JP2006019702A - 照明光学系及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ミラーを有して被露光体を露光する露光装置に使用され、光源からの光を利用して被照明面を照明する照明光学系であって、前記被照明面と実質的にフーリエ変換の関係にある位置に配置され、前記ミラーがもたらす前記照明光学系の透過率分布の不均一性を補正するように予め設定された透過率分布を有するフィルター部材とを有することを特徴とする照明光学系を提供する。
【選択図】 図1
Description
オプティカルインテグレータ122と光学系123を介した光束でオプティカルインテグレータ124を照明する理由の1つとして、A面における入射光束の配光特性を一定にすることができるということもある。オプティカルインテグレータ122や光学系123がない場合でもA面では一定の照度分布を得ることができるが、インテグレータ124に入射する光分布が変化するとA面における入射光束の配光特性(入射角度分布)が変化する。これは、それ以降の光学系やその収差によって、レチクル200面における入射光線の角度分布が若干なりとも変わってしまうことを意味する。つまり、光源から入射する光の変動や機差があっても、A面においては、回折光学素子を切り替えない限り、常に一定の制御された光分布及び入射角度分布になるように本構成がとられている。なお、本実施形態の光束形状変換手段120は、ダブルインテグレータの構成であるがトリプルインテグレータの構成を使用してもよい。
光学素子134a及び134bの円錐状の面の角度は、ほぼ同一角度になっている。同一角度にすることにより、光束形状変更手段122の射出光束の角度増加を抑え、後段の光学系での光束のけられを最小限にすることができる。後段の光学系に角度的な余裕がある場合には、必ずしも同一角度にする必要はなく、例えば、輪帯幅を小さくするために角度を変えてもよい。
上記は2つの手段を併用する場合について記載したが、もちろん単独に使用しても、かなりの効果がある。
また、偏光状態を変更する毎に透過率分布が変わるので、偏光状態が変化するのと同時に、つまり位相板が変化するのと同時に、絞りを各偏光状態に適した絞り形状にする構成が好ましい。
110 照明光学系
120 光束形状変換手段
128 σ形状補正機構
150、151 折り曲げミラー
152 ハーフミラー
154 フィルター部材
156 有効光源形成手段(ハエの目レンズ)
158 絞り
200 レチクル
300 投影光学系
310 開口絞り
400 プレート
Claims (20)
- ミラーを有して被露光体を露光する露光装置に使用され、光源からの光を利用して被照明面を照明する照明光学系であって、
前記被照明面と実質的にフーリエ変換の関係にある位置に配置され、前記ミラーがもたらす前記照明光学系の透過率分布の不均一性を補正するように予め設定された透過率分布を有するフィルター部材とを有することを特徴とする照明光学系。 - ミラーを有して被露光体を露光する露光装置に使用され、光源からの光を利用して被照明面を照明する照明光学系であって、
前記光の前記被照明面における入射角度分布としての有効光源の複数の領域に前記光の所定の偏光状態を設定する偏光状態設定部と、
前記被照明面と実質的にフーリエ変換の関係にある位置に配置された複数のフィルター部材と、
複数の領域に分かれた有効光源を有し、
各フィルター部材はそれぞれ複数の有効光源領域に対応して配置され、
それぞれの偏光状態に対して最適化された透過率分布を持つことを特徴とする照明光学系 - 前記照明光学系は、前記被照明面を均一に照明するためのオプティカルインテグレータを更に有し、
前記フィルター部材は、前記オプティカルインテグレータの入射面もしくは射出面、または前記入射面又は前記射出面と光学的に共役な面の近傍に配置されることを特徴とする請求項1又は2記載の照明光学系。 - 前記フィルター部材の前記透過率分布は、第1の方向に変化すると共に、前記第1の方向と直交する第2の方向には実質的に同一であることを特徴とする請求項1又は2記載の照明光学系。
- 前記フィルター部材は遮光部を有することを特徴とする請求項1又は2記載の照明光学系。
- 前記照明光学系は、複数の種類の偏光状態設定部と各偏光状態設定部にそれぞれ対応する複数の種類のフィルター部材とを有し、
一対の前記偏光状態設定部と前記フィルター部材は光路上に切り替え可能に配置されていることを特徴とする請求項2記載の照明光学系。 - ミラーを有して被露光体を露光する露光装置に使用され、光源からの光を利用して被照明面を照明する照明光学系であって、
前記光の前記被照明面における入射角度分布としての有効光源の基本形状を形成する光束形状変換手段と、
前記光の光軸に沿って移動可能に配置された絞りとを有することを特徴とする照明光学系。 - ミラーを有して被露光体を露光する露光装置に使用され、光源からの光を利用して被照明面を照明する照明光学系であって、
前記光の前記被照明面における入射角度分布としての有効光源の複数の領域に前記光の所定の偏光状態を設定する偏光状態設定部と、
前記光の光軸に沿って移動可能に配置された絞りとを有することを特徴とする照明光学系。 - 前記絞りは、前記有効光源の基本形状を形成する面の近傍に配置され、前記有効光源の外形を変更する複数の独立駆動可能な遮光部を有することを特徴とする請求項7又は8記載の照明光学系。
- 前記絞りは、前記有効光源の基本形状を形成する面から離れた位置に配置され、前記有効光源の外形を変更せずに強度を変更する複数の独立駆動可能な遮光部を有することを特徴とする請求項7又は8記載の照明光学系。
- 前記有効光源の分布を測定する手段と、
前記被照明面における前記有効光源分布が所定の分布になるように前記絞りの形状、径及び/又は位置を制御する制御部とを更に有することを特徴とする請求項7又は8記載の照明光学系。 - 光路上に切り替え可能に設けられた複数の種類の偏光状態設定部と、
前記偏光状態設定部の切り替えに応答して前記絞りの形状、径及び/又は位置を制御する制御部とを更に有することを特徴とする請求項8記載の照明光学系。 - 前記光の前記被照明面における入射角度分布としての有効光源の基本形状を形成する光束形状変換手段を更に有することを特徴とする請求項1乃至12のうちいずれか一項記載の照明光学系。
- 前記ミラーは、前記光の光軸を1つの平面内に保つように配置されていることを特徴とする請求項1乃至13のうちいずれか一項記載の照明光学系。
- 前記偏光状態設定手段は、λ/2位相板を含むことを特徴とする請求項2又は8項記載の照明光学系。
- 被照明面としてのレチクルを光源からの光を使用して照明する請求項1乃至15のうちいずれか一項記載の照明光学系と、
前記レチクル上のパターンを被露光体上に投影する投影光学系とを有する露光装置。 - 前記ミラーは、前記照明光学系に設けられていることを特徴とする請求項16記載の露光装置。
- 前記ミラーは、前記投影光学系に設けられていることを特徴とする請求項16記載の露光装置。
- 前記ミラーはブロードバンド高反射膜ミラーであることを特徴とする請求項16記載の露光装置。
- 請求項16記載の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、
露光された前記被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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