JP2001157939A - センター基準載物台 - Google Patents
センター基準載物台Info
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- JP2001157939A JP2001157939A JP33867599A JP33867599A JP2001157939A JP 2001157939 A JP2001157939 A JP 2001157939A JP 33867599 A JP33867599 A JP 33867599A JP 33867599 A JP33867599 A JP 33867599A JP 2001157939 A JP2001157939 A JP 2001157939A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- center
- base
- worm gear
- pin
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 単純な機構により多種サイズに対応でき、高
精度でワークを位置決めすることができると共に、低コ
ストで生産できるセンター基準載物台を提供する。 【解決手段】 ベース6に収納されたウォーム歯車5の
スパイラル溝5aに嵌合し、その上方のサブベース上に
配置されたリニアガイド10の可動子10aの下面に設
けられたガイドピン12がウォーム歯車5の回転に伴
い、その半径方向に移動する。これにより、可動子10
aがサブベース3上で放射線状に移動し、可動子10a
の上面に設けられた固定ピン11がワーク台2に設けら
れた直線状の孔14から上方に突出してワーク台2上を
移動し、ワーク台2に載置されるワーク1を固定する。
精度でワークを位置決めすることができると共に、低コ
ストで生産できるセンター基準載物台を提供する。 【解決手段】 ベース6に収納されたウォーム歯車5の
スパイラル溝5aに嵌合し、その上方のサブベース上に
配置されたリニアガイド10の可動子10aの下面に設
けられたガイドピン12がウォーム歯車5の回転に伴
い、その半径方向に移動する。これにより、可動子10
aがサブベース3上で放射線状に移動し、可動子10a
の上面に設けられた固定ピン11がワーク台2に設けら
れた直線状の孔14から上方に突出してワーク台2上を
移動し、ワーク台2に載置されるワーク1を固定する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、加工する基板中心
を台中心と一致させて載置し固定するセンター基準載物
台に関し、特に、レーザトリミング装置のX,Yテーブ
ルに搭載される載物台に好適なセンター基準載物台に関
する。
を台中心と一致させて載置し固定するセンター基準載物
台に関し、特に、レーザトリミング装置のX,Yテーブ
ルに搭載される載物台に好適なセンター基準載物台に関
する。
【0002】
【従来の技術】一般に、抵抗素子の形成された基板(以
下、ワークという。)にレーザビームを使用して、微小
抵抗体における抵抗値をトリミング(調整)して所定値
に調製するために、ワークの加工測定機であるレーザト
リミング装置が使用されている。レーザトリミング装置
は、ワークを装置内に固定する載物台を有し、載物台上
にワークを搭載して予め設定された位置にワークを固定
した後、レーザビームにより、基板上に形成された抵抗
素子の抵抗値を所定の値にトリミングして抵抗精度を上
げる装置である。従って、ワークを固定する載物台は設
定されたトリミング位置で精度よく停止及び固定できる
ことが要求される。ワークは通常、薄板で、正方形又は
長方形の形状を有しており、レーザトリミング装置に使
用されている載物台におけるワークの固定手段として
は、テーブル上に直交する2辺を固定して、他面方向か
らワークを押しつける機構を具備し、これによりワーク
を固定する方法又は、直行する2辺の固定面にワークを
押しつけた後に下面からワークを真空吸引して保持する
方法等がとられている。
下、ワークという。)にレーザビームを使用して、微小
抵抗体における抵抗値をトリミング(調整)して所定値
に調製するために、ワークの加工測定機であるレーザト
リミング装置が使用されている。レーザトリミング装置
は、ワークを装置内に固定する載物台を有し、載物台上
にワークを搭載して予め設定された位置にワークを固定
した後、レーザビームにより、基板上に形成された抵抗
素子の抵抗値を所定の値にトリミングして抵抗精度を上
げる装置である。従って、ワークを固定する載物台は設
定されたトリミング位置で精度よく停止及び固定できる
ことが要求される。ワークは通常、薄板で、正方形又は
長方形の形状を有しており、レーザトリミング装置に使
用されている載物台におけるワークの固定手段として
は、テーブル上に直交する2辺を固定して、他面方向か
らワークを押しつける機構を具備し、これによりワーク
を固定する方法又は、直行する2辺の固定面にワークを
押しつけた後に下面からワークを真空吸引して保持する
方法等がとられている。
【0003】しかし、ワークは、ワークに形成されるチ
ップ抵抗素子の数及びサイズ等により大きさが異なるた
め、種々の品種があり、更に今後も品種が増すと考えら
れる。このため、設備供給メーカは、多種サイズのワー
クに対応するため、ワークの種類によって載物台を交換
したり、ワークを押しつけ固定する側の可動範囲を大き
くして類似サイズのワークに対しては一台の載物台で対
応させる等の工夫をしているが、可動範囲が小さいた
め、全てのワークサイズには対応できていない。
ップ抵抗素子の数及びサイズ等により大きさが異なるた
め、種々の品種があり、更に今後も品種が増すと考えら
れる。このため、設備供給メーカは、多種サイズのワー
クに対応するため、ワークの種類によって載物台を交換
したり、ワークを押しつけ固定する側の可動範囲を大き
くして類似サイズのワークに対しては一台の載物台で対
応させる等の工夫をしているが、可動範囲が小さいた
め、全てのワークサイズには対応できていない。
【0004】一方、チップ抵抗素子の製作プロセスで
は、チップ抵抗間のバラツキが問題となっている。この
問題を解決するため、従来、ワークサイズに拘わらず、
常にワーク中心と載物台中心とを一致させることによ
り、チップ抵抗間のバラツキを吸収するセンター基準載
物台がある。この種の載物台は、リンク機構を使用し
て、ワークの固定部材をワークに対して平行に開閉する
ことにより、ワークを固定している。以下に、その一例
として、従来のセンター基準載物台について説明する。
は、チップ抵抗間のバラツキが問題となっている。この
問題を解決するため、従来、ワークサイズに拘わらず、
常にワーク中心と載物台中心とを一致させることによ
り、チップ抵抗間のバラツキを吸収するセンター基準載
物台がある。この種の載物台は、リンク機構を使用し
て、ワークの固定部材をワークに対して平行に開閉する
ことにより、ワークを固定している。以下に、その一例
として、従来のセンター基準載物台について説明する。
【0005】図3は従来のセンター基準載物台を示す上
面図である。図3に示すように、ワークを載せる長方形
のワーク台30には、その中央の長手方向にワーク台3
0上を摺動する駆動バー25が、駆動バー25の両端部
にこれを支える軸受け21bと共に配置されており、更
に、この駆動バー25には駆動バー25を摺動させるシ
リンダ20が連結されている。また、ワーク台30の中
央部には、駆動バー25と直交する方向に垂直バー28
が夫々設けられ、駆動バー25と垂直バー28との接続
部に垂直バー28を駆動バー25とは直交する方向に摺
動させる推力変換カム24を有している。また、この2
個の垂直バー28にはL字型で、そのコーナ部が回転中
心22aとなり、相互に向き合うリンク23aが設けら
れ、このリンク23aの両隣には、垂直バー28を支え
る軸受け21aが夫々設けられている。一方、駆動バー
25も、推力変換カム24とシリンダ20との間に、L
字型で、そのコーナ部が回転中心22bとなり、相互に
向き合うリンク23bを有し、垂直バー28のシリンダ
20側に形成されたリンク23aと直交するように夫々
配置されている。これらのリンク23a及びリンク23
bの端部には、ワークを固定するクランプピン29a及
び29bが夫々設けられている。
面図である。図3に示すように、ワークを載せる長方形
のワーク台30には、その中央の長手方向にワーク台3
0上を摺動する駆動バー25が、駆動バー25の両端部
にこれを支える軸受け21bと共に配置されており、更
に、この駆動バー25には駆動バー25を摺動させるシ
リンダ20が連結されている。また、ワーク台30の中
央部には、駆動バー25と直交する方向に垂直バー28
が夫々設けられ、駆動バー25と垂直バー28との接続
部に垂直バー28を駆動バー25とは直交する方向に摺
動させる推力変換カム24を有している。また、この2
個の垂直バー28にはL字型で、そのコーナ部が回転中
心22aとなり、相互に向き合うリンク23aが設けら
れ、このリンク23aの両隣には、垂直バー28を支え
る軸受け21aが夫々設けられている。一方、駆動バー
25も、推力変換カム24とシリンダ20との間に、L
字型で、そのコーナ部が回転中心22bとなり、相互に
向き合うリンク23bを有し、垂直バー28のシリンダ
20側に形成されたリンク23aと直交するように夫々
配置されている。これらのリンク23a及びリンク23
bの端部には、ワークを固定するクランプピン29a及
び29bが夫々設けられている。
【0006】次に、この載物台の動作について説明す
る。先ず、図3において矢印27で示す、駆動バー25
の長手方向にシリンダ20が移動して、シリンダ20に
連結されている駆動バー25を矢印27方向に摺動させ
る。これにより、駆動バー25に取り付けられた推力変
換カム24及びリンク23bも同一方向に移動する。そ
して、駆動バー25の移動に伴い、駆動バー25とリン
ク接続しているリンク23bもスイングし、例えば、駆
動バー25が矢印27の左方向に移動した場合、リンク
23bのクランプピン29bが矢印27とは直交する方
向の矢印26方向の互いに離隔する方向に変位して、2
個のクランプピン29bの間の距離が駆動バー25の移
動前より大きくなる。また、駆動バー25の移動に伴
い、推力変換カム24も左方に変位すると、垂直バー2
8が推力変換カム24により駆動バー25とは直交する
方向である矢印26方向に移動する。このとき、推力変
換カム24の垂直バー28との摺動部は左から右にテー
パ状に形成されているため、2個の垂直バー28は離隔
する方向へ移動する。垂直バー28が変位すると、リン
ク23aが回転中心22aを中心にスイング(角変位)
をする。これに伴い、リンク23aの端部に形成された
クランプピン29aが変位し、クランプピン29aが矢
印27方向にワークを押さえる。
る。先ず、図3において矢印27で示す、駆動バー25
の長手方向にシリンダ20が移動して、シリンダ20に
連結されている駆動バー25を矢印27方向に摺動させ
る。これにより、駆動バー25に取り付けられた推力変
換カム24及びリンク23bも同一方向に移動する。そ
して、駆動バー25の移動に伴い、駆動バー25とリン
ク接続しているリンク23bもスイングし、例えば、駆
動バー25が矢印27の左方向に移動した場合、リンク
23bのクランプピン29bが矢印27とは直交する方
向の矢印26方向の互いに離隔する方向に変位して、2
個のクランプピン29bの間の距離が駆動バー25の移
動前より大きくなる。また、駆動バー25の移動に伴
い、推力変換カム24も左方に変位すると、垂直バー2
8が推力変換カム24により駆動バー25とは直交する
方向である矢印26方向に移動する。このとき、推力変
換カム24の垂直バー28との摺動部は左から右にテー
パ状に形成されているため、2個の垂直バー28は離隔
する方向へ移動する。垂直バー28が変位すると、リン
ク23aが回転中心22aを中心にスイング(角変位)
をする。これに伴い、リンク23aの端部に形成された
クランプピン29aが変位し、クランプピン29aが矢
印27方向にワークを押さえる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
センター基準載物台においては、リンク及び軸受けの集
合体のために部品点数が多いと共に、これらの部品が高
精度の加工を必要とするため1点当たりの部品価格が高
価になる。更に、回転部及び摺動部が多いため機械精度
のみでは全てが補えず、手動による調整に頼よるところ
が多くなり、原価が高くなるという問題点がある。
センター基準載物台においては、リンク及び軸受けの集
合体のために部品点数が多いと共に、これらの部品が高
精度の加工を必要とするため1点当たりの部品価格が高
価になる。更に、回転部及び摺動部が多いため機械精度
のみでは全てが補えず、手動による調整に頼よるところ
が多くなり、原価が高くなるという問題点がある。
【0008】また、クランプピンが可動できるストロー
ク範囲は、リンクの回転中心から伝達軸である駆動バー
及び垂直バーまでのスパンで決まるため、サイズが固定
しているテーブルに実装できるユニットでは可動範囲を
大きく取れない。そのため、2種類以上の製品に対応さ
せたい場合、サイズ比の大きい製品には対応ができない
という問題点がある。
ク範囲は、リンクの回転中心から伝達軸である駆動バー
及び垂直バーまでのスパンで決まるため、サイズが固定
しているテーブルに実装できるユニットでは可動範囲を
大きく取れない。そのため、2種類以上の製品に対応さ
せたい場合、サイズ比の大きい製品には対応ができない
という問題点がある。
【0009】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、単純な機構により多種サイズに対応でき、
高精度でワークを位置決めすることができると共に、低
コストで生産できるセンター基準載物台を提供すること
を目的とする。
のであって、単純な機構により多種サイズに対応でき、
高精度でワークを位置決めすることができると共に、低
コストで生産できるセンター基準載物台を提供すること
を目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明に係るセンター基
準載物台は、表面にスパイラル状の溝が形成された円板
を回転可能に支持する第1ベースと、この第1ベースの
上方に設けられ、直線上を移動可能の可動子が複数個設
けられた第2ベースと、前記可動子の下面に設けられ前
記溝に嵌合する下ピンと、前記可動子の上面に突出する
ように設けられた上ピンと、前記第2ベースの上方に設
けられ、前記上ピンが挿入されて上方に突出する直線状
の孔が形成されたワーク台と、を有し、前記孔から上方
に突出する上ピンによりワークを挟んで前記ワークを位
置決めし、前記溝をスパイラル中心を回転中心として回
転させることにより前記下ピンを前記回転中心から放射
状に移動させて前記ワーク台上で前記上ピンの間隔を調
節することを特徴とする。
準載物台は、表面にスパイラル状の溝が形成された円板
を回転可能に支持する第1ベースと、この第1ベースの
上方に設けられ、直線上を移動可能の可動子が複数個設
けられた第2ベースと、前記可動子の下面に設けられ前
記溝に嵌合する下ピンと、前記可動子の上面に突出する
ように設けられた上ピンと、前記第2ベースの上方に設
けられ、前記上ピンが挿入されて上方に突出する直線状
の孔が形成されたワーク台と、を有し、前記孔から上方
に突出する上ピンによりワークを挟んで前記ワークを位
置決めし、前記溝をスパイラル中心を回転中心として回
転させることにより前記下ピンを前記回転中心から放射
状に移動させて前記ワーク台上で前記上ピンの間隔を調
節することを特徴とする。
【0011】本発明においては、円板を回転させると、
円板に形成されたスパイラル状の溝に嵌合された下ピン
が円板の回転に追従して溝に沿って転がり、この下ピン
により、直線上を移動可能な可動子をその直線上に移動
させ、この可動子の上面に設けられたワーク台の孔から
突出する上ピンを放射線状に移動することにより、ワー
ク台上で、ワークを挟んで位置決め固定することができ
る。
円板に形成されたスパイラル状の溝に嵌合された下ピン
が円板の回転に追従して溝に沿って転がり、この下ピン
により、直線上を移動可能な可動子をその直線上に移動
させ、この可動子の上面に設けられたワーク台の孔から
突出する上ピンを放射線状に移動することにより、ワー
ク台上で、ワークを挟んで位置決め固定することができ
る。
【0012】また、前記下ピンは、前記スパイラル溝の
回転の角変位に比例する距離を移動することが好まし
い。
回転の角変位に比例する距離を移動することが好まし
い。
【0013】更に、前記可動子は、対向方向が直交する
ようにして2対配置されていることが好ましい。
ようにして2対配置されていることが好ましい。
【0014】更にまた、前記円板はウォーム歯車であ
り、このウォーム歯車に噛合するウォームと、このウォ
ームを駆動するステッピングモータとを有することがで
きる。
り、このウォーム歯車に噛合するウォームと、このウォ
ームを駆動するステッピングモータとを有することがで
きる。
【0015】また、前記ウォーム歯車は、前記スパイラ
ル中心を回転可能に支持するシャフトを有し、前記シャ
フトは前記第2ベースの中心位置及び前記ワーク台の中
心位置に回転可能に支持されていることが好ましい。
ル中心を回転可能に支持するシャフトを有し、前記シャ
フトは前記第2ベースの中心位置及び前記ワーク台の中
心位置に回転可能に支持されていることが好ましい。
【0016】更に、微小抵抗体が形成された前記ワーク
を位置決めし、前記微小抵抗体の抵抗値をレーザビーム
により所定の抵抗値に調整するレーザトリミング装置の
X、Yテーブルに搭載されるものとして使用することが
できる。
を位置決めし、前記微小抵抗体の抵抗値をレーザビーム
により所定の抵抗値に調整するレーザトリミング装置の
X、Yテーブルに搭載されるものとして使用することが
できる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について、
添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明
の実施例のセンター基準載物台を展開した状態を示す斜
視図である。本実施例のセンター基準載物台は、素子が
形成された基板の中心を台中心に一致させて載置し、固
定する載物台であり、集積回路チップ上に構成された薄
膜抵抗をレーザにより溶融し、抵抗調整するために使用
するレーザトリミング装置のX、Yテーブルに搭載され
る載物台である。
添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明
の実施例のセンター基準載物台を展開した状態を示す斜
視図である。本実施例のセンター基準載物台は、素子が
形成された基板の中心を台中心に一致させて載置し、固
定する載物台であり、集積回路チップ上に構成された薄
膜抵抗をレーザにより溶融し、抵抗調整するために使用
するレーザトリミング装置のX、Yテーブルに搭載され
る載物台である。
【0018】図1に示すように、レーザトリミング装置
用センター基準載物台(以下、載物台という。)100
は、スパイラル状の溝(以下、スパイラル溝という。)
5aがウォーム歯車5の表面に加工され、このスパイラ
ル溝5aが加工されている領域を開口してウォーム歯車
5が収納されたベース6と、このベース6の上方に設け
られ、直線上を移動可能の可動子10a及びこの可動子
10aを支持するリニアガイド10が対向方向が直交す
るようにして2対設けられたサブベース3と、可動子1
0aの下面に設けられ、スパイラル溝5aに嵌合するガ
イドピン12と、可動子10aの上面に突出するように
設けられた固定ピン11と、サブベース3の上方に設け
られ、固定ピン11が挿入され上方に突出する直線状の
孔14が形成されたワーク台2と、から構成される。以
下、この載物台100について更に詳しく説明する。
用センター基準載物台(以下、載物台という。)100
は、スパイラル状の溝(以下、スパイラル溝という。)
5aがウォーム歯車5の表面に加工され、このスパイラ
ル溝5aが加工されている領域を開口してウォーム歯車
5が収納されたベース6と、このベース6の上方に設け
られ、直線上を移動可能の可動子10a及びこの可動子
10aを支持するリニアガイド10が対向方向が直交す
るようにして2対設けられたサブベース3と、可動子1
0aの下面に設けられ、スパイラル溝5aに嵌合するガ
イドピン12と、可動子10aの上面に突出するように
設けられた固定ピン11と、サブベース3の上方に設け
られ、固定ピン11が挿入され上方に突出する直線状の
孔14が形成されたワーク台2と、から構成される。以
下、この載物台100について更に詳しく説明する。
【0019】図2は、ウォーム歯車5の上面に加工され
ているスパイラル溝5aを示す上面図である。図2に示
すように、ウォーム歯車5のスパイラル溝5aには、ガ
イドピン12が、ウォーム歯車5の回転中心であるスパ
イラル中心から等距離かつ対向方向が直交するようにし
て2対嵌合され、更に夫々その半径方向に2個ずつ並ん
で対になっている。このガイドピン12はウォーム歯車
5の回転に追従してスパイラル溝5aの側面に沿って転
がる。そして、2個ずつ並んで4箇所に設けられた各ガ
イドピン12は、後述するワーク1を固定するリニアガ
イド10の裏面に夫々固定されているため、ウォーム歯
車5が回転して、ガイドピン12の位置がその回転中心
から放射線状に移動することにより、リニアガイド10
を移動させる。このとき、スパイラル溝5aは一定のリ
ードを有しているため、ガイドピン12はウォーム歯車
5の角変位に比例して移動する。この移動量のバラツキ
及び繰り返し精度は、スパイラル溝5aの加工精度に依
存する。
ているスパイラル溝5aを示す上面図である。図2に示
すように、ウォーム歯車5のスパイラル溝5aには、ガ
イドピン12が、ウォーム歯車5の回転中心であるスパ
イラル中心から等距離かつ対向方向が直交するようにし
て2対嵌合され、更に夫々その半径方向に2個ずつ並ん
で対になっている。このガイドピン12はウォーム歯車
5の回転に追従してスパイラル溝5aの側面に沿って転
がる。そして、2個ずつ並んで4箇所に設けられた各ガ
イドピン12は、後述するワーク1を固定するリニアガ
イド10の裏面に夫々固定されているため、ウォーム歯
車5が回転して、ガイドピン12の位置がその回転中心
から放射線状に移動することにより、リニアガイド10
を移動させる。このとき、スパイラル溝5aは一定のリ
ードを有しているため、ガイドピン12はウォーム歯車
5の角変位に比例して移動する。この移動量のバラツキ
及び繰り返し精度は、スパイラル溝5aの加工精度に依
存する。
【0020】ウォーム歯車5にはウォーム歯車5の回転
軸と直交する方向に回転軸を有したウォーム4が噛み合
い、ウォーム4はウォーム4に回転トルクを伝達すると
共に、ウォーム4の軸ズレを吸収するカップリング8を
介してウォーム歯車5の駆動源であるステッピングモー
タ7に接続されている。そして、ウォーム歯車5のスパ
イラル中心にはウォーム歯車5を回転可能に支持するシ
ャフト9が圧入され、ウォーム歯車5を収納するベース
6により、シャフト9の下端が支持されている。ベース
6は、ウォーム4を収納してウォーム4を回転可能に支
持すると共にウォーム4とウォーム歯車5とのクリアラ
ンスを確保している。
軸と直交する方向に回転軸を有したウォーム4が噛み合
い、ウォーム4はウォーム4に回転トルクを伝達すると
共に、ウォーム4の軸ズレを吸収するカップリング8を
介してウォーム歯車5の駆動源であるステッピングモー
タ7に接続されている。そして、ウォーム歯車5のスパ
イラル中心にはウォーム歯車5を回転可能に支持するシ
ャフト9が圧入され、ウォーム歯車5を収納するベース
6により、シャフト9の下端が支持されている。ベース
6は、ウォーム4を収納してウォーム4を回転可能に支
持すると共にウォーム4とウォーム歯車5とのクリアラ
ンスを確保している。
【0021】また、ベース6の上方に配置されたサブベ
ース3は、サブベース3の中心にシャフト9を通す穴が
形成された支持部3aでシャフト9の上端を回転可能に
支持し、その上面には4個のリニアガイド10が配置さ
れている。リニアガイド10は、サブベース3上で対向
方向が直交するようにして2対配置されており、サブベ
ース3の中心を通る直線上であって、その中心から等距
離の位置に各1個ずつ位置決めされて固定されており、
また、サブベース3の中心で前記直線とは直交する方向
の直線上に中心から等距離の位置に各1個ずつ位置決め
固定されている。そして、図1において、矢印13に示
すウォーム歯車5の回転中心からその半径方向の直線上
に移動可能な可動子10aとこの可動子10aを支持し
て摺動させると共にサブベース3上に固定される支持部
10bとを有している。更に、リニアガイド10の可動
子10aは、上面に設けられたワーク1を固定する固定
ピン11と、下面に設けられたリニアガイド10の可動
子10aを動かすガイドピン12とを有している。本実
施例では、固定ピン12がシャフト9を挟んで対向する
位置のリニアガイド10上に1個ずつ、これらとは直交
する方向に対向する位置のリニアガイド10上に2個ず
つ、合計6個設けられている。なお、固定ピン11は、
例えばワーク1の形状が正方形、長方形又は円形等の形
状である場合等に合わせて、必要に応じてその位置及び
個数を適宜変更して設けることができる。
ース3は、サブベース3の中心にシャフト9を通す穴が
形成された支持部3aでシャフト9の上端を回転可能に
支持し、その上面には4個のリニアガイド10が配置さ
れている。リニアガイド10は、サブベース3上で対向
方向が直交するようにして2対配置されており、サブベ
ース3の中心を通る直線上であって、その中心から等距
離の位置に各1個ずつ位置決めされて固定されており、
また、サブベース3の中心で前記直線とは直交する方向
の直線上に中心から等距離の位置に各1個ずつ位置決め
固定されている。そして、図1において、矢印13に示
すウォーム歯車5の回転中心からその半径方向の直線上
に移動可能な可動子10aとこの可動子10aを支持し
て摺動させると共にサブベース3上に固定される支持部
10bとを有している。更に、リニアガイド10の可動
子10aは、上面に設けられたワーク1を固定する固定
ピン11と、下面に設けられたリニアガイド10の可動
子10aを動かすガイドピン12とを有している。本実
施例では、固定ピン12がシャフト9を挟んで対向する
位置のリニアガイド10上に1個ずつ、これらとは直交
する方向に対向する位置のリニアガイド10上に2個ず
つ、合計6個設けられている。なお、固定ピン11は、
例えばワーク1の形状が正方形、長方形又は円形等の形
状である場合等に合わせて、必要に応じてその位置及び
個数を適宜変更して設けることができる。
【0022】また、サブベース3を介してリニアガイド
10の下面に夫々2個ずつ取り付けられ、各リニアガイ
ド10の可動子10aを移動させるガイドピン12は、
ウォーム歯車5のスパイラル溝5aに嵌合し、ウォーム
歯車5の回転に追従してスパイラル溝5aの側面に沿っ
て転がり移動し、リニアガイド10の可動子10aを矢
印13の方向へ移動させる。これにより、可動子10a
に設けられた固定ピン11が変位し、固定ピン11がワ
ーク1を押さえて固定するか又はワーク1を離して離脱
する。なお、スパイラル溝5aに嵌合するガイドピン1
2の嵌合位置についても、本実施例においてはウォーム
歯車5の回転中心から4個全て等距離かつ対向方向が直
交するようにして2対嵌合されているが、ワーク1の形
状が長方形等の場合には、その形状に合わせて適宜その
位置、数及び形を変更することができる。こうして、ウ
ォーム歯車5の半径方向に移動してワーク1を固定する
固定ピン11を移動させるリニアガイド10が構成され
ている。
10の下面に夫々2個ずつ取り付けられ、各リニアガイ
ド10の可動子10aを移動させるガイドピン12は、
ウォーム歯車5のスパイラル溝5aに嵌合し、ウォーム
歯車5の回転に追従してスパイラル溝5aの側面に沿っ
て転がり移動し、リニアガイド10の可動子10aを矢
印13の方向へ移動させる。これにより、可動子10a
に設けられた固定ピン11が変位し、固定ピン11がワ
ーク1を押さえて固定するか又はワーク1を離して離脱
する。なお、スパイラル溝5aに嵌合するガイドピン1
2の嵌合位置についても、本実施例においてはウォーム
歯車5の回転中心から4個全て等距離かつ対向方向が直
交するようにして2対嵌合されているが、ワーク1の形
状が長方形等の場合には、その形状に合わせて適宜その
位置、数及び形を変更することができる。こうして、ウ
ォーム歯車5の半径方向に移動してワーク1を固定する
固定ピン11を移動させるリニアガイド10が構成され
ている。
【0023】更に、サブベース3上方においてリニアガ
イド10の固定ピン11によりワーク1を固定するため
に、ワーク1を載置するワーク台2には、リニアガイド
10の固定ピン11がワーク1の形状に合わせて移動す
る直線状の孔14が夫々設けられており、ワーク台2に
おいて孔14から突出した固定ピン11がワーク台2上
で移動する。本実施例においては、載物台100が固定
ピン11を6個有するため、ワーク台2にはこれに対向
する位置に6箇所の孔14が設けられている。また、ワ
ーク台2はサブベース3の支持部3aと共に、ワーク台
中心に設けられた穴によりシャフト9を回転可能に支持
する支持部2aを有し、これより、ウォーム歯車5の回
転中心と、可動子10aが設けられたサブベース3の中
心と、ワーク台2の中心とが一致する。また、ワーク台
2、サブベース3及びベース6は、そのコーナ部に置い
て固定具15により固定されている。
イド10の固定ピン11によりワーク1を固定するため
に、ワーク1を載置するワーク台2には、リニアガイド
10の固定ピン11がワーク1の形状に合わせて移動す
る直線状の孔14が夫々設けられており、ワーク台2に
おいて孔14から突出した固定ピン11がワーク台2上
で移動する。本実施例においては、載物台100が固定
ピン11を6個有するため、ワーク台2にはこれに対向
する位置に6箇所の孔14が設けられている。また、ワ
ーク台2はサブベース3の支持部3aと共に、ワーク台
中心に設けられた穴によりシャフト9を回転可能に支持
する支持部2aを有し、これより、ウォーム歯車5の回
転中心と、可動子10aが設けられたサブベース3の中
心と、ワーク台2の中心とが一致する。また、ワーク台
2、サブベース3及びベース6は、そのコーナ部に置い
て固定具15により固定されている。
【0024】次に、このように構成されたセンター基準
載物台100の動作について説明する。先ず、ステッピ
ングモータ7を回転させるとステッピングモータ7の軸
に結合されているカップリング8が回転する。同様にカ
ップリング8の他端に結合するウォーム4が回転し、こ
れに噛み合うウォーム歯車5を回転させる。そして、ウ
ォーム歯車5が回転するとウォーム歯車5のスパイラル
溝5aに嵌合しているガイドピン12がスパイラル溝5
aに沿って転がる。ガイドピン12は、ウォーム歯車5
の回転中心に対して放射線状の直線状のみ移動が可動な
リニアガイド10に取り付けられているため、ウォーム
歯車5が回転するとスパイラル溝5aの溝が加工されて
いる領域の半径方向に移動する。このとき、例えば、図
2に示すように、スパイラル溝5aが中心から時計回り
のスパイラル状に形成されている場合には、ウォーム歯
車5を反時計回りに回転させると、スパイラル溝5aに
嵌合するガイドピン12は、ウォーム歯車5の回転の角
変位に比例して中心から離隔する方向へ移動する。従っ
て、このガイドピン12が夫々取り付けられている4個
のリニアガイド10の可動子10aが中心から離隔する
矢印13の方向に追従移動する。そうすると、ワーク台
2上に突出する固定ピン11が矢印13の方向に移動す
る。こうして、リニアガイド10上に設けられた固定ピ
ン11がワーク台2上のワーク1を離して離脱する。逆
に、ウォーム歯車5が時計回りに回転すると、固定ピン
11が相互に接近移動してワーク台2上のワークを固定
することができる。
載物台100の動作について説明する。先ず、ステッピ
ングモータ7を回転させるとステッピングモータ7の軸
に結合されているカップリング8が回転する。同様にカ
ップリング8の他端に結合するウォーム4が回転し、こ
れに噛み合うウォーム歯車5を回転させる。そして、ウ
ォーム歯車5が回転するとウォーム歯車5のスパイラル
溝5aに嵌合しているガイドピン12がスパイラル溝5
aに沿って転がる。ガイドピン12は、ウォーム歯車5
の回転中心に対して放射線状の直線状のみ移動が可動な
リニアガイド10に取り付けられているため、ウォーム
歯車5が回転するとスパイラル溝5aの溝が加工されて
いる領域の半径方向に移動する。このとき、例えば、図
2に示すように、スパイラル溝5aが中心から時計回り
のスパイラル状に形成されている場合には、ウォーム歯
車5を反時計回りに回転させると、スパイラル溝5aに
嵌合するガイドピン12は、ウォーム歯車5の回転の角
変位に比例して中心から離隔する方向へ移動する。従っ
て、このガイドピン12が夫々取り付けられている4個
のリニアガイド10の可動子10aが中心から離隔する
矢印13の方向に追従移動する。そうすると、ワーク台
2上に突出する固定ピン11が矢印13の方向に移動す
る。こうして、リニアガイド10上に設けられた固定ピ
ン11がワーク台2上のワーク1を離して離脱する。逆
に、ウォーム歯車5が時計回りに回転すると、固定ピン
11が相互に接近移動してワーク台2上のワークを固定
することができる。
【0025】本実施例によれば、ワーク1を固定する固
定ピン11はスパイラル溝5aが形成されている溝加工
領域の半径と同一範囲を移動できて、固定ピン11の可
動ストローク範囲を広くとれるため、広い範囲のワーク
サイズに対応することができる。更に、リニアガイド1
0はウォーム歯車5を回転可能に支持するシャフト9か
ら等距離かつ対向方向が直交するようにして2対設けら
れ、また、リニアガイド10が固定されているサブベー
ス3は、その中心位置でシャフト9を回転可能に支持し
ているため、レーザトリミング装置の加工センターとワ
ーク1の外形センターとを一致させてワーク1を固定す
ることができる。従って、ワークサイズが異る場合にお
いてもワークセンタが常に中心となり、このセンタリン
グ精度はスパイラル溝5aの加工精度で決まるため、設
備構成が簡素となる。更にまた、ワーク1を固定する固
定ピン11を、ステッピングモータ7に接続されたウォ
ーム4及びウォーム歯車5によって動かすため、微小な
固定幅をデータ管理できる。また、摺動部及び部品点数
が少なく、単純機構で構成しているため、従来のように
部品点数が多く、更に要求される部品精度が高いために
コストが高くなるリンク機構方式と比較して安価に供給
することができる。
定ピン11はスパイラル溝5aが形成されている溝加工
領域の半径と同一範囲を移動できて、固定ピン11の可
動ストローク範囲を広くとれるため、広い範囲のワーク
サイズに対応することができる。更に、リニアガイド1
0はウォーム歯車5を回転可能に支持するシャフト9か
ら等距離かつ対向方向が直交するようにして2対設けら
れ、また、リニアガイド10が固定されているサブベー
ス3は、その中心位置でシャフト9を回転可能に支持し
ているため、レーザトリミング装置の加工センターとワ
ーク1の外形センターとを一致させてワーク1を固定す
ることができる。従って、ワークサイズが異る場合にお
いてもワークセンタが常に中心となり、このセンタリン
グ精度はスパイラル溝5aの加工精度で決まるため、設
備構成が簡素となる。更にまた、ワーク1を固定する固
定ピン11を、ステッピングモータ7に接続されたウォ
ーム4及びウォーム歯車5によって動かすため、微小な
固定幅をデータ管理できる。また、摺動部及び部品点数
が少なく、単純機構で構成しているため、従来のように
部品点数が多く、更に要求される部品精度が高いために
コストが高くなるリンク機構方式と比較して安価に供給
することができる。
【0026】なお、ガイドピン12はスパイラル溝5a
に嵌合してリニアガイド10の可動子10aに取り付け
られ、ウォーム歯車5の回転と共に、可動子10aを移
動させ、この可動子10a上に設けられた固定ピン11
を動かす手段である。従って、ガイドピン12及び固定
ピン11の代わりに、ワークを固定する直線上を移動可
能な可動子に貫通したピンを設け、その一端をスパイラ
ル溝5aに嵌合し、他端をワーク台から突出させて、こ
れによりワークをワーク台に固定してもよい。
に嵌合してリニアガイド10の可動子10aに取り付け
られ、ウォーム歯車5の回転と共に、可動子10aを移
動させ、この可動子10a上に設けられた固定ピン11
を動かす手段である。従って、ガイドピン12及び固定
ピン11の代わりに、ワークを固定する直線上を移動可
能な可動子に貫通したピンを設け、その一端をスパイラ
ル溝5aに嵌合し、他端をワーク台から突出させて、こ
れによりワークをワーク台に固定してもよい。
【0027】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
回転する円板上に形成されたスパイラル状の溝に嵌合す
る下ピンによって、可動子をスパイラル溝の回転中心か
ら放射線状に移動させ、これにより、ワークを固定する
上ピンを移動させるため、リンク機構方式と比較して可
動ストローク範囲を大きくとることができ、このため、
一台で多種の基板サイズに対応することができる。ま
た、センタリング精度がスパイラル溝の加工精度で決ま
るため、管理しやすく、センタリングの精度を向上させ
ることができる。また、リンク機構方式と異なり、本実
施例は可動子の直交度が機械精度に依存するので、人的
な調整が不要であるため、組み立て後の精度を安定させ
ることができると共に低コストで生産することができ
る。
回転する円板上に形成されたスパイラル状の溝に嵌合す
る下ピンによって、可動子をスパイラル溝の回転中心か
ら放射線状に移動させ、これにより、ワークを固定する
上ピンを移動させるため、リンク機構方式と比較して可
動ストローク範囲を大きくとることができ、このため、
一台で多種の基板サイズに対応することができる。ま
た、センタリング精度がスパイラル溝の加工精度で決ま
るため、管理しやすく、センタリングの精度を向上させ
ることができる。また、リンク機構方式と異なり、本実
施例は可動子の直交度が機械精度に依存するので、人的
な調整が不要であるため、組み立て後の精度を安定させ
ることができると共に低コストで生産することができ
る。
【図1】本発明の実施例に係るセンター基準載物台を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図2】本発明の実施例に係るセンター基準載物台のウ
ォーム歯車に加工されているスパイラル溝を示す模式図
である。
ォーム歯車に加工されているスパイラル溝を示す模式図
である。
【図3】従来のセンター基準載物台を示す斜視図であ
る。
る。
1;ワーク 2;ワーク台 3;サブベース 4;ウォーム 5;ウォーム歯車 5a;スパイラル溝 6;ベース 7;ステッピングモータ 8;カップリング 9;シャフト 10;リニアガイド 11;固定ピン 12;ガイドピン 20;シリンダ 21a、21b;軸受け 22a、22b;回転中心 23a、23b;リンク 24;推力変換カム 25;駆動バー 28;垂直バー 29a、29b;クランプピン 30;ワーク台
Claims (6)
- 【請求項1】 表面にスパイラル状の溝が形成された円
板を回転可能に支持する第1ベースと、この第1ベース
の上方に設けられ、直線上を移動可能の可動子が複数個
設けられた第2ベースと、前記可動子の下面に設けられ
前記溝に嵌合する下ピンと、前記可動子の上面に突出す
るように設けられた上ピンと、前記第2ベースの上方に
設けられ、前記上ピンが挿入されて上方に突出する直線
状の孔が形成されたワーク台と、を有し、前記孔から上
方に突出する上ピンによりワークを挟んで前記ワークを
位置決めし、前記溝をスパイラル中心を回転中心として
回転させることにより前記下ピンを前記回転中心から放
射状に移動させて前記ワーク台上で前記上ピンの間隔を
調節することを特徴とするセンター基準載置台。 - 【請求項2】 前記下ピンは、前記スパイラル溝の回転
の角変位に比例する距離を移動することを特徴とする請
求項1に記載のセンター基準載物台。 - 【請求項3】 前記可動子は、対向方向が直交するよう
にして2対配置されていることを特徴とする請求項1又
は2に記載のセンター基準載物台。 - 【請求項4】 前記円板はウォーム歯車であり、このウ
ォーム歯車に噛合するウォームと、このウォームを駆動
するステッピングモータとを有することを特徴とする請
求項1乃至4のいずれか1項に記載のセンター基準載物
台。 - 【請求項5】 前記ウォーム歯車は、前記スパイラル中
心を回転可能に支持するシャフトを有し、前記シャフト
は前記第2ベースの中心位置及び前記ワーク台の中心位
置に回転可能に支持されていることを特徴とする請求項
1乃至4のいずれか1項に記載のセンター基準載物台。 - 【請求項6】 微小抵抗体が形成された前記ワークを位
置決めし、前記微小抵抗体の抵抗値をレーザビームによ
り所定の抵抗値に調整するレーザトリミング装置のX、
Yテーブルに搭載されるものであることを特徴とする請
求項1乃至5のいずれか1項に記載のセンター基準載物
台。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33867599A JP2001157939A (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | センター基準載物台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33867599A JP2001157939A (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | センター基準載物台 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001157939A true JP2001157939A (ja) | 2001-06-12 |
Family
ID=18320410
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33867599A Pending JP2001157939A (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | センター基準載物台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001157939A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007015097A (ja) * | 2005-06-10 | 2007-01-25 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | ワーク固定装置 |
CN106239360A (zh) * | 2016-10-11 | 2016-12-21 | 天津方准因特雷准科技有限公司 | 一种铸造件毛边打磨机用自动上料装卡装置 |
CN107378540A (zh) * | 2017-09-21 | 2017-11-24 | 蚌埠市富瑞达机床机械制造有限公司 | 一种镗铣床组合夹具 |
CN107378567A (zh) * | 2017-09-21 | 2017-11-24 | 蚌埠市富瑞达机床机械制造有限公司 | 一种镗铣床夹具 |
CN107553168A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-01-09 | 广东长盈精密技术有限公司 | 工件定位装置 |
CN107756013A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-03-06 | 四川有色金砂选矿药剂有限公司 | 轴承压盖 |
CN107900723A (zh) * | 2017-11-09 | 2018-04-13 | 宁波大红鹰学院 | 一种定位准确的钻孔装置 |
CN109570758A (zh) * | 2019-01-10 | 2019-04-05 | 合肥邦立电子股份有限公司 | 一种车辆abs传感器的芯片热熔焊接工装及工艺 |
CN111975676A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-11-24 | 北京铁科首钢轨道技术股份有限公司 | 圆柱面型钢支座纵向底板工装 |
CN112824560A (zh) * | 2019-11-20 | 2021-05-21 | 中国科学院微电子研究所 | 一种制备薄膜材料的样品台和方法 |
JP2021190604A (ja) * | 2020-06-02 | 2021-12-13 | 株式会社ヒューモラボラトリー | チップ電子部品検査選別装置用のチップ電子部品搬送円盤 |
-
1999
- 1999-11-29 JP JP33867599A patent/JP2001157939A/ja active Pending
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4509049B2 (ja) * | 2005-06-10 | 2010-07-21 | 日本スピンドル製造株式会社 | ワーク固定装置 |
JP2007015097A (ja) * | 2005-06-10 | 2007-01-25 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | ワーク固定装置 |
CN106239360A (zh) * | 2016-10-11 | 2016-12-21 | 天津方准因特雷准科技有限公司 | 一种铸造件毛边打磨机用自动上料装卡装置 |
CN107378540A (zh) * | 2017-09-21 | 2017-11-24 | 蚌埠市富瑞达机床机械制造有限公司 | 一种镗铣床组合夹具 |
CN107378567A (zh) * | 2017-09-21 | 2017-11-24 | 蚌埠市富瑞达机床机械制造有限公司 | 一种镗铣床夹具 |
CN107553168A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-01-09 | 广东长盈精密技术有限公司 | 工件定位装置 |
CN107900723A (zh) * | 2017-11-09 | 2018-04-13 | 宁波大红鹰学院 | 一种定位准确的钻孔装置 |
CN107756013A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-03-06 | 四川有色金砂选矿药剂有限公司 | 轴承压盖 |
CN109570758A (zh) * | 2019-01-10 | 2019-04-05 | 合肥邦立电子股份有限公司 | 一种车辆abs传感器的芯片热熔焊接工装及工艺 |
CN109570758B (zh) * | 2019-01-10 | 2023-11-24 | 合肥邦立电子股份有限公司 | 一种车辆abs传感器的芯片热熔焊接工装及工艺 |
CN112824560A (zh) * | 2019-11-20 | 2021-05-21 | 中国科学院微电子研究所 | 一种制备薄膜材料的样品台和方法 |
JP2021190604A (ja) * | 2020-06-02 | 2021-12-13 | 株式会社ヒューモラボラトリー | チップ電子部品検査選別装置用のチップ電子部品搬送円盤 |
JP7075139B2 (ja) | 2020-06-02 | 2022-05-25 | 株式会社ヒューモラボラトリー | チップ電子部品検査選別装置用のチップ電子部品搬送円盤 |
CN111975676A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-11-24 | 北京铁科首钢轨道技术股份有限公司 | 圆柱面型钢支座纵向底板工装 |
CN111975676B (zh) * | 2020-08-19 | 2022-08-23 | 北京铁科首钢轨道技术股份有限公司 | 圆柱面型钢支座纵向底板工装 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040323 |
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