JPH0672974U - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガラス基板を安定して吸着し、搬送すること
ができる搬送装置を提供する。 【構成】 搬送時に、吸着板４に設けられた吸着部２ａ
の吸着受け３０がガラス基板の自重で押圧される。この
とき、ガラス基板にそり、歪みがある場合、吸着受け３
０はパッド３２を押圧し変形させながら、ガラス基板に
密着する位置に傾く。吸着部２ａは、このように吸着受
け３０が被搬送物に密着した状態で、バキューム装置に
通じた溝８および貫通口３５を介して生じる、バキュー
ムからの吸引力によってガラス基板を吸着受け３０に吸
着させる。そして、吸着板４の移動に連動してガラス基
板を所望の位置まで搬送する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ＬＣＤ（Liquid Crystals Display)の製造過程において、ガラス基 板を、空気（不活性ガスなどを含む）の吸引圧力を利用して吸着して搬送する搬 送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

たとえば、ＬＣＤの製造過程では、複数の装置がそれぞれ所定の位置に配置さ れた製造現場において、ガラス基板を所定の装置に順次、搬送装置で搬送し、所 定の処理を行う。 この種の搬送装置には、ガラス基板を吸着板に設けられた複数の吸引口で吸着 して搬送する装置がある。

【０００３】 図４は従来の搬送装置を示す平面図、図５は図４のＡ−Ａ線に沿う断面図であ るが、図４に示すように、従来の搬送装置は、吸着板７０の表面に複数の吸引口 ７０ａを設け、この吸引口７０ａを吸排気管７１を介してバキューム装置７３に 接続したものである。また、図５に示すように、吸着板７０には、吸着用の吸引 口７０ａおよび溝７０ｂと、フタ嵌め込み用の溝７０ｃとを有している。このフ タ７２は、吸着板７０の溝７０ｂに対応した位置に吸着用の溝７２ａを有し、か つ吸着板７０の溝７０ｃに嵌め込まれている。 この吸着板７０には、溝７０ｂが吸着板７０の平面方向に所定の形状で形成さ れている。また、溝７０ｂの所定の位置に空気の吸引を行う吸排気管が取り付け られている。 この搬送装置では、ガラス基板の搬送を行う際に、バキューム装置７３で吸引 を開始し、複数の吸引口のそれぞれにおいて、図５に示すように、溝７２ａ，７ ０ｂおよび吸引口７０ａを介してガラス基板７４に対して生じる吸引力によって 、ガラス基板７４が吸着板７０に吸着される。 そして、吸着板７０に吸着されたガラス基板７４が次に処理を行う装置の位置 まで搬送される。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、熱処理などが施されたガラス基板７４には、そり、歪みが生じる場合 があり、吸着時に吸着板７０の吸引口７０ａがガラス基板７４の裏面に密着せず 、吸引口７０ａとガラス基板７４との間に隙間が生じることがある。 このように吸引口７０ａとガラス基板７４との間に隙間がある状態で、搬送装 置のバキュウーム装置で吸引を行うと、隙間から外部の空気が吸引され、ガラス 基板７４を吸着板７０に安定して吸着することができない。また、外部の空気を 吸引するため、空気中のゴミ等も一緒に吸い込まれ、この塵埃などがガラス基板 の裏面に付着する。 そのため、搬送中に、ガラス基板７４が吸着板７０に対してずれたり、あるい は吸着板から落下するなどの問題があった。

【０００５】 本考案は、上述した従来技術の問題に鑑み、ガラス基板を安定して吸着し、搬 送することができる搬送装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上述した従来技術の問題を解決し、上述した目的を達成するために、本考案の 搬送装置は、吸着部の傾きを可変とし、被搬送物の形状にそり、歪みがある場合 にも吸着部が被搬送物に対して密着するような構成を有する。

【０００７】 本考案の搬送装置は、吸着部と、該吸着部に係合した傾き調整部とを有し、 前記吸着部は、被搬送物の形状に応じて前記傾き調整部を押圧し、この傾き調整 部の変形に応じて、搬送時に吸着部を被搬送物に対して密着させる。

【０００８】 また、本考案の搬送装置の吸着手段の前記傾き調整部は、たとえば、前記吸着 部からの押圧に応じて変形する弾性体である。

【０００９】 さらに、本考案の搬送装置の吸着手段の 前記吸着部は、磨耗しにくい樹脂を 部材として使用してもよい。

【００１０】

【作用】

本考案の搬送装置では、被搬送物に吸着手段を移動し、この吸着手段の吸着部 を被搬送物に押圧させる。 このとき、吸着部は、被搬送物の形状に応じて、吸着部に係合された傾き調整 部を押圧し、傾き調整部が変形する。 このとき、傾き調整部の変形に応じて吸着部が傾斜し、吸着部が被搬送物に密 着する。 この密着した状態で、被搬送物が吸着部に吸着され、吸着部の移動に連動し、 被搬送物が所定の位置まで移動する。

【００１１】

【実施例】

以下、ＬＣＤ製造過程において、ガラス基板を所定の位置に配設された装置に 搬送する搬送装置について説明する。 図２は、本実施例の搬送装置の吸着板４の正面図である。 図１は、図２に示す断面線Ｂ−Ｂ’における吸着板４の吸着部２ａの断面図で ある。 図３は、図２に示す吸着板４の側面図である。 図２に示すように、吸着板４の正面には平面状に溝８が形成され、この溝８を 、配管１２を介してバキューム部によって吸引される空気が通過する。 また、カバー６が、複数のネジ１０によって、溝８を覆うように吸着板４に固 定されている。

【００１２】 吸着板４の正面に形成された溝８の位置に対応する、吸着板４の正面の複数の 異なる３つの位置に、吸着部２ａ，２ｂ，２ｃが設けられている。また、吸着板 ４の背面に形成された溝８の位置に対応する、吸着板４の背面の位置に、バキュ ーム部からの配管１２が取り付けられている。 また、吸着板４には、搬送装置の移動部材からの腕１４が取り付けられている 。吸着板４には、軽量化を図るために孔４ａを形成してもよい。

【００１３】 この搬送装置では、ガラス基板の搬送を行うときに、バキューム部が吸引を開 始し、図３に示すように、ガラス基板２０が、吸着板４の背面に設けられた吸着 部２ａ，２ｂ，２ｃに吸着され、搬送装置の腕１４の移動に連動して次の工程の 処理装置の位置まで移動する。

【００１４】 吸着板４に設けられた吸着部２ａについて説明する。 図１，図２に示すように、吸着板４の背面に形成されたフタ嵌め込み用の溝４ ｂに、カバー６がネジなどで固定されて嵌め込まれている。 吸着板４およびカバー６には、それぞれ溝４ｃおよび溝６ａが形成され、これ らが合わさってバキューム部からの吸引力を吸着部２ａ，２ｂ，２ｃに伝える溝 ８となる。 また、吸着板４には、吸着部２ａを設けるための、円柱形状の溝４ｅが形成さ れている。 この溝４ｅの内部には、ゴムなどの弾性体で製作した、円錐台形状のパッド３ ２が載置されている。

【００１５】 パッド３２は、先端に中空円柱部３２ａを有し、この中空円柱部３２ａの内側 に、吸着受け３０の中空円柱部３０ｂの外周が、嵌め込まれている。 ここで、中空円柱部３０ｂの貫通口３０ａとパッド３２の貫通口３２ａと吸着 板４の貫通口４ｄとによって、溝８の位置まで達する貫通口３５が構成されてい る。 また、パッド３２は、その底面部に碗形のテーパ面３２ｂが形成され、パッド ３２が吸着受け３０によって押圧されると、パッド３２が変形し、先端の中空円 柱部３２ａがテーパ面３２ｂの方向に移動する。

【００１６】 また、円柱形状の吸着受け３０が、たとえば、その外周の対向する位置におい て、押え板３４とネジ３６によって吸着板４に保持されている。 吸着受け３０は、ガラス基板２０に磨耗カスおよびゴミなどが付着するのを防 止するため、磨耗しにくく、ゴミなどが付着しにくい、たとえば、樹脂などを部 材としている。

【００１７】 本実施例の搬送装置の動作について説明する。 搬送装置の駆動部からの駆動によって腕１４が移動し、腕１４の移動に連動し て吸着板４がガラス基板２０の位置まで移動し、吸着板４の吸着部２ａ，２ｂ， ２ｃの吸着受け３０がガラス基板２０の背面に接触する。 パッド３２は、ガラス基板２０の自重によって押圧された吸着受け３０によっ て押圧されて変形し、中空円柱部３２ａがテーパ面３２ｂの方向に移動する。 この中空円柱部３２ａの移動に連動して、吸着受け３０が傾斜する。

【００１８】 このとき、吸着受け３０は、ガラス基板２０のそり、歪みに応じて傾斜し、ガ ラス基板２０と密着する。 このように、ガラス基板２０と吸着受け３０とが密着した状態で、配管１２、 溝８、貫通口３５を介して生じるバキュームの吸引力によって、ガラス基板２０ が吸着受け３０に吸着される。 そして、ガラス基板２０は、吸着板４に取り付けられた腕１４の移動にともな い、ガラス基板２０について次の工程の処理装置の位置まで移動する。

【００１９】 上述したように、本実施例の搬送装置によれば、搬送を行う際に、吸着部２ａ ，２ｂ，２ｃをガラス基板２０に接触させると、吸着部２ａ，２ｂ，２ｃの吸着 受け３０が、ガラス基板２０に密着するように、ガラス基板２０の形状に応じて 傾斜する。 そのため、バキューム部からの吸引力が、配管１２、溝８および吸着部２ａ， ２ｂ，２ｃを介して、ガラス基板２０に効果的に伝えられ、搬送中に、ガラス基 板２０が吸着板４に対してずれたり、吸着板４から落下することを防止できる。

【００２０】 本考案は、上述した実施例にのみ限定されず、たとえば、吸着部２ａ，２ｂ， ２ｃのパッド３２の代わりに、バネなどの弾性体を用いてもよい。 また、吸着部２ａ，２ｂ，２ｃの構造は、吸着受け３０の傾きが、押圧したガ ラス基板２０の形状に応じて可変であれば、上述した構造に限定されない。 さらに、上述した実施例では、ＬＣＤ製造過程において、ガラス基板を搬送す る場合について説明したが、本実施例の搬送装置は、半導体製造過程において、 半導体基板を搬送する場合にも同様に用いることができる。

【００２１】

【考案の効果】

本考案の搬送装置によれば、被搬送物にそり、歪みがある場合にも、被搬送物 に対して吸着部を密着させることができ、被搬送物を安定して吸着し、ずれたり 落下させずに所望の位置まで搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例の搬送装置の吸着板に設けられた吸着
部の断面図である。

【図２】本実施例の搬送装置の吸着板の正面図である。

【図３】本実施例の搬送装置の吸着板の側面図である。

【図４】従来の搬送装置を示す正面図である。

【図５】従来の搬送装置の吸着板に設けられた吸着部の
断面図である。

【符号の説明】

２ａ，２ｂ，２ｃ・・・吸着部 ４・・・吸着板 ６・・・カバー ８・・・溝 １２・・・配管 １４・・・腕 ２０・・・ガラス基板 ３０・・・吸着受け ３０ａ・・・中空円柱部 ３２・・・パッド ３２ａ・・・中空円柱部 ３２ｂ・・・テーパ面 ３４，３６・・・ネジ

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】被搬送物を吸着手段で吸引して搬送する搬
   送装置であって、 前記吸着手段は、吸着部と、該吸着部に係合した傾き調
   整部とを有し、 前記吸着部は、被搬送物の形状に応じて前記傾き調整部
   を押圧し、この傾き調整部の変形に応じて前記吸着部を
   被搬送物に密着させることを特徴とする搬送装置。
2. 【請求項２】前記傾き調整部は、前記吸着部からの押圧
   に応じて変形する弾性体であることを特徴とする請求項
   １記載の搬送装置。
3. 【請求項３】前記吸着部は、樹脂からなることを特徴と
   する請求項１または２記載の搬送装置。