CN105818523A - 转印装置及转印方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种转印装置及转印方法。使第1板状体(SB)与第2板状体(BL)抵接。使支撑部件(441)的上端抵接于第2板状体(BL)的下表面中比辊部件(431)最初抵接的部分靠第2板状体(BL)的中心侧的部分，而从下方支撑第2板状体(BL)，所述支撑部件(441)构成为能够相对于第2板状体(BL)的下表面分离抵接。在支撑部件(441)支撑第2板状体(BL)的状态下，辊部件(431)抵接于第2板状体(BL)而将第2板状体(BL)压抵于第1板状体(SB)，辊部件(431)一边将第2板状体(BL)压抵于第1板状体(SB)一边沿着第2板状体(BL)的下表面移动。

Description

转印装置及转印方法

技术领域

本发明涉及一种转印装置及转印方法，使2片板状体抵接而从一个板状体对另一个板状体转印被转印物。

背景技术

作为在玻璃衬底或半导体衬底等板状体形成图案或薄膜的技术，有以下技术：使2片板状体相互抵接，而将担载于一个板状体的主面的图案或薄膜等被转印物转印到另一个板状体。例如在本申请的申请人之前所公开的专利文献1所记载的技术中，将表面担载图案的橡皮布(blanket)与衬底对向配置，利用长条辊部件上推橡皮布使之抵接于衬底。而且，一边上推橡皮布一边使辊部件沿着橡皮布移动，由此橡皮布密接于衬底，图案从橡皮布转印到衬底。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2014-144628号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

这样，在通过利用辊部件的压抵使保持为水平姿势的2片板状体抵接的技术中，为了使辊部件抵接，必须以位于下侧的板状体的下表面中央部开放的状态保持。但是，在这种保持态样下，板状体会因自重向下方弯曲，由此与另一个板状体之间产生位置偏移，难以精度良好地控制被转印物的转印位置。尤其是近年来，随着板状体尺寸大型化，其自重也增大，这种问题越来越明显。

本发明是鉴于所述问题而完成的，其目的在于提供一种技术，在使2片板状体抵接的转印装置及转印方法中，能够抑制因板状体弯曲所导致的位置偏移，而使2个板状体位置精度良好地抵接。

[解决问题的技术手段]

为了达成所述目的，本发明的一态样是一种转印装置，包括：第1保持构件，将第1板状体以下表面开放的状态保持为水平姿势；第2保持构件，以保持第2板状体的周缘部且所述第2板状体的上表面与所述第1板状体的下表面接近且对向的方式，且以所述第2板状体的下表面中在上表面侧与所述第1板状体对向的下表面中央部开放的水平姿势，保持所述第2板状体；辊部件，具有沿着所述第2板状体的下表面延伸设置的辊形状，构成为能够相对于所述第2板状体的下表面分离抵接，一边抵接于所述第2板状体的下表面而将所述第2板状体压抵于所述第1板状体，一边沿着所述第2板状体的下表面移动；及支撑部件，构成为能够相对于所述第2板状体的下表面分离抵接，且通过上端抵接于所述第2板状体的下表面而从下方支撑所述第2板状体；在所述辊部件远离所述第2板状体的状态下，在所述第2板状体的下表面中比所述辊部件最初抵接的部分靠所述第2板状体中心侧的位置，所述支撑部件抵接于所述第2板状体的下表面而支撑所述第2板状体；所述辊部件对被所述支撑部件支撑的所述第2板状体开始抵接，而沿着所述第2板状体的下表面移动。

另外，为了达成所述目的，本发明的另一态样是一种转印方法，包括：保持步骤，将第1板状体以下表面开放的状态保持为水平姿势，以保持第2板状体的周缘部且所述第2板状体的上表面与所述第1板状体的下表面接近且对向的方式，且以所述第2板状体的下表面中在上表面侧与所述第1板状体对向的下表面中央部开放的水平姿势，保持所述第2板状体；辊配置步骤，将辊部件配置在远离所述第2板状体的位置，所述辊部件具有沿着所述第2板状体的下表面延伸设置的辊形状，且构成为能够沿着所述第2板状体的下表面移动；支撑步骤，使支撑部件的上端在比所述辊部件靠所述第2板状体中心侧的位置抵接于所述第2板状体的下表面，而从下方支撑所述第2板状体，所述支撑部件构成为能够相对于所述第2板状体的下表面分离抵接；及转印步骤，所述辊部件对被所述支撑部件支撑的所述第2板状体开始抵接，将所述第2板状体压抵于所述第1板状体，并沿着所述第2板状体的下表面移动。

在如所述般构成的发明中，辊部件一边将第2板状体压抵于第1板状体一边移动，由此使第1板状体与第2板状体密接。此时，在辊部件抵接于第2板状体之前，在比辊部件靠近第2板状体中心的一侧，支撑部件抵接于第2板状体的下表面，由此支撑第2板状体。在该状态下，辊部件抵接于第2板状体而将第2板状体压抵于第1板状体。

周缘部被保持且下表面中央部开放的第2板状体因自重而其中央部向下方弯曲。由此，第2板状体各部的水平方向位置与以平坦姿势保持的状态相比，有向第2板状体中心侧偏移的倾向。所述情况导致2个板状体间产生位置偏移，被转印物的转印位置发生偏移。

根据本申请的发明人等人的见解，该转印位置的偏移量大致由第1板状体与第2板状体在最初抵接的区域的位置偏移量决定。换句话说，通过将第1板状体与第2板状体在最初抵接的区域的位置偏移抑制得充分小，能够在整个转印范围内抑制位置偏移。

所以，本发明中，在辊部件对第2板状体抵接之前，在比辊部件靠第2板状体中心侧，支撑部件抵接于第2板状体而从下方支撑第2板状体。所以，第2板状体是由支撑部件与支撑第2板状体的周缘部的第2保持构件以夹隔与辊部件最初抵接的位置的方式从其两侧支撑。所以，在辊部件最初抵接的位置，第2板状体的弯曲变小，水平方向上的位置偏移也得到抑制。该状态下，辊部件抵接于第2板状体，并将其压抵并密接于第1板状体，由此，即使以后辊部件移行，也能够抑制第1板状体与第2板状体的水平方向的位置偏移增大。结果，能够在整个转印范围内抑制转印位置偏移。

[发明效果]

根据本发明，关于第2板状体中最初与辊部件抵接的部分，以夹隔该部分的方式由第2保持构件与支撑部件予以支撑，由此抑制弯曲。这样，在因弯曲所导致的水平方向的位置偏移得到抑制的状态下，辊部件将第2板状体压抵于第1板状体，由此也可以抑制以后辊部件移行时的位置偏移增大。结果，能够使2个板状体位置精度良好地抵接，能够将被转印物精度良好地转印到规定的转印位置。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的转印装置的一实施方式的侧视图。

图2是表示该转印装置的主要部的构成的图。

图3A、图3B是表示转印辊块的图。

图4A、图4B是表示转印辊块与升降手单元的位置关系的图。

图5A、图5B是用来说明橡皮布的弯曲问题的图。

图6A至图6C是表示橡皮布弯曲与转印位置偏移的关系的图。

图7是表示利用该转印装置进行的转印处理的流程图。

图8A、图8B、图8C、图8D是示意性地表示转印处理过程中的各部位置的第1至第4图。

图9A至图9D是示意性地表示转印处理过程中的各部位置的第5至第8图。

图10A、图10B是表示升降器单元的变化例的图。

图11A至图11C是表示升降器单元的另一变化例的图。

具体实施方式

图1是示意性地表示本发明的转印装置的一实施方式的侧视图。另外，图2是表示该转印装置的主要部的构成的图。为了统一表示各图中的方向，如图1所示，设定XYZ正交座标轴。此处，XY平面表示水平面，Z轴表示铅垂轴。更详细来说，(+Z)方向表示铅垂向上方向。

该转印装置1具有在未图示的主框架安装了上平台块2、下平台块3及转印辊块4的构造。另外，转印装置1具有控制单元9，所述控制单元9按照预先存储的处理程序控制装置各部而执行规定动作。

首先，对装置1的整体构成进行说明。此外，关于上平台块2及下平台块3的细部的构造，例如可以使用所述专利文献1(日本专利特开2014-144628号公报)所记载的上平台块及下平台块，于此仅对其概要进行说明。

转印装置1是通过使由下平台块3保持的橡皮布BL与由上平台块2保持的版PP或衬底SB相互抵接而进行图案形成的装置。利用该装置1的图案形成工艺更具体来说如下所述。首先，通过对均匀地涂布了图案形成材料的橡皮布BL抵接对应于应形成的图案而制成的版PP，而使担载于橡皮布BL的涂布层图案化(图案化处理)。然后，通过使这样经图案化的橡皮布BL与衬底SB抵接，而将担载于橡皮布BL的图案转印到衬底SB(转印处理)。由此，在衬底SB形成所需图案。

这样，该转印装置1能够用于在衬底SB形成规定图案的图案形成工艺中的图案化处理及转印处理这两种处理。但是，也可以用于仅负责这些处理中的一种处理的态样。另外，也可以用于将担载于橡皮布BL的薄膜转印到衬底SB的目的。以下，以将形成在橡皮布BL表面的图案或薄膜转印到衬底SB的转印处理作为前提，对装置的构成及动作进行说明。但是，通过将衬底SB换成版PP，也能说明图案化处理中的动作。

上平台块2具备下表面成为平坦的衬底保持面21a的上平台21。上平台21安装在沿着Y方向延伸的梁部件22的下部，利用梁部件22将衬底保持面21a保持为水平姿势。梁部件22通过在Y方向上隔离配置的1对平台升降机构23、23而升降自如地保持在铅垂方向(Z方向)。由此，上平台21能够沿着Z方向进行移动。

该实施方式中，使用滚珠螺杆机构作为平台升降机构23的一例，但并不限定于此。平台升降机构23具备：滚珠螺杆233，通过支撑部件231、232而旋转自如地支撑于主框架；电动机234，使滚珠螺杆233旋转；及螺母部235，安装在滚珠螺杆233。滚珠螺杆233与电动机234经由联轴器236而连结。电动机234由设置在控制单元9的平台升降控制部91控制，电动机234根据来自平台升降控制部91的控制信号而旋转，由此上平台21进行升降。

虽然图中没有出现，但在上平台21的下表面(衬底保持面)21a设有吸附槽或吸附孔。视需要从设置在控制单元9的吸附控制部92对吸附槽或吸附孔供给负压。由此，上平台21能够吸附保持抵接于衬底保持面21a的衬底SB的上表面。衬底保持面21a的平面尺寸形成为比应保持的衬底SB的尺寸略小。

通过这样构成的上平台块2，衬底SB保持为水平姿势。衬底SB以应被转印图案或薄膜的被转印面朝下的方式搬入到装置1。另外，通过平台升降机构23升降上平台21，保持在接下来要说明的下平台的橡皮布BL与衬底SB之间的间隙被调整为规定值。

下平台块3具备下平台31，所述下平台31在中央部设有开口部311，且上表面成为平坦且水平的橡皮布保持面31a。下平台31被多个支柱32支撑，配置在上平台21的下方。下平台31的平面尺寸比应保持的橡皮布BL的尺寸大，且开口部311的开口尺寸比衬底SB的平面尺寸大。由此，橡皮布BL仅下表面的周缘部抵接于下平台31，中央部在下表面开放的状态下保持于下平台31。在下平台31的上表面(橡皮布保持面)31a中与橡皮布BL抵接的区域，设有吸附槽312。视需要，从控制单元9的吸附控制部92对吸附槽312供给负压。由此，橡皮布BL被吸附保持在下平台31上。橡皮布BL以担载应转印到衬底SB的图案或薄膜的担载面朝上的方式保持为水平姿势。

保持下平台31的支柱32安装在对准平台36。对准平台36经由多个对准机构37而安装在主框架。对准机构37具有例如交叉滚子轴承机构，根据来自设置在控制单元9的对准控制部94的控制信号，使对准平台36沿着水平方向(XY方向)及绕Z轴的θ方向移动。由此，下平台31在水平面(XY平面)内移动，保持在上平台21的衬底SB与保持在下平台31的橡皮布BL的水平方向上的相对位置最佳化。

下平台块3还具备1对升降手单元33、34，所述1对升降手单元33、34以在X方向上隔开间隔而相面对的方式设置。升降手单元33与升降手单元34具有相对于YZ平面而相互对称的形状，它们的构造基本上相同。

升降手单元33具备：多根(于此，作为一例为4根)升降手331、332、333、334，面向下平台31的开口部311而沿着Y方向依序设置；及驱动部335，使这些升降手个别地升降。同样地，升降手单元34具备：升降手341、342、343、344，面向下平台31的开口部311而沿着Y方向依序设置；及驱动部345，使这些升降手个别地升降。驱动部335、345由设置在控制单元9的手升降控制部93控制。根据来自手升降控制部93的控制信号，驱动部335、345个别地控制各升降手的铅垂方向位置。

各升降手通过将上表面定位在与下平台31的衬底保持面31a为同一平面的位置，而辅助地支撑以下表面开放的状态保持在下平台31的橡皮布BL的中央部下表面。由此，能够抑制橡皮布BL的弯曲而平坦地支撑。另外，通过视需要退避到下方，避免与接下来要说明的转印辊的移行的干涉。

转印辊块4具备辊单元43及升降器单元44。这些单元43、44安装在平板部件45的上表面。平板部件45经由辊移行驱动部5而安装在主框架。辊移行驱动部5具备：导轨51，在下平台31的下方固定于主框架，沿着Y方向延伸；及滚珠螺杆机构52，沿着导轨51设置。在滚珠螺杆机构52的螺母部525安装了平板部件45。

图3A及图3B是表示转印辊块的图。更具体来说，图3A是表示转印辊块4及辊移行驱动部5的构造的立体图，图3B是表示转印辊块4与橡皮布BL的位置关系的图。在支撑转印辊块4的辊移行驱动部5中，沿着导轨51设有滚珠螺杆机构52。更具体来说，通过设置在导轨51的两端附近的支撑部件521、522支撑滚珠螺杆523，滚珠螺杆523经由联轴器526通过电动机524进行旋转。在滚珠螺杆523安装了螺母部525。通过使电动机524旋转，螺母部525沿着导轨51在Y方向上水平移动。随之，由螺母部525支撑的转印辊块4在Y方向上水平移动。

设置在转印辊块4的辊单元43具备形成为以X方向作为长度方向的辊形状的转印辊431。转印辊431是由支撑部件432支撑，围绕与X方向平行的旋转轴而旋转自如。转印辊431的表面由弹性体、例如由橡胶原材料形成，X方向上的转印辊431的长度比衬底SB的X方向长度长。

臂433从支撑部件432的X方向上的中央部向下方延伸。臂433安装在使转印辊431升降的辊升降机构434。辊升降机构434的构造并无特别限定，例如可以使用气缸、螺线管或滚珠螺杆机构等。辊升降机构434是由设置在控制单元9的辊升降控制部95控制。辊升降机构434根据来自辊升降控制部95的控制信号而作动，由此，转印辊431相对于平板部件45沿着铅垂方向(Z方向)进行升降。

如图3B所示，转印辊431通过辊升降机构434的作动，能够在实线所表示的退避位置与虚线所表示的按压位置之间进行升降移动。退避位置是退避到保持在下平台31的橡皮布BL下方且辊上端远离橡皮布BL的位置。另一方面，在按压位置，辊上端抵接于橡皮布BL下表面而将橡皮布BL上推。

升降器单元44具备平板状升降片(blade)441，所述升降片441与XZ平面平行且以X方向作为长度方向而延伸。关于升降片441，其上表面441a被精加工成平坦，且由安装在平板部件45的升降器升降机构而升降自如地支撑。具体来说，在竖立设置在平板部件45的框架442安装滚珠螺杆443，在安装于滚珠螺杆443的螺母部444固定升降片441。滚珠螺杆443通过经由联轴器447连结的电动机445的作动而旋转。由此，螺母部444沿着铅垂方向(Z方向)升降，而使升降片441升降。

电动机445由设置在控制单元9的升降器升降控制部96控制。电动机445根据来自升降器升降控制部96的控制信号而旋转，由此，升降片441进行升降移动。这样，框架442、滚珠螺杆443、螺母部444、电动机445及联轴器447构成滚珠螺杆机构，该滚珠螺杆机构作为升降器升降机构发挥功能。此外，作为升降器升降机构，并不限定于这种滚珠螺杆机构，可以使用各种方式的驱动机构。

如图3B所示，升降片441通过升降器升降机构的作动，能够在退避到保持在下平台31的橡皮布BL的下方且远离橡皮布BL的退避位置(实线)与上表面441a抵接于橡皮布BL下表面的抵接位置(虚线)之间进行升降移动。升降片441能够与转印辊431独立地进行升降。在抵接位置，升降片441的上表面441a被定位在与下平台31的上表面31a大致相同的Z方向高度。所以，当升降片441位于抵接位置时，升降片441的上表面441a与下平台31的上表面31a位于同一水平面内。由此，下平台31与升降片441抵接于下表面的橡皮布BL被支撑为水平姿势。

在升降片441的侧面的X方向上的中央附近安装了间隙传感器446。间隙传感器446对衬底SB的下表面与橡皮布BL的上表面之间的间隙进行测定，例如可以使用光干涉式距离检测器。此外，在该例中，间隙传感器446与升降片441一起升降。但是，所述升降并非必须，只要能在转印辊431的附近对衬底SB的下表面与橡皮布BL的上表面之间的间隙进行测定便可。所以，例如可以在平板部件45或框架442安装间隙传感器，另外，也可以设置在上平台21。

具有所述构成的辊单元43及升降器单元44都是安装在平板部件45，通过电动机524的旋转而一体地沿着Y方向移动。电动机524由设置在控制单元9的辊移行控制部97控制。当电动机524根据来自辊移行控制部97的控制信号而旋转时，滚珠螺杆机构52的螺母部525沿着导轨51向Y方向移动。所以，随着螺母部525移动，辊单元43及升降器单元44进行移动。结果，设置在辊单元43的转印辊431沿着橡皮布BL下表面向Y方向移行。这样，导轨51及滚珠螺杆机构52具有使转印辊431向Y方向移行的作为辊移行机构的功能。此外，如下所述，当转印辊块4向Y方向移动时，转印辊431抵接于橡皮布BL的下表面，另一方面，升降片441从橡皮布BL的下表面离开。

这样，转印辊431能够进行利用辊升降机构的Z方向的升降动作与利用辊移行机构的Y方向的移行动作。另外，升降片441能够进行利用升降器升降机构的Z方向的升降动作与利用辊移行机构的Y方向的移行动作。当转印辊431(辊单元43)及升降片441(升降器单元44)向Y方向移行时，设置在升降手单元33、34的各升降手331等与辊单元43、升降器单元44的干涉如下所述般得以避免。此外，以下，以设置在升降手单元33、34的1对升降手331、341与辊单元43的位置关系为例进行说明，其他升降手也同样。

图4A及图4B是表示转印辊块与升降手单元的位置关系的图。更具体来说，图4A及图4B是分别沿着Y方向及X方向观察转印辊块4及升降手单元33、34的图。如图所示，辊单元43及升降器单元44以转印辊431沿着保持在下平台31的橡皮布BL的下表面的方式向Y方向移动。在X方向上，对向配置的升降手331、341的前端彼此隔离。而且，辊单元43的臂433、辊升降机构434及升降器单元44的升降器升降机构(框架442、滚珠螺杆443、螺母部444、电动机445及联轴器447)通过这些间隙而移行。所以，在构造上避免了辊升降机构434与升降手331、341的干涉。

另一方面，在升降手331、341抵接或接近于橡皮布BL下表面的状态下，这些升降手331、341与转印辊431、支撑部件432及升降片441有可能产生接触。该问题通过以下方式避免，升降手331、341一体地下降到上表面比升降片441及支撑部件432的下表面靠下方位置为止。即，与辊单元43向Y方向的移行同步地，升降手单元33、34使各升降手331(341)、332(342)等依序退避到下方。由此，转印辊431、支撑部件432及升降片441通过升降手331等的上部，避免辊单元43及升降器单元44与升降手331等的干涉。

与以往技术(日本专利特开2014-144628号公报)的转印装置相比，本实施方式中新设有升降器单元44。设为这种构成的原因在于，如以下所说明，通过抑制转印辊431最初抵接于橡皮布BL时橡皮布BL的弯曲，而精度良好地控制图案等的转印位置。

图5A及图5B是用来说明橡皮布的弯曲问题的图。更具体来说，图5A是表示由下平台31及升降手331等支撑的橡皮布BL的俯视图，图5B是示意性地表示橡皮布BL的弯曲量的图。如图5A所示，该转印装置1中，在中央部成为与衬底SB对应的开口部311的边框状下平台31的上表面31a载置橡皮布BL。橡皮布BL的下表面周缘部抵接并吸附保持于下平台31的上表面31a。

而且，升降手331～334、341～344从下表面对比周缘部靠内侧的中央部的下表面成为开放状态的橡皮布BL进行抵接，由此，橡皮布BL被支撑为水平姿势。但是，橡皮布BL的中央部只不过是由支撑手331等局部地支撑，所以不可避免地产生未被支撑的部分向下方弯曲的情况。尤其，应对大型衬底的平面尺寸大的橡皮布BL中，所述问题明显。其原因在于，在转印处理的原理上，虽然橡皮布BL的平面尺寸增大但厚度不易增加。

本申请的发明人在Y方向的各种位置上测量由下平台31及升降手331等支撑的橡皮布BL的铅垂方向(Z方向)的移位量。结果，明白以下内容。即，在局部受到升降手331～334的支撑的图5A的直线L1上，如图5B中实线所示，在升降手331等的位置未观察到移位，但在远离升降手331等的位置，移位变大，表示橡皮布BL向下方弯曲。但是，移位量相对较小。

另一方面，在通过X方向上的橡皮布BL的大致中心的图5A的直线L2上，弯曲量朝向橡皮布BL的中央部逐渐变大。此时，与转印辊431最初抵接的橡皮布BL的区域R1对应的位置Y1的弯曲量Z1相对较小，但中央部分的弯曲量Z2尤其大。

实验中，将沿着X方向排列且成对的升降手331、341等分别一体形成并利用X方向上连续的手进行支撑，在直线L2上测量弯曲，所述情况下，如图5B中虚线所示，弯曲量大幅降低。

但是，即使是所述支撑态样，直线L2上的移位量也比直线L1上的测量结果大。推断其原因在于，由于直线L1的位置接近下平台31的(+X)侧的边，因此橡皮布BL能够受到升降手331～334的支撑与下平台31(更具体来说为其1边)的支撑，相对于此，在橡皮布BL中央部未受到下平台31的支撑。

这样，即使在设有分别局部地抵接于橡皮布BL的下表面的多个升降手331等的情况下，在未受到所述部件的支撑的部分也会产生橡皮布BL的弯曲。尤其，为了使转印辊431抵接而必须预先开放橡皮布BL下表面，所以无法支撑转印辊431的正上方位置，难以减少该部分的弯曲。

图6A至图6C是表示橡皮布弯曲与转印位置偏移的关系的图。该转印装置1中，如图6A所示，在使衬底SB与橡皮布BL平行地接近且对向的状态下，转印辊431上推橡皮布BL，将其压抵于衬底SB，由此，将橡皮布BL上的图案PT转印到衬底SB。为了保证向衬底SB的图案转印位置适当，执行利用对准机构37进行的对准动作。

但是，当橡皮布BL向下方弯曲时，如图6B所示，橡皮布BL的周缘部以朝向中央部被引入的方式发生移位。由此，橡皮布BL表面的某一点P位于与图6B中虚线所示的无弯曲的状态相比向Y方向仅移位ΔY的位置。由于转印辊431将橡皮布BL向正上方上推，因此在点P从本来的位置仅偏移ΔY的状态下与衬底SB抵接。根据本申请的发明人的见解，衬底SB与橡皮布BL一旦抵接，则两者隔着图案PT而较强地密接，所以即使转印辊431向水平方向移动，衬底SB与橡皮布BL的水平方向的相对位置也几乎不会发生变化。

所以，可以说，转印位置的偏移量、即因橡皮布BL弯曲引起的与衬底SB之间的位置偏移量大致是由转印辊431最初抵接的位置的橡皮布BL的位置偏移量决定。换句话说，只要能够抑制转印辊431最初抵接时的橡皮布BL的位置偏移，则能够抑制衬底SB整体的转印位置偏移。在转印辊431最初抵接的转印辊431的正上方位置，通过减小橡皮布BL的弯曲量ΔZ，也能够减小水平方向的位置偏移。

如上所述，根据橡皮布BL的中央部的支撑态样，弯曲量会发生变化。所以，该实施方式中，如图6C所示，在转印辊431抵接于橡皮布BL之前，在比转印辊431靠近橡皮布BL中央部的(+Y)侧的位置使升降片441抵接于橡皮布BL下表面。由此，将向下方弯曲的橡皮布BL上推而维持为水平姿势。由此，能够减小转印辊431抵接于橡皮布BL时橡皮布BL的弯曲，而减小衬底SB与橡皮布BL的抵接位置的Y方向上的偏移。

在由升降片441支撑橡皮布BL的状态下，使转印辊431抵接于橡皮布BL，由此，与未设置升降器单元44的以往技术相比，能够将衬底SB的图案PT的转印位置偏移抑制为一半以下。

升降片441是用来将向下方弯曲的橡皮布BL维持为水平状态的部件，并非使橡皮布BL超出水平状态地上升。所以，升降片441在支撑橡皮布BL时，其上表面441a成为与下平台31的上表面31a大致同一水平面，而被定位在抵接于橡皮布BL下表面的抵接位置。

关于铅垂方向上的升降片441的定位控制，也可以通过机械碰触或预先的示教作业等，以上表面441a成为与下平台31的上表面31a相同高度的方式进行位置设定。另外，上平台21与下平台31以衬底SB与橡皮布BL隔着规定间隙而对向的方式进行间隔调整。由此，以由间隙传感器446检测到的转印辊431附近位置的衬底SB与橡皮布BL的间隙成为规定间隙量的方式，升降器升降控制部96控制升降片441的高度，由此也能够间接地进行升降片441与下平台31的高度方向上的位置对准。以下说明的动作中，使用间隙传感器446的输出。

接下来，对利用如所述般构成的转印装置1的转印处理进行说明。如上所述，于此是对从橡皮布BL向衬底SB转印图案或薄膜的转印处理进行说明，但通过将衬底SB换成版PP，也能说明图案化处理中的动作。

图7是表示利用该转印装置的转印处理的流程图。另外，图8A至图8D及图9A至图9D是示意性地表示转印处理过程中的各部位置的图。转印处理中，首先，将应被转印图案或薄膜的衬底SB搬入到装置，设置在上平台21(步骤S101)。上平台21以应被转印图案或薄膜的被转印面朝下的方式吸附保持衬底SB。接着，将担载应转印到衬底SB的图案或薄膜的橡皮布BL搬入到装置，设置在下平台31(步骤S102)。下平台31以担载图案或薄膜的担载面朝上的方式吸附保持橡皮布BL。

接着，装置各部被定位于规定的初始位置(步骤S103)。图8A表示出各部的初始位置。上平台21及下平台31以衬底SB与橡皮布BL隔着规定间隙而平行对向的方式相互接近且对向。另外，升降手331、341等上升到上表面成为与下平台31的上表面为同一平面的位置，抵接于橡皮布BL的下表面而将橡皮布BL支撑为水平姿势。转印辊431被定位在Y方向上的衬底SB的一端部的正下方位置且为从橡皮布BL的下表面向下方隔开距离的退避位置。升降片441也位于与转印辊431的(+Y)侧邻接的位置且为从橡皮布BL下表面隔开距离的退避位置。接着，进行对准处理，调整衬底SB与橡皮布BL的水平方向位置(步骤S104)。即，以担载于橡皮布BL的图案PT或薄膜与衬底SB在水平方向上成为预先规定的位置关系的方式，对准机构37视需要使对准平台36在水平面内移动。

在该状态下，如图8B所示，升降片441上升到抵接位置，抵接于橡皮布BL的下表面而支撑该橡皮布BL(步骤S105)。接着，转印辊431上升而抵接于橡皮布BL下表面后进一步上升，将橡皮布BL向上按压(步骤S106)。在由升降片441支撑橡皮布BL的状态下，转印辊431按压橡皮布BL，由此，将橡皮布BL与衬底SB的水平方向上的位置偏移抑制得小。

通过使转印辊431在抵接于橡皮布BL下表面后也继续上升，如图8C所示，橡皮布BL被转印辊431上推，最终橡皮布BL上表面抵接于衬底SB的下表面。由此，担载于橡皮布BL上表面的图案或薄膜PT密接于衬底SB。通过这样转印辊431上推橡皮布BL，图案或薄膜PT压抵于衬底SB。由此，图案或薄膜PT被转印到衬底SB。由于通过升降片441的支撑来抑制橡皮布BL的水平方向的位置偏移，因此图案或薄膜PT被适当转印到衬底SB的规定位置。

当通过转印辊431的按压使衬底SB与橡皮布BL抵接时，如图8D所示，升降片441向下方移动而从橡皮布BL离开(步骤S107)。然后，转印辊431开始向(+Y)方向移行(步骤S108)。如图9A及图9B所示，转印辊431一变边将橡皮布BL压抵于衬底SB一边沿着Y方向移动，由此橡皮布BL与衬底SB隔着图案或薄膜PT而密接的区域在Y方向上逐渐扩展。这样，图案或薄膜PT被依序转印到衬底SB(转印处理)。转印辊431上升到能够以固定按压力按压橡皮布BL的按压位置，在该状态下沿着Y方向移行。

此时，为了避免升降手机构33、34与移行的辊单元43的干涉，使升降手331(341)、332(342)、333(343)、334(344)随着辊单元43的移动而依序下降。另外，升降器单元44由于与辊单元43一起向Y方向移行，因此不会与辊单元43相干涉。

辊单元43继续移行，直至转印辊431到达衬底SB的另一端部正下方的结束位置(步骤S109)。由此，如图9C所示，衬底SB整体抵接于橡皮布BL，图案或薄膜PT向衬底SB的转印完成。在该时间点，使辊单元43停止移动，如图9D所示，辊单元43从橡皮布BL离开而退避到下方(步骤S110)。将这样密接的橡皮布BL与衬底SB一体地搬出(步骤S111)，该转印装置1的转印处理结束。

如上，该实施方式的转印装置1中，一边通过转印辊431将橡皮布BL上推使之抵接于衬底SB，一边使转印辊431向Y方向移行，由此，将橡皮布BL上的图案或薄膜PT转印到衬底SB。此时，在转印辊431最初抵接于橡皮布BL之前，在比转印辊431靠橡皮布BL的中央的位置，升降片441抵接于橡皮布BL下表面。由此，修正橡皮布BL的弯曲，使之接近水平姿势。所以，能够抑制转印辊431最初抵接于橡皮布BL时与衬底SB的位置偏移，从而良好地维持对衬底SB的图案转印位置精度。

如以上所说明，在所述实施方式中，衬底SB相当于本发明的“第1板状体”，橡皮布BL相当于本发明的“第2板状体”。另外，所述实施方式中，上平台21作为本发明的“第1保持构件”发挥功能，其下表面21a相当于本发明的“抵接面”。另外，下平台31作为本发明的“第2保持构件”及“支撑台”发挥功能，下平台31的上表面31a相当于本发明的“支撑面”。

另外，转印辊431作为本发明的“辊部件”发挥功能，升降片441作为本发明的“支撑部件”发挥功能。而且，升降片441的上表面441a相当于本发明的“抵接部位”。另外，平板部件45作为本发明的“移动部件”发挥功能，间隙传感器446作为本发明的“间隙检测构件”发挥功能。

另外，所述实施方式中，升降手单元33、34作为本发明的“辅助支撑构件”发挥功能，升降手331～334、341～344分别作为本发明的“辅助支撑部件”发挥功能。另外，对准控制部94及对准机构37以一体的形式作为本发明的“对准构件”发挥功能。

此外，本发明并不限定于所述实施方式，能够在不脱离其主旨的范围内对所述实施方式以外进行各种变更。例如，所述实施方式的转印装置1中，升降器单元44与辊单元43一体地移行。但是，升降器单元44是修正转印辊431最初抵接于橡皮布BL时橡皮布BL的弯曲的构件，在橡皮布BL抵接于衬底SB后并不会发挥特别的作用。在这层含义上，升降器单元无需与辊单元43一体地移行。例如也可以设为如下构成。

图10A及图10B是表示升降器单元的变化例的图。更具体来说，图10A是从X方向观察包含变化例的升降器单元的转印辊块的图，图10B是从Y方向观察包含变化例的升降器单元的转印辊块的图。图10A及图10B中，对与所述实施方式实质上相同的构成标注相同符号，并省略说明。该变化例的升降器单元46是以2组在X方向上位置不同且相互面对的方式配置。各升降器单元46具备：升降片461，X方向长度为转印辊431的约一半且沿着X方向延伸设置；臂462，从升降片461向斜下方延伸；及升降器升降机构463，使臂462沿着斜方向升降。升降器升降机构463被固定在主框架，不与辊单元43一起移行。

如图10A及图10B中实线所示，在利用升降器升降机构463将升降片461定位于下方位置的状态下，升降片461的上端位于比转印辊431的支撑部件432的下表面更下方。另外，在X方向上，两升降片461、461间相对较大地隔开距离。所以，升降器单元46不会干涉到辊单元43的移行。

另一方面，当升降器升降机构463作动时，如图10A及图10B中虚线所示，升降片461向具有X方向成分及Z方向成分的斜上方上升，最终上端抵接于橡皮布BL的下表面。此时，以两升降片461、461的上端高度相同，且在X方向上，两升降片461、461间的间隔变得极小的方式，设定升降片461、461的形状。由此，利用下平台31与升降片461、461支撑转印辊431抵接之前的橡皮布BL，能够抑制橡皮布BL弯曲。这样，即使使用不与转印辊431一起移行的升降器单元，也能够获得与所述相同的效果。

另外，所述实施方式的升降器单元46具有上表面成为抵接面的片状部件即升降片461。而且，在升降片461从下方支撑橡皮布BL的状态下，执行利用转印辊431进行的橡皮布BL的上推。为了避免升降片461滑动摩擦橡皮布BL下表面，在利用转印辊431上推橡皮布BL后，升降片461从橡皮布BL离开。也可以取而代之而设为如下构成。

图11A至图11C是表示升降器单元的另一变化例的图。更具体来说，图11A是从X方向观察包含该变化例的升降器单元的转印辊块的图。另外，图11B及图11C是表示该变化例中的转印辊块的动作的图。此外，在该变化例的说明中，对与所述实施方式相同的构成标注相同的符号，并省略其说明。

如图11A所示，该变化例的升降器单元47具备圆筒辊形状的升降辊471，所述升降辊471与XZ平面平行且以X方向作为长度方向而延伸。升降辊471是由支撑框架474支撑而围绕与X方向平行的旋转轴旋转自如，且由安装在平板部件45的升降器升降机构支撑而升降自如。具体来说，在竖立设置于平板部件45的框架472安装滚珠螺杆473，安装在滚珠螺杆473的螺母部与支撑框架474一体化。滚珠螺杆473通过经由联轴器477连结的电动机475的作动而旋转，由此，支撑框架474沿着铅垂方向(Z方向)升降，使升降辊471升降。

电动机475由设置在控制单元9的升降器升降控制部96控制。电动机475根据来自升降器升降控制部96的控制信号而旋转，由此，升降辊471进行升降移动。这样，框架472、滚珠螺杆473、支撑框架474、电动机475及联轴器477构成滚珠螺杆机构，该滚珠螺杆机构作为升降器升降机构发挥功能。此外，作为升降器升降机构，并不限定于所述滚珠螺杆机构，可以使用各种方式的驱动机构。

与所述实施方式中的升降片441同样地，通过升降器升降机构的作动，升降辊471能够在退避到保持在下平台31的橡皮布BL的下方且远离橡皮布BL的退避位置与上端部抵接于橡皮布BL下表面的抵接位置之间进行升降移动。升降辊471能够与转印辊431独立地进行升降。在抵接位置，升降辊471的上端部被定位在与下平台31的上表面31a大致相同的Z方向高度。所以，当升降辊471位于抵接位置时，升降辊471的上端部与下平台31的上表面31a位于同一水平面内。由此，下平台31与升降辊471抵接于下表面的橡皮布BL被支撑为水平姿势。

如图11B所示，该变化例中，在升降辊471抵接于橡皮布BL下表面的状态下，转印辊431执行橡皮布BL的上推。升降辊471与所述实施方式中的升降片441同样地，具有在转印辊431上推橡皮布BL时将橡皮布BL保持为水平姿势的功能，由此防止橡皮布BL的位置偏移。

与所述实施方式同样地，转印辊431上推橡皮布BL而将其压抵于衬底SB后，转印辊431向Y方向移行。此时，由与转印辊431相同的平板部件45支撑的升降辊471也与转印辊431一体地向Y方向移行。在移行之前使升降辊471远离橡皮布BL的情况下，仅升降辊471对橡皮布BL的抵接部位的形状不同，其作用与所述实施方式中的升降片441的作用并无任何变化。

另一方面，该变化例中，如图11C所示，升降辊471能够抵接于橡皮布BL的下表面而直接向Y方向移行。通过使升降辊471旋转来防止对橡皮布BL的滑动摩擦。另外，通过使升降辊471支撑橡皮布BL，即使在为了进行辊移行而使升降手331等退避到下方后，也能够抑制橡皮布BL的弯曲而保持其姿势。只要一边将升降辊471的上端部高度维持为与下平台31的上表面31a相同的高度一边移行，则能够更稳定地维持转印辊431移行时的橡皮布BL的水平姿势。

升降辊471的上端部也可以比下平台31的上表面31a略微向上方突出，但为了良好地进行转印，理想的是避免通过利用升降辊471的上推使橡皮布BL抵接于衬底SB。所以，升降辊471的上端部至少位于比上推橡皮布BL的状态的转印辊431的上端部更下方，优选升降辊471在比转印辊431靠下方位置抵接于橡皮布BL。

这样，作为本发明的“支撑部件”，除片状支撑部件以外，例如可使用辊状支撑部件。在设有所述辊状支撑部件的情况下，在使支撑部件抵接于橡皮布BL下表面后，无需进一步升降。由此，无需单独使支撑部件升降的机构。所以，例如利用通过使平板部件45升降而使转印辊431与升降辊471一体地升降的机构和使转印辊431相对于平板部件45及升降辊471进行升降的机构的组合，也可以构成转印辊块。

另外，所述实施方式中，辊单元43及升降器单元44(或升降器单元47)是由设置在单一的平板部件45上的辊升降机构及升降器升降机构而分别升降自如地支撑，由此，转印辊431与升降片441(或升降辊471)能够独立地进行升降。也可以取而代之而构成为，例如将辊单元与不具有升降器升降机构的升降片(或升降辊)安装在能够升降移动的平板部件上，在规定的Z方向范围，转印辊431与升降片441(或升降辊471)一体地升降。

另外，所述实施方式中设有间隙传感器446，但如上所述，升降片441的定位也可以通过机械碰触或预先的示教作业进行控制，该情况下也可以省去间隙传感器446。

另外，所述实施方式的升降片441是X方向长度与转印辊431大致相同的平板状部件，且是覆盖X方向的下平台31的开口长度大部分的部件。但是，由于橡皮布BL的弯曲大的部分是橡皮布BL的X方向的中央部分，因此只要至少支撑该部分便可。所以，升降片441的X方向长度也可以比转印辊431短。但是，就防止对向的1对升降手331、341间的弯曲的观点来说，优选升降片441的长度大于升降手331、341间的X方向上的间隔。

另外，所述实施方式是将担载于橡皮布BL的图案等被转印物转印到衬底SB的转印装置。但是，本发明的技术思想并不限定于所述转印图案等的转印装置，例如也可以适用于不隔着图案等而贴合2片板状体的技术。

以上，例示具体实施方式进行了说明，在该发明中，例如也可以构成为，第2保持构件具有与第2板状体的下表面中央部对应的中央部开口的边框状支撑台，支撑台的上表面抵接于第2板状体的周缘部下表面而成为支撑第2板状体的平坦支撑面，支撑部件的上表面位于与支撑台的支撑面相同的高度而支撑第2板状体。根据所述构成，在隔着辊部件最初抵接的部位的两侧，第2板状体被支撑在同一高度，所以，在此期间能够保持第2板状体的水平姿势，使弯曲最小化。

另外，例如也可以构成为，在辊部件对第2板状体开始抵接，将第2板状体压抵于第1板状体后，支撑部件从第2板状体离开，之后辊部件沿着第2板状体的下表面移动。支撑部件是在辊部件抵接于第2板状体时维持第2板状体的姿势的部件，并非必须在辊部件抵接于第2板状体后也抵接于第2板状体。在支撑部件从第2板状体离开后使辊部件进行移动，由此，能够使支撑部件退避到不与辊部件干涉的位置。

另外，例如也可以构成为辊部件与支撑部件一体地移动。在辊部件的移动方向上位于辊部件前方的支撑部件在辊部件移行时有可能会成为障碍物。通过使支撑部件与辊部件一体地移动，而不会产生所述问题。此时，只要支撑部件从第2板状体离开，则能够避免支撑部件滑动摩擦第2板状体的表面。

或者，例如也可以构成为，支撑部件具有具备与辊部件的轴平行的轴的辊形状，且一边在比辊部件靠下方位置抵接于第2板状体的下表面，一边与辊部件一体地沿着第2板状体的下表面进行移动。所述构成中，通过使辊部件转动来避免对第2板状体滑动摩擦。另外，即使在辊部件的移动中，支撑部件也会支撑第2板状体，由此，能够更稳定地维持第2板状体的姿势。

在这些情况下，例如辊部件与支撑部件也可以安装在沿着第2板状体的下表面移动的同一移动部件，并且高度方向上的位置能够相互独立地进行变更。根据所述构成，通过使单一的移动部件进行移动，而能够使辊部件与支撑部件一起移动，另外，通过两者的高度方向位置相互独立地进行变更，而能够实现所述顺序的抵接、分离。

另外，例如在本发明中，支撑部件也可以在上端具有沿着与辊部件的延伸设置方向平行的方向延伸的抵接部位。根据所述构成，能够有效地抑制沿着辊部件的延伸设置方向的弯曲，能够进一步提高位置精度。

另外，例如也可以构成为，具备相对于第2板状体的下表面中央部而分离抵接自如地设置的辅助支撑构件，辅助支撑构件在沿着第2板状体的下表面的辊部件的移动方向上，在辊部件的前方位置抵接于第2板状体的下表面中央部而从下方支撑第2板状体，且随着辊部件移动而从第2板状体离开，从而使辊部件通过。根据所述构成，维持第2板状体的姿势的作用进一步提高，所以能够更有效地抑制因第2板状体弯曲所导致的位置偏移。

该情况下，辅助支撑构件也可以还具有多个辅助支撑部件，所述辅助支撑部件分别局部地抵接于第2板状体的下表面而支撑第2板状体。通过这样配置辅助支撑部件，能够维持第2板状体整体的姿势，但在未受到支撑的部分无法避免略微的弯曲。所述情况下，通过应用本发明，能够减少第2板状体的弯曲。

另外，例如也可以构成为，还设有对第1板状体与第2板状体之间的间隙量进行检测的间隙检测构件，且支撑部件的高度是基于由间隙检测构件检测的间隙量进行设定。实际测定第1板状体与第2板状体之间的间隙量，并基于其结果而设定支撑部件的高度，由此，能够更确实地维持第2板状体的姿势。

另外，例如也可以构成为，第1保持构件具有抵接于第1板状体的上表面的平坦抵接面。第1板状体隔着第2板状体而从辊部件受到按压。通过预先使第1板状体抵接于平坦面，能够防止因来自辊部件的按压而导致第1板状体弯曲，从而良好地进行转印。

另外，例如也可以进一步设置对准构件，所述对准构件使水平方向上的第1保持构件与第2保持构件的相对位置发生变化。通过设置所述对准构件，能够调整第1板状体与第2板状体的水平位置。但是，如果从进行对准后的状态到第1板状体与第2板状体实际抵接为止产生新的位置偏移，则会削弱该效果。通过对所述构成应用本发明，能够精度更好地控制转印位置。

[工业上的可利用性]

本发明能够适宜地应用于对玻璃衬底或半导体衬底等各种衬底转印图案或薄膜等被转印物的处理。另外，在不隔着图案等而使2片板状体直接抵接的情况下，也可以应用本发明的技术思想。

[符号的说明]

1转印装置

21上平台(第1保持构件)

21a(上平台的)下表面(抵接面)

31下平台(第2保持构件、支撑台)

31a(下平台的)上表面(支撑面)

33、34升降手单元(辅助支撑构件)

37对准机构(对准构件)

45平板部件(移动部件)

94对准控制部(对准构件)

331～334、341～344升降手(辅助支撑部件)

431转印辊(辊部件)

441升降片(支撑部件)

441a(升降片的)上表面(抵接部位)

446间隙传感器(间隙检测构件)

471升降辊(支撑部件)

BL橡皮布(第2板状体)

SB衬底(第1板状体)

Claims (15)

1.一种转印装置，其特征在于包括：第1保持构件，将第1板状体以下表面开放的状态保持为水平姿势；

第2保持构件，以保持第2板状体的周缘部且所述第2板状体的上表面与所述第1板状体的下表面接近且对向的方式，且以所述第2板状体的下表面中在上表面侧与所述第1板状体对向的下表面中央部开放的水平姿势，保持所述第2板状体；

辊部件，具有沿着所述第2板状体的下表面延伸设置的辊形状，且构成为能够相对于所述第2板状体的下表面分离抵接，一边抵接于所述第2板状体的下表面而将所述第2板状体压抵于所述第1板状体一边沿着所述第2板状体的下表面移动；及

支撑部件，构成为能够相对于所述第2板状体的下表面分离抵接，且通过上端抵接于所述第2板状体的下表面而从下方支撑所述第2板状体；

在所述辊部件远离所述第2板状体的状态下，在所述第2板状体的下表面中比所述辊部件最初抵接的部分靠所述第2板状体中心侧的位置，所述支撑部件抵接于所述第2板状体的下表面而支撑所述第2板状体；

所述辊部件对由所述支撑部件支撑的所述第2板状体开始抵接，而沿着所述第2板状体的下表面移动。

2.根据权利要求1所述的转印装置，其特征在于:所述第2保持构件具有与所述第2板状体的所述下表面中央部对应的中央部开口的边框状支撑台，所述支撑台的上表面成为抵接于所述第2板状体的周缘部下表面而支撑所述第2板状体的平坦支撑面，且

所述支撑部件的上表面位于与所述支撑台的所述支撑面相同的高度而支撑所述第2板状体。

3.根据权利要求1所述的转印装置，其特征在于:所述辊部件对所述第2板状体开始抵接，将所述第2板状体压抵于所述第1板状体后，所述支撑部件从所述第2板状体离开，之后，所述辊部件沿着所述第2板状体的下表面移动。

4.根据权利要求1所述的转印装置，其特征在于:所述辊部件与所述支撑部件一体地沿着所述第2板状体的下表面移动。

5.根据权利要求1所述的转印装置，其特征在于:所述支撑部件具有具备与所述辊部件的轴平行的轴的辊形状，一边在比所述辊部件靠下方位置抵接于所述第2板状体的下表面，一边与所述辊部件一体地沿着所述第2板状体的下表面移动。

6.根据权利要求4或5所述的转印装置，其特征在于:所述辊部件与所述支撑部件安装在沿着所述第2板状体的下表面移动的同一移动部件，并且高度方向上的位置能够相互独立地进行变更。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的转印装置，其特征在于:所述支撑部件在上端具有沿着与所述辊部件的延伸设置方向平行的方向延伸的抵接部位。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的转印装置，其特征在于:具备辅助支撑构件，所述辅助支撑构件相对于所述第2板状体的所述下表面中央部而分离抵接自如地设置，

所述辅助支撑构件在沿着所述第2板状体的下表面的所述辊部件的移动方向上，在所述辊部件的前方位置抵接于所述第2板状体的所述下表面中央部而从下方支撑所述第2板状体，且随着所述辊部件移动而从所述第2板状体离开，从而使所述辊部件通过。

9.根据权利要求8所述的转印装置，其特征在于:所述辅助支撑构件具有多个辅助支撑部件，所述多个辅助支撑部件分别局部地抵接于所述第2板状体的下表面而支撑所述第2板状体。

10.根据权利要求1至5中任一项所述的转印装置，其特征在于:具备间隙检测构件，所述间隙检测构件是对所述第1板状体与所述第2板状体之间的间隙量进行检测，基于由所述间隙检测构件检测的所述间隙量，设定所述支撑部件的高度。

11.根据权利要求1至5中任一项所述的转印装置，其特征在于:所述第1保持构件具有抵接于所述第1板状体的上表面的平坦抵接面。

12.根据权利要求1至5中任一项所述的转印装置，其特征在于:具备对准构件，所述对准构件使水平方向上的所述第1保持构件与所述第2保持构件的相对位置变化。

13.一种转印方法，其特征在于包括：

保持步骤，将第1板状体以下表面开放的状态保持为水平姿势，以保持第2板状体的周缘部且所述第2板状体的上表面与所述第1板状体的下表面接近且对向的方式，且以所述第2板状体的下表面中在上表面侧与所述第1板状体对向的下表面中央部开放的水平姿势，保持所述第2板状体；

辊配置步骤，将辊部件配置在远离所述第2板状体的位置，所述辊部件具有沿着所述第2板状体的下表面延伸设置的辊形状，且构成为能够沿着所述第2板状体的下表面移动；

支撑步骤，使支撑部件的上端在比所述辊部件靠所述第2板状体中心侧的位置抵接于所述第2板状体的下表面，而从下方支撑所述第2板状体，所述支撑部件构成为能够相对于所述第2板状体的下表面分离抵接；及

转印步骤，所述辊部件对由所述支撑部件支撑的所述第2板状体开始抵接，将所述第2板状体压抵于所述第1板状体，并沿着所述第2板状体的下表面移动。

14.根据权利要求13所述的转印方法，其特征在于:所述转印步骤中，在所述辊部件抵接于所述第2板状体而将所述第2板状体压抵于所述第1板状体后，所述支撑部件从所述第2板状体离开，之后所述辊部件沿着所述第2板状体的下表面移动。

15.根据权利要求13或14所述的转印方法，其特征在于:所述转印步骤中，所述支撑部件与所述辊部件一体地沿着所述第2板状体的下表面移动。