JP2004220023A - 基板の貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一方の基板が内面を上にし外面を下にして保持される下部保持テーブル15と、下部保持テーブルの上方に対向して設けられ下面が他方の基板を保持する保持面18aにされる上部保持テーブル18と、他方の基板を外面を上にしこの外面を保持しこの外面が上部保持テーブルの保持面に対向する位置に供給するロボット装置31と、ロボット装置によって上部保持テーブルの保持面に対向する位置に供給された他方の基板を上部保持テーブルの保持面に外面が保持されるよう受け渡す真空パッド23と、上部保持テーブルと下部保持テーブルとを相対的に上下方向及び水平方向に駆動し各保持テーブルに保持された2枚の基板を位置合わせしてシール剤を介して貼り合わせる駆動源16、17とを具備する。
【選択図】 図2
Description
この発明は、2枚の基板のどちらかの内面にシール剤が枠状に塗布され、2枚の基板のどちらかの内面の上記シール剤の枠内に対応する部分に流体が滴下されていて、これら2枚の基板の内面を対向させて上記シール剤を介して貼り合わせる貼り合わせ方法であって、一方の基板を内面を上にし外面を下にして下部保持テーブルの上面に供給載置することと、他方の基板を外面を上にしこの外面を保持して上部保持テーブルの下向きに形成された保持面に対向する位置へ供給することと、上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に供給された上記他方の基板をその外面を保持して受け取ることと、外面を保持して受け取った上記基板を上記上部保持テーブルの保持面にその外面が保持されるように受け渡すことと、上記上部保持テーブルと上記下部保持テーブルとを相対的に上下方向に駆動し各保持テーブルに保持された上記2枚の基板を上記シール剤を介して貼り合わせることと、を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ方法にある。
4 第2の基板
15 下部保持テーブル
15a 保持面
18 上部保持テーブル
18a 保持面
22 可動部材(受け渡し装置)
23 真空パッド(受け渡し装置)
31 ロボット装置(供給手段)
34 アーム(供給手段)
Claims (10)
- 2枚の基板のどちらかの内面にシール剤が枠状に塗布され、2枚の基板のどちらかの内面の上記シール剤の枠内に対応する部分に流体が滴下されていて、これら2枚の基板の内面を対向させて上記シール剤を介して貼り合わせる貼り合わせ装置であって、
一方の基板が内面を上にし外面を下にして保持される下部保持テーブルと、
この下部保持テーブルの上方に対向して設けられ下面が他方の基板を保持する保持面とされる上部保持テーブルと、
他方の基板を外面を上にして保持しこの外面が上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に供給するよう構成された供給装置と、
この供給装置によって上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に供給された他方の基板を上記上部保持テーブルの保持面にその外面が保持されるよう受け渡す構成の受け渡し装置と、
上記上部保持テーブルと上記下部保持テーブルとを相対的に上下方向に駆動し各保持テーブルに保持された上記2枚の基板を上記シール剤を介して貼り合わせるよう構成された駆動装置と
を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ装置。 - 上記供給装置は、上記他方の基板の外面を保持する保持部を有してなり、
上記受け渡し装置は、上記上部保持テーブルの上下方向に沿って移動可能に設けられた可動部材及びこの可動部材の下端に設けられ上記供給装置によって上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に供給された基板の外面を保持する保持部とを有することを特徴とする請求項1記載の基板の貼り合わせ装置。 - 上記下部保持テーブル、上記上部保持テーブルおよび上記受け渡し装置は、減圧可能なチャンバ内に配置されており、
上記受け渡し装置の保持部は、上記チャンバ内が減圧されて所定の圧力に到達するまでの間に上記基板を上記上部保持テーブルに受け渡すことを特徴とする請求項2記載の基板の貼り合わせ装置。 - 上記可動部材は、上記上部保持テーブルを貫通して設けられ、上記受け渡し装置の保持部は、上記可動部材の上動により上記上部保持テーブルの保持面より没する位置まで上昇することを特徴とする請求項2または3記載の基板の貼り合わせ装置。
- 上記供給装置は、水平方向に延設されたアームと、このアームに設けられ上記他方の基板の外面を保持する保持部を有してなり、
上記受け渡し装置は、上記アームが上記基板を上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に供給した後、その基板を上記保持面に保持させるために上昇したとき、上記アームが上記保持面に当たるのを阻止するために上記上部保持テーブルの保持面に開放して形成された逃げ部であることを特徴とする請求項1記載の基板の貼り合わせ装置。 - 上記逃げ部は、上記供給装置の保持部が上記上部保持テーブルの保持面より没する位置まで上記アームが進入可能な深さを有することを特徴とする請求項5記載の基板の貼り合わせ装置。
- 2枚の基板のどちらかの内面にシール剤が枠状に塗布され、2枚の基板のどちらかの内面の上記シール剤の枠内に対応する部分に流体が滴下されていて、これら2枚の基板の内面を対向させて上記シール剤を介して貼り合わせる貼り合わせ方法であって、
一方の基板を内面を上にし外面を下にして下部保持テーブルの上面に供給載置することと、
他方の基板を外面を上にしこの外面を保持して上部保持テーブルの下向きに形成された保持面に対向する位置へ供給することと、
上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に供給された上記他方の基板をその外面を保持して受け取ることと、
外面を保持して受け取った上記基板を上記上部保持テーブルの保持面にその外面が保持されるように受け渡すことと、
上記上部保持テーブルと上記下部保持テーブルとを相対的に上下方向に駆動し各保持テーブルに保持された上記2枚の基板を上記シール剤を介して貼り合わせることと、
を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ方法。 - 上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に供給された上記他方の基板の外面を保持して受け取るときには真空吸着し、
上記各保持テーブルに保持された上記2枚の基板を貼り合わせるときには減圧された雰囲気下で行い、
上記雰囲気の圧力が所定の圧力に到達するまでの間に、上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に供給された上記他方の基板の外面を上記保持面に保持させて受け渡すことを特徴とする請求項7記載の基板の貼り合わせ方法。 - 上記所定の圧力は、上記他方の基板の外面を真空吸着する真空圧に相当する圧力であることを特徴とする請求項8記載の基板の貼り合わせ方法。
- 2枚の基板のどちらかの内面にシール剤が枠状に塗布され、2枚の基板のどちらかの内面の上記シール剤の枠内に対応する部分に流体が滴下されていて、これら2枚の基板の内面を対向させて上記シール剤を介して貼り合わせる貼り合わせ方法であって、
一方の基板を内面を上にし外面を下にして下部保持テーブルの上面に供給載置することと、
他方の基板を外面を上にしこの外面を供給装置にて保持して上部保持テーブルの下向きに形成された保持面に対向する位置へ供給することと、
上記供給装置を上昇させて上記保持面に形成された逃げ部に進入させ、上記他方の基板を上記上部保持テーブルの保持面にその外面が保持されるように受け渡すことと、
上記上部保持テーブルと上記下部保持テーブルとを相対的に上下方向に駆動し各保持テーブルに保持された上記2枚の基板を上記シール剤を介して貼り合わせることと、
を具備したことを特徴とする基板の貼り合わせ方法。
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