JP2019117271A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
T=(D1/D2)×100 (%) ・・・(1)
これは、円形領域21のX方向の中心位置X5に関して対称であって、中心位置X5から位置X1及び位置X9に向かって単調に増加するような分布となる。
2 照明光学系
3 光学フィルタ
4 露光照明光
5 ミラー
6 DMD
7 制御装置
8 第1の投影レンズ
9 マイクロレンズアレー
10 第2の投影レンズ
11 基板
Claims (4)
- 基板を露光するための照明光を射出する露光光源であって複数の半導体レーザを含むものと、前記照明光が入射される2次元空間変調器と、前記基板を照明光に対して移動させて走査露光するためのステージとを備える露光装置において、
前記露光光源と前記2次元空間変調器との間の照明光の光軸上に配置される光学フィルタを有し、
前記光学フィルタは、前記光軸に対して垂直に横切る平面内で透過率が第1の方向には変化するが当該第1の方向と直角な第2の方向には変化せず、前記第1の方向の中心位置での透過率が最も高く、周辺へ向かうにしたがって透過率が低くなることを特徴とする露光装置。 - 前記光学フィルタが、前記光軸に対して垂直に横切る平面内で透過率が第1の方向には変化するが当該第1の方向と直角な第2の方向には変化せず、前記第1の方向の中心位置での透過率が最も低く、周辺へ向かうにしたがって透過率が高くなることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記光学フィルタが前記光軸に対して前記第2の方向へシフトして配置されることを特徴とする請求項1および請求項2記載の露光装置。
- 前記光学フィルタが前記光軸を中心に回転して配置されることを特徴とする請求項1および請求項2記載の露光装置。
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