JP5702639B2 - ムラ検査用画像取得装置およびムラ検査装置並びに照射部の位置決定方法 - Google Patents
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Images
Description
3 照射部
9 基板
11 ムラ検査用画像取得装置
12 検査部
22 移動機構
34 発光領域
41 撮像部
61 (発光領域の)像
62 点像
91 検査表面
104 ムラ検査装置
411 ラインセンサ
412 撮像光学系
J1 光軸
Claims (5)
- 対象物上に存在するムラを検査するための画像を取得するムラ検査用画像取得装置であって、
対象物が載置されるステージと、
前記ステージに平行なライン状の発光領域から前記対象物の検査表面に向けて照明光を照射する照射部と、
前記検査表面にて反射した照明光を、前記ステージに平行かつ光軸に垂直な方向に受光素子が配列されたラインセンサにて受光する撮像部と、
前記ステージを前記照射部および前記撮像部に対して、前記ステージに平行な方向に相対的に移動する移動機構と、
を備え、
前記撮像部の撮像光学系において、前記ラインセンサの位置と光学的に共役な位置である合焦位置が、前記検査表面から前記撮像部側にずれて位置し、前記撮像光学系が物体側において非テレセントリックであり、
前記撮像部から前記検査表面を経由して前記照射部へと至る前記光軸上において、前記照射部と前記検査表面との間の距離が、100mm以上であり、かつ、設計上の距離だけ前記照射部と前記撮像部とを離して配置し、かつ、合焦位置を前記発光領域上に合わせた場合の前記ラインセンサの位置における前記発光領域の像のうち、ムラ検査に必要な強度を有する領域の幅である安定強度幅をW、前記ステージの移動の際の前記ステージの振れに起因する前記ラインセンサの位置での前記光軸および前記ラインセンサに垂直な縦方向の振れ量を(±L)として、
前記合焦位置を設計上の位置に一致させ、前記発光領域の位置に点光源を配置した場合の前記受光素子の位置における点像の直径dが、d<(W−2L)を満たすことを特徴とするムラ検査用画像取得装置。 - 請求項1に記載のムラ検査用画像取得装置であって、
前記照射部の取り付け精度に起因する前記縦方向における最大ずれ量を(±a)として、
前記直径dが、d<(W−2L−2a)を満たすことを特徴とするムラ検査用画像取得装置。 - 請求項1または2に記載のムラ検査用画像取得装置であって、
前記対象物が、表示装置に用いられるガラス基板であることを特徴とするムラ検査用画像取得装置。 - 対象物上に存在するムラを検査するムラ検査装置であって、
請求項1ないし3のいずれかに記載のムラ検査用画像取得装置と、
前記ムラ検査用画像取得装置にて取得された画像に基づいてムラを検査する検査部と、
を備えることを特徴とするムラ検査装置。 - 対象物上に存在するムラを検査するムラ検査装置における照射部の位置決定方法であって、
前記ムラ検査装置が、
対象物が載置されるステージと、
前記ステージに平行なライン状の発光領域から前記対象物の検査表面に向けて照明光を照射する照射部と、
前記検査表面にて反射した照明光を、前記ステージに平行かつ光軸に垂直な方向に受光素子が配列されたラインセンサにて受光する撮像部と、
前記ステージを前記照射部および前記撮像部に対して、前記ステージに平行な方向に相対的に移動する移動機構と、
を備え、
前記照射部の位置決定方法が、
前記撮像部から前記検査表面を経由して前記照射部へと至る前記光軸上において、前記照射部と前記検査表面との間の距離が、100mm以上となるように前記照射部の位置を仮決定する工程と、
設計上の距離だけ前記照射部と前記撮像部とを離して配置し、かつ、合焦位置を前記発光領域上に合わせた場合の前記ラインセンサの位置における前記発光領域の像のうち、ムラ検査に必要な強度を有する領域の幅である安定強度幅Wを取得する工程と、
前記合焦位置を設計上の位置に一致させ、前記発光領域の位置に点光源を配置した場合の前記受光素子の位置における点像の直径dを取得する工程と、
前記ステージの移動の際の前記ステージの振れに起因する前記ラインセンサの位置での前記光軸および前記ラインセンサに垂直な縦方向の振れ量(±L)を取得する工程と、
前記直径dが、d<(W−2L)を満たすことを確認した上で前記仮決定した位置を確定する工程と、
を備えることを特徴とする照射部の位置決定方法。
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