JP4122671B2 - ワーク搬送装置の吸着パッド - Google Patents
ワーク搬送装置の吸着パッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP4122671B2 JP4122671B2 JP36533799A JP36533799A JP4122671B2 JP 4122671 B2 JP4122671 B2 JP 4122671B2 JP 36533799 A JP36533799 A JP 36533799A JP 36533799 A JP36533799 A JP 36533799A JP 4122671 B2 JP4122671 B2 JP 4122671B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- workpiece
- pad
- adsorption
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークをパッド部材により吸引保持した状態で搬送するようにしたワーク搬送装置の吸着パッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、セラミック電子部品の製造する場合、板状のセラミック素子(以下、ワークと称する)を匣に重ねた状態で焼成炉内にて熱処理する場合がある。この場合、熱処理する際にワークが互いに反り返ったり,付着したりするのを防止するためにワークの重ね合わせ面に敷粉を振るようにしている。
【0003】
また、上記ワークを焼成炉に搬送するための保持手段として、従来、図8〜図10に示す真空式吸着パッドが採用されている。この吸着パッド50は、チャンバ51にスポンジゴムベース52を介在させてスポンジゴム53を固着し、上記チャンバ51に真空源が接続される吸引口55を接続するとともに、スポンジゴムベース52及びスポンジゴム53に吸引口55に連通する吸着孔56,56を形成した概略構造のものである。
【0004】
上記吸着パッド50は、密着させて整列したセラミック素子からなる複数のワークWをスポンジゴム53の吸着面53aにて吸引保持した状態で所定のワーク処理位置Aに搬送し、該ワーク処理位置Aにて上記チャンバ51内に真空破壊エアを吹き込み、これによりワークWをスポンジゴム53から遊離する。この場合、ワークW同士が重なり合うのを防止する観点から、上記吸着面53aは平坦に形成されている。また真空破壊エアとはワークWの吸着保持を強制的に解除するための正圧のことである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の吸着パッドでは、図10に示すように、真空破壊エア(→印参照)の一部がワークW間の隙間から下面に流れ、プレース面に振りかけた敷粉60を吹き飛ばしてしまう場合があり、この状態で熱処理を行うとワークWの反りや付着が発生し、品質及び製品歩留まりが低下するという問題がある。
【0006】
ここで、敷粉の飛散を防止するには、真空破壊エアの吹きつけ量を減らしたり吹きつけ圧力を弱めたりすることが考えられるが、このようにした場合には処理能力が著しく低下するという懸念がある。
【0007】
本発明は上記従来の状況に鑑みてなされたもので、処理能力の低下を招くことなく、敷粉の飛散を防止してワークの反りや付着を防止できるワーク搬送装置の吸着パッドを提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、吸着面を有するパッド部材に真空源が接続される吸着通路を吸着口が上記吸着面に開口するように設けてなり、ワークを上記吸着面にて吸引保持した状態でワーク処理位置に搬送し、該ワーク処理位置にて上記吸着通路に真空破壊エアを吹き込むことにより上記ワークの吸引保持を解除するようにしたワーク搬送装置の吸着パッドにおいて、上記吸着通路を構成する吸着筒を、該吸着筒の吸着口が上記パッド部材の吸着面に開口するよう配置し、該パッド部材と吸着筒との間に上記真空破壊エアを吹き付け方向と逆方向に流出させる真空破壊エア逃げ通路を形成したことを特徴としている。
【0009】
請求項2の発明は、請求項1において、上記吸着通路がパッド部材に対して移動可能となっており、上記真空破壊エアを吹き込んだときに上記吸着通路をエア吹きつけ方向と逆方向に移動させる移動駆動手段を設けたことを特徴としている。
【0010】
【発明の作用効果】
本発明にかかる吸着パッドによれば、パッド部材と吸着通路を構成する吸着筒との間に真空破壊エの逃げ通路を形成したので、吸着通路に吹き込まれた真空破壊エアは吸着口から吹きつけ方向と逆方向に流出することとなり、真空破壊エアがワークの間から下面に流入するのを防止でき、ひいては敷粉の飛散を防止できる。これによりワークの反りや付着の問題を解消でき、品質及び製品歩留まりを向上できる効果がある。
【0011】
また真空破壊エアを吹きつけ方向と反対方向に流出させる構造であるので、真空破壊エアの流量を小さくしたり,圧力を弱めたりする必要はなく、処理能力が低下することはない。
【0012】
請求項2の発明では、真空破壊エアを吹き込んだときに上記吸着通路をエア吹きつけ方向と逆方向に移動させたので、吸着口から逃げ通路への流路が開くこととなり、これにより真空破壊エアの略全てを逃げ通路から流出させることができ、敷粉の飛散をより確実に防止できる効果がある。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【0014】
図1ないし図6は、請求項1の発明の一実施形態(第1実施形態)によるワーク搬送装置の吸着パッドを説明するための図であり、図1は吸着パッドの斜視図、図2は吸着パッドの底面図、図3は吸着パッドの断面図(図1のIII-III 線断面図)、図4は吸着パッドの動作を示す図、図5はワーク搬送装置の概略図、図6はワークの搬送工程を示す工程図である。
【0015】
図において、30はワーク搬送装置であり、これは前工程により成形処理されたワークWをワーク受取位置Bまで移送するベルトコンベア31と、該ワーク受取位置BのワークWを真空吸引により吸着する吸着パッド1と、吸着パッド1を昇降駆動する昇降シリンダ機構32と、該昇降シリンダ機構32をワーク受取位置Bからワーク処理位置Aまで搬送する横行きシリンダ機構33とを備えている。また上記ベルトコンベア31の上方にはストッパ34が架設されており、該ストッパ34によりベルトコンベア31により移送されたワークWをワーク受取位置Bに停止させるようになっている。
【0016】
上記吸着パッド1は、上記昇降シリンダ機構32に支持固定された矩形板状のベース2と、該ベース2と同じ大きさのスポンジゴムベース3とを間をあけて対向させ、該スポンジゴムベース3とベース2とを両端部に配設された円筒状のカラー4,4を介在させて固定ボルト5,5により締結固定してなるパッド本体6の、上記スポンジゴムベース3の下面にパッド部材としてのスポンジゴム7を気密に貼着して構成されている。このスポンジゴム7の下面が平坦な吸着面7aとなっている。
【0017】
上記パッド本体2には一対の吸着通路を有する吸着筒8,8が軸線を垂直方向に向けて配設されており、この各吸着筒8はベース2,スポンジゴムベース3,及びスポンジゴム7を貫通させて配置されている。上記各吸着筒8の下端の吸着口8aはスポンジゴム7の吸着面7aに開口しており、上端の吸引口8bはベース2から上方に突出して不図示の真空源に接続されている。また各吸着筒8の吸引口8bには真空破壊エアを供給するエア供給源が上記真空源と切り替え可能に接続されている。この真空破壊エアはワークWの吸引保持を短時間で強制的に解除するために瞬時に空気を込むものである。なお、上記吸着筒8は市販のものでよく、吸着するワークによりワーク1個に対する数を増やしてもよい。
【0018】
そして、上記スポンジゴムベース3及びスポンジゴム7と各吸着筒8との間には真空破壊エア逃げ通路9,9が形成されており、この各逃げ通路9はスポンジゴムベース3及びスポンジゴム7の吸着筒8の外周部を繰り抜いて形成されたものである。上記逃げ通路9の下端開口9aは上記スポンジゴム7の吸着面7aに開口しており、上端開口9bは上記スポンジゴムベース3の上面から外方に開口している。
【0019】
次に本実施形態の作用効果について説明する。
【0020】
本実施形態のワーク搬送装置30は、前工程により成形処理されたワーク(セラミック素子)Wがベルトコンベア31により移送され、ストッパ34に当接してワーク受取位置Bにて停止すると、昇降シリンダ機構32により吸着パッド1が下降してワークWに密着し、この状態で真空吸引を行ってワークWを吸着保持する(図6のS1,S2)。
【0021】
昇降シリンダ機構32によって吸着パッド1が上昇してワークWを持ち上げ、次に横行きシリンダ機構33が昇降シリンダ機構32ごと吸着パッド1をワーク処理位置Aの上方まで搬送する(図6のS3,S4)。
【0022】
昇降シリンダ機構32が吸着パッド1を下降させ、ワーク処理位置Aにて吸着筒8に真空破壊エアを吹き込むことによりワークWをスポンジゴム7から遊離させ、敷粉10が振られたプレース面上に載置する(図6のS5,S6)。
【0023】
この後、昇降シリンダ機構32が吸着パッド1を上昇させ、横行きシリンダ機構33により吸着パッド1をワーク受取位置Bまで戻す。
【0024】
この場合、従来では、上記真空破壊エアを吹き込む際に、該破壊エアがワークの下面に流入して敷粉を飛散させてしまうという問題があった。
【0025】
これに対して、本実施形態では、スポンジゴムベース3及びスポンジゴム7と各吸着筒8との間には真空破壊エア逃げ通路9,9を形成したので、吸着筒8内に吹き込まれた真空破壊エアはワークWに当たると同時に逃げ通路9から上方に反射して吹きつけ方向と逆方向に流出することとなる。これにより、真空破壊エアがワークWの下面に流入することはなく、敷粉10が飛び散るのを防止できる。もって焼成時のワークの反りや付着の問題を解消でき、品質及び製品歩留まりを向上できる。
【0026】
ちなみに、本実施形態の効果を確認するために行った実験では、真空破壊エアを圧力0.5Mpaで吹きつけたところ、敷粉の飛散は全く見られなかった。
【0027】
図7は、請求項2の発明の一実施形態(第2実施形態)による吸着パッドを説明するための図である。図中、図3及び図4と同一符号は同一又は相当部分を示す。
【0028】
本実施形態の吸着パッド20は、パッド本体6にスポンジゴム7を貼着するとともに、該パッド本体6に吸着筒8を配置し、該吸着筒8とスポンジゴムベース3及びスポンジゴム7との間に真空破壊エア逃げ通路9を形成してなり、基本的構造は第1実施形態と同様である。
【0029】
そして、上記各吸着筒8は、ベース2に配設された摺動部材21を介して軸線方向に昇降可能に支持されている。また各吸着筒8には昇降駆動手段22が設けられており、これは各吸着筒8間に架設されたプレート23とベース2との間にシリンダ24を配設した概略構造のものであり、真空破壊エアを吹き込んだときに上記吸着筒8を上昇させるように構成されている。これにより吸着筒8と逃げ通路9とが連通するようになっている。なお、昇降駆動手段として、上記プレートとベースとの間にスプリングを配設してもよい。
【0030】
本実施形態の吸着パッド20は、ワークWを吸引保持した状態でワーク処理位置Aに搬送し(図7(a)参照)、該位置Aにて真空破壊エアを吹き込むと同時に吸着筒8を上昇させる(図7(b)参照)。すると真空破壊エアは吸着筒8から逃げ通路9を通って直ちに外部に流出することとなり、敷粉10を飛散させることなくワークWを載置できる(図7(c)参照)。
【0031】
このように本実施形態によれば、真空破壊エアを吹き込んだときに吸着筒8を上昇させて該吸着筒8と逃げ通路9とを連通させたので、真空破壊エアの全てを逃げ通路9から瞬時に流出させることができ、敷粉10の飛散をより確実に防止できる。
【0032】
なお、上記各実施形態では、矩形状のワークを搬送する場合を説明したが、本発明のワークはこれに限られるものではなく、例えば円形状,あるいは異形状のワークにも勿論適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態によるワーク搬送装置の吸着パッドを説明するための斜視図である。
【図2】上記吸着パッドの底面図である。
【図3】上記吸着パッドの断面図(図1のIII-III 線断面図) である。
【図4】上記吸着パッドの動作を示す図である。
【図5】上記ワーク搬送装置の概略図である。
【図6】上記ワークの搬送工程を示す工程図である。
【図7】本発明の第2実施形態による吸着パッドの動作を示す図である。
【図8】従来の一般的の吸着パッドを示す斜視図である。
【図9】従来の吸着パッドの断面図である。
【図10】従来の吸着パッドの問題点を示す図である。
【符号の説明】
1,20 吸着パッド
7 スポンジゴム(パッド部材)
7a 吸着面
8 吸着筒(吸着通路)
8a 吸着口
9 真空破壊エア逃げ通路
22 昇降駆動手段
30 ワーク搬送装置
A ワーク処理位置
W ワーク
Claims (2)
- 吸着面を有するパッド部材に真空源が接続される吸着通路を吸着口が上記吸着面に開口するように設けてなり、ワークを上記吸着面にて吸引保持した状態でワーク処理位置に搬送し、該ワーク処理位置にて上記吸着通路に真空破壊エアを吹き込むことにより上記ワークの吸引保持を解除するようにしたワーク搬送装置の吸着パッドにおいて、
上記吸着通路を構成する吸着筒を、該吸着筒の吸着口が上記パッド部材の吸着面に開口するよう配置し、該パッド部材と吸着筒との間に上記真空破壊エアを吹き付け方向と逆方向に流出させる真空破壊エア逃げ通路を形成したことを特徴とするワーク搬送装置の吸着パッド。 - 請求項1において、上記吸着通路がパッド部材に対して移動可能となっており、上記真空破壊エアを吹き込んだときに上記吸着通路をエア吹きつけ方向と逆方向に移動させる移動駆動手段を設けたことを特徴とするワーク搬送装置の吸着パッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36533799A JP4122671B2 (ja) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | ワーク搬送装置の吸着パッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36533799A JP4122671B2 (ja) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | ワーク搬送装置の吸着パッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001179671A JP2001179671A (ja) | 2001-07-03 |
JP4122671B2 true JP4122671B2 (ja) | 2008-07-23 |
Family
ID=18484019
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP36533799A Expired - Fee Related JP4122671B2 (ja) | 1999-12-22 | 1999-12-22 | ワーク搬送装置の吸着パッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4122671B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10052705B2 (en) | 2012-08-30 | 2018-08-21 | Universal Instruments Corporation | 3D TSV assembly method for mass reflow |
US10160169B1 (en) * | 2017-06-26 | 2018-12-25 | General Electric Company | Systems and methods of forming a composite layup structure |
SG11202003666VA (en) | 2017-11-02 | 2020-05-28 | Universal Instruments Corp | Fixture to hold part before and after reflow, and method |
JP6539849B1 (ja) * | 2018-05-10 | 2019-07-10 | 宮川工機株式会社 | 加工材移動装置 |
CN110394820A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-11-01 | 亚米拉自动化技术(苏州)有限公司 | 一种紧凑式海绵吸盘 |
CN116331833B (zh) * | 2023-03-17 | 2023-08-22 | 常州涵洋高分子材料科技有限公司 | 一种汽车用阻燃海绵的转移工装及运送装置 |
-
1999
- 1999-12-22 JP JP36533799A patent/JP4122671B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001179671A (ja) | 2001-07-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004193195A (ja) | 搬送装置 | |
JP4122671B2 (ja) | ワーク搬送装置の吸着パッド | |
TW201600435A (zh) | 脆性材料基板之搬送方法及搬送裝置 | |
TW200914348A (en) | Floating transfer apparatus, and treating system having the floating transfer apparatus | |
JP3724478B2 (ja) | バックアッププレート昇降装置 | |
JP4842748B2 (ja) | 基板搬送システム | |
JP3198401B2 (ja) | ウェーハリングの供給・返送装置 | |
JP4222849B2 (ja) | 曲げ炉内へのガラス板の自動投入システム | |
JP2001277173A (ja) | プリント基板の吸着装置及び投入機 | |
CN105374709A (zh) | 接合装置、接合系统以及接合方法 | |
JPH0672974U (ja) | 搬送装置 | |
KR101205832B1 (ko) | 기판 이송 유닛과, 이를 이용한 기판 이송 방법 | |
JP2004231331A (ja) | 基板の搬送方法及び基板の搬送装置 | |
JP2678583B2 (ja) | プリント基板の汎用投入機 | |
JP5662791B2 (ja) | 板状ワークの取扱方法 | |
JP3963347B2 (ja) | 基板載置方法 | |
JP2000229777A (ja) | 板材の吊り上げ装置 | |
JP2001066069A (ja) | 焼成処理用セッター | |
JP4085485B2 (ja) | ウェハ搬送機構 | |
JP3689461B2 (ja) | 吸引保持具およびそれを用いた吸引保持装置ならびに物品移載装置 | |
JP3574977B2 (ja) | 処理部に対する銅張りセラミック基板投入方法及び装置 | |
JPS638135A (ja) | チヤツク装置 | |
JPH11198080A (ja) | 吸引保持ユニット、吸引保持ブロック、および吸引保持機構 | |
JP2001228452A5 (ja) | ||
JP2004220023A (ja) | 基板の貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070821 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070828 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071029 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080408 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080421 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110516 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120516 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120516 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130516 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130516 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140516 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |