JP2011134932A - 光源ユニット、露光光照射装置、露光装置及び表示パネル基板の製造方法並びに半導体発光素子部の検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、光を発生する複数の半導体発光素子と半導体発光素子が発生した光を受けて出射するレンズを有する光源ユニットまたは露光光照射装置あるいは露光装置において、前記半導体発光素子は前記レンズに対応して設けられ、前記レンズ部は前記複数のレンズのうち隣接するレンズを接触させて固定する手段を有することを特徴とする。
【選択図】図7
Description
また、半導体発光素子から発光される紫外線は可視光外であるため、レンズのアライメントの確認が難しい。レンズのアライメント確認のために、半導体発光素子を点灯させる必要があるが、半導体発光素子からの発光が可視光線であれば、半導体発光素子が故障している場合、目視で確認できる。しかしながら紫外線を発光する半導体発光素子が故障していても目視による確認はできない。また、紫外線を直視するのは危険である。
半導体発光素子52は、半導体発光素子より大きな寸法を有するベース基板51に対して半田付けで実装されており、溶けた時に中心で結合しようとする半田付けの有するセルフアライメント機能によりベース基板にアライメントされている。
また、拡大レンズは半導体発光素子の間隔と同じサイズにまで直径を大きくでき、同じサイズに近づくほど密度の高い発光源を提供できる。
50o≧50I(I=a、b) ≧50c
となる。例えば、50oを3×3の2次元アレイとすれば、50a、50bは2×2の2次元アレイ、50cは1×1の2次元アレイとなる。
また、冷却部材47または冷却部材と発光源50の間に発光源の載置する前述した傾斜を有する載置台を設けることによって発光源の設置が容易になる。
図13は、検査対象である発光素子部50Aの一実施例を示し、本実施例では半導体発光素子52がベース基板51に4×5の2次元アレイ状に配置されている。
図14は図13に示す発光素子部50Aを検査するための5個の受光器の配置を示し、図15は図14の示す5個の受光器の配置と図13に示す4×5の半導体発光素子の配置を重ね合わせ、受光器71にはaからeの一連番号を、半導体発光素子には2次元アレイ状の位置を示すようにAからD及び1から5の連番号を付した図である。
半導体発光素子52からの光は、図16に示すように、ある角度をもって光が広がる。また、図17に示すように照射された場所により光量は均一でなく、中央が明るく周辺が暗くなる分布を持つ。
エッチング工程(ステップ105)では、ウエットエッチングにより薄膜形成工程(ステップ101)で形成された薄膜のうちフォトレジスト膜でマスクされていない部分を除去する。剥離工程(ステップ106)では、エッチング工程(ステップ105)でのマスクの役目を終えたフォトレジスト膜を、剥離液によって剥離する。これらの各工程の前、又は後には、必要に応じて、基板の洗浄/乾燥工程が実施される。これらの工程を数回繰り返して、基板上にTFTアレイが形成される。
4:Xガイド 5:Xステージ 6:Yガイド
7:Yステージ 8:θステージ 9:チャック支持台
10:チャック 20:マスクホルダ 30:露光光照射装置
32:コリメーションレンズ群 33:平面鏡
35:照度センサー 40:光源ユニット 45:レンズ群
46:制御回路 47:冷却部材 47a:熱伝伝導部材
48:冷却装置 49:ミラー 50:発光源
50A:発光素子部 50B:レンズ部 51:ベース基板
52:半導体発光素子 53:拡大レンズ 55:発光素子部側
60:レンズフレーム 61:レンズフレーム固定枠
62:スペーサ 63:固定ピン 64:位置決め機構
65:光軸調整部 66:結合手段 70:検査装置
71:受光器 72:照度計 73:検査処理部
74:固定台 75:受光面 100:露光装置。
Claims (21)
- 光を発生する複数の半導体発光素子と該複数の半導体発光素子を搭載するベース基板とを具備する発光素子部と、前記複数の半導体発光素子が発生した光を受けて出射するレンズを具備するレンズ部とを備える発光源を具備する光源ユニットにおいて、
前記半導体発光素子は前記レンズに対応して設けられ、前記レンズ部は前記複数のレンズのうち隣接するレンズを接触させて固定する手段を有することを特徴とする光源ユニット。 - 前記固定手段は前記接触部に設けられ平面と前記複数のレンズを固定する枠部とを有することを特徴とする請求項1に記載の光源ユニット。
- 前記固定手段は前記複数のレンズを一体に形成したことであることを特徴とする請求項1に記載の光源ユニット。
- 前記固定手段は前記接触する部分に設けられたはめ合い構造であることを特徴とする請求項1に記載の光源ユニット。
- 前記レンズの直径は前記半導体発光素子の間隔と同じかそれ以下であることを特徴とする請求項1に記載の光源ユニット。
- 前記レンズはその入射側に正多角柱の形状を有し、前記平面は該正多角柱の側部であることを特徴とする請求項2に記載の光源ユニット。
- 前記正多角柱は直方体であることを特徴とする請求項6に記載の光源ユニット。
- 前記発光素子部と前記レンズ部とを結合する結合部と、前記発光素子部と前記レンズ部の光軸を合わせる光軸調整部を有することを特徴とする請求項1に記載の光源ユニット。
- 前記結合部は両者の間隔を一定に保つスペーサと該スペーサを介して前記レンズを前記発光素子部に固定する固定ピンとを有し、前記結合部は前記固定ピンのガタによって前記光軸を合わせる光軸調整部を兼ねることを特徴とする請求項8に記載の光源ユニット。
- 前記光軸調整部は前記複数のレンズを固定するレンズフレームと該レンズフレームの外側にレンズフレーム固定部を設けて、両者を結合してレンズフレームの位置を移動させる位置決め機構であることを特徴とする請求項8に記載の光源ユニット。
- 前記光源ユニットは前記発光源を複数配置し、前記光源ユニットの周辺部に載置された前記発光源内に設けられた前記半導体発光素子と前記レンズのペアの数が、前記光源ユニットの中央部に載置された前記発光源内に設けられた前記ペアの数に等しいかまたは少ないことを特徴とする請求項1に記載の光源ユニット。
- 請求項1乃至11のいずれかに記載の光源ユニットを有し、前記レンズは拡大レンズであり、前記光源ユニットからの光を受けて露光光を形成することを特徴とする露光装置。
- 前記露光装置は前記複数の拡大レンズにより拡大された光が照射されるフライアイレンズを備え、前記複数の拡大レンズにより拡大された光を前記フライアイレンズで重ね合わせて露光光を形成するプロキシミティ露光装置であることを特徴とする請求項12に記載の露光装置。
- 請求項1乃至11のいずれかに記載の光源ユニットと、前記光源ユニットからの出射光を集光するコリメーションレンズ群と、前記コリメーションレンズ群からの出射光を反射させる平面鏡とを有することを特徴とする露光光照射装置。
- 請求項12または13に記載の露光装置を用いて表示用パネル基板を製造することを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
- 光を発生する複数の半導体発光素子と該複数の半導体発光素子を搭載するベース基板とを具備する半導体発光素子部を有する発光源に対面して設けられ、前記半導体発光素子より少ない数の複数の光検出器を有する受光部と、前記複数の光検出器からの信号に基づいて前記複数の半導体発光素子の状態を検出する検査処理部と、前記半導体発光素子の点灯を制御する制御部と、前記半導体検出器を冷却する冷却部とを有することを特徴とする半導体発光素子部の検査装置。
- 前記検出は前記複数の半導体発光素子のそれぞれの受光に関与する受光器の検出結果から前記複数の半導体発光素子の発光量の異常を検出することを特徴とする請求項16に記載の半導体発光素子部の検査装置。
- 前記発光源はさらに前記半導体発光素子に対応して設けられた複数のレンズを有するレンズ部を有し、前記検出は前記複数の検出器の検出結果に基づいて前記半導体発光素子部と前記レンズ部との光軸のズレ量を検出することを特徴とする請求項16に記載の半導体発光素子部の検査装置。
- 光を発生する複数の半導体発光素子と該複数の半導体発光素子を搭載するベース基板とを具備する発光素子部を有する発光源を検査する半導体発光素子部の検査方法において、
前記複数の半導体発光素子部に対面して設けられた前記半導体素子より少ない数の複数の光検出器の信号に基づいて前記複数の半導体発光素子の状態を検出することを特徴とする半導体発光素子部の検査方法。 - 前記検出は前記複数の半導体発光素子のそれぞれの受光に関与する受光器の検出結果から前記複数の半導体発光素子の発光量の異常を検出することを特徴とする請求項19に記載の半導体発光素子部の検査方法。
- 前記検査対象はさらに前記半導体発光素子に対応して設けられた複数のレンズを有するレンズ部を有しており、前記検出は前記複数の検出器の検出結果に基づいて前記レンズ部との光軸のズレ量を検出することを特徴とする請求項19に記載の半導体発光素子部の検査方法。
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