JP6917751B2 - 描画装置 - Google Patents
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Description
9 基板
21 ステージ
22 移動機構
31 描画ヘッド
32 光源装置
33 照明光学系
34 空間光変調デバイス
35 投影光学系
44 ステージ光量センサ
46 異常検出部
321 光源
322 照射用光ファイバ
322a (照射用光ファイバの)出射端部
323 整列部
324 中実光学素子
325 測定用光ファイバ
325a (測定用光ファイバの)入射端部
326 光源光量センサ
327 (中実光学素子の)入射面
Claims (8)
- 対象物に光を照射してパターンの描画を行う描画装置であって、
対象物に空間変調された光を照射する描画ヘッドと、
前記対象物を保持する保持部と、
前記保持部を前記描画ヘッドに対して相対的に移動することにより、前記描画ヘッドからの光の照射領域を前記対象物上にて走査する走査機構と、
を備え、
前記描画ヘッドが、
光源装置と、
空間光変調デバイスと、
前記光源装置からの光を前記空間光変調デバイスへと導く照明光学系と、
前記空間光変調デバイスにて空間変調された光を前記保持部へと導く投影光学系と、
を備え、
前記光源装置は、
複数の光源と、
中実光学素子と、
前記複数の光源から出射される光を前記中実光学素子の入射面へとそれぞれ導く複数の照射用光ファイバと、
前記複数の照射用光ファイバの出射端部をまとめて整列する整列部と、
入射端部が前記複数の照射用光ファイバの前記出射端部に隣接して配置され、前記中実光学素子の前記入射面からの反射光を導く測定用光ファイバと、
前記測定用光ファイバからの出射光の光量を測定する光量センサと、
を備え、
前記複数の照射用光ファイバのうち前記測定用光ファイバから最も離れた位置に位置する照射用光ファイバと前記測定用光ファイバとの間の距離をaとし、前記照射用光ファイバから出射される光の光軸に対する拡がり角をθとし、前記中実光学素子と前記測定用光ファイバとの間の距離をdとし、前記照射用光ファイバの半径をnとし、前記測定用光ファイバの半径をmとして、tanθ×2d>a−(n+m)であり、
前記描画装置は、
前記投影光学系からの光を受光する他の光量センサと、
前記光量センサにて受光される前記中実光学素子からの反射光の光量と、前記他の光量センサにて受光される前記投影光学系からの光の光量とに基づいて、前記描画ヘッドの異常を検出する異常検出部と、
をさらに備えることを特徴とする描画装置。 - 請求項1に記載の描画装置であって、
前記中実光学素子の前記入射面の半幅をbとして、tanθ×d+(a+n)<bであることを特徴とする描画装置。 - 対象物に光を照射してパターンの描画を行う描画装置であって、
対象物に空間変調された光を照射する描画ヘッドと、
前記対象物を保持する保持部と、
前記保持部を前記描画ヘッドに対して相対的に移動することにより、前記描画ヘッドからの光の照射領域を前記対象物上にて走査する走査機構と、
を備え、
前記描画ヘッドが、
光源装置と、
空間光変調デバイスと、
前記光源装置からの光を前記空間光変調デバイスへと導く照明光学系と、
前記空間光変調デバイスにて空間変調された光を前記保持部へと導く投影光学系と、
を備え、
前記光源装置は、
複数の光源と、
中実光学素子と、
前記複数の光源から出射される光を前記中実光学素子の入射面へとそれぞれ導く複数の照射用光ファイバと、
前記複数の照射用光ファイバの出射端部をまとめて整列する整列部と、
入射端部が前記複数の照射用光ファイバの前記出射端部に隣接して配置され、前記中実光学素子の前記入射面からの反射光を導く測定用光ファイバと、
前記測定用光ファイバからの出射光の光量を測定する光量センサと、
を備え、
前記複数の照射用光ファイバのそれぞれから出射され、前記中実光学素子の前記入射面にて1回だけ反射した光が、前記測定用光ファイバに入射し、
前記描画装置は、
前記投影光学系からの光を受光する他の光量センサと、
前記光量センサにて受光される前記中実光学素子からの反射光の光量と、前記他の光量センサにて受光される前記投影光学系からの光の光量とに基づいて、前記描画ヘッドの異常を検出する異常検出部と、
をさらに備えることを特徴とする描画装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1つに記載の描画装置であって、
前記整列部が、前記測定用光ファイバの前記入射端部を、前記複数の照射用光ファイバの前記出射端部と共にまとめて整列することを特徴とする描画装置。 - 請求項4に記載の描画装置であって、
前記測定用光ファイバの前記入射端部が、前記複数の照射用光ファイバの前記出射端部の中央部に位置することを特徴とする描画装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1つに記載の描画装置であって、
前記整列部にて整列された前記複数の照射用光ファイバの前記出射端部の外形が、前記中実光学素子の前記入射面の外形に対応することを特徴とする描画装置。 - 請求項1ないし6のいずれか1つに記載の描画装置であって、
前記複数の光源からそれぞれ出射される光が紫外光であることを特徴とする描画装置。 - 請求項1ないし7のいずれか1つに記載の描画装置であって、
前記光量センサにて受光される前記中実光学素子からの反射光の光量と所定の基準光量との差が、所定の許容範囲を超える場合、前記異常検出部は、前記複数の光源の各光源を順次、選択光源として、前記選択光源のみを点灯させた状態で前記光量センサにて受光される前記中実光学素子からの反射光の光量である個別測定反射光量に基づいて、前記選択光源の異常の有無を判断することを特徴とする描画装置。
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