KR102013194B1 - Dmd에 입사하는 조사광 방향을 제어할 수 있는 노광 광학계 및 이를 구성하는 광 조사 광학계 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 DMD에 입사하는 조사광 방향을 제어할 수 있는 노광 광학계 및 이를 구성하는 광 조사 광학계에 관한 것이다. 본 발명의 광 조사 광학계는 광원, 상기 광원으로부터 입사된 광을 제1 각도로 반사시키는 제1 반사면과, 상기 제1 반사면에서 반사된 광의 진행 경로 상에 상기 제1 반사면과 평행하거나 소정의 각도를 이루도록 배치되어 상기 제1 반사면에서 반사된 광을 제2 각도로 반사시키는 제2 반사면을 포함하는 제1 프리즘, 및 상기 제1 프리즘을 통과한 광을 제3 각도로 반사시키는 제3 반사면과, 상기 제3 반사면에 적어도 한 변이 접하고 상기 제3 반사면을 통과한 출력광을 수신하는 DMD(Digital Micromirror Device)가 부착된 제4 반사면을 포함하는 제2 프리즘을 포함한다. 본 발명에 의하면, 3차원 프리즘의 형태 및 배치 방향을 조절하여 DMD로 입사되는 조사광의 방향을 선택적으로 설계할 수 있고, 회전형 프리즘을 사용함으로써 배치 후에도 상부 프리즘 또는 하부 프리즘을 회전시켜 조사광 방향을 조절할 수 있다.

Description

DMD에 입사하는 조사광 방향을 제어할 수 있는 노광 광학계 및 이를 구성하는 광 조사 광학계{EXPOSURE OPTICS FOR ADJUSTING DIRECTION OF IRRADIATING LIGHT INCIDENT ON DIGITAL MICROMIRROR DEVICE AND LIGHT ILLUMINATION OPTICS THEREOF}
본 발명은 3차원 형상의 프리즘을 구비하여 DMD에 입사하는 조사광 방향을 제어할 수 있는 노광 광학계 및 이를 구성하는 광 조사 광학계에 관한 것이다.
최근 국내외에서 요구하는 기술 트랜드는 대체로 기술적 난이도가 높은 고부가가치 제품군 위주로 수요가 창출되고 있는 경향을 보이고 있다. 디지털 전자기기, 스마트폰 등의 태동에 따른 급속한 패러다임의 변화에 의하여 이에 사용되고 있는 대부분의 PCB 제품이 다품종 소량생산 방식의 빠른 라이프 사이클(Fast Life Cycle)의 형태로 전환되고 있다.
이러한 현상을 기술적 측면에서 적극적으로 대응하기 위해서, PCB 상에 초미세 회로 선폭을 구현해 주기 위하여 기존방식과 다른 새로운 방식의 노광기술 및 시스템이 필요하게 되었다.
시장의 요구에 적합한 새로운 노광 방법들이 국외시장을 중심으로 개발되었으며, 마스크를 사용하지 않는 비마스크(Non-Mask or Maskless) 방식의 직접 묘화(Direct Imaging) 노광 방법이 그 중 가장 대표적인 기술로 부각되고 있다.
최근 국내 PCB 산업의 경우 수량 기준으로 국내 Flexible PCB 제품의 주종은 단면(Single-Side)과 양면(Double-Side)이지만, MLB, Embedded PCB, Build-up PCB, RF PCB, Optical PCB 등의 다중 제품군으로 점진적으로 전환되고 있다. PCB 시장의 경향이 최근의 경향을 반영하여 PCB 배선의 회로 선폭이 30마이크로미터 이하의 미세회로패턴을 요구하는 경성(Rigid) 및 연성(Flexible) PCB 관련 고부가가치 제품 위주로 상당부분 대체하는 방향으로 적극적으로 진행될 것으로 예상된다.
이러한 국내시장의 상황과 추이에 대한 해결방안으로 미세회로 선폭을 노광할 수 있는 핵심기술 확보를 위한 기술개발 필요성이 제기되고 있고, 이를 위하여 기존 마스크 방식의 한계점을 극복하기 위한 직접 묘화 방식을 기반으로 한 PCB 제조공정에 적합한 새로운 노광 방법 개발이 요구되고 있다.
DMD(Digital Micro-mirror Device) 기반의 노광 광학계는 노광 공정(Exposure Process)에서 노광 이미지 구현을 위한 패턴 마스크(Mask)를 사용하지 않고 디지털 마스크(Digital Mask) 상에 UV 광원을 조사하여 미세 패턴을 구현하는 직접 묘화 방식의 노광 광학계에 사용된다.
DMD 기반의 노광 광학계는 광 조사 광학계(Optical Illumination Optics), DMD 및 광결상 광학계(Optical Projection Optics)를 포함한다. 광 조사 광학계는 UV 광원에서 발생한 빔을 DMD에 균일한 복사조도의 상태로 입력시켜주기 위한 광학계이고, DMD는 집광된 광원의 빔을 원하는 광원 형태로 변조시키는 소자이고, 광 결상 광학계는 PCB(또는 기판) 표면에 노광을 시켜주기 위해서 DMD에서 반사된 노광 이미지를 원하는 배율로 만들어 주는 광학계이다.
종래에는 DMD 특성상 45도의 입력각이 있어 광 조사 광학계와 DMD가 45도의 고정된 각도를 이루도록 형성되었다. 이로 인해, 광학 헤드 사이의 간격이 넓어지게 되어 한정된 공간 내에 다수의 광학 헤드를 배치하기 어려운 설계의 한계가 있었다.
상술한 종래의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 적어도 하나의 3차원 프리즘을 광학 헤드에 배치하여 DMD에 입사하는 조사광 방향을 제어할 수 있는 노광 광학계 및 이를 구성하는 광 조사 광학계를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 광학계는 광원, 상기 광원으로부터 입사된 광을 제1 각도로 반사시키는 제1 반사면과, 상기 제1 반사면에서 반사된 광의 진행 경로 상에 상기 제1 반사면과 평행하거나 소정의 각도를 이루도록 배치되어 상기 제1 반사면에서 반사된 광을 제2 각도로 반사시키는 제2 반사면을 포함하는 제1 프리즘, 및 상기 제1 프리즘을 통과한 광을 제3 각도로 반사시키는 제3 반사면과, 상기 제3 반사면에 적어도 한 변이 접하고 상기 제3 반사면을 통과한 출력광을 수신하는 DMD(Digital Micromirror Device)가 부착된 제4 반사면을 포함하는 제2 프리즘을 포함한다.
여기서, 상기 제1 프리즘과 상기 제2 프리즘은 다각기둥 형태로 형성되고, 상기 제1 프리즘의 제2 반사면 중 한 변은 상기 제2 프리즘의 제3 반사면과 접하게 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 반사면, 상기 제2 반사면, 및 상기 제3 반사면은 지면과 45도 각도로 형성되고, 상기 제4 반사면은 지면에 수직인 방향으로 형성될 수 있다.
제1 프리즘은 지면과 평행한 xy면으로 면 절단되어 상부 프리즘과 하부 프리즘으로 구분되고, 상기 제4 반사면으로 입사되는 조사광의 방향에 대응하도록 상기 상부 프리즘 또는 상기 하부 프리즘 중 적어도 하나를 절단면의 중심을 기준으로 회전시킬수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 노광 광학계는 광원과, 상기 광원으로부터 입사된 광을 제1 각도로 반사시키는 제1 반사면과, 상기 제1 반사면에서 반사된 광의 진행 경로 상에, 상기 제1 반사면과 평행하거나 소정의 각도를 이루도록 배치되어 상기 제1 반사면에서 반사된 광을 제2 각도로 반사시키는 제2 반사면을 포함하는 제1 프리즘, 및 상기 제1 프리즘을 통과한 광을 제2 각도로 반사시키는 제3 반사면과, 상기 제3 반사면에 적어도 한 변이 접하고 상기 제3 반사면을 통과한 출력광을 수신하는 DMD(Digital Micromirror Device)가 부착된 제4 반사면을 포함하는 제2 프리즘을 포함하는 광 조사 광학계, 상기 제4 반사면으로 입사된 조사광을 노광이미지에 대응하는 방향으로 반사시키는 DMD, 및 상기 DMD에서 반사된 광을 소정의 배율로 조정하여 노광축으로 방출하는 광 결상 광학계를 포함한다.
상술한 본 발명의 구성에 따르면, 프리즘의 형태 및 배치 방향을 조절하여 DMD로 입사되는 조사광의 방향을 선택적으로 설계할 수 있고, 회전형 프리즘을 사용함으로써 배치 후에도 상부 프리즘 또는 하부 프리즘을 회전시켜 조사광 방향을 조절할 수 있다.
또한, 본 발명의 구성에 따르면, 다수의 광학 헤드를 평행하게 배치할 수 있으므로 동일한 면적에 다수의 노광 광학계를 배치할 수 있다.
도 1은 종래의 노광 광학계의 사시도이다.
도 2는 종래의 노광 광학계의 광학 헤드의 배치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 종래의 광 조사 광학계의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 광학계를 구성하는 프리즘의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 노광 광학계의 일부 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 노광 광학계의 광 경로를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 조사 광학계를 구성하는 프리즘의 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 노광 광학계의 결합도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다.
또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 종래의 광학계와 비교하면서 상세하게 설명하도록 한다.
도 1은 종래의 노광 광학계의 사시도이고, 도 2는 종래의 노광 광학계의 광학 헤드의 배치를 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 종래의 광 조사 광학계의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 노광 광학계는 광 조사 광학계(100), DMD(200) 및 광 결상 광학계(300)를 포함하여 구성된다.
광 조사 광학계(100)는 자외선을 발광하는 광원(110)과 프리즘(120)을 포함하여 구성된다. 광 조사 광학계(100)는 광원(110)에 배치되는 기판(미도시)을 더 포함할 수 있다. 광 조사 광학계(100)는 광원(110) 상에 배치되어 광원(110)으로부터 방출된 램버시안 형태의 광을 균일하게 변경하는 렌즈(미도시)를 더 포함할 수 있다. 광원(110)은 고출력 발광 다이오드로, 365nm, 385nm, 및 405nm 중 어느 하나를 중심 파장으로 하는 자외선 광을 방출할 수 있다. 프리즘(120)은 광원(110)으로부터 입사되는 광을 DMD(200)로 전달한다. 여기서, 프리즘(120)은 광원(110)으로부터 입사되는 광을 전반사할 수 있다.
DMD(200)는 복수의 마이크로 미러들이 행과 열로 정렬된 형태로, 복수의 마이크로 미러들은 DMD 컨트롤러에 의해 온(ON)/오프(OFF) 될 수 있다. 하나의 마이크로 미러는 가로와 세로의 길이가 대략 10마이크로미터에 해당하고, 인접한 두 개의 마이크로 미러 사이의 간격은 대략 1마이크로미터에 해당한다.
DMD(200)는 프리즘(120)으로부터 전달되는 광을 반사하여 미리 설정된 노광 이미지를 생성한다. DMD(200)는 DMD 컨트롤러(미도시)에 의해 제어된다,
광 결상 광학계(300)는 DMD(200)에서 반사된 광을 소정의 배율로 조정하고, 배율이 조정된 광을 노광축으로 방출한다.
도 2를 참조하면, 종래의 노광 광학계의 광학 헤드는 광 조사 광학계(100)와 DMD(200)가 45도를 이루도록 배치된다. 이로 인하여, 광학 헤드 사이의 간격이 넓어지게 되어 한정된 공간 내에 다수의 광학 헤드를 배치하기 어려운 문제점이 있다.
도 3을 참조하면, 종래의 광 조사 광학계의 프리즘은 DMD(200)가 부착된 제1 프리즘(121)과 광원으로부터 전달된 광을 제1 프리즘(121)을 반사시키는 제2 프리즘(122)을 포함하여 구성된다. 이때, 제2 프리즘(122)의 반사면은 DMD(200)의 법선 방향과 대략 24도의 각도로 반사광을 전달하도록 지면과 대략 45도 각도로 형성될 수 있고, 제1 프리즘(121)은 반사면과 접하도록 배치될 수 있다.
종래의 노광 광학계를 사용하면, DMD의 조사광은 DMD(200)의 모서리 방향(대략 45도 각도) 및 법선 방향과 대략 24도 각도로 광원으로부터 입사될 수 있다. 그러나, 조사광의 방향을 조절할 수 없고, DMD의 모서리 방향, 즉, 광원과 45도 각도로 입사되므로 광학 헤드의 배치 간격이 많이 필요하다는 한계가 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 광학계를 구성하는 프리즘의 사시도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 광학계를 구성하는 프리즘은 광원으로부터 입사된 광을 반사시키는 제1 프리즘(1210)과 DMD로 조사광을 반사시키는 제2 프리즘(1220)을 포함하여 구성될 수 있다.
제1 프리즘(1210)은 광원으로부터 입사된 광을 제1 각도로 반사시키는 제1 반사면(A)과, 제1 반사면(A)에서 반사된 광의 진행 경로 상에 제1 반사면(A)과 평행하거나 소정의 각도를 이루도록 배치되어 제1 반사면(A)에서 반사된 광을 제2 각도로 반사시키는 제2 반사면(B)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 제1 프리즘(1210)은 제1 반사면(A)과 제2 반사면(B)이 평행한 경우 다각 기둥으로 형성될 수 있고, 제1 반사면(A)과 제2 반사면(B)이 평행하지 않은 경우 다면체로 형성될 수 있다.
제2 프리즘(1220)은 제1 프리즘(1210)을 통과한 광을 제3 각도로 반사시키는 제3 반사면(C)과, 제3 반사면(C)에 적어도 한 변이 접하고 제3 반사면(C)을 통과한 출력광을 수신하는 DMD(Digital Micromirror Device)가 부착된 제4 반사면(D)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 제2 프리즘(1220)은 다각 기둥으로 형성될 수 있고, 바람직하게는 밑면과 윗면이 직각삼각형인 삼각 기둥으로 형성될 수 있다.
제1 프리즘(1210)의 제2 반사면(B) 중 한 변은 제2 프리즘(1220)의 제3 반사면(C)과 접하게 형성될 수 있다. 또한, 제1 반사면(A), 제2 반사면(B), 및 제3 반사면(C)은 지면과 45도 각도로 형성되고, 제4 반사면(D)은 지면에 수직인 방향으로 형성될 수 있다.
또한, 도시하지는 않았지만, 제1 프리즘(1210)과 제2 프리즘(1220)은 제1, 제2, 제3, 제4 반사면(A, B, C, D)만으로 대체될 수 있고, 각 반사면은 미러로 형성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 노광 광학계의 일부 사시도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 DMD(200)는 광 조사 광학계의 제1, 제2 프리즘(1210, 1220) 중 일 면에 부착될 수 있다.
구체적으로, DMD(200)는 제2 프리즘(1220)의 제4 반사면(D)에 부착될 수 있다. DMD(200)를 구성하는 다수의 마이크로 미러는 제4 반사면(D)과 평행하게 배치되므로 DMD(200)의 방향을 종래의 노광 광학계처럼 45도로 배치할 필요가 없다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 노광 광학계의 광 경로를 설명하기 위한 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 노광 광학계는 제1 프리즘(1210)의 제1 반사면(A)으로 입사한 광을 제1 각도로 반사시키고, 제2 반사면(B)에서 다시 제2 각도로 반사시켜 제2 프리즘(1220)으로 전달할 수 있다.
제2 프리즘(1220)의 제3 반사면(C)은 전달된 광을 제3 각도로 반사시킨 후 제4 반사면(D)에 평행하게 부착된 DMD(200)로 전달할 수 있다. 따라서, 광원으로부터 제1 프리즘(1210)으로 입사된 입사광의 방향과, 제1, 제2, 제3 각도에 따라 DMD(200)의 조사광의 방향이 결정될 수 있다. 또한, DMD(200)로 입사된 조사광은 DMD 컨트롤러의 제어에 따라 결정된 노광 이미지를 제3 반사면(C)으로 출력하고, 제3 반사면(C)의 반사 각도와 출력광의 입사 방향에 따라 광 결상 광학계(300) 측으로 전달된다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 조사 광학계를 구성하는 프리즘의 사시도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 조사 광학계를 구성하는 제1 프리즘(1210)은 제1 반사면(A)에서 반사된 광의 진행 경로 상에 지면과 평행한 방향으로 면(xy)으로 절단되어 상부 프리즘(1210A)과 하부 프리즘(1210B)으로 구분될 수 있다.
상부 프리즘(1210A) 또는 하부 프리즘(1210B) 중 적어도 하나는 제2 프리즘(1220)의 제4 반사면(D)으로 입사되는 조사광의 방향에 대응하도록 절단면의 중심축(z)을 기준으로 회전할 수 있다.
광원의 입사 방향이 변경되는 경우, 상부 프리즘(1210A) 또는 하부 프리즘(1210B) 중 적어도 하나를 회전시킴으로써 미리 결정된 방향으로 DMD로 조사광을 입사시킬 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 노광 광학계의 결합도이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 노광 광학계는 광 조사 광학계(1000), DMD(2000) 및 광 결상 광학계(3000)를 포함하여 구성될 수 있다.
구체적으로, 광 조사 광학계(1000)는 광원(1100)과 프리즘(1200)을 포함하여 구성된다. 광 조사 광학계(1000)는 광원(1100)에 배치되는 기판(미도시)을 더 포함할 수 있다. 광 조사 광학계(1000)는 광원(1100) 상에 배치되어 광원(1100)으로부터 방출된 램버시안 형태의 광을 균일하게 변경하는 렌즈(미도시)를 더 포함할 수 있다. 광원(1100)은 고출력 발광 다이오드로, 365nm, 385nm, 및 405nm 중 어느 하나를 중심 파장으로 하는 자외선 광을 방출할 수 있다. 프리즘(1200)은 광원(1100)으로부터 입사되는 광을 전반사하여 DMD(2000)로 전달한다. 여기서, 프리즘(1200)은 두 개의 반사면을 가지는 제1 프리즘과 두 개의 반사면을 가지며 한 반사면에 DMD(2000)가 부착된 제2 프리즘을 포함하여 구성될 수 있다. 제1 프리즘(1210)은 광원(1100)과 연결된 광 진행 경로 상에 배치되고, 광원으로부터 입사된 광을 제1 각도로 반사시키는 제1 반사면과, 제1 반사면에서 반사된 광의 진행 경로 상에, 제1 반사면과 평행하거나 소정의 각도를 이루도록 배치되어 제1 반사면에서 반사된 광을 제2 각도로 반사시키는 제2 반사면을 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 제2 프리즘(1220)은 제1 프리즘(1210)을 통과한 광을 제2 각도로 반사시키는 제3 반사면과, 제3 반사면에 적어도 한 변이 접하고 제3 반사면을 통과한 출력광을 수신하는 DMD가 부착된 제4 반사면을 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, 제1 프리즘(1210)과 제2 프리즘(1220)은 다각 기둥 또는 다면체로 형성되거나, 미러로 형성된 반사면만 구비할 수 있다. 또한, 제1 프리즘(1210)은 상부 프리즘과 하부 프리즘으로 구분되어 기준축을 중심으로 둘 중 적어도 하나가 회전할 수 있다.
DMD(2000)는 복수의 마이크로 미러들이 행과 열로 정렬된 형태로, 복수의 마이크로 미러들은 DMD 컨트롤러에 의해 온(ON)/오프(OFF) 될 수 있다. 하나의 마이크로 미러는 가로와 세로의 길이가 대략 10마이크로미터에 해당하고, 인접한 두 개의 마이크로 미러 사이의 간격은 대략 1마이크로미터에 해당한다. DMD(2000)는 프리즘(1200)으로부터 전달되는 광을 반사하여 미리 설정된 노광 이미지를 생성한다. DMD(2000)는 DMD 컨트롤러(미도시)에 의해 제어된다,
광 결상 광학계(3000)는 DMD(2000)에서 반사된 광을 소정의 배율로 조정하고, 배율이 조정된 광을 노광축으로 방출한다.
본 발명에 따르면, 3차원 프리즘의 형태 및 배치 방향을 조절하여 DMD로 입사되는 조사광의 방향을 선택적으로 설계할 수 있고, 회전형 프리즘을 사용함으로써 배치 후에도 상부 프리즘 또는 하부 프리즘을 회전시켜 조사광 방향을 조절할 수 있고, 다수의 광학 헤드를 평행하게 배치할 수 있으므로 동일한 면적에 다수의 노광 광학계를 배치할 수 있다.
1000: 광 조사 광학계 1100: 광원
1200: 프리즘 1210: 제1 프리즘
1220: 제2 프리즘 2000: DMD
3000: 광 결상 광학계

Claims (5)

  1. 광원;
    상기 광원으로부터 입사된 광을 제1 각도로 반사시키는 제1 반사면과, 상기 제1 반사면에서 반사된 광의 진행 경로 상에 상기 제1 반사면과 평행하거나 소정의 각도를 이루도록 배치되어 상기 제1 반사면에서 반사된 광을 제2 각도로 반사시키는 제2 반사면을 포함하는 제1 프리즘; 및
    상기 제1 프리즘을 통과한 광을 제3 각도로 반사시키는 제3 반사면과, 상기 제3 반사면에 적어도 한 변이 접하고 상기 제3 반사면을 통과한 출력광을 수신하는 DMD(Digital Micromirror Device)가 부착된 제4 반사면을 포함하는 제2 프리즘;을 포함하고,
    상기 DMD는 상기 제4 반사면과 평행하게 배치되고,
    상기 제1 프리즘은 지면과 평행하도록 면 절단되어 구분된 상부 프리즘과 하부 프리즘을 포함하고, 상기 제2 프리즘의 상기 제4 반사면으로 입사되는 조사광의 방향에 대응하도록 상기 상부 프리즘 및 상기 하부 프리즘 중 적어도 하나는 절단면의 중심축을 기준으로 회전될 수 있는,
    광 조사 광학계.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 프리즘과 상기 제2 프리즘은 다각기둥 형태로 형성되고, 상기 제1 프리즘의 제2 반사면 중 한 변은 상기 제2 프리즘의 제3 반사면과 접하게 형성되는,
    광 조사 광학계.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 반사면, 상기 제2 반사면, 및 상기 제3 반사면은 지면과 45도 각도로 형성되고, 상기 제4 반사면은 지면에 수직인 방향으로 형성되는,
    광 조사 광학계.
  4. 삭제
  5. 광원과, 상기 광원으로부터 입사된 광을 제1 각도로 반사시키는 제1 반사면과, 상기 제1 반사면에서 반사된 광의 진행 경로 상에, 상기 제1 반사면과 평행하거나 소정의 각도를 이루도록 배치되어 상기 제1 반사면에서 반사된 광을 제2 각도로 반사시키는 제2 반사면을 포함하는 제1 프리즘, 및 상기 제1 프리즘을 통과한 광을 제2 각도로 반사시키는 제3 반사면과, 상기 제3 반사면에 적어도 한 변이 접하고 상기 제3 반사면을 통과한 출력광을 수신하는 DMD(Digital Micromirror Device)가 부착된 제4 반사면을 포함하는 제2 프리즘을 포함하는 광 조사 광학계;
    상기 제4 반사면으로 입사된 조사광을 노광이미지에 대응하는 방향으로 반사시키며 상기 제4 반사면과 평행하게 배치된 DMD; 및
    상기 DMD에서 반사된 광을 소정의 배율로 조정하여 노광축으로 방출하는 광 결상 광학계;를 포함하고,
    상기 제1 프리즘은 지면과 평행하도록 면 절단되어 구분된 상부 프리즘과 하부 프리즘을 포함하고, 상기 제2 프리즘의 상기 제4 반사면으로 입사되는 조사광의 방향에 대응하도록 상기 상부 프리즘 및 상기 하부 프리즘 중 적어도 하나는 절단면의 중심축을 기준으로 회전될 수 있는,
    노광 광학계.
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