KR101272894B1 - 카세트 세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 카세트 세정장치에 관한 것으로, 특히 카세트의 건조 및 검사 공정이 동시에 가능한 챔버에 관한 것이다.
본 발명의 특징은 카세트의 세정 공정 후 건조 및 검사공정을 동시에 진행할 수 있는 챔버를 제공함으로써, 상기 카세트 세정 공정의 공정시간을 단축하여 작업수율을 향상시키는 효과가 있으며, 세정장치의 설치공간을 줄일 수 있는 것을 특징으로 한다.
카세트, 세정공정, 건조공정, 검사공정, 챔버

Description

카세트 세정장치{Cleaning device for a cassette}
도 1은 일반적인 카세트 건조장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 일반적인 카세트 검사장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면.
도 3은 종래의 카세트 세정 공정에 대한 블록도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 건조 및 검사 일체형 장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 세정 공정에 대한 블록도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
117 : 건조 및 검사 일체형 장비 120 : 카세트
121 : 열풍배관 133 : 지지대
135 : 센서 137 : 사이드 슬럿 센서
143 : 서포트바 151 : 슬럿핀
153a, 153b : 상, 하 플레이트
155 : 프레임바
본 발명은 카세트 세정장치에 관한 것으로, 특히 카세트의 건조 및 검사가 동시에 가능한 챔버에 관한 것이다.
일반적으로 널리 사용되고 있는 표시장치들 중의 하나인 CRT(cathode ray tube) TV를 비롯해서 계측기기, 정보단말기기 등의 모니터에 주로 이용되어 오고 있으나, CRT 자체의 큰 무게나 크기로 인하여 전자 제품의 소형화, 경량화의 요구에 적극 대응할 수 없었다.
이러한 CRT를 대체하기 위해 소형, 경량화의 장점을 갖고 있는 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 플라즈마표시장치(plasma display panel device : PDP) 등이 활발하게 개발되어 왔다.
이들은 공통적으로 고유의 형광 또는 편광층을 사이에 두고 한쌍의 투명기판을 대면 합착시킨 평판표시패널(flat display panel)을 필수적인 구성요소로 갖추고 있는데, 이와 같은 패널은 소정물질의 박막을 형성하는 증착(deposition)공정, 포토리소그라피(photo lithography)공정, 식각(etching)공정을 여러번 반복하여 구성하며 이 외에 세정, 합착, 절단 등의 여러 가지 서로 다른 공정이 수반된다.
이와 같은 패널을 합착하기 전의 기판은 복수개로 묶여져 운반 및 저장됨으로써 공정시간을 단축하게 되는데, 이때 상기 기판이 수납되어져 운반 및 저장되는 것이 카세트(cassette)이다.
상기 카세트는 기판의 청결을 유지하기 위해 세정 공정을 거치게 되는데, 상기 세정 공정은 세정과 건조 공정 그리고, 검사 공정으로 분리되게 된다.
상기 세정 공정은 세정장치 내에서 노즐을 사용하여 순수(deionizer water : DI) 및 청정건조공기(clean dry air : CDA)등을 분사하여 상기 카세트를 세정한다.
상기 세정된 카세트는 건조장치로 이동되어지는데, 이는 도 1에 도시한 도면을 참조하여 자세히 설명하도록 하겠다.
도 1에 도시한 바와 같이, 건조장치(17)는 챔버형 (chamber type)장비로, 상기 챔버 내부에는 회전이 가능한 텐테이블어셈블리(23) 및 고온 가열된 강풍을 분사하는 열풍배관(21)이 구성되어 있다.
상기 세정된 카세트(20)를 눕혀 상기 텐테이블어셈블리(23) 상에 안착시키고, 상기 카세트(20)를 향해 열풍배관(21)에서 고온의 강풍을 분사하여 상기 카세트(20)의 건조하게 된다.
상기 열풍배관(21)은 상기 챔버내의 일측 모서리에 구성되어 있어 상기 카세트(20)를 지지하는 텐테이블어셈블리(23)를 회전하면서 상기 카세트(20)의 구석구석에 고온 강풍을 분사하게 된다.
상기 건조공정이 끝난 후에는 상기 카세트(20)에 대한 검사를 진행하여 기판보관과 운반에 대한 안전을 도모하게 된다.
도 2는 일반적인 카세트 검사장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도시한 바와 같이, 카세트 검사장치(19)는 내부에 카세트(20)가 안착되는 지지대(33)와, 카세트(20)의 기울어짐 등을 비롯한 피치간격에 대한 변동여부를 검사 하기 위한 센서(35)가 구성된다.
즉, 상기 카세트 검사장치(19)는 도어가 없는 챔버형으로 상기 챔버내 각각의 모서리에는 각각의 센서(35)가 구성된다. 또한, 카세트(20)의 양측면에는 상기 지지대(33)에 수직한 승강포스트(37)가 더욱 구비되고, 상기 승강포스트(37)에는 상하로 이동되는 로봇암(39)이 장치된다.
상기 로봇암(39)은 서로 대응되는 위치에 한 쌍으로 구비하며, 상기 로봇암(39)에는 센서가 고정된다.
따라서, 상기 지지대(33)에 상기 세정 및 건조를 마친 카세트(20)가 안착되면, 상기 챔버내에 구성된 센서(35)가 각각 카세트(20)의 양 측면을 통해 상기 카세트(20)의 기울어짐을 검사하게 되고, 상기 로봇암(39)에 장착된 센서(미도시)를 통해 상기 카세트(20) 서포트바(43)의 피치간격의 변동여부를 검사하게 된다.
전술한 바와 같이, 상기 카세트(20)의 세정 공정을 진행하기 위해서는 세정챔버(미도시)를 거쳐, 건조챔버(17), 그리고 검사장치(19)를 거치게 되는데, 이를 도 3을 참조하여 좀더 자세히 설명하도록 하겠다.
도시한 바와 같이, 먼저 스토커(11)에는 카세트(도 1의 20)를 목적에 따라 분류 적재하는 쉘프(shelf)에 각각의 카세트(도 1의 20)가 구분되어 저장되게 된다.
또한, 상기 카세트(도 1의 20) 운반로봇인 락마스터(rock master)가 구비되어 상기 쉘프 사이의 카세트(도 1의 20) 운반을 담당하게 되는데, 상기 락마스터를 통해 상기 스토커(11) 내에서 상기 카세트(도 1의 20)를 운반하여 상기 카세트(도 1의 20)를 자동반송차(automatic guide vehicle : AGV)에 인계하여 상기 자동반송차 를 통해 세정기 로더(13)로 이동하게 되고, 상기 세정기 로더(13)로 이동된 카세트(도 1의 20)는 다시 세정챔버(15) 내로 이동하게 된다.
상기 세정챔버(15)로 이동한 카세트(도 1의 20)는 세정 공정을 거친 후, 다시 상기 자동반송차에 의해 상기 건조챔버(17)로 이동되어 건조 공정을 진행하게 된다.
다음으로, 상기 건조 공정이 완료된 카세트(도 1의 20) 역시 자동반송차에 의해 카세트 검사장치(19)로 인계되어 상기 카세트(도 1의 20)의 기울어짐 또는 서포트바(도 2의 43)의 피치간격에 대한 변동여부를 검사하고, 검사를 마친 후에는 다시 스토커(11)의 쉘프로 전달 및 저장되게 된다.
이로 인하여, 상기 카세트(도 1의 20)는 세정챔버(15), 건조챔버(17), 검사장치(19)까지 적어도 3번 이상의 공정실로 자동반송차에 의해 이동되어져 각각의 공정을 진행 받게 되므로 그 만큼 공정시간이 길어지게 되는 문제점이 있다.
또한, 상기 세정챔버(15), 건조챔버(17) 그리고 검사장치(19)가 구성된 세정장치는 넓은 면적의 공정실을 차지하게 되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 카세트 세정 공정의 공정시간을 단축하여 작업수율을 향상시키는 것을 제 1 목적으로 한다.
또한, 카세트 세정 공정에 의한 세정장치의 설치공간을 줄이는 것을 제 2 목적으로 한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 노즐이 구성된 세정챔버와; 상기 세정챔버 와는 별도로 구성되며, 열풍배관과, 다수의 센서가 구성된 건조 및 검사 일체형 챔버를 포함하며, 상기 건조 및 검사 일체형 챔버는 상기 카세트를 안착시키기 위한 지지대와, 고온열풍을 분사하는 열풍배관과, 상기 카세트의 기울어짐을 검사하기 위한 다수의 센서와, 상기 카세트의 피치간격의 변동여부를 검사하기 위한 사이드 슬럿 센서(side slot sensor)를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치를 제공한다.
이때, 상기 세정챔버의 노즐에서는 순수(deionizer water) 및 청정건조공기(clean dry air)를 분사하는 것을 특징으로 하며, 상기 열풍배관은 적어도 두개 이상이 서로 마주보도록 구성하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 다수의 센서는 상기 챔버의 각 모서리에 하나씩 구성하여 적어도 8개 이상 구성하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명은 세정챔버 내로 카세트가 안착되는 단계와, 상기 카세트에 순수 및 청정건조공기를 분사하는 세정 공정 단계와; 상시 세정 공정 후, 상기 카세트를 건조 및 검사 챔버로 내로 안착하는 단계와; 상기 카세트에 고온 강풍을 분사하는 동안, 상기 챔버에 다수로 구성된 센서가 상기 카세트의 기울어짐을 검사하고, 사이드 슬럿 센서를 통해 상기 카세트의 피치간격을 검사하는 단계를 포함하는 카세트 세정 공정 방법을 제공한다.
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이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 건조 및 검사 일체형 장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 건조 및 검사 일체형 장치(117)는 내부에 카세트(120)가 안착되는 챔버형 (chamber type)장비로, 상기 챔버 내부에는 고온 가열된 강풍을 분사하는 두개의 열풍배관(121)과, 카세트(120)의 기울어짐 등을 비롯한 피치간격에 대한 변동여부를 검사하기 위한 센서(135, 137)를 구성한다.
이를 좀더 자세히 설명하면, 상기 챔버는 도어가 달린 상태로 상기 챔버 내의 서로 마주보는 모서리 일측에는 적어도 두개 이상의 열풍배관(121)이 구성되며, 각각의 모서리에는 각각의 센서(135)를 구성하여 상기 챔버 내에는 적어도 8개 이상의 센서(135)를 구성한다.
또한, 상기 카세트(120)의 피치간격을 알아보기 위한 센서(미도시)가 장착된 사이드 슬럿 센서(side slot sensor : 137)를 더욱 포함한다.
이때, 카세트(120)는 일면이 개구된 입방체 형상으로 상, 하부의 천정과 바닥면 역할을 하는 상, 하 플레이트(153a, 153b)와, 상기 상, 하 플레이트(153a, 153b)의 가장자리를 연결하는 다수의 프레임바(155)를 상기 상, 하 플레이트(153a, 153b)의 세 방향에 구성한다.
이때, 상기 개구된 입구면의 양 측면에 구성된 프레임바(155)에는 일정간격의 슬럿핀(151)이 서로 마주보는 방향으로 수평하게 돌출되며, 상기 개구된 입구면과 서로 대응되는 일면에 구성된 프레임바(155)에는 상기 슬럿핀(151)과 동일한 간격으로 서포트바(143)가 입구면을 향해 수평하게 돌출된다.
따라서 기판(미도시)은 서로 대응되는 슬럿핀(151)에 의해 양 가장자리가 지지됨과 동시에 해당 기판을 가로 질로 떠받치는 서포트바(143)에 의해 층별로 수납된다.
이와 같은 카세트(120)가 안착된 챔버 내의 모서리에 각각 구성된 센서(135)는 상기 챔버 내의 각각의 모서리 부분과 각 센서(153)들 간 사이의 간격을 측정하여 이를 토대로 카세트(120)의 기울어짐을 검사하게 된다.
또한, 상기 사이드 슬럿 센서(137)는 상기 카세트(120)의 서포트바(143)에 근접하여 상,하로 승강하면서 상기 서포트바(143)의 피치간격의 변동여부를 검사한다.
또한, 상기 챔버 내에는 상기 카세트(120)가 안착될 지지대(133)를 구성하는데, 상기 지지대(133)는 회전을 하지 않는 고정된 형태로 형성한다.
이는, 상기 검사공정 시 상기 카세트(120)가 안착된 지지대(133)가 회전하게 되면 상기 카세트(120)의 외형의 기울어짐 또는 피치간격의 변동 여부에 대한 검사가 어렵게 되기 때문이다.
이때, 상기 지지대(133)가 회전을 하지 않도록 고정하는 대신 종래에서 일측 모서리에 구성되었던 열풍배관(121)을 서로 마주는 방향으로 두개를 구성하여 상기 카세트(120)의 구석구석에 고온 강풍을 분사함으로써 건조공정의 효율을 높인다.
이와 같은 건조 및 검사 일체형 장치(117) 내에 상기 카세트(120)를 눕혀서 상기 지지대(133)에 안착시키는데 이때, 상기 카세트(120)는 세정장치(미도시) 내에서 노즐을 사용하여 순수(deionizer water : DI) 및 청정건조공기(clean dry air : CDA)등을 분사하여 상기 카세트(120)를 세정하는 공정을 진행 한 후이다.
상기 건조 및 검사 일체형 장치(117) 내에 안착된 카세트(120)를 향해 상기 챔버 내의 서로 마주보는 일 모서리에 각각 구성된 두개의 열풍배관(121)에서 고온 강풍을 분사하여 상기 카세트(120)를 건조한다.
이와 동시에, 상기 챔버내의 각 모서리에 구성된 센서(135)가 각각 카세트(120)의 기울어짐을 검사하고, 상기 사이드 슬럿 센서(137)에 구성된 센서(미도시)를 통해 상기 카세트 서포트바(143)의 피치간격의 변동여부를 검사한다.
전술한 바와 같이, 상기 카세트(120)는 도 5에 도시한 바와 같이, 세정챔버(115)를 거쳐, 건조 및 검사 일체형 챔버(117)를 거친 후 바로 스토커(111)로 적재되게 된다.
즉, 먼저 쉘프(shelf)에 목적에 따라 분류되어 저장되어 있는 카세트(도 4의 120)를 상기 카세트 운반로봇인 락마스터(rock master)를 통해 자동반송차(automatic guide vehicle : AGV)에 인계하여 상기 자동반송차를 통해 상기 세정기 로더(113)로 이동하게 되고, 상기 세정기 로더(113)로 이동된 카세트(도 4의 120)는 다시 세정챔버(115) 내로 이동하게 된다.
상기 세정챔버(115)로 이동한 카세트(도 4의 120)는 세정 공정을 거친 후, 다시 상기 자동반송차에 의해 상기 건조 및 검사 일체형 챔버(117)로 이동되어 건조 공정 및 검사 공정을 동시에 진행하게 된다.
이때, 상기 건조 및 검사 일체형 챔버(117) 내에서 고온 강풍을 분사하여 상기 카세트(도 4의 120)의 세정 공정에 의해 발생된 순수(DI)와 같은 이물질을 완전 히 제거하게 되고, 이와 동시에 상기 챔버 내의 각 모서리에 구성된 센서(도 4의 135)에 의해 카세트(도 4의 120)의 기울어짐과, 상기 사이드 슬럿 센서(도 4의 137)가 상,하로 이동하면서 상기 카세트 서포트바(도 4의 143)의 피치간격에 대한 변동여부를 검사한다.
상기 건조 및 검사를 마친 후에는 다시 스토커(111)의 쉘프로 전달 및 저장되게 된다.
전술한 바와 같이, 세정 공정 후 건조 및 검사공정을 동시에 진행할 수 있는 세정장치를 제공함으로써, 상기 카세트 세정 공정을 단축하여 작업수율을 향상시키는 효과가 있으며 또한, 세정장치의 설치공간을 줄일 수 있다.
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 카세트의 세정 공정 후 건조 및 검사공정을 동시에 진행할 수 있는 챔버를 제공함으로써, 상기 카세트 세정 공정의 공정시간을 단축하여 작업수율을 향상시키는 효과가 있으며, 세정장치의 설치공간을 줄일 수 있는 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 노즐이 구성된 세정챔버와;
    상기 세정챔버 와는 별도로 구성되며, 열풍배관과, 다수의 센서가 구성된 건조 및 검사 일체형 챔버
    를 포함하며, 상기 건조 및 검사 일체형 챔버는 카세트를 안착시키기 위한 지지대와, 상온보다 높은 고온열풍을 분사하는 적어도 두개 이상의 열풍배관과, 상기 카세트의 기울어짐을 검사하기 위한 다수의 센서와, 상기 카세트의 서포트바의 피치간격의 변동여부를 검사하기 위한 사이드 슬럿 센서(side slot sensor)를 더욱 포함하며,
    상기 열풍배관은 상기 건조 및 검사 일체형 챔버의 각 모서리에 서로 마주보도록 배치되며,
    상기 사이드 슬럿 센서는 상하로 승강하고,
    상기 카세트는 일측면이 개방되어 입구면을 형성하고 상부면과 하부면 각각에 상, 하 플레이트가 형성되며, 상기 입구면의 양 측면에는 슬럿핀이 형성된 제 1 프레임바가 형성되고, 상기 입구면과 마주하는 반대면에는 제 2 프레임바가 위치하며 상기 제 2 프레임바에는 상기 슬럿핀과 동일한 간격으로 상기 서포트바가 형성되고, 상기 카세트는 상기 상, 하 플레이트가 수직하도록 상기 지지대에 안착되고, 상기 사이드 슬럿 센서는 상기 입구면에 위치하는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 세정챔버의 노즐에서는 순수(deionizer water) 및 청정건조공기(clean dry air)를 분사하는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 센서는 상기 챔버의 각 모서리에 하나씩 구성하여 적어도 8개 이상 구성하는 것을 특징으로 하는 카세트 세정장치.
  6. 세정챔버 내로 카세트가 안착되는 단계와, 상기 카세트에 순수 및 청정건조공기를 분사하는 세정 공정 단계와;
    상시 세정 공정 후, 상기 카세트를 건조 및 검사 챔버 내로 안착하는 단계와;
    상기 건조 및 검사 챔버의 열풍배관이 상기 카세트에 상온보다 높은 고온 열풍을 분사하는 동안, 상기 챔버에 다수로 구성된 센서가 상기 카세트의 기울어짐을 검사하고, 사이드 슬럿 센서를 통해 상기 카세트의 서포트바의 피치간격을 검사하는 단계를 포함하며,
    상기 열풍배관은 상기 건조 및 검사 챔버의 각 모서리에 서로 마주보도록 배치되며,
    상기 사이드 슬럿 센서는 상하로 승강하고,
    상기 카세트는 일측면이 개방되어 입구면을 형성하고 상부면과 하부면 각각에 상, 하 플레이트가 형성되며, 상기 입구면의 양 측면에는 슬럿핀이 형성된 제 1 프레임바가 형성되고, 상기 입구면과 마주하는 반대면에는 제 2 프레임바가 위치하며 상기 제 2 프레임바에는 상기 슬럿핀과 동일한 간격으로 상기 서포트바가 형성되고, 상기 카세트는 상기 상, 하 플레이트가 수직하도록 상기 건조 및 검사 챔버에 형성된 지지대에 안착되고, 상기 사이드 슬럿 센서는 상기 입구면에 위치하는 카세트 세정 공정 방법.
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