JPH09248724A - プリント基板穴明機 - Google Patents
プリント基板穴明機Info
- Publication number
- JPH09248724A JPH09248724A JP5807396A JP5807396A JPH09248724A JP H09248724 A JPH09248724 A JP H09248724A JP 5807396 A JP5807396 A JP 5807396A JP 5807396 A JP5807396 A JP 5807396A JP H09248724 A JPH09248724 A JP H09248724A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printed circuit
- circuit board
- sub
- boring machine
- board boring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers
- H05K3/0044—Mechanical working of the substrate, e.g. drilling or punching
Landscapes
- Drilling And Boring (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の加工軸を備え、複数のプリント基板４
１を同時に加工するようにしたプリント基板穴明機にお
いて、加工軸の軸心を容易に位置決めでき、穴明け精度
を向上させることができるプリント基板穴明機を提供す
ること。 【解決手段】 複数の加工軸３０ａ、３０ｂを備え、テ
ーブルに載置した複数のプリント基板４１を同時に加工
するようにしたプリント基板穴明機において、テーブル
６９にＸＹ方向に位置決め可能のサブテーブル６０を設
け、プリント基板４１をサブテーブル６０を介してテー
ブル６９に載置する。
１を同時に加工するようにしたプリント基板穴明機にお
いて、加工軸の軸心を容易に位置決めでき、穴明け精度
を向上させることができるプリント基板穴明機を提供す
ること。 【解決手段】 複数の加工軸３０ａ、３０ｂを備え、テ
ーブルに載置した複数のプリント基板４１を同時に加工
するようにしたプリント基板穴明機において、テーブル
６９にＸＹ方向に位置決め可能のサブテーブル６０を設
け、プリント基板４１をサブテーブル６０を介してテー
ブル６９に載置する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の加工軸を備
え、複数のプリント基板を同時に加工するようにしたプ
リント基板穴明機に関する。
え、複数のプリント基板を同時に加工するようにしたプ
リント基板穴明機に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４及び図５はプリント基板穴明機の全
体図を示すもので、図４は平面図、図５は正面図であ
る。
体図を示すもので、図４は平面図、図５は正面図であ
る。
【０００３】同図において、１はベッド、２は直線案内
装置でありベッド１の中央部に設けた溝３の内部に配置
されている。なお、直線案内装置２は軌道２ａと、２個
のベアリング２ｂとで構成されている。４はフレーム
で、直線案内装置２によって、Ｘ軸方向に移動自在であ
る。５はモータ、６は送りねじであり、送りねじ６はモ
ータ５と軸受７の間に支持され、フレーム４に固定され
たナット８に螺合している。そして、モータ５、送りね
じ６及びナット８とで第１のねじ送り機構を構成してい
る。９はサブガイドベアリングで、フレーム４の両端に
設けてあり、フレーム４のＸ軸回りの回転を規制してい
る。
装置でありベッド１の中央部に設けた溝３の内部に配置
されている。なお、直線案内装置２は軌道２ａと、２個
のベアリング２ｂとで構成されている。４はフレーム
で、直線案内装置２によって、Ｘ軸方向に移動自在であ
る。５はモータ、６は送りねじであり、送りねじ６はモ
ータ５と軸受７の間に支持され、フレーム４に固定され
たナット８に螺合している。そして、モータ５、送りね
じ６及びナット８とで第１のねじ送り機構を構成してい
る。９はサブガイドベアリングで、フレーム４の両端に
設けてあり、フレーム４のＸ軸回りの回転を規制してい
る。
【０００４】１０は直線案内装置で、フレーム４の前面
に所定の間隔で固定されている。１１はスライダで、直
線案内装置１０によって、Ｙ軸方向に移動自在である。
１２はモータである。１３は送りねじで、モータ１２に
結合され、スライダ１１に固定されたナット１４に螺合
している。そして、モータ１２、送りねじ１３及びナッ
ト１４とで第２の送りねじ機構を構成している。
に所定の間隔で固定されている。１１はスライダで、直
線案内装置１０によって、Ｙ軸方向に移動自在である。
１２はモータである。１３は送りねじで、モータ１２に
結合され、スライダ１１に固定されたナット１４に螺合
している。そして、モータ１２、送りねじ１３及びナッ
ト１４とで第２の送りねじ機構を構成している。
【０００５】２０は直線案内装置で、スライダ１１の前
面に所定の間隔で固定されている。２１ａ、２１ｂはサ
ドルで、直線案内装置２０によって、Ｚ軸方向に移動自
在である。２３ａ、２３ｂはモータである。２４ａ、２
４ｂは送りねじで、モータ２３ａ、２３ｂに結合され、
サドル２１ａ、２１ｂに固定された図示しないナットに
螺合している。そして、モータ２３ａ、２３ｂ、送りね
じ２４ａ、２４ｂ及び図示しないナットとで第３のねじ
送り機構を構成している。
面に所定の間隔で固定されている。２１ａ、２１ｂはサ
ドルで、直線案内装置２０によって、Ｚ軸方向に移動自
在である。２３ａ、２３ｂはモータである。２４ａ、２
４ｂは送りねじで、モータ２３ａ、２３ｂに結合され、
サドル２１ａ、２１ｂに固定された図示しないナットに
螺合している。そして、モータ２３ａ、２３ｂ、送りね
じ２４ａ、２４ｂ及び図示しないナットとで第３のねじ
送り機構を構成している。
【０００６】３０ａ、３０ｂはスピンドルユニットで、
サドル２１ａ、２１ｂに固定されている。そして、スピ
ンドルユニット３０ａ、３０ｂに回転可能に支持された
スピンドル（図示せず）の一端に図示しないコレットチ
ャックを介して工具３１ａ、３１ｂを着脱自在に保持し
ている。
サドル２１ａ、２１ｂに固定されている。そして、スピ
ンドルユニット３０ａ、３０ｂに回転可能に支持された
スピンドル（図示せず）の一端に図示しないコレットチ
ャックを介して工具３１ａ、３１ｂを着脱自在に保持し
ている。
【０００７】４０ａ、４０ｂはサブテーブルで、図示し
ないボルトによりベッド１の所定の位置に固定され、ベ
ッド１と一体である。４１はプリント基板で、サブテー
ブル４０ａ、４０ｂに載置され（なお、理解を容易にす
るために、図４においてはサブテーブル４０ｂのみプリ
ント基板４１を載置させてある）、図示しない固定手段
により固定されている。４２はスタックピンで、プリン
ト基板４１の所定の位置に２本固定されている。４３
ａ、４３ｂは基準ブッシュで、内径がスタックピン４２
の外径より僅かに大きい穴を備え、サブテーブル４０
ａ、４０ｂの所定の位置に固定されている。４４ａ、４
４ｂはガイドで、溝４５ａ、４５ｂを備え、サブテーブ
ル４０ａ、４０ｂに固定されている。なお、溝４５ａ、
４５ｂの幅はスタックピン４２の外径よりも僅かに大き
い。
ないボルトによりベッド１の所定の位置に固定され、ベ
ッド１と一体である。４１はプリント基板で、サブテー
ブル４０ａ、４０ｂに載置され（なお、理解を容易にす
るために、図４においてはサブテーブル４０ｂのみプリ
ント基板４１を載置させてある）、図示しない固定手段
により固定されている。４２はスタックピンで、プリン
ト基板４１の所定の位置に２本固定されている。４３
ａ、４３ｂは基準ブッシュで、内径がスタックピン４２
の外径より僅かに大きい穴を備え、サブテーブル４０
ａ、４０ｂの所定の位置に固定されている。４４ａ、４
４ｂはガイドで、溝４５ａ、４５ｂを備え、サブテーブ
ル４０ａ、４０ｂに固定されている。なお、溝４５ａ、
４５ｂの幅はスタックピン４２の外径よりも僅かに大き
い。
【０００８】そして、以下のようにして、プリント基板
４１に穴明け加工をする。予め、工具３１ａ、３１ｂの
軸心をそれぞれ基準ブッシュ４３ａ、４３ｂの穴位置に
対して正確に位置決めするとともに、軌道２ａと溝４５
ａ、４５ｂを平行にしておく。そして、プリント基板４
１のスタックピン４２のうち、一方を基準ブッシュ４３
ａ、４３ｂの穴に、また他方を溝４５ａ、４５ｂに嵌合
させ、図示しない固定手段によりサブテーブル４０ａ、
４０ｂに固定する。次にモータ５とモータ１２を動作さ
せ、フレーム４をＸ軸方向に移動させるとともにスライ
ダ１１をＹ軸方向に移動させ、工具３１ａ、３１ｂでプ
リント基板４１の加工位置の上方に位置決めする。そし
て、モータ２３ａ、２３ｂを動作させ、サドル２１ａ、
２１ｂをＺ軸方向に移動させることにより、工具３１
ａ、３１ｂでプリント基板４１に所要の加工を行う。な
お、作業能率を上げるため、サブテーブル４０ａ、４０
ｂそれぞれにプリント基板４１を固定して２枚を同時に
加工する。
４１に穴明け加工をする。予め、工具３１ａ、３１ｂの
軸心をそれぞれ基準ブッシュ４３ａ、４３ｂの穴位置に
対して正確に位置決めするとともに、軌道２ａと溝４５
ａ、４５ｂを平行にしておく。そして、プリント基板４
１のスタックピン４２のうち、一方を基準ブッシュ４３
ａ、４３ｂの穴に、また他方を溝４５ａ、４５ｂに嵌合
させ、図示しない固定手段によりサブテーブル４０ａ、
４０ｂに固定する。次にモータ５とモータ１２を動作さ
せ、フレーム４をＸ軸方向に移動させるとともにスライ
ダ１１をＹ軸方向に移動させ、工具３１ａ、３１ｂでプ
リント基板４１の加工位置の上方に位置決めする。そし
て、モータ２３ａ、２３ｂを動作させ、サドル２１ａ、
２１ｂをＺ軸方向に移動させることにより、工具３１
ａ、３１ｂでプリント基板４１に所要の加工を行う。な
お、作業能率を上げるため、サブテーブル４０ａ、４０
ｂそれぞれにプリント基板４１を固定して２枚を同時に
加工する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】スピンドルや各軸の摺
動部から発生する熱により、フレーム４、スライダ１１
及びサドル２１ａ、２１ｂが熱変形する。この結果、工
具３１ａの軸心位置及び工具３１ｂの軸心位置は変化す
る。しかし、工具３１ａ、３１ｂは同一のフレーム４及
びスライダ１１に載置されているから、一方の軸心位置
を他方の軸心位置に対してＸＹ方向に相対的に移動させ
ることは容易でない。そこで、予め十分なヒートランを
行い、各部の温度を一定にした状態で工具３１ａ、３１
ｂの軸心を位置決めすることにより、穴明け精度を向上
させていた。
動部から発生する熱により、フレーム４、スライダ１１
及びサドル２１ａ、２１ｂが熱変形する。この結果、工
具３１ａの軸心位置及び工具３１ｂの軸心位置は変化す
る。しかし、工具３１ａ、３１ｂは同一のフレーム４及
びスライダ１１に載置されているから、一方の軸心位置
を他方の軸心位置に対してＸＹ方向に相対的に移動させ
ることは容易でない。そこで、予め十分なヒートランを
行い、各部の温度を一定にした状態で工具３１ａ、３１
ｂの軸心を位置決めすることにより、穴明け精度を向上
させていた。
【００１０】本発明の目的は、上記した課題を解決し、
複数の加工軸を備え、複数のプリント基板を同時に加工
するようにしたプリント基板穴明機において、加工軸の
軸心を容易に位置決めでき、穴明け精度を向上させるこ
とができるプリント基板穴明機を提供するところにあ
る。
複数の加工軸を備え、複数のプリント基板を同時に加工
するようにしたプリント基板穴明機において、加工軸の
軸心を容易に位置決めでき、穴明け精度を向上させるこ
とができるプリント基板穴明機を提供するところにあ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記した課題は、複数の
加工軸を備え、テーブルに載置した複数のプリント基板
を同時に加工するようにしたプリント基板穴明機におい
て、テーブルにＸＹ方向に位置決め可能なサブテーブル
を設け、プリント基板をサブテーブルを介してテーブル
に載置することにより解決される。そして、サブテーブ
ルの数は、加工軸数よりも１個少なくすることができ
る。
加工軸を備え、テーブルに載置した複数のプリント基板
を同時に加工するようにしたプリント基板穴明機におい
て、テーブルにＸＹ方向に位置決め可能なサブテーブル
を設け、プリント基板をサブテーブルを介してテーブル
に載置することにより解決される。そして、サブテーブ
ルの数は、加工軸数よりも１個少なくすることができ
る。
【００１２】かかる構成により、加工軸間が相対的に変
位しても、加工軸が変位した量と同じ量だけプリント基
板を移動させれば、加工軸と対応するプリント基板との
位置関係は変らない。
位しても、加工軸が変位した量と同じ量だけプリント基
板を移動させれば、加工軸と対応するプリント基板との
位置関係は変らない。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は本発明によるプリント基板
穴明機の平面図、図２はＸＹ移動装置を示す平面図、図
３はＸＹ移動装置の正面図である。なお、図４、図５と
同じものは同一の符号を付してある。
穴明機の平面図、図２はＸＹ移動装置を示す平面図、図
３はＸＹ移動装置の正面図である。なお、図４、図５と
同じものは同一の符号を付してある。
【００１４】同図において、５０ａ、５０ｂはＣＣＤカ
メラであり、スピンドルに接近させてスピンドルユニッ
ト３０ａ、３０ｂに固定してある。５１は基準マーク
で、サブテーブル５２の上面に基準ブッシュ４３ａの穴
の中心を中心としてＸ軸、Ｙ軸と平行に予め位置を定め
て４個配置してある。サブテーブル５２は図示しないボ
ルトによりベッド１に固定され、ベッド１と一体であ
る。６０はＸＹ移動装置で、Ｘテーブル６１とＹテーブ
ル６２とで構成されている。６３はモータである。
メラであり、スピンドルに接近させてスピンドルユニッ
ト３０ａ、３０ｂに固定してある。５１は基準マーク
で、サブテーブル５２の上面に基準ブッシュ４３ａの穴
の中心を中心としてＸ軸、Ｙ軸と平行に予め位置を定め
て４個配置してある。サブテーブル５２は図示しないボ
ルトによりベッド１に固定され、ベッド１と一体であ
る。６０はＸＹ移動装置で、Ｘテーブル６１とＹテーブ
ル６２とで構成されている。６３はモータである。
【００１５】６４は送りねじで、モータ６３の出力軸に
接続され、Ｘテーブル６１に固定されたナット６５に螺
合している。６６はモータである。６７は送りねじで、
モータ６６の出力軸に接続され、Ｙテーブル６２に固定
されたナット６８に螺合している。６９はサブテーブル
で、図示しないボルトによりベッド１に固定され、ベッ
ド１と一体である。そして、サブテーブル６９のあり溝
７０にはＹテーブル６２の凸部７１が、Ｙテーブル６２
のあり溝７２にはＸテーブル６１の凸部７３が係合して
いる。７４は基準マークで、Ｘテーブル６１の上面に基
準ブッシュ４３ｂの穴の中心を中心としてＸ軸、Ｙ軸と
平行に予め位置を定めて４個配置してある。なお、サブ
テーブル５２の上面とＸテーブル６１の上面は同一平面
となるように構成してある。
接続され、Ｘテーブル６１に固定されたナット６５に螺
合している。６６はモータである。６７は送りねじで、
モータ６６の出力軸に接続され、Ｙテーブル６２に固定
されたナット６８に螺合している。６９はサブテーブル
で、図示しないボルトによりベッド１に固定され、ベッ
ド１と一体である。そして、サブテーブル６９のあり溝
７０にはＹテーブル６２の凸部７１が、Ｙテーブル６２
のあり溝７２にはＸテーブル６１の凸部７３が係合して
いる。７４は基準マークで、Ｘテーブル６１の上面に基
準ブッシュ４３ｂの穴の中心を中心としてＸ軸、Ｙ軸と
平行に予め位置を定めて４個配置してある。なお、サブ
テーブル５２の上面とＸテーブル６１の上面は同一平面
となるように構成してある。
【００１６】以下、動作を説明する。フレーム４及びス
ライダ１１を移動させ、ＣＣＤカメラ５０ａにより４個
の基準マーク５１の位置を読み取り、工具３１ａの軸心
を基準ブッシュ４３ａの穴の中心に合わせ、その位置を
工具３１ａ、工具３１ｂ、フレーム４及びスライダ１１
の加工原点とする。次に、フレーム４及びスライダ１１
を移動させ、ＣＣＤカメラ５０ｂにより４個の基準マー
ク７４の位置を読み取り、基準ブッシュ４３ｂの穴の中
心の工具３１ｂの軸心に対するずれ量を求める。
ライダ１１を移動させ、ＣＣＤカメラ５０ａにより４個
の基準マーク５１の位置を読み取り、工具３１ａの軸心
を基準ブッシュ４３ａの穴の中心に合わせ、その位置を
工具３１ａ、工具３１ｂ、フレーム４及びスライダ１１
の加工原点とする。次に、フレーム４及びスライダ１１
を移動させ、ＣＣＤカメラ５０ｂにより４個の基準マー
ク７４の位置を読み取り、基準ブッシュ４３ｂの穴の中
心の工具３１ｂの軸心に対するずれ量を求める。
【００１７】そして、Ｘテーブル６１及びＹテーブル６
２を移動させ、基準ブッシュ４３ｂの穴の中心を工具３
１ｂの軸心に合わせる。以上で、工具３１ａ、３１ｂの
軸心と基準ブッシュ４３ａ、基準ブッシュ４３ｂの穴の
中心とが正確に位置決めできたから、従来と同様にして
穴明け加工を開始する。そして、予め定める加工時間あ
るいは穴の加工数ごとに工具３１ａ、３１ｂの軸心と基
準ブッシュ４３ａ、基準ブッシュ４３ｂとの位置関係を
確認し、必要に応じて、工具３１ａの軸心及び基準ブッ
シュ４３ｂの穴の中心を補正する。
２を移動させ、基準ブッシュ４３ｂの穴の中心を工具３
１ｂの軸心に合わせる。以上で、工具３１ａ、３１ｂの
軸心と基準ブッシュ４３ａ、基準ブッシュ４３ｂの穴の
中心とが正確に位置決めできたから、従来と同様にして
穴明け加工を開始する。そして、予め定める加工時間あ
るいは穴の加工数ごとに工具３１ａ、３１ｂの軸心と基
準ブッシュ４３ａ、基準ブッシュ４３ｂとの位置関係を
確認し、必要に応じて、工具３１ａの軸心及び基準ブッ
シュ４３ｂの穴の中心を補正する。
【００１８】なお、本実施の形態では、基準マーク５１
をサブテーブル５２に、基準マーク７４をＸテーブル６
１に配置したが、プリント基板に基準マークを設けても
よい。この場合、加工中にプリント基板が熱変形しても
補正が可能になる。また、プリント基板をＸＹ方向に正
確に位置決めできれば、スタックピン４２、基準ブッシ
ュ４３ａ、４３ｂ、ガイド４４ａ、４４ｂ及び溝４５
ａ、４５ｂを設けなくても加工ができる。また、工具３
１ａ、３１ｂの軸心を基準マーク４１，７４とＣＣＤカ
メラ５０ａ、５０ｂとで決定したが、他の方法、例え
ば、接触センサと工具あるいは工具相当のゲージを用い
てもよい。
をサブテーブル５２に、基準マーク７４をＸテーブル６
１に配置したが、プリント基板に基準マークを設けても
よい。この場合、加工中にプリント基板が熱変形しても
補正が可能になる。また、プリント基板をＸＹ方向に正
確に位置決めできれば、スタックピン４２、基準ブッシ
ュ４３ａ、４３ｂ、ガイド４４ａ、４４ｂ及び溝４５
ａ、４５ｂを設けなくても加工ができる。また、工具３
１ａ、３１ｂの軸心を基準マーク４１，７４とＣＣＤカ
メラ５０ａ、５０ｂとで決定したが、他の方法、例え
ば、接触センサと工具あるいは工具相当のゲージを用い
てもよい。
【００１９】なお、本実施の形態では、プリント基板を
テーブルに固定しておき、工具をＸＹＺ方向に移動させ
たが、工具をＸＺ方向に、プリント基板を固定したテー
ブルをＹ方向に移動させるようにしたプリント基板穴明
機にも適用できることはいうまでもない。
テーブルに固定しておき、工具をＸＹＺ方向に移動させ
たが、工具をＸＺ方向に、プリント基板を固定したテー
ブルをＹ方向に移動させるようにしたプリント基板穴明
機にも適用できることはいうまでもない。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、複
数の加工軸の軸心をそれぞれ独立して位置決めできるか
ら、穴明け精度を向上させることができるという効果が
ある。また、加工軸の軸心を位置決めする時間を短縮で
き、作業能率を向上させることができるという効果があ
る。
数の加工軸の軸心をそれぞれ独立して位置決めできるか
ら、穴明け精度を向上させることができるという効果が
ある。また、加工軸の軸心を位置決めする時間を短縮で
き、作業能率を向上させることができるという効果があ
る。
【図１】本発明によるプリント基板穴明機の平面図。
【図２】本発明によるＸＹ移動装置を示す平面図。
【図３】本発明によるＸＹ移動装置の正面図。
【図４】従来のプリント基板穴明機の平面図。
【図５】従来のプリント基板穴明機の正面図。
３０ａ，３０ｂ スピンドルユニット ３１ａ，３１ｂ 工具 ４０ａ，４０ｂ，５２，６９ サブテーブル ４１ プリント基板 ６０ ＸＹ移動装置
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の加工軸を備え、テーブルに載置し
た複数のプリント基板を同時に加工するようにしたプリ
ント基板穴明機において、テーブルにＸＹ方向に位置決
め可能なサブテーブルを設け、プリント基板をサブテー
ブルを介してテーブルに載置するようにしたことを特徴
とするプリント基板穴明機。 - 【請求項２】 サブテーブルの数を、加工軸数マイナス
１とすることを特徴とする請求項１記載のプリント基板
穴明機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5807396A JPH09248724A (ja) | 1996-03-14 | 1996-03-14 | プリント基板穴明機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5807396A JPH09248724A (ja) | 1996-03-14 | 1996-03-14 | プリント基板穴明機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09248724A true JPH09248724A (ja) | 1997-09-22 |
Family
ID=13073746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5807396A Pending JPH09248724A (ja) | 1996-03-14 | 1996-03-14 | プリント基板穴明機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09248724A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002292596A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-08 | Uht Corp | パンチングマシン |
| US7198438B2 (en) | 2003-04-11 | 2007-04-03 | Kosmowski Wojciech B | Drilling system with stationary work table |
| TWI413567B (zh) * | 2007-03-28 | 2013-11-01 | Hitachi Via Mechanics Ltd | Printing substrate processing machine |
| US8899887B2 (en) * | 2013-02-13 | 2014-12-02 | Interdyne Systems Inc. | Drilling apparatus with a decoupled force frame and metrology frame for enhanced positioning |
-
1996
- 1996-03-14 JP JP5807396A patent/JPH09248724A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002292596A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-08 | Uht Corp | パンチングマシン |
| US7198438B2 (en) | 2003-04-11 | 2007-04-03 | Kosmowski Wojciech B | Drilling system with stationary work table |
| TWI413567B (zh) * | 2007-03-28 | 2013-11-01 | Hitachi Via Mechanics Ltd | Printing substrate processing machine |
| KR101427811B1 (ko) * | 2007-03-28 | 2014-08-07 | 비아 메카닉스 가부시키가이샤 | 프린트기판 가공기 |
| US8899887B2 (en) * | 2013-02-13 | 2014-12-02 | Interdyne Systems Inc. | Drilling apparatus with a decoupled force frame and metrology frame for enhanced positioning |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040831 |