JP7446069B2 - 露光装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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Claims (10)
- 走査方向に原版と基板とを移動させながら前記基板を露光する露光装置であって、
光源からの光で前記原版の被照明面を照明する照明光学系を有し、
前記照明光学系は、
前記被照明面の共役面において前記走査方向に対応する対応方向に互いに対向する端部をそれぞれが有し、前記対応方向における相対距離が可変の第1遮光部材及び第2遮光部材を含み、前記被照明面の共役面から前記光源側に離れた位置に配置される第1遮光部と、
前記対応方向に互いに対向する端部をそれぞれが有し、前記対応方向における相対距離が可変の第3遮光部材及び第4遮光部材を含み、前記共役面から前記被照明面側に離れた位置に配置される第2遮光部と、
を有し、
前記共役面の面内で前記対応方向と直交する方向における所定位置において、前記第1遮光部材の端部と前記第3遮光部材の端部は、前記照明光学系の光軸を含んで前記対応方向に直交する面に対して同じ方向側にあって距離が互いに異なり、前記第1遮光部材及び前記第2遮光部材の前記互いに対向する端部の中点と、前記第3遮光部材及び前記第4遮光部材の前記互いに対向する端部の中点は、前記照明光学系の光軸を含んで前記対応方向に直交する面に対して、同じ方向側に離れた位置に存在して、距離が互いに一致するように、前記第1遮光部及び前記第2遮光部が配置されていることを特徴とする露光装置。 - 走査方向に原版と基板とを移動させながら前記基板を露光する露光装置であって、
光源からの光で前記原版の被照明面を照明する照明光学系を有し、
前記照明光学系は、
前記被照明面の共役面において前記走査方向に対応する対応方向に互いに対向する端部をそれぞれが有し、前記対応方向における相対距離が可変の第1遮光部材及び第2遮光部材を含み、前記被照明面から前記光源側に離れた位置に配置される第1遮光部と、
前記対応方向に互いに対向する端部をそれぞれが有し、前記対応方向における相対距離が可変の第3遮光部材及び第4遮光部材を含み、前記被照明面の共役面から前記被照明面側に離れた位置に配置される第2遮光部と、
を有し、
前記共役面の面内で前記対応方向と直交する方向における所定位置において、前記第1遮光部材の端部と前記第3遮光部材の端部は、前記照明光学系の光軸を含んで前記対応方向に直交する面に対して同じ方向側にあって距離が互いに異なり、前記第1遮光部材及び前記第2遮光部材の前記互いに対向する端部の中点と、前記第3遮光部材及び前記第4遮光部材の前記互いに対向する端部の中点は、前記照明光学系の光軸を含んで前記対応方向に直交する面に対して同じ方向側に離れた位置に存在して、前記第1遮光部材及び前記第2遮光部材の前記互いに対向する端部の中点と前記照明光学系の光軸を含んで前記対応方向に直交する面との間の距離を前記共役面と前記被照明面との間の倍率で割った値と、前記第3遮光部材及び前記第4遮光部材の前記互いに対向する端部の中点と前記照明光学系の光軸を含んで前記対応方向に直交する面との間の距離とが一致するように、前記第1遮光部及び前記第2遮光部が配置されていることを特徴とする露光装置。 - 走査方向に原版と基板とを移動させながら前記基板を露光する露光装置であって、
光源からの光で前記原版の被照明面を照明する照明光学系を有し、
前記照明光学系は、
前記被照明面の共役面において前記走査方向に対応する対応方向に互いに対向する端部をそれぞれが有し、前記対応方向における相対距離が可変の第1遮光部材及び第2遮光部材を含み、前記共役面から前記光源側に離れた位置に配置される第1遮光部と、
前記対応方向に互いに対向する端部をそれぞれが有し、前記対応方向における相対距離が可変の第3遮光部材及び第4遮光部材を含み、前記共役面から前記被照明面側に離れた位置に配置される第2遮光部と、
を有し、
前記共役面の面内で前記対応方向と直交する方向における所定位置において、前記第1遮光部材の端部と前記第3遮光部材の端部は、前記照明光学系の光軸を含んで前記対応方向に直交する面に対して同じ方向側にあって距離が互いに異なり、前記第1遮光部材及び前記第2遮光部材の前記互いに対向する端部の中点、及び、前記第3遮光部材及び前記第4遮光部材の前記互いに対向する端部の中点が前記照明光学系の光軸を含んで前記対応方向に直交する面から同じ方向側に離れた位置に存在するように、前記第1遮光部及び前記第2遮光部が配置されていることを特徴とする露光装置。 - 前記第1遮光部及び前記第2遮光部の位置を調整する調整部を更に有することを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記調整部は、
前記第1遮光部材及び前記第2遮光部材のうちの一方を前記対応方向に沿って移動させる第1移動部と、
前記第3遮光部材及び前記第4遮光部材のうちの一方を前記対応方向に沿って移動させる第2移動部と、
を含み、
前記第1遮光部材及び前記第2遮光部材のうちの他方、及び、前記第3遮光部材及び前記第4遮光部材のうちの他方は、前記対応方向の位置が固定されていることを特徴とする請求項4に記載の露光装置。 - 前記調整部は、前記第1遮光部材及び前記第2遮光部材のうちの少なくとも一方と前記第3遮光部材及び前記第4遮光部材のうちの少なくとも一方とを同期して前記対応方向に沿って移動させることを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 前記調整部は、前記第1遮光部材及び前記第2遮光部材のうちの少なくとも一方と前記第3遮光部材及び前記第4遮光部材のうちの少なくとも一方とを同一の移動量で移動させることを特徴とする請求項4又は6に記載の露光装置。
- 前記第1遮光部材及び前記第2遮光部材のうちの一方は、前記共役面の面内で前記対応方向に直交する方向に沿って配列された複数の第1遮光板を含み、
前記第3遮光部材及び前記第4遮光部材のうちの一方は、前記共役面の面内で前記対応方向に直交する方向に沿って配列された複数の第2遮光板を含み、
前記調整部は、
前記複数の第1遮光板のそれぞれを独立して前記対応方向に沿って移動させ、
前記複数の第2遮光板のそれぞれを独立して前記対応方向に沿って移動させることを特徴とする請求項4に記載の露光装置。 - 前記光軸の方向において、前記第1遮光部と前記共役面との距離は、前記第2遮光部と前記共役面との距離とは異なることを特徴とする請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の露光装置。
- 請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光した前記基板を現像する工程と、
現像された前記基板から物品を製造する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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