KR20050059551A - 카세트 반송 장치 안내를 위한 레일 시스템 및 비상 시의카세트 반송 장치 피난 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판이 수납된 카세트를 반송하는 장치의 주행을 안내하는 레일 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 일 형태에서는, 카세트 반송 장치가 정해진 궤도를 따라 주행하도록 안내하는 주 레일; 상기 주 레일 상에 구비되고 상기 주 레일의 일부를 회전시키는 분기부; 그리고 상기 주 레일 인근에 배치되고 상기 분기부가 회전하였을 때 상기 분기부와 함께 회전된 주 레일의 일부와 연결되는 피난 레일을 포함하여 이루어진 카세트 반송 장치 안내를 위한 레일 시스템을 제공한다. 본 발명의 다른 일 형태에서는 (a) 주 레일을 따라 정해진 궤도를 주행하는 카세트 반송 장치들 중 적어도 어느 하나에 에러가 발생되면, 상기 카세트 반송 장치들을 정지시키는 단계; (b) 에러가 발생한 카세트 반송 장치를 상기 주 레일 상에 있는 분기부 위로 이동시키는 단계; (c) 상기 분기부를 회전시켜 상기 주 레일의 일부를 상기 주 레일의 인근에 배치된 피난 레일과 연결하는 단계; (d) 상기 회전된 분기부 위에 있는 카세트 반송 장치를 상기 피난 레일로 진입시키는 단계; 그리고 (e) 상기 분기부를 역회전시킨 후 다른 카세트 반송 장치들을 운행시키는 단계를 포함하여 이루어진 비상 시의 카세트 반송 장치 피난 방법을 제공한다.

Description

카세트 반송 장치 안내를 위한 레일 시스템 및 비상 시의 카세트 반송 장치 피난 방법{Rail system for guiding cassette transfer vehicle(CTV) and method for put CTV away from the rail using the same}

본 발명은 LCD 제조시 사용되는 기판을 반송하는 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판이 수납된 카세트를 반송하는 장치의 주행을 안내하는 레일 시스템에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.

이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 도 1에 도시된 바와 같이 공간을 갖고 합착된 제1 및 제2 기판(1, 2)과, 상기 제1 및 제2 기판(1, 2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성된다.

여기서, 상기 제 1 기판(1)(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인(4)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인(5)과, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차되어 정의된 각 화소영역(P)에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극(6)과 상기 게이트 라인(4)의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인(5)의 신호를 상기 각 화소 전극(P)에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.

그리고 제 2 기판(2)(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층(8)과 화상을 구현하기 위한 공통 전극(9)이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 기판에 형성되어 있다.

상기한 구조를 가지는 액정표시장치는 상기 제 1 기판(1)에 박막트랜지스터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 2 기판(2)에 칼라필터 어레이를 제조하는 공정, 상기 제 1 및 제 2 기판(1, 2)을 합착하는 공정, 상기 합착된 두 기판 사이에 액정을 주입한 후 밀봉하는 공정, 액정이 주입된 각 액정패널을 테스트한 후 수리(repair)하는 공정, 그리고 양품의 액정패널에 백 라이트 등을 장착하고 구동회로를 장착하여 액정표시모듈을 제조하는 공정 등을 통해 제조된다.

상기한 바와 같이 기판은 여러 가지 공정을 거치게 되어 액정표시장치로서 완성되며, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 기판을 각 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들에 운반하기 위해서 카세트 반송 장치(30)(Cassette transfer vehicle; CTV)가 사용된다. 이때, 상기 카세트 반송 장치(30)의 반송 효율을 높이기 위해 상기 기판들을 다수개 수납할 수 있는 카세트(10)에 수납한 뒤, 상기 카세트(10)를 상기 카세트 반송 장치(30)가 반송하게 된다.

따라서, 상기 카세트 반송 장치(30)는 카세트(10)가 임시로 저장된 스토커(40)와 각 공정을 수행하는 장비(20a, 20b)들 사이를 왕복하면서 상기 카세트(10)를 상기 스토커(40)에서 각 장비(20a, 20b)들로, 그리고 각 장비(20a, 20b)들에서 상기 스토커(40)로 각각 반송하게 된다.

이를 위해, 생산 라인의 바닥에는 상기 카세트 반송 장치(30)가 정해진 경로를 따라 이동할 수 있도록 안내해주는 레일(11)이 제공된다. 따라서, 상기 카세트 반송 장치(30)는 상기 레일(11)을 따라 정해진 궤도를 주행하며, 이에 따라 상기 카세트 반송 장치(30)를 RGV(rail guided vehicle)라고 부르기도 한다.

한편, LCD 생산 라인에서는 도 2에 도시된 바와 같이 하나의 레일(11)을 따라 다수 개의 카세트 반송 장치(30)가 주행하면서 카세트(10)를 이송하게 된다. 따라서, 상기 하나의 레일(11)을 따라 주행하는 카세트 반송 장치(30)들 중에서 어느 하나라도 에러를 발생시키거나 다운되면, 해당 카세트 반송 장치(30)가 다른 카세트 반송 장치(30)들의 주행로를 막는 결과를 초래하게 되므로, 상기 레일(11) 상에 있는 모든 카세트 반송 장치(30)의 주행을 멈춰야 한다.

이러한 상태에서, 에러가 발생하거나 다운된 카세트 반송 장치(30)를 상기 레일(11)로 부터 분리시킨 후 다른 카세트 반송 장치(30)를 정상 가동하고, 분리시킨 카세트 반송 장치(30)는 수리한다. 그런데, 상기 레일(11)과 맞물려 주행하는 상기 카세트 반송 장치(30)의 주행부는 각종 센서류와 통신 유닛, 그리고 전원 공급 장치 등 매우 복잡한 구조의 부품들을 가지고 있다. 따라서, 상기 카세트 반송 장치(30)를 상기 레일(11)로 부터 분리시키는데에만 상당한 시간(대략 1시간 이상)이 소요된다.

이에 따라, 상기 카세트 반송 장치(30)를 상기 레일(11)로 부터 분리시킨 후 다른 카세트 반송 장치(30)들을 정상적으로 운행시키는데 까지 소요되는 오랜 시간 동안 모든 반송 시스템이 정지되어야만 한다. 따라서, 이 시간 동안 생산 라인 또한 원활하게 가동되지 못하는 문제가 있다.

한편, 레일(11)로 부터 분리된 카세트 반송 장치(30)를 완전히 수리한 다음에는 다시 상기 레일(11)에 장착하여야 한다. 이를 위해, 상기 레일(11) 상을 주행하는 다른 모든 카세트 반송 장치(30)를 정지시킨 후 해당 카세트 반송 장치(30)를 레일(11)에 장착하게 된다. 이러한 장착 작업은 분리 작업보다 훨씬 많은 시간(대략 4시간 이상)을 필요로한다.

따라서, 해당 카세트 반송 장치(30)의 장착을 완료한 후 반송 시스템을 재 가동할 때 까지 모든 반송 시스템 및 생산 라인이 정지되거나 원활하게 가동되지 못해 생산성이 현저하게 저하된다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 하나의 레일을 따라 주행하는 다수 대의 카세트 반송 장치들 중에서 어느 하나에 에러가 발생하거나 다운된 경우에 해당 카세트 반송 장치를 상기 레일로부터 신속하게 피난시킨 후 나머지 카세트 반송 장치들을 정상적으로 운행시켜 생산성이 급격하게 저하되는 것을 방지하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 형태에서는, 카세트 반송 장치가 정해진 궤도를 따라 주행하도록 안내하는 주 레일; 상기 주 레일 상에 구비되고 상기 주 레일의 일부를 회전시키는 분기부; 그리고 상기 주 레일 인근에 배치되고 상기 분기부가 회전하였을 때 상기 분기부와 함께 회전된 주 레일의 일부와 연결되는 피난 레일을 포함하여 이루어진 카세트 반송 장치 안내를 위한 레일 시스템을 제공한다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 분기부와 상기 피난 레일은 상기 주 레일 상과 인근에 다수 개가 구비된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 분기부는 상기 주 레일에 대해 수직한 방향까지 회전 가능하고, 상기 피난 레일은 상기 주 레일에 대해 수직하게 배치된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 분기부는 록킹 장치에 의해 고정되며, 상기 록킹 장치의 해제 시에만 회전 가능하다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 피난 레일의 상판은 일부가 개방 가능하게 형성된다.

한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 일 형태에서는, (a) 주 레일을 따라 정해진 궤도를 주행하는 카세트 반송 장치들 중 적어도 어느 하나에 에러가 발생되면, 상기 주 레일을 따라 주행하는 카세트 반송 장치들을 정지시키는 단계; (b) 에러가 발생한 카세트 반송 장치를 상기 주 레일 상에 있는 분기부 위로 이동시키는 단계; (c) 상기 분기부를 회전시켜 상기 주 레일의 일부를 상기 주 레일의 인근에 배치된 피난 레일과 연결하는 단계; (d) 상기 회전된 분기부 위에 있는 카세트 반송 장치를 상기 피난 레일로 진입시키는 단계; 그리고 (e) 상기 분기부를 역회전시킨 후 다른 카세트 반송 장치들을 운행시키는 단계를 포함하여 이루어진 비상 시의 카세트 반송 장치 피난 방법을 제공한다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 (a) 단계는 상기 주 레일에 공급되는 전원을 차단하는 방법을 통해 수행된다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 비상 시의 카세트 반송 장치 피난 방법은, (f) 상기 피난 레일의 상판 일부를 개방시키고, 상기 에러가 발생된 자동 반송 장치를 상기 피난 레일로 부터 분리하는 단계를 더 포함하여 이루어진다.

이하 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 부호가 사용되며, 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.

먼저, 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템을 설명한다. 본 발명에 따른 반송 시스템을 제어하는 제어 시스템은 도 3에 도시된 바와 같이 제1 내지 제5 호스트(101, 102, 103, 104, 105)를 포함하여 이루어진다.

상기 제1 호스트(101)는 카세트(150)를 이동시키는 반송 명령을 작업자(operator)로부터 접수하는 최상위 호스트이다. 작업자가 상기 제1 호스트(101)에 반송 명령을 입력하면, 상기 제1 호스트(101)는 상기 반송 명령을 제2 호스트(102)와 제3 호스트(103)로 전달한다.

상기 제2 호스트(102)는 상기 제1 호스트(101) 및 제3 호스트(103)와 통신하며, 임의의 LCD 제조 공정을 수행하는 장비(210, 220)를 통제한다. 상기 제1 호스트(101)에서 상기 제2 호스트(102)로 전송된 반송 명령은 상기 장비(210, 220)에 전달된다.

상기 제3 호스트(103)는 상기 제1 호스트(101) 및 제2 호스트(102)와 통신하며, 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)를 통제한다. 상기 제1 호스트(101)에서 상기 제3 호스트(103)로 전송된 반송 명령은 상기 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)로 전달된다.

상기 제4 호스트(104)는 상기 제3 호스트(103)와 통신하며, 카세트 반송 장치(300)의 동작을 제어한다. 물론, 상기 제4 호스트(104)에 수신된 반송 명령은 상기 카세트 반송 장치(300)에 전달된다.

상기 제5 호스트(105)는 상기 제3 호스트(103)와 통신하며, 다수 개의 기판(glasses) 들이 탑재된 카세트(150)를 다수개 저장하는 스토커(400)(stocker)를 통제한다. 물론, 상기 제5 호스트(105)에 수신된 반송 명령은 상기 스토커(400)에 전달된다.

한편, 상기 스토커(400)는 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(150) 들을 다음 공정을 수행하는 다른 임의의 장비로 공급하기 전에, 각 공정을 수행하는 각 장비들의 기판 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위해, 상기 카세트(150)를 임시로 보관하는 설비이다. 따라서, 임의의 장비에서 소정 공정을 마친 기판들이 탑재된 카세트(150)들은 상기 스토커(400)에 임시로 저장된 후 다른 공정을 수행하는 다른 장비에 공급된다.

상기한 기능을 수행하는 상기 스토커(400)에는, 임의의 공정이 완료된 기판들이 탑재된 카세트(150)가 입고되는 입고 포트(410)(input port), 상기 카세트(150)들을 저장하는 다수의 선반(미도시)들, 상기 카세트(150)가 출고되는 출고 포트(420)(output port), 그리고 상기 입고 포트(410)와 선반 사이 및 상기 선반과 출고 포트(420) 사이를 이동하면서 상기 스토커(400) 내에서 상기 카세트(150)를 운반하는 스태커 로봇(미도시)(stacker robot)을 포함하여 이루어진다.

한편, 상기와 같이 다수 개의 카세트(150)를 오차 없이 처리 하기 위해서 각 카세트(150)들은 고유의 ID 정보를 가지고 있으며, 상기 스토커(400)는 상기 각 카세트(150)들의 각 ID 정보를 확인 한 후 상기 선반에 저장하게 된다.

이를 위해, 상기 스토커(400)의 입고 포트(410)에는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 카세트(150)의 ID 정보를 확인할 수 있는 리더기(430)가 구비된다. 또한, 상기 카세트(150)의 일측, 예를 들면 정면에는 상부와 하부 중 적어도 어느 한 곳 이상에 해당 카세트(150)의 ID 정보가 기록된 ID 표시부(151)(도 3 및 도 7 참조)가 구비된다. 본 발명에서는, 상기 ID 표시부(151)의 일 례로써, 바 코드(bar code)를 제시한다.

상기한 구조를 가지면, 상기 리더기(430)가 상기 ID 표시부(151)를 읽음으로써 상기 스토커(400)는 입고되는 카세트(150)의 ID 정보를 확인 할 수 있게 된다. 그리고, 상기 카세트(150)를 출고할 때에는 상기 스토커(400)에 수신된 반송 정보와 일치하는 ID 정보를 가진 카세트(150)의 저장 위치를 확인한 후 상기 스태커 로봇을 이용하여 선반으로부터 출고 포트(420)로 카세트(150)를 운송하게 된다.

한편, 상기 카세트 반송 장치(300)는 상기 제4 호스트(104)의 제어에 따라, 상기 카세트(150)를 상기 장비(210, 220)에서 상기 스토커(400)의 입고 포트(410)로, 그리고 상기 스토커(400)의 상기 출고 포트(420)에서 다른 장비(210, 220)로 반송한다. 여기서, 상기 제4 호스트(104)는 적어도 한 대 이상의 카세트 반송 장치(300)를 제어하며, 상기 각 카세트 반송 장치(300)에는 상기 제4 호스트(104)의 명령에 따라 카세트 반송 장치(300)의 각 구성요소를 제어하는 제어부가 구비된다.

상기한 카세트 반송 장치(300)는 상기 제어부의 제어에 따라 정해진 구간을 따라 주행하는 주행부(310)(도 5 및 도 6 참조), 그리고 상기 주행부(310)의 상부에 구비되며, 상기 카세트(150)가 올려지는 이재부(320)를 포함하여 이루어진다.

여기서, 상기 주행부(310)는 도 4에 도시된 바와 같이 형성된 주 레일(510)을 따라 주행하는데, 그 원리에 대해 도 6을 참조하여 간단히 설명한다. 상기 주행부(310)의 구성을 설명하기 앞서 상기 주 레일(510)의 대략적인 구성에 대해 먼저 설명한다.

도 6을 참조하면, 상기 카세트 반송 장치(300)의 주행 궤도를 형성하는 주 레일(510)은 빔(511), 축받이(512), 상판(513), 프레임(514), 그리고 레일(515)을 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 빔(511)은 한 쌍이 작업장의 바닥면에 나란하게 고정되며, 상기 축받이(512)는 각 빔(511)의 상부에서 수직하게 세워진다.

상기 각 빔(511)의 상부에는 각각 상판(513)이 지면과 수평하게 구비되는데, 상기 각 상판(513)들은 도 6에 도시된 바와 같이 서로 소정 거리 이격된 상태를 유지한다. 여기서, 상기 상판(513)들은 경도가 낮은 알루미늄 재질로 제작되며, 작업장(청정실)의 기류가 통과할 수 있도록 다수 개의 홀(미도시)이 상판(513)에 형성된다.

상기 프레임(514)은 양측이 각각 상기 축받이(512)에 고정된다. 따라서, 상기 도 6에 도시된 바와 같이 상기 상판(513)들과 프레임(514) 사이에는 소정의 공간이 형성된다. 상기 공간에는 레일(515)이 설치되는데, 상기 레일(515)은 그 하부가 상기 프레임(514)의 상면에 고정되고, 그 상부는 상기 각 상판(513)들 사이에 이격된 갭(gap)과 마주보도록 배치된다.

상기와 같은 구조를 가지는 주 레일(510)에는 또한, 상기 주행부(310)에 지속적으로 전류를 공급해 주기 위한 장치가 구비된다. 즉, 도 6에 도시된 바와 같이 트롤리 암(516)(trolley arm)이 상기 상판(513)과 프레임(514) 사이에 형성된 공간의 일측에 구비된다.

한편, 주행부(310)에는 다수 개의 캐스터(312)들, 컬렉트 암(313)(collect arm), 주행 휠(311), 그리고 센서 브라켓(314) 등이 구비된다. 여기서, 상기 캐스터(312)는 도 6에 도시된 바와 같이 상기 레일(515)의 양 측면에 맞물려 주행부(310)의 이동 방향을 안내하며, 상기 컬렉트 암(313)은 상기 트롤리 암(516)과 대응하도록 배치되어 상기 트롤리 암(516)으로 부터 전류를 공급 받는다. 따라서, 상기 컬렉트 암(313)을 통해 공급 받는 전류로 상기 주행부가 구동된다.

상기 주행 휠(311)은 도 6에 도시된 바와 같이 상기 상판(513) 상면과 접촉되도록 구비되며, 상기 컬렉트 암(313)을 통해 공급 받은 전류로 구동되는 주행 모터(미도시)에 의해 회전된다. 따라서, 상기 주행 휠(311)이 상기 상판(513) 상면에서 회전하면, 상기 주행부(310)가 움직이게 되고, 움직이는 주행부(310)는 상기 레일(515)의 양측면에 맞물린 캐스터(312)의 안내에 따라서 상기 레일(515)을 따라 주행하게 된다.

상기 센서 브라켓(314)은 주 레일(510)에 구비된 위치 센서(517)와 마주볼 수 있도록 배치된다. 여기서, 상기 위치 센서(517)은 상기 주 레일(510)에 소정 간격을 따라 다수 개가 구비되며, 상기 주행부(310)가 상기 위치 센서(517)가 있는 곳을 지나갈때 상기 센서 브라켓(314)이 도 6에 도시된 바와 같이 상기 위치 센서(517)와 마주 보게 된다. 이때, 상기 제어 시스템은 상기 카세트 반송 장치(300)의 정확한 현재 위치를 파악할 수 있게 된다. 그리고, 상기 제어 시스템은 상기 센서 브라켓(314)과 상기 위치 센서(517)를 통해서 파악한 카세트 반송 장치(300)의 위치에 기초하여 상기 주행부(310)의 속도 등을 제어하게 된다.

한편, 상기 주행부(310)에는 상기한 구성 요소들 외에도 전원 장치(미도시), 그리고 통신 유닛(미도시) 등의 다양하고 복잡한 장치들이 더 구비된다.

한편, 상기 주행부(310)의 상부에 형성되는 이재부(320)에는, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 카세트(150)를 로딩(loading)하거나 언로딩(unloading)하는 로봇 암(330)(도 3 및 도 7 참조), 그리고, 상기 카세트(150)가 정확히 탑재될 수 있도록 안내하고, 탑재된 카세트(150)가 상기 주행부(310)의 이동시 움직이지 않도록 고정하는 가이드 블록(321)이 구비된다.

여기서, 상기 로봇 암(330)은 상기 주행부(310)의 상부에 장착되고 상하 방향으로 이동하거나 회전할 수 있는 주축(331), 그리고 상기 주축(331)에 장착되고 수평 방향으로 신축될 수 있는 슬라이더(335)를 포함하여 이루어진다.

상기와 같이 카세트 반송 장치(300)에 로봇 암(330)이 구비되면, 상기 카세트 반송 장치(300)는 상기 장비(210, 220), 그리고 스토커(400)의 입고 포트(410) 및 출고 포트(420)에 있는 카세트(150)를 직접 상기 이재부(320)에 로딩하거나, 상기 이재부(320)에 로딩된 카세트(150)를 상기 장비(210, 220) 및 스토커(400)에 언로딩할 수 있게 된다.

한편, 상기 카세트 반송 장치(300)는 카세트(150)를 반송할 때, 상기 스토커(400)의 입고 포트(410) 및 출고 포트(420), 또는 장비(210, 220) 앞에 정확히 위치할 수 있어야 한다. 이를 위해서 상기 카세트 반송 장치(300)에는 도 7에 도시된 바와 같이 제1 센서(340)가 구비되고, 상기 장비(210, 220) 및 상기 스토커(400)에는 도 3에 도시된 바와 같이 마크 플레이트(250)가 구비된다. 여기서, 상기 제1 센서(340)는 상기 마크 플레이트를 읽어 들임으로써 상기 카세트 반송 장치(300)가 상기 장비(210, 220) 또는 스토커(400) 앞에 정확하게 위치하도록 돕는다.

또한, 상기 장비(210, 220) 또는 스토커(400) 앞에 정확하게 위치한 카세트 반송 장치(300)는 카세트(150)를 원활하고 정확하게 로딩하거나 언로딩할 수 있도록 상기 장비(210, 220) 또는 스토커(400)와 통신할 수 있어야 한다. 이를 위해, 상기 카세트 반송 장치(300)에는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 장비(210, 220) 또는 스토커(400)와 통신하면서 정확한 로딩 또는 언로딩 작업을 도와주는 제2 센서(350)가 더 구비된다.

상기한 구조를 가진 카세트 반송 장치(300)는 상기 도 4에 도시된 바와 같이 정해진 궤도를 따라 주행하도록 안내하는 주 레일(510) 위를 주행하면 상기 스토커(400)와 장비(210, 220)에 카세트(150)를 운반해준다.

그런데, 상기한 바와 같이 카세트 반송 장치(300)의 주행부(310)와 주 레일(510)은 매우 복잡한 구조를 통해 상호 작용하기 때문에 에러가 종종 발생한다. 에러가 발생하면, 상기 카세트 반송 장치(300)가 다운되기도 하는데, 이 경우에는 해당 카세트 반송 장치(300)를 상기 주 레일(510)로부터 신속하게 피난시킨 후 다른 카세트 반송 장치(300)들을 정상적으로 운행시켜야만 급격한 생산성 저하를 방지할 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 레일 시스템에는 비상 시, 즉 상기 카세트 반송 장치(300)에 에러가 발생하거나 다운된 경우에, 해당 카세트 반송 장치(300)를 상기 주 레일(510)로부터 신속하게 피난시킬 수 있는 개선된 구조가 제공된다. 이를 위해 상기 레일 시스템에는 도 4에 도시된 바와 같이 분기부(520)와 피난 레일(530)이 더 구비되는데, 이하에서는 이에 대해 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.

도 4와 도 8a 및 도 8b를 참조하면, 상기 분기부(520)는 위에서 보았을 때 원형으로 이루어진다. 여기서, 상기 분기부(520)는 도면에 도시된 바와 같이 소정 각도, 예를 들면 상기 주 레일(510)에 대해 수직한 방향까지 회전 가능하게 형성된다.

이러한 분기부(520)에는 제1 상판(523)과 제1 레일(515)이 구비되는데, 상기 제1 상판(523)과 상기 제1 레일(515)은 각각 상기 분기부(520)가 회전하지 않았을 때 도 8a 에 도시된 바와 같이 상기 주 레일(510)의 상판(513)과 레일(515)의 일부분을 이루게 된다. 여기서, 상기 레일(515)은 일반적으로 1200mm의 단위 레일이 연속적으로 연결된 구조를 가지고 있으므로, 상기 단위 레일 중 하나를 상기 제1 레일(515)로써 쉽게 구성할 수 있을 것이다.

상기 분기부(520)가 상기한 구조를 가지게 되면, 상기 분기부(520)를 회전시켰을 때, 상기 주 레일(510)의 상판(513)과 레일(515)의 일부분, 즉 제1 상판(523)과 제1 레일(515)이 도 8b에 도시된 바와 같이 상기 분기부(520)와 함께 회전하게 된다.

상기 분기부(520)는 상기 주 레일(510) 상에 하나가 구비되어도 무방하지만, 상기 주 레일(510)의 길이가 길 경우에는 도 4에 도시된 바와 같이 다수 개가 구비되어도 좋다. 그리고 상기 분기부(520)에는 회전을 방지하는 록킹 장치(미도시)가 구비되는 것이 바람직하다. 록킹 장치가 구비된 경우에는, 비상 시에만 상기 록킹 장치를 해제한 후 분기부(520)를 회전시킬 수 있게 된다.

한편, 상기 피난 레일(530)은 도 4에 도시된 바와 같이 상기 주 레일(510)의 인근에 배치된다. 상기 피난 레일(530)의 구조는 도 6을 참조하여 설명된 주 레일(510)의 구조와 대동소이하므로 그 자세한 설명은 생략한다.

이러한 피난 레일(530)은 도 8a에 도시된 바와 같이 상기 분기부(520)가 회전하였을 때, 상기 분기부(520)와 함께 회전한 주 레일(510)의 일부와 연결된다. 즉, 상기 분기부(520)가 회전하면, 도 8b에 도시된 바와 같이, 상기 분기부(520)의 제1 상판(523)과 제1 레일(515)이 각각 상기 피난 레일(530)의 제2 상판(533)과 제2 레일(535)과 연결되는 것이다.

상기와 같은 구조를 가지는 피난 레일(530)은 상기 주 레일(510)에 대략 수직하게 배치되는 것이 바람직하며, 그 형성 개수는 상기 분기부(520)의 형성 개수와 동일하다.

한편, 본 발명에 따른 레일 시스템에서, 상기 피난 레일(530)로 긴급하게 피난된 카세트 반송 장치(300)는 상기 피난 레일(530) 상에서 수리된 후 상기 주 레일(510)로 다시 투입될 수 있을 것이다. 그러나, 상기 카세트 반송 장치(300)의 수리를 위해서 상기 카세트 반송 장치(300)를 피난 레일(530)로 부터 반드시 분리해야할 경우에는, 분리 작업을 용이하게 할 수 있는 구조가 더 요구된다.

따라서, 본 발명에 따른 레일 시스템에서 상기 피난 레일(530)은 상기 피난 레일(530)의 상판, 즉 제2 상판(533)의 일부가 도 9에 도시된 바와 같이 개방될 수 있는 구조를 가진다. 도 9에 도시된 바와 같은 구조를 가지면, 한쌍의 탈착 커버(537)가 제2 상판(533)으로 부터 분리되어 형성된 개방된 부분을 통해서 상기 피난 레일(530)로 긴급 피난된 카세트 반송 장치(300)를 용이하게 분리하거나, 장착할 수 있게 된다. 물론, 이러한 작업을 수행하는 동안, 상기 주 레일(510) 상에서는 다른 카세트 반송 장치(300)들이 정상적으로 운행될 수 있다.

상기와 같은 구조를 가지는 본 발명에 따른 레일 시스템이 구비된 카세트 반송 시스템은 다음과 같은 과정을 통해 카세트(150)를 스토커(400) 또는 장비(210, 220)에 반송해준다.

먼저, 작업자(operator)가 반송할 카세트(150)의 ID를 확인한 후 상기 제1 호스트(101)에 해당 카세트(150)의 반송 명령을 입력하면, 상기 제1 호스트(101)는 상기 제2 호스트(102)와 제3 호스트(103)에 상기 반송 명령을 내린다.

반송 명령을 받은 제2 호스트(102)는 이를 상기 장비(210, 220)에 전달하고, 상기 제3 호스트(103)는 제4 호스트(104) 및 제5 호스트(105)에 전달한다. 그리고, 제4 호스트(104)는 상기 반송 명령을 상기 카세트 반송 장치(300)에 전달하고, 상기 제5 호스트(105)는 상기 스토커(400)에 전달한다.

상기 반송 명령을 전달받은 스토커(400)는 스태커 로봇을 제어하여 해당 카세트(150)를 출고 포트(420)로 운반한다. 그리고 반송 명령을 받은 카세트 반송 장치(300)는 상기 스토커(400) 앞으로 이동하여 상기 출고 포트(420)에 놓인 카세트(150)를 이재부(320)에 로딩한다.

상기 카세트(150)를 로딩한 카세트 반송 장치(300)는 상기 장비(210, 220)로 이동한다. 제1 센서(340)의 도움으로 상기 장비(210, 220) 앞에 정확하게 위치한 카세트 반송 장치(300)는 상기 제2 센서(350)의 도움을 받아 상기 카세트(150)를 상기 장비(210, 220)에 정확하게 언로딩한다.

상기 카세트(150)가 상기 장비(210, 220)에 완전히 언로딩되면, 상기 장비(210, 220)는 리더기(201)를 이용하여 상기 카세트(150)에 있는 ID 표시부(151)를 읽어 들인다. 상기 장비(210, 220)의 리더기(201)에서 읽은 카세트(150)의 ID 정보는 상기 제2 호스트(102)로 전송되며, 상기 제2 호스트(102)는 상기 제1 호스트(101)로 부터 전달 받아서 상기 장비(210, 220)로 전송한 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보를 비교한다.

비교 결과, 상기 장비(210, 220)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 일치하면, 상기 장비(210, 220)는 상기 카세트(150)에 탑재된 기판들을 꺼내어 소정 공정을 수행한다.

그러나, 상기 장비(210, 220)와 상기 스토커(400)가 서로 다른 호스트 들로 부터 통제를 받기 때문에 각 통제 라인 중 어느 하나가 오동작을 일으킬 경우, 상기 장비(210, 220)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 불일치할 수 있다. 따라서, 비교 결과, 상기 장비(210, 220)로 전달된 반송 정보와 상기 카세트(150)의 ID 정보가 불일치하면, 반송 시스템은 경보음을 발생시키고, 상기 카세트 반송 장치(300)는 상기 장비(210, 220)에 언로딩된 카세트(150)를 다시 상기 이재부(320)에 로딩한다.

상기 카세트(150)를 재 로딩한 카세트 반송 장치(300)는 상기 카세트(150)를 상기 스토커(400)로 재 반송한 후 스토커(400)의 입고 포트(410)에 언로딩한다. 그리고, 작업자는 오류가 발생한 제어 라인을 찾아 문제를 해결한 후 상기 제1 호스트(101)에 다시 반송 명령을 입력하면, 상기한 과정의 카세트(150)의 반송 절차가 다시 수행된다.

한편, 상기한 바와 같이 카세트 반송 장치(300)가 상기 주 레일(510)을 따라 정해진 궤도를 주행하면서 반송 과정을 수행하는 동안 어느 하나의 카세트 반송 장치(300)가 다운되거나 에러를 일으키게 되면, 제어 시스템은 경보음을 발생함과 함께 상기 주 레일(510)을 따라 주행하는 모든 카세트 반송 장치(300)들을 정지시킨다. (a)

이때, 상기 카세트 반송 장치(300)들은 상기 제어 시스템의 정지 명령에 따라 정지될 수 있다. 또한 상기 주 레일(510)의 트롤리 암(516)에 공급되는 전원을 차단하는 방법을 통해 강제로 정지될 수 있다. 물론, 상기 제어 시스템의 명령에 따라 모든 카세트 반송 장치(300)들이 정지한 후 작업자가 안전하게 작업할 수 있도록 상기 트롤리 암(516)에 공급되는 전원을 차단할 수도 있다.

모든 카세트 반송 장치(300)들이 정지한 후, 그리고 바람직하게는 상기 주 레일(510)에 전원 공급이 차단된 후에는 상기 에러가 발생하거나 다운된 카세트 반송 장치(300)를 상기 주 레일(510) 상에 있는 분기부(520) 위로 이동시킨다. (b) 여기서, 상기 카세트 반송 장치(300)의 주행부(310)에는 캐스터(312)와 주행 휠(311)이 있기 때문에 작업자가 상기 카세트 반송 장치(300)를 밀면 카세트 반송 장치(300)가 쉽게 이동한다.

도 10a에 도시된 바와 같이 상기 분기부(520) 위에 해당 카세트 반송 장치(300)가 올려지면, 록킹 장치를 해제한 후 상기 분기부(520)와 상기 카세트 반송 장치(300)를 예를 들면 상기 주 레일(510)에 대해 수직한 방향까지 회전시킨다. 이때, 상기 록킹 장치를 먼저 해제한 후 분기부(520)를 회전시킬 수도 있을 것이다. 상기 분기부(520)를 완전히 회전시키면 상기 주 레일(510)의 일부, 즉 제1 상판(523)과 제1 레일(515)은 상기 주 레일(510)의 인근에 배치된 피난 레일(530), 좀더 상세하게는 제2 상판(533)과 제2 레일(535)에 각각 연결된다. (c)

상기 분기부(520)가 완전히 회전하여 피난 레일(530)과 연결되면, 도 10b에 도시된 바와 같이 상기 카세트 반송 장치(300)를 피난 레일(530) 측으로 밀어서 상기 피난 레일(530)로 진입시킨다. (d)

상기 카세트 반송 장치(300)가 피난 레일(530)로 완전히 진입하여 피난되면, 상기 분기부(520)를 역회전시킨 후 로킹 장치를 이용하여 분기부(520)를 고정한다. 그리고 상기 주 레일(510)에 전원을 공급하고 반송 시스템을 가동시켜 상기 주 레일(510) 상에 있는 다른 카세트 반송 장치(300)들을 정상적으로 운행 시킨다. (e)

상기와 같은 본 발명에 따른 방법을 사용하면, 상기 카세트 반송 장치(300)들 중 어느 하나가 다운되더라도 빠른 시간 안에 이를 피난 시킨 후 다른 카세트 반송 장치(300)들을 정상적으로 가동시킬 수 있게 된다. 따라서, 장시간 동안 반송 시스템 및 생산 라인의 가동이 중지되는 것을 방지할 수 있어 생산성이 급격하게 저하되는 것을 방지할 수 있다.

한편, 상기 피난 레일(530)로 피난된 카세트 반송 장치(300)를 상기 피난 레일(530)로부터 분리할 필요가 있을 경우에는, 상기 피난 레일(530)의 상판 일부를 개방한다. 즉 제2 상판(533)에 구비된 탈착 커버(537)를 분리한 후, 이를 이용하여 상기 에러가 발생되거나 다운된 후 피난 레일(530)로 피난된 카세트 반송 장치(300)를 피난 레일(530)로부터 분리한다. (e)

피난 레일(530)로부터 분리된 후 수리된 카세트 반송 장치(300)는 다시 상기 피난 레일(530)에 장착된다. 피난 레일(530)이 장착된 후에는 상기 주 레일(510) 상을 주행하는 카세트 반송 장치(300)들의 주행을 멈추고 상기한 과정의 역순으로 해당 카세트 반송 장치(300)를 상기 주 레일(510)에 다시 진입 시킨다. 해당 카세트 반송 장치(300)가 주 레일(510)에 진입되면, 모든 반송 시스템을 다시 정상적으로 운영할 수 있게 된다.

상기에서 몇몇의 실시예가 설명되었음에도 불구하고, 본 발명이 이의 취지 및 범주에서 벗어남 없이 다른 여러 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다.

따라서, 상술된 실시예는 제한적인것이 아닌 예시적인 것으로 여겨져야 하며, 첨부된 청구항 및 이의 동등 범위 내의 모든 실시예는 본 발명의 범주 내에 포함된다.

상기한 바와 같이 본 발명에 따른 레일 시스템이 적용된 반송 시스템에서는, 주 레일 상을 주행하는 다수 개의 카세트 반송 장치 중 어느 하나가 다운되더라도 이를 분기부를 이용하여 피난 레일로 긴급하게 피난 시킨 후 다른 카세트 반송 장치들을 정상가동 할 수 있게 된다.

물론, 피난 레일에서 다운된 카세트 반송 장치를 분리하거나, 이를 다시 장착하는데 필요한 오랜 시간 동안 상기 주 레일 상에 있는 다른 카세트 반송 장치들은 모두 정상적으로 가동된다.

그러므로, 상기 카세트 반송 장치를 주 레일로 부터 분리하거나 다시 장착하는데 소요되는 오랜 시간 동안 반송 시스템이 정지되어야만 했던 종래보다 반송 시스템이 정지되는 시간을 현격하게 줄일 수 있게 된다.

이에 따라, 카세트 반송 효율 및 생산성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 일반적인 액정표시패널의 일부를 나타낸 분해 사시도;

도 2는 일반적인 카세트 반송 라인을 설명하기 위한 평면도;

도 3은 본 발명에 따른 카세트 반송 시스템을 설명하기 위한 개요도;

도 4는 본 발명에 따른 카세트 반송 라인을 설명하기 위한 평면도;

도 5는 도 3의 카세트 반송 장치를 나타낸 정면도;

도 6은 도 5의 카세트 반송 장치의 주행부와 레일을 나태낸 단면도;

도 7은 도 5의 카세트 반송 장치의 이재부를 나타낸 측면도;

도 8a 및 도 8b는 도 4의 분기부를 나타낸 도면들로써,

도 8a는 회전부가 회전하기 전의 모습을 나타낸 평면도,

도 8b는 회전부가 회전한 후의 모습을 나타낸 평면도, 그리고

도 9는 도 4의 피난 레일에 구비되는 분리 가능한 상판 일부를 나타낸 사시도; 그리고

도 10a 및 도 10b는 본 발명에 따른 레일 시스템을 이용하여 카세트 반송 장치를 피난시키는 과정을 순차적으로 나타낸 도면들이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

101: 제1 호스트 102: 제2 호스트

103: 제3 호스트 104: 제4 호스트

105: 제5 호스트 150: 카세트

210, 220: 장비 300: 카세트 반송 장치

310: 주행부 320: 이재부

330: 로봇 암 400: 스토커

510: 주 레일 520: 분기부

530: 피난 레일

Claims (8)

1. 카세트 반송 장치가 정해진 궤도를 따라 주행하도록 안내하는 주 레일;

   상기 주 레일 상에 구비되고 상기 주 레일의 일부를 회전시키는 분기부; 그리고

   상기 주 레일 인근에 배치되고 상기 분기부가 회전하였을 때 상기 분기부와 함께 회전된 주 레일의 일부와 연결되는 피난 레일을 포함하여 이루어진 카세트 반송 장치 안내를 위한 레일 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 분기부와 상기 피난 레일은 상기 주 레일 상과 인근에 다수 개가 구비된 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장치 안내를 위한 레일 시스템.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 분기부는 상기 주 레일에 대해 수직한 방향까지 회전 가능하고, 상기 피난 레일은 상기 주 레일에 대해 수직하게 배치된 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장치 안내를 위한 레일 시스템.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 분기부는 록킹 장치에 의해 고정되며, 상기 록킹 장치의 해제 시에만 회전 가능한 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장치 안내를 위한 레일 시스템.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 피난 레일의 상판은 일부가 개방 가능하게 형성된 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장치 안내를 위한 레일 시스템.
6. (a) 주 레일을 따라 정해진 궤도를 주행하는 카세트 반송 장치들 중 적어도 어느 하나에 에러가 발생되면, 상기 주 레일을 따라 주행하는 카세트 반송 장치들을 정지시키는 단계;

   (b) 에러가 발생한 카세트 반송 장치를 상기 주 레일 상에 있는 분기부 위로 이동시키는 단계;

   (c) 상기 분기부를 회전시켜 상기 주 레일의 일부를 상기 주 레일의 인근에 배치된 피난 레일과 연결하는 단계;

   (d) 상기 회전된 분기부 위에 있는 카세트 반송 장치를 상기 피난 레일로 진입시키는 단계; 그리고

   (e) 상기 분기부를 역회전시킨 후 다른 카세트 반송 장치들을 운행시키는 단계를 포함하여 이루어진 비상 시의 카세트 반송 장치 피난 방법.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 (a) 단계는 상기 주 레일에 공급되는 전원을 차단하는 방법을 통해 수행되는 것을 특징으로 하는 비상 시의 카세트 반송 장치 피난 방법.
8. 제 6 항에 있어서,

   (f) 상기 피난 레일의 상판 일부를 개방시키고, 상기 에러가 발생된 자동 반송 장치를 상기 피난 레일로 부터 분리하는 단계를 더 포함하여 이루어진 비상 시의 카세트 반송 장치 피난 방법.