JP2001328043A - テーブル位置決め装置 - Google Patents
テーブル位置決め装置Info
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 移動テーブルを基準平面上で位置決め可能な
テーブル位置決め装置を構成が簡単で、廉価に製造可能
にすること。 【解決手段】 テーブル位置決め装置１の移動テーブル
４は３組のテーブル移動機構４０１ないし４０３により
移動可能である。３組の位置センサ６Ａないし６Ｃの位
置情報に基づき、各テーブル移動機構４０１ないし４０
３が制御され、移動テーブル４が目標位置に移動する。
各テーブル移動機構は、偏心カム６０１ないし６０３
と、これらを両側から挟んでいる移動テーブル側の３組
の板７０１、７０２と、７１１、７１２と７２１、７２
２を備えている。偏心カム式のテーブル移動機構を用い
ると共に、各テーブル移動機構によるテーブル移動量を
フィードバックしているので、小型で廉価なテーブル位
置決め装置を実現できる。また、移動テーブルとカムを
常に接触状態に保持するためのプリロード機構が不要で
あるので、装置構成を簡素化でき、製造コストも低減で
きる。
テーブル位置決め装置を構成が簡単で、廉価に製造可能
にすること。 【解決手段】 テーブル位置決め装置１の移動テーブル
４は３組のテーブル移動機構４０１ないし４０３により
移動可能である。３組の位置センサ６Ａないし６Ｃの位
置情報に基づき、各テーブル移動機構４０１ないし４０
３が制御され、移動テーブル４が目標位置に移動する。
各テーブル移動機構は、偏心カム６０１ないし６０３
と、これらを両側から挟んでいる移動テーブル側の３組
の板７０１、７０２と、７１１、７１２と７２１、７２
２を備えている。偏心カム式のテーブル移動機構を用い
ると共に、各テーブル移動機構によるテーブル移動量を
フィードバックしているので、小型で廉価なテーブル位
置決め装置を実現できる。また、移動テーブルとカムを
常に接触状態に保持するためのプリロード機構が不要で
あるので、装置構成を簡素化でき、製造コストも低減で
きる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基準平面内で二次
元的に移動可能な移動テーブルあるいは基準平面内で回
転可能な移動テーブルを、高精度で、目標とする移動位
置あるいは回転位置に位置決め可能なテーブル位置決め
装置に関するものである。
元的に移動可能な移動テーブルあるいは基準平面内で回
転可能な移動テーブルを、高精度で、目標とする移動位
置あるいは回転位置に位置決め可能なテーブル位置決め
装置に関するものである。
【０００２】また、本発明は、小型化および低コスト化
に有利な高剛性のテーブル移動機構を備えたテーブル位
置決め装置に関するものである。
に有利な高剛性のテーブル移動機構を備えたテーブル位
置決め装置に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】一般に、ＸＹテーブルは、固定盤上にＸ
軸方向に直線往復移動可能なＸ軸テーブルが搭載され、
このＸ軸テーブルの上にＹ軸方向に直線往復移動可能な
Ｙ軸テーブルが搭載され、これらのテーブルをそれぞれ
直動機構によって移動させることにより、二次元上の目
標とする位置にテーブルを移動させるようにしている。
軸方向に直線往復移動可能なＸ軸テーブルが搭載され、
このＸ軸テーブルの上にＹ軸方向に直線往復移動可能な
Ｙ軸テーブルが搭載され、これらのテーブルをそれぞれ
直動機構によって移動させることにより、二次元上の目
標とする位置にテーブルを移動させるようにしている。
【０００４】また、目標位置に至ったテーブルが移動す
ることの無いように、クランプ機構によりテーブルを目
標位置に固定するようになっている。テーブルを別の位
置に移動する場合には、クランプ機構によるクランプ力
を解除してテーブルを移動自在の状態に戻した後に、テ
ーブルの移動が行われる。
ることの無いように、クランプ機構によりテーブルを目
標位置に固定するようになっている。テーブルを別の位
置に移動する場合には、クランプ機構によるクランプ力
を解除してテーブルを移動自在の状態に戻した後に、テ
ーブルの移動が行われる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、移動
テーブルを基準平面上で移動させるためのテーブル移動
機構を小型で、かつ高い剛性をもち、しかも廉価に構成
することにある。
テーブルを基準平面上で移動させるためのテーブル移動
機構を小型で、かつ高い剛性をもち、しかも廉価に構成
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は、固定テーブルと、基準平面上を二次元
的に移動可能な状態で前記固定テーブルによって支持さ
れている移動テーブルと、この移動テーブルを前記基準
平面上で移動させるための複数組のテーブル移動機構と
を有するテーブル位置決め装置において、前記テーブル
移動機構は、サーボモータと、このサーボモータによっ
て回転駆動する偏心カムと、この偏心カムを両側から挟
むように前記移動テーブルに固定された２枚の平行な板
とを備え、当該偏心カムの偏心回転運動が前記移動テー
ブルの直線運動に変換されることを特徴としている。
めに、本発明は、固定テーブルと、基準平面上を二次元
的に移動可能な状態で前記固定テーブルによって支持さ
れている移動テーブルと、この移動テーブルを前記基準
平面上で移動させるための複数組のテーブル移動機構と
を有するテーブル位置決め装置において、前記テーブル
移動機構は、サーボモータと、このサーボモータによっ
て回転駆動する偏心カムと、この偏心カムを両側から挟
むように前記移動テーブルに固定された２枚の平行な板
とを備え、当該偏心カムの偏心回転運動が前記移動テー
ブルの直線運動に変換されることを特徴としている。
【０００７】ここで、前記テーブル移動機構は第１ない
し第３のテーブル移動機構を備えた構成とすることがで
きる。
し第３のテーブル移動機構を備えた構成とすることがで
きる。
【０００８】この場合には、前記第１ないし第３のテー
ブル移動機構における各偏心カムによる前記移動テーブ
ルの移動量を検出する３個の位置センサを備えているこ
とが望ましい。
ブル移動機構における各偏心カムによる前記移動テーブ
ルの移動量を検出する３個の位置センサを備えているこ
とが望ましい。
【０００９】また、この場合には、前記第１および第２
のテーブル移動機構を、異なる位置において前記移動テ
ーブルを第１の方向に移動させるためのものとし、前記
第３のテーブル移動機構を、前記第１の方向とは直交す
る第２の方向に前記移動テーブルを移動させるものとす
れば、前記第１、第２および第３のテーブル移動機構に
おける各偏心カムの偏心回転量を制御することにより、
前記移動テーブルの直線移動および回転を可能にするこ
とができる。
のテーブル移動機構を、異なる位置において前記移動テ
ーブルを第１の方向に移動させるためのものとし、前記
第３のテーブル移動機構を、前記第１の方向とは直交す
る第２の方向に前記移動テーブルを移動させるものとす
れば、前記第１、第２および第３のテーブル移動機構に
おける各偏心カムの偏心回転量を制御することにより、
前記移動テーブルの直線移動および回転を可能にするこ
とができる。
【００１０】次に、本発明は、固定テーブルと、基準平
面上を二次元的に移動可能な状態で前記固定テーブルに
よって支持されている移動テーブルと、この移動テーブ
ルを前記基準平面上で移動させるための複数組のテーブ
ル移動機構とを有するテーブル位置決め装置において、
前記移動テーブルの位置を検出するテーブル位置検出手
段と、このテーブル位置検出手段の検出結果に基づき、
前記テーブル移動機構および前記クランプ機構を駆動制
御して前記移動テーブルを目標位置に位置決めする制御
手段とを有し、前記テーブル移動機構は少なくとも第
１、第２および第３のテーブル移動機構を備えており、
各テーブル移動機構は前記移動テーブルを直線移動させ
ることのできる直動機構とを備えており、この直動機構
は、前記制御手段によって駆動制御されるサーボモータ
と、このサーボモータによって回転駆動する偏心カム
と、この偏心カムを両側から挟むように前記移動テーブ
ルに固定された２枚の平行な板とを備え、当該偏心カム
の偏心回転運動が前記移動テーブルの直線運動に変換さ
れることを特徴としている。
面上を二次元的に移動可能な状態で前記固定テーブルに
よって支持されている移動テーブルと、この移動テーブ
ルを前記基準平面上で移動させるための複数組のテーブ
ル移動機構とを有するテーブル位置決め装置において、
前記移動テーブルの位置を検出するテーブル位置検出手
段と、このテーブル位置検出手段の検出結果に基づき、
前記テーブル移動機構および前記クランプ機構を駆動制
御して前記移動テーブルを目標位置に位置決めする制御
手段とを有し、前記テーブル移動機構は少なくとも第
１、第２および第３のテーブル移動機構を備えており、
各テーブル移動機構は前記移動テーブルを直線移動させ
ることのできる直動機構とを備えており、この直動機構
は、前記制御手段によって駆動制御されるサーボモータ
と、このサーボモータによって回転駆動する偏心カム
と、この偏心カムを両側から挟むように前記移動テーブ
ルに固定された２枚の平行な板とを備え、当該偏心カム
の偏心回転運動が前記移動テーブルの直線運動に変換さ
れることを特徴としている。
【００１１】ここで、前記テーブル位置検出手段は、各
偏心カムによる前記移動テーブルの移動量を検出する３
個の位置センサを備えていることが望ましい。また、前
記第１および第２のテーブル移動機構を、異なる位置に
おいて前記移動テーブルを第１の方向に移動させるため
のものとし、前記第３のテーブル移動機構を、前記第１
の方向とは直交する第２の方向に前記移動テーブルを移
動させるものとすれば、前記第１、第２および第３のテ
ーブル移動機構における各偏心カムの偏心回転量を制御
することにより、前記移動テーブルの直線移動および回
転が可能である。
偏心カムによる前記移動テーブルの移動量を検出する３
個の位置センサを備えていることが望ましい。また、前
記第１および第２のテーブル移動機構を、異なる位置に
おいて前記移動テーブルを第１の方向に移動させるため
のものとし、前記第３のテーブル移動機構を、前記第１
の方向とは直交する第２の方向に前記移動テーブルを移
動させるものとすれば、前記第１、第２および第３のテ
ーブル移動機構における各偏心カムの偏心回転量を制御
することにより、前記移動テーブルの直線移動および回
転が可能である。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して本発明を
適用したテーブル位置決め装置の実施例を詳細に説明す
る。
適用したテーブル位置決め装置の実施例を詳細に説明す
る。
【００１３】（全体構成）図１は、本例のテーブル位置
決め装置の平面構成図である。この図に示すように、テ
ーブル位置決め装置１は、基準固定テーブル２と、この
テーブル表面に形成された基準平面３に移動自在の状態
で乗せられている移動テーブル４とを有している。ま
た、移動テーブル４を基準平面３のＹ軸方向に直線移動
させるための第１および第２のテーブル移動機構４０
１、４０２と、移動テーブル４をＸ軸方向に直線移動さ
せるための第３のテーブル移動機構４０３を有してい
る。さらに、各テーブル移動機構４０１、４０２および
４０３によるテーブル移動量を検出するために、第１、
第２および第３の位置センサ６Ａ、６Ｂおよび６Ｃを有
している。さらには、移動テーブル４をクランプして基
準固定テーブル２の側に固定するためのクランプ機構
（図示せず）も有している。
決め装置の平面構成図である。この図に示すように、テ
ーブル位置決め装置１は、基準固定テーブル２と、この
テーブル表面に形成された基準平面３に移動自在の状態
で乗せられている移動テーブル４とを有している。ま
た、移動テーブル４を基準平面３のＹ軸方向に直線移動
させるための第１および第２のテーブル移動機構４０
１、４０２と、移動テーブル４をＸ軸方向に直線移動さ
せるための第３のテーブル移動機構４０３を有してい
る。さらに、各テーブル移動機構４０１、４０２および
４０３によるテーブル移動量を検出するために、第１、
第２および第３の位置センサ６Ａ、６Ｂおよび６Ｃを有
している。さらには、移動テーブル４をクランプして基
準固定テーブル２の側に固定するためのクランプ機構
（図示せず）も有している。
【００１４】本例の各テーブル移動機構４０１、４０
２、４０３は、移動テーブル４を直線移動させるため
に、サーボモータ出力軸５０１、５０２、５０３に偏心
状態で固定した円盤状の偏心カム６０１、６０２、６０
３と、これらら偏心カム６０１、６０２、６０３を両側
から挟むように移動テーブル４に固定された２枚の平行
な板７０１、７０２と７１１、７１２と７２１、７２２
とを備えている。
２、４０３は、移動テーブル４を直線移動させるため
に、サーボモータ出力軸５０１、５０２、５０３に偏心
状態で固定した円盤状の偏心カム６０１、６０２、６０
３と、これらら偏心カム６０１、６０２、６０３を両側
から挟むように移動テーブル４に固定された２枚の平行
な板７０１、７０２と７１１、７１２と７２１、７２２
とを備えている。
【００１５】偏心カム６０１、６０２は、Ｙ軸方向の両
側から板７０１、７０２および７１１、７１２によって
挟まれている。従って、偏心カム６０１、６０２が偏心
回転すると、移動テーブル４はＹ軸方向に移動する。こ
れに対して、偏心カム６０３は、Ｘ軸方向の両側から板
７２１、７２２によって挟まれており、偏心カム６０３
が回転すると、移動テーブル４はＸ軸方向に移動する。
さらに、これら偏心カム６０１ないし６０３の回転量を
個別に制御することにより、移動テーブル４を、基準平
面上における任意の位置に移動させることができ、ま
た、基準平面に垂直な回転中心線の周りに回転させるこ
とができる。
側から板７０１、７０２および７１１、７１２によって
挟まれている。従って、偏心カム６０１、６０２が偏心
回転すると、移動テーブル４はＹ軸方向に移動する。こ
れに対して、偏心カム６０３は、Ｘ軸方向の両側から板
７２１、７２２によって挟まれており、偏心カム６０３
が回転すると、移動テーブル４はＸ軸方向に移動する。
さらに、これら偏心カム６０１ないし６０３の回転量を
個別に制御することにより、移動テーブル４を、基準平
面上における任意の位置に移動させることができ、ま
た、基準平面に垂直な回転中心線の周りに回転させるこ
とができる。
【００１６】図２には偏心カム６０３による移動テーブ
ル４の移動状態を示してある。この図に示すように、第
３のテーブル移動機構４０３は、サーボモータ５１３
と、その出力軸５０３に取り付けた偏心カム６０３と、
この偏心カム６０３をＸ軸方向の両側から挟んでいる一
対の板７２１、７２２とを備えている。サーボモータ５
１３を駆動すると、偏心カム６０３が偏心回転し、当該
偏心カム６０３と一対の板７２１、７２２との接触点、
例えば、板７２２との接触点Ａが、回転量に応じてＸ軸
方向に往復移動する。図２（ｃ）には、偏心カムの回転
角に対する接触点Ａの軌跡を示してある。この図に示す
ように接触点Ａは正弦波状の軌跡を描く。他の２つのテ
ーブル移動機構４０１、４０２も同様に構成されてい
る。
ル４の移動状態を示してある。この図に示すように、第
３のテーブル移動機構４０３は、サーボモータ５１３
と、その出力軸５０３に取り付けた偏心カム６０３と、
この偏心カム６０３をＸ軸方向の両側から挟んでいる一
対の板７２１、７２２とを備えている。サーボモータ５
１３を駆動すると、偏心カム６０３が偏心回転し、当該
偏心カム６０３と一対の板７２１、７２２との接触点、
例えば、板７２２との接触点Ａが、回転量に応じてＸ軸
方向に往復移動する。図２（ｃ）には、偏心カムの回転
角に対する接触点Ａの軌跡を示してある。この図に示す
ように接触点Ａは正弦波状の軌跡を描く。他の２つのテ
ーブル移動機構４０１、４０２も同様に構成されてい
る。
【００１７】次に、図３はテーブル位置決め装置１の制
御系の概略ブロック図である。この図に示すように、制
御系は、マイクロコンピュータからなる制御装置１００
を中心に構成されている。サーボ駆動機構である各テー
ブル移動機構４０１、４０２、４０３は、制御装置１０
０の制御の下に、３軸コントロールボード１０１および
各ドライバ１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃを介して駆動
制御される。ここで、制御装置１００では、そのＲＯＭ
に格納されている制御プログラムに従って、各位置セン
サ６Ａないし６Ｃからの位置情報に基づき、移動テーブ
ル４を外部から設定される目標位置に位置決め制御す
る。
御系の概略ブロック図である。この図に示すように、制
御系は、マイクロコンピュータからなる制御装置１００
を中心に構成されている。サーボ駆動機構である各テー
ブル移動機構４０１、４０２、４０３は、制御装置１０
０の制御の下に、３軸コントロールボード１０１および
各ドライバ１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃを介して駆動
制御される。ここで、制御装置１００では、そのＲＯＭ
に格納されている制御プログラムに従って、各位置セン
サ６Ａないし６Ｃからの位置情報に基づき、移動テーブ
ル４を外部から設定される目標位置に位置決め制御す
る。
【００１８】制御動作の概要は次の通りである。外部か
ら移動テーブルを所定の目標位置に位置決めさせるため
の指令が入力されると、移動テーブル４がアンクランプ
状態に切り替わり、各テーブル移動機構４０１ないし４
０３よって基準平面３上を移動可能になる。
ら移動テーブルを所定の目標位置に位置決めさせるため
の指令が入力されると、移動テーブル４がアンクランプ
状態に切り替わり、各テーブル移動機構４０１ないし４
０３よって基準平面３上を移動可能になる。
【００１９】この後は、３組のテーブル移動機構４０１
ないし４０３を駆動して、移動テーブル４を目標位置に
向けて移動させる。移動テーブル４が目標位置に至った
ことが、３組の位置センサ６Ａないし６Ｃにより検出さ
れると、各テーブル移動機構を止めて、移動テーブル４
をクランプする。
ないし４０３を駆動して、移動テーブル４を目標位置に
向けて移動させる。移動テーブル４が目標位置に至った
ことが、３組の位置センサ６Ａないし６Ｃにより検出さ
れると、各テーブル移動機構を止めて、移動テーブル４
をクランプする。
【００２０】以上のように構成した本例のテーブル位置
決め装置では、偏心カム式のテーブル移動機構を３組用
いて、移動テーブルを基準平面上において移動あるいは
回転させることができるようにしている。また、それぞ
れのテーブル移動機構による移動テーブルの移動量を位
置センサによりフィードバックさせるようにしている。
決め装置では、偏心カム式のテーブル移動機構を３組用
いて、移動テーブルを基準平面上において移動あるいは
回転させることができるようにしている。また、それぞ
れのテーブル移動機構による移動テーブルの移動量を位
置センサによりフィードバックさせるようにしている。
【００２１】従って、本例によれば、従来のようなＸ軸
ステージおよびＹ軸ステージが積層された構造のステー
ジ機構、各ステージをプッシュロッド等の直動機構によ
って直線移動させる機構に比べて、小型かつ廉価な構造
で、しかも、精度良く移動テーブルの位置決め動作を行
わせることができる。
ステージおよびＹ軸ステージが積層された構造のステー
ジ機構、各ステージをプッシュロッド等の直動機構によ
って直線移動させる機構に比べて、小型かつ廉価な構造
で、しかも、精度良く移動テーブルの位置決め動作を行
わせることができる。
【００２２】さらに、本例のテーブル移動機構では、移
動テーブルを各偏心カムに対して常に押し付けておくた
めのプリロード機構が不要となる。従って、その分、装
置構成を簡素化でき、コストを低減でき、しかも、製作
も容易になる。
動テーブルを各偏心カムに対して常に押し付けておくた
めのプリロード機構が不要となる。従って、その分、装
置構成を簡素化でき、コストを低減でき、しかも、製作
も容易になる。
【００２３】これに加えて、各偏心カムは円形であるの
で、、各偏心カムを挟んでいる２枚の板の間隔を偏心カ
ムの直径寸法としておけばよいので、間隔調整等が簡単
である。
で、、各偏心カムを挟んでいる２枚の板の間隔を偏心カ
ムの直径寸法としておけばよいので、間隔調整等が簡単
である。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のテーブル
位置決め装置では、偏心カム式のテーブル移動機構を用
いると共に、各テーブル移動機構によるテーブル移動量
をフィードバックしているので、小型で廉価なテーブル
位置決め装置を実現できる。
位置決め装置では、偏心カム式のテーブル移動機構を用
いると共に、各テーブル移動機構によるテーブル移動量
をフィードバックしているので、小型で廉価なテーブル
位置決め装置を実現できる。
【００２５】また、本発明によれば、移動テーブルとカ
ムを常に接触状態に保持するためのプリロード機構が不
要であるので、装置構成を簡素化でき、製造コストも低
減できる。
ムを常に接触状態に保持するためのプリロード機構が不
要であるので、装置構成を簡素化でき、製造コストも低
減できる。
【図１】本発明を適用したテーブル位置決め装置の平面
構成図である。
構成図である。
【図２】図１の装置のテーブル移動機構を示す側面図、
上面図および回転カムの回転角に対するテーブル接触点
のストロークを示すグラフである。
上面図および回転カムの回転角に対するテーブル接触点
のストロークを示すグラフである。
【図３】図１の装置の制御系を示す概略ブロック図であ
る。
る。
１ テーブル位置決め装置 ２ 固定テーブル ３ 基準平面 ４ 移動テーブル ６Ａないし６Ｃ 位置センサ １００ 制御装置 １０１ ３軸コントロールボード ４０１、４０２、４０３ テーブル移動機構 ５０１、５０２、５０３ サーモボータ出力軸 ６０１、６０２、６０３ 偏心カム ７０１、７０２、７１１、７１２、７２１、７２２ 板
Claims (7)
- 【請求項１】 固定テーブルと、基準平面上を二次元的
に移動可能な状態で前記固定テーブルによって支持され
ている移動テーブルと、この移動テーブルを前記基準平
面上で移動させるための複数組のテーブル移動機構とを
有するテーブル位置決め装置において、 前記テーブル移動機構は、サーボモータと、このサーボ
モータによって回転駆動する円盤状の偏心カムと、この
偏心カムを両側から挟むように前記移動テーブルに固定
された２枚の平行な板とを備え、当該偏心カムの偏心回
転運動が前記移動テーブルの直線運動に変換されること
を特徴とするテーブル位置決め装置。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記テーブル移動機構は第１ないし第３のテーブル移動
機構を備えていることを特徴とするテーブル位置決め装
置。 - 【請求項３】 請求項２において、 前記第１ないし第３のテーブル移動機構における各偏心
カムによる前記移動テーブルの移動量を検出する３個の
位置センサを備えていることを特徴とするテーブル位置
決め装置。 - 【請求項４】 請求項３において、 前記第１および第２のテーブル移動機構は、異なる位置
において前記移動テーブルを第１の方向に移動させるた
めのものであり、前記第３のテーブル移動機構は、前記
第１の方向とは直交する第２の方向に前記移動テーブル
を移動させるものであり、 前記第１、第２および第３のテーブル移動機構における
各偏心カムの偏心回転量を制御することにより、前記移
動テーブルの直線移動および回転が可能となっているこ
とを特徴とするテーブル位置決め装置。 - 【請求項５】 固定テーブルと、基準平面上を二次元的
に移動可能な状態で前記固定テーブルによって支持され
ている移動テーブルと、この移動テーブルを前記基準平
面上で移動させるための複数組のテーブル移動機構とを
有するテーブル位置決め装置において、 前記移動テーブルの位置を検出するテーブル位置検出手
段と、このテーブル位置検出手段の検出結果に基づき、
前記テーブル移動機構および前記クランプ機構を駆動制
御して前記移動テーブルを目標位置に位置決めする制御
手段とを有し、 前記テーブル移動機構は少なくとも第１、第２および第
３のテーブル移動機構を備えており、各テーブル移動機
構は前記移動テーブルを直線移動させることのできる直
動機構とを備えており、 この直動機構は、前記制御手段によって駆動制御される
サーボモータと、このサーボモータによって回転駆動す
る円盤状の偏心カムと、この偏心カムを両側から挟むよ
うに前記移動テーブルに固定された２枚の平行な板とを
備え、当該偏心カムの偏心回転運動が前記移動テーブル
の直線運動に変換されることを特徴とするテーブル位置
決め装置。 - 【請求項６】 請求項５において、 前記テーブル位置検出手段は、各偏心カムによる前記移
動テーブルの移動量を検出する３個の位置センサを備え
ていることを特徴とするテーブル位置決め装置。 - 【請求項７】 請求項６において、 前記第１および第２のテーブル移動機構は、異なる位置
において前記移動テーブルを第１の方向に移動させるた
めのものであり、前記第３のテーブル移動機構は、前記
第１の方向とは直交する第２の方向に前記移動テーブル
を移動させるものであり、 前記第１、第２および第３のテーブル移動機構における
各偏心カムの偏心回転量を制御することにより、前記移
動テーブルの直線移動および回転が可能となっているこ
とを特徴とするテーブル位置決め装置。
Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| JP2000152232A JP2001328043A (ja) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | テーブル位置決め装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000152232A JP2001328043A (ja) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | テーブル位置決め装置 |
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|---|---|
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ID=18657686
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|---|---|---|---|
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| JP (1) | JP2001328043A (ja) |
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| KR200445809Y1 (ko) * | 2008-03-22 | 2009-09-01 | 이태수 | 재단기 작업대의 이동장치 |
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-
2001
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- 2001-05-23 US US09/862,721 patent/US6651969B2/en not_active Expired - Lifetime
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