ × 가로 38㎜ 의 28 개의 셀로 분단한 후, 액정 주입 공정 및 주입구의 봉지 공정을 실시하여 액정 셀을 형성한다. 형성된 액정 셀에 편광판을 부착하는 공정을 실시하고, 계속해서 모듈 형성 공정을 실시하여 LCD 를 얻는다. 이렇게 하여 얻어지는 LCD 는 특성상 문제는 발생하지 않는다.
한편 박리된 보호 유리판으로부터는 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 를 용이하게 박리할 수 있고, 세정 후, 새로운 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 를 부착함으로써, 다시 보호 유리판을 보호 유리 부착 유리 기판의 제조 에 제공할 수 있었다.
(실시예 7)
본 실시예에서는, 실시예 2 에서 얻어지는 보호 유리 부착 유리 기판 (2) 과 두께 0.7㎜ 의 무알칼리 유리 기판을 사용하여 LCD 를 제조한다. 보호 유리 부착 유리 기판 (2) 을 준비하고, 유리 필터 형성 공정을 실시하여 보호 유리 부착 유리 기판 (2) 의 표면에 컬러 필터를 형성한다. 한편 두께 0.7㎜ 의 무알칼리 유리 기판 (아사히 가라스사 제조 AN-100) 에 어레이 형성 공정을 실시하여 두께 0.7㎜ 의 무알칼리 유리 기판의 표면에 어레이를 형성한다.
컬러 필터가 형성된 보호 유리 부착 유리 기판 (2) 과, 어레이가 형성된 두께 0.7㎜ 의 무알칼리 유리 기판을 부착시킨 후, 면도날로 끝부에 박리 시작부를 만들어 보호 유리 부착 유리 기판 (1) 으로부터 보호 유리판을 분리한다. 분리 후의 유리 기판 표면에는 강도 저하로 이어질 흠집은 보이지 않는다. 계속해서, 유리 기판-무알칼리 유리 기판 부착체를 세로 51㎜ × 가로 38㎜ 의 28 개의 셀로 레이저 커터 또는 스크라이브-브레이크법을 이용하여 분단한다. 그 후, 액정 주입 공정 및 주입구의 봉지 공정을 실시하여 액정 셀을 형성한다. 형성된 액정 셀에 편광판을 부착하는 공정을 실시하고, 계속해서 모듈 형성 공정을 실시하여 LCD 를 얻는다. 이렇게 하여 얻어지는 LCD 는 특성상 문제는 발생하지 않는다.
한편 박리된 보호 유리판으로부터는 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 를 용이하게 박리할 수 있고, 세정 후, 새로운 실리콘 수지 시트 (양면 재박 리성 수지 시트) 를 부착함으로써, 다시 보호 유리판을 보호 유리 부착 유리 기판의 제조에 제공할 수 있었다.
(실시예 8)
본 실시예에서는, 실시예 3 에서 얻은 보호 유리 부착 유리 기판 (3) 을 사용하여 OLED 를 제조한다. 투명 전극을 형성하는 공정, 보조 전극을 형성하는 공정, 홀 주입층·홀 수송층·발광층·전자 수송층 등을 증착하는 공정, 이들을 봉지하는 공정을 실시하여, 보호 유리 부착 유리 기판 (3) 의 유리 기판 상에 유기 EL 구조체를 형성한다. 다음으로, 보호 유리판을 분리한다. 분리 후의 유리 기판 표면에는 강도 저하로 이어질 흠집은 보이지 않는다. 계속해서, 기판 상에 유기 EL 구조체를 형성한 유리 기판을 레이저 커터 또는 스크라이브-브레이크법을 이용하여 절단하여 세로 41㎜ × 가로 30㎜ 의 40 개의 셀로 분단한 후, 유기 EL 구조체가 형성된 유리 기판과 대향 기판을 조립하고, 모듈 형성 공정을 실시하여 OLED 를 제작한다. 이렇게 하여 얻어지는 OLED 는 특성상 문제는 발생하지 않는다.
한편 박리된 보호 유리판으로부터는 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 를 용이하게 박리할 수 있고, 세정 후, 새로운 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 를 부착함으로써, 다시 보호 유리판을 보호 유리 부착 유리 기판의 제조에 제공할 수 있었다.
(실시예 9)
보호 유리판의 판두께 0.6㎜ 로 하고, 유리 기판의 판두께를 0.1㎜ 로 한 것 이외에는 실시예 3 과 동일한 순서를 실시하여 보호 유리 부착 유리 기판 (보호 유리 부착 유리 기판 (5)) 을 얻는다.
보호 유리 부착 유리 기판 (5) 에 있어서, 유리 기판은, 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 와 기포를 발생하지 않고 밀착되어 있어, 볼록 형상 결점도 없고 평활성도 양호하다.
보호 유리 부착 유리 기판 (5) 에 대하여 박리 시험을 실시하면, 보호 유리판을 용이하게 박리할 수 있다. 또한, 300℃ 1 시간 대기 중에서 가열 처리한 후의 보호 유리 부착 유리 기판 (5) 에 대해서도 박리 시험을 실시하면, 보호 유리판을 용이하게 박리할 수 있고, 내열성도 양호하다. 또한, 가열 처리 유무의 어떠한 경우에 있어서도, 박리 후의 보호 유리판으로부터는 양면 재박리성 수지 시트 (실리콘 수지 시트) 를 용이하게 박리할 수 있다.
(실시예 10)
본 실시예에서는, 실시예 9 에서 얻은 보호 유리 부착 유리 기판 (5) 을 사용하여 LCD 를 제조한다. 2 장의 보호 유리 부착 유리 기판 (5) 을 준비하고, 1 장에는 어레이 형성 공정을 실시하여 유리 기판의 표면에 어레이를 형성한다. 나머지 1 장에는 컬러 필터 형성 공정을 실시하여 유리 기판의 표면에 컬러 필터를 형성한다. 어레이가 형성된 보호 유리 부착 유리 기판 (5) 과, 컬러 필터가 형성된 보호 유리 부착 유리 기판 (5) 을 부착시킨 후, 면도날로 끝부에 박리 시작부를 만들어 각각 보호 유리판을 분리한다. 분리 후의 유리 기판 표면에는 강도 저하로 이어질 흠집은 보이지 않는다. 계속해서, 유리 기판 부착체를 절단 하여, 세로 51㎜ × 가로 38㎜ 의 28 개의 셀로 분단한 후, 액정 주입 공정 및 주입구의 봉지 공정을 실시하여 액정 셀을 형성한다. 형성된 액정 셀에 편광판을 부착하는 공정을 실시하고, 계속해서 모듈 형성 공정을 실시하여 LCD 를 얻는다. 이렇게 하여 얻어지는 LCD 는 특성상 문제는 발생하지 않는다.
한편 박리된 보호 유리판으로부터는 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 를 용이하게 박리할 수 있고, 세정 후, 새로운 실리콘 수지 시트 (양면 재박리성 수지 시트) 를 부착함으로써, 다시 보호 유리판을 보호 유리 부착 유리 기판의 제조에 제공할 수 있었다.
(비교예 1)
세로 400㎜, 가로 300㎜, 판두께 0.3㎜, 선팽창 계수 38×10-7/℃ 의 보호 유리판 (아사히 가라스사 제조 AN100) 을 순수 세정, UV 세정 등으로 청정화한 후, 상기 보호 유리판 상에, 무용제 부가 반응형 박리지용 실리콘 (신에츠 실리콘사 제조 KNS-320A, 점도 : 400cs) 100 질량부와 백금계 촉매 (신에츠 실리콘사 제조 CAT-PL-56) 2 질량부의 혼합물을 스크린 인쇄기로 도공하고 (도공량 30g/㎡), 100℃ 에서 30 분간 대기 중에서 가열 경화시켜 막두께 20㎛ 의 실리콘 수지층을 얻는다.
세로 400㎜, 가로 300㎜, 판두께 0.4㎜, 선팽창 계수 38×10-7/℃ 의 유리 기판 (아사히 가라스사 제조 AN100) 의 실리콘 수지층을 부착시키는 측의 면을 순수 세정, UV 세정 등으로 청정화한 후, 보호 유리판의 실리콘 수지층 형성면과 유 리 기판을 실온하에서 진공 프레스로 부착시켜, 보호 유리 부착 유리 기판 (보호 유리 부착 유리 기판 (6)) 을 얻는다.
보호 유리 부착 유리 기판 (1) 대신에, 보호 유리 부착 유리 기판 (6) 을 사용하는 것 이외에는, 실시예 5 와 동일한 순서를 실시하여 LCD 를 얻는다.
박리된 보호 유리판 표면에는, 실리콘 수지층이 강고하게 접착되어 있기 때문에, 용이하게는 실리콘 수지층을 박리할 수 없다.
본 발명에 의해 얻어진 보호 유리 부착 유리 기판은, 각종 표시 장치의 유리 기판으로서 사용할 수 있다.
한편, 2007년 3월 12일에 출원된 일본 특허출원 2007-061889호의 명세서, 특허 청구 범위, 도면 및 요약서의 전체 내용을 여기에 인용하여, 본 발명 명세서의 개시로서 도입한다.

Claims (24)

  1. 유리 기판과 보호 유리판을 적층시켜 이루어지는 보호 유리 부착 유리 기판으로서, 상기 유리 기판과 상기 보호 유리판이 양면 재박리성 수지 시트를 개재하여 적층되어 있고, 상기 양면 재박리성 수지 시트는 양면이 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트, 또는 양면이 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트로서, 박리지용 실리콘의 경화물로 이루어지는 실리콘 수지 시트이고, 상기 박리지용 실리콘의 경화물이, 양 말단 및/또는 측사슬 중에 비닐기를 갖는 직사슬형 폴리오르가노실록산과, 분자 내에 하이드로실릴기를 갖는 메틸하이드로겐폴리실록산의 가교 반응물인 것을 특징으로 하는 보호 유리 부착 유리 기판.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 박리지용 실리콘의 경화물로 이루어지는 실리콘 수지 시트가, 추가로 저실리콘 이행성을 갖는 보호 유리 부착 유리 기판.
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 박리지용 실리콘의 경화물은, 경화 전에 있어서, 상기 메틸하이드로겐폴리실록산이 갖는 하이드로실릴기와, 상기 직사슬형 폴리오르가노실록산이 갖는 비닐기의 몰비가 1.3/1 ∼ 0.7/1 인 보호 유리 부착 유리 기판.
  8. 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 유리 기판의 두께가 0.04㎜ 이상 1.0㎜ 미만이고, 상기 보호 유리판과 상기 양면 재박리성 수지 시트의 두께의 합계가 0.1㎜ 이상인 보호 유리 부착 유리 기판.
  9. 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 유리 기판의 선팽창 계수와, 상기 보호 유리판의 선팽창 계수의 차가 15×10-7/℃ 이하인 보호 유리 부착 유리 기판.
  10. 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치의 제조 방법으로서, 유리 기판과 보호 유리판을 양면 재박리성 수지 시트를 개재하여 적층시키는 공정과, 상기 유리 기판 상에 표시 장치를 제조하기 위한 소정의 처리를 실시하는 공정과, 상기 유리 기판과 상기 보호 유리판을 분리하는 공정을 포함하고,
    상기 양면 재박리성 수지 시트는 양면이 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트, 또는 양면이 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트로서, 박리지용 실리콘의 경화물로 이루어지는 실리콘 수지 시트이고, 상기 박리지용 실리콘의 경화물이, 양 말단 및/또는 측사슬 중에 비닐기를 갖는 직사슬형 폴리오르가노실록산과, 분자 내에 하이드로실릴기를 갖는 메틸하이드로겐폴리실록산의 가교 반응물인 것을 특징으로 하는 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 유리 기판과 상기 보호 유리판을 양면 재박리성 수지 시트를 개재하여 적층시키는 공정이, 진공 프레스 또는 진공 라미네이트를 사용하여 실시되는 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    상기 유리 기판과 상기 보호 유리판을 양면 재박리성 수지 시트를 개재하여 적층시키는 공정이, 양면에 박리재가 적층된 양면 재박리성 수지 시트의 일방의 면으로부터 박리재를 제거하고, 유리 기판 또는 보호 유리판 중 일방의 표면에 흡착 적층시킨 후, 상기 양면 재박리성 수지 시트의 타방의 면으로부터 박리재를 제거하 고, 유리 기판 또는 보호 유리판 중 타방의 표면에 흡착 적층시키는 것을 포함하는 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치의 제조 방법.
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 제 10 항에 있어서,
    상기 박리지용 실리콘의 경화물은, 경화 전에 있어서, 상기 메틸하이드로겐폴리실록산이 갖는 하이드로실릴기와, 상기 직사슬형 폴리오르가노실록산이 갖는 비닐기의 몰비가 1.3/1 ∼ 0.7/1 인 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제 10 항에 있어서,
    상기 양면에 박리재가 적층된 양면 재박리성 수지 시트가, 일방의 박리재의 박리면에 박리지용 실리콘을 도포하고 경화시킨 후, 상기 양면 재박리성 수지 시트의 면에 타방의 박리재를 적층함으로써 형성되는 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치의 제조 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 박리지용 실리콘을 50 ∼ 250℃ 의 온도에서 가열 경화시키는 보호 유리 부착 유리 기판을 사용한 표시 장치의 제조 방법.
  20. 유리 기판과 보호 유리판의 적층에 사용되는 양면 재박리성 수지 시트로서, 상기 양면 재박리성 수지 시트는 양면이 박리 용이성 및 비점착성을 갖는 실리콘 수지 시트, 또는 양면이 박리 용이성 및 미점착성을 갖는 실리콘 수지 시트로서, 박리지용 실리콘의 경화물로 이루어지는 실리콘 수지 시트이고, 상기 박리지용 실리콘의 경화물이, 양 말단 및/또는 측사슬 중에 비닐기를 갖는 직사슬형 폴리오르가노실록산과, 분자 내에 하이드로실릴기를 갖는 메틸하이드로겐폴리실록산의 가교 반응물인 것을 특징으로 하는 보호 유리 부착 유리 기판용의 양면 재박리성 수지 시트.
  21. 제 20 항에 있어서,
    양면에 박리재가 적층된 보호 유리 부착 유리 기판용의 양면 재박리성 수지 시트.
  22. 삭제
  23. 삭제
  24. 제 20 항에 있어서,
    상기 박리지용 실리콘에 있어서, 상기 메틸하이드로겐폴리실록산이 갖는 하이드로실릴기와, 상기 직사슬형 폴리오르가노실록산이 갖는 비닐기의 몰비가 1.3/1 ∼ 0.7/1 인 보호 유리 부착 유리 기판용의 양면 재박리성 수지 시트.
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