JP4684563B2 - 露光装置及び方法 - Google Patents
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- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
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Description
10 照明装置
12 光源部
14 照明光学系
140 ビーム成形光学系
141 射出角規定光学系
142及び142’ 光学素子
143 コンデンサレンズ
144及び144’ インプットレンズ
145 集光ズームレンズ
20 レチクル
30 投影光学系
32 NA絞り
300 レンズ
310 レンズ駆動部
320 NA駆動部
40 被処理体
60 検出手段
70 制御部
72 メモリ
Claims (4)
- 露光光を利用して、レチクルに形成されたパターンを投影光学系を介して被処理体に露光する露光装置であって、
前記レチクルに対してフーリエ変換となる面における有効光源の形状を決定する光学素子と、
前記有効光源の形状及び前記投影光学系の像面上の照度を検出する検出手段と、
前記投影光学系の特性を変更する制御部と、を有し、
前記検出手段は、前記レチクルが前記投影光学系の物体面に配置されていない場合の前記投影光学系の像面における照度と、前記レチクルが前記投影光学系の物体面に配置されている場合の前記投影光学系の像面における光強度分布を検出し、
前記制御部は、
前記検出手段によって検出された前記有効光源の形状を用いて前記有効光源に対応する補正量と、
前記レチクルが前記投影光学系の物体面に配置されていない場合の前記投影光学系の像面における照度と前記レチクルが前記投影光学系の物体面に配置されている場合の前記投影光学系の像面における光強度分布とを用いて前記レチクルに対応する補正量を求め、
前記有効光源に対応する補正量と前記レチクルに対応する補正量の分だけ前記投影光学系の特性の変動を補正することを特徴とする露光装置。 - 前記パターンと前記パターンに適した前記有効光源の形状を表す第1の情報と、
前記有効光源の形状と前記制御部が前記投影光学系の特性の変動を補正する補正量との関係を表す第2の情報と、を格納するメモリを更に有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 露光光を利用して、レチクルに形成されたパターンを投影光学系を介して被処理体に露光する露光方法であって、
前記レチクルに対してフーリエ変換となる面における有効光源の形状を取得する第1の取得ステップと、
前記レチクルが前記投影光学系の物体面に配置されていない場合の前記投影光学系の像面における照度と、前記レチクルが前記投影光学系の物体面に配置されている場合の前記投影光学系の像面における光強度分布を取得する第2の取得ステップと、を有し、
前記第1の取得ステップで取得した前記有効光源の形状を用いて前記有効光源に対応する補正量と、
前記第2の取得ステップで取得した前記照度及び前記光強度分布を用いて前記レチクルに対応する補正量を求め、
前記有効光源に対応する補正量と前記レチクルに対応する補正量の分だけ前記投影光学系の特性の変動を補正するステップとを有することを特徴とする露光方法。 - 請求項1又は2に記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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