JP6567005B2 - 露光装置、調整方法、および、物品製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態に係る物品製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (14)
- 光源からの光で原版を照明する照明光学系と、
前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系と、
制御部と、
を有し、
前記照明光学系は、
前記光源と前記原版との間の光路に設けられた回折光学素子と、
前記回折光学素子から射出した光束を集光する集光光学系と、
前記集光光学系から射出した光束を検出する検出部と、
前記集光光学系によって前記光束が集光される所定面近傍の前記光路に対して挿抜可能な第1絞りと、
を有し、
前記第1絞りの開口径は、前記回折光学素子に対する前記光源からの光の入射角度が目標角度からずれた場合に前記検出部の出力が低下するように設定され、
前記制御部は、前記第1絞りを前記所定面近傍の前記光路に挿入した場合の前記検出部の出力である第1出力と、前記第1絞りを前記所定面近傍の前記光路から退避させた場合の前記検出部の出力である第2出力とに基づいて、前記入射角度を調整する処理を行う
ことを特徴とする露光装置。 - 前記第1絞りの開口径は、前記第1出力が前記第2出力に対して80%以上100%以下となるように設定されていることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記入射角度を調整する調整機構を更に有し、
前記制御部は、前記調整機構により前記入射角度を順次変更させ、変更された前記入射角度のそれぞれで前記第1出力の前記第2出力に対する比として求められる光量比を算出することを繰り返し、前記入射角度を前記光量比が最大となる角度にするよう前記調整機構を制御する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。 - 前記照明光学系は、前記光源からの光を折り曲げて前記回折光学素子に導くミラーを更に有し、
前記調整機構は、前記ミラーの角度を調整する第1調整機構を含み、
前記第1調整機構は、前記入射角度を前記光量比が最大となる角度にするように前記ミラーの角度を調整する
ことを特徴とする請求項3に記載の露光装置。 - 前記調整機構は、前記ミラーの位置を調整する第2調整機構を更に含み、
前記第2調整機構は、前記第1出力または前記第2出力が最大となるように前記ミラーの位置を調整する
ことを特徴とする請求項4に記載の露光装置。 - 前記照明光学系は、前記ミラーと前記回折光学素子との間の光路に設けられた平面板を更に有し、
前記調整機構は、前記平面板の傾斜角度を調整する第3調整機構を更に含み、
前記第3調整機構は、前記第1出力または前記第2出力が最大となるように前記傾斜角度を調整する
ことを特徴とする請求項4又は5に記載の露光装置。 - 前記第1絞りと、該第1絞りより大きい開口径を持つ第2絞りとが形成されたターレットを有し、
前記ターレットを駆動することにより、前記第2絞りが前記所定面近傍の前記光路に挿入されるとともに、前記第1絞りが前記所定面近傍の前記光路から退避される
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記ターレットは、露光時の変形照明用の絞りを更に有することを特徴とする請求項7に記載の露光装置。
- 前記照明光学系は、前記回折光学素子を照明するオプティカルインテグレータを更に有することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の露光装置。
- 光源からの光で原版を照明する照明光学系と、
前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系と、
制御部と、
を有し、
前記照明光学系は、
前記光源と前記原版との間の光路に設けられた回折光学素子と、
前記回折光学素子から射出した光束を集光する集光光学系と、
前記集光光学系から射出した光束を検出する検出部と、
前記集光光学系によって前記光束が集光される所定面近傍の前記光路に配置され、開口径を調整可能な絞りと、
を有し、
前記制御部は、前記絞りの開口径を第1開口径に設定したときの前記検出部の出力である第1出力と、前記絞りの開口径を前記第1開口径より大きい第2開口径に設定したときの前記検出部の出力である第2出力とに基づいて、前記回折光学素子に対する前記光源からの光の入射角度を調整する処理を行うように構成され、
前記第1開口径は、前記入射角度が目標角度からずれた場合に前記検出部の出力が低下するように設定された開口径であり、
前記第2開口径は、前記入射角度が前記目標角度からずれた場合でも前記検出部の出力が低下しないように設定された開口径である
ことを特徴とする露光装置。 - 前記絞りは、虹彩絞りであることを特徴とする請求項10に記載の露光装置。
- 光源と原版との間の光路に設けられた回折光学素子と、前記回折光学素子から射出した光束を集光する集光光学系と、前記集光光学系から射出した光束を検出する検出部とを有する照明光学系を調整する調整方法であって、
前記回折光学素子に対する前記光源からの光の入射角度が目標角度からずれた場合に前記検出部の出力が低下する開口径に設定された絞りを、前記集光光学系によって前記光束が集光される所定面近傍の前記光路に配置して、前記検出部の出力である第1出力を測定する第1工程と、
前記絞りを前記所定面近傍の前記光路から退避させて、前記検出部の出力である第2出力を測定する第2工程と、
を有し、
前記入射角度を順次変更し、変更された前記入射角度のそれぞれで前記第1工程と前記第2工程を繰り返し、前記入射角度を、前記第1出力の前記第2出力に対する比として求まる光量比が最大となる角度にするよう調整する
ことを特徴とすることを特徴とする調整方法。 - 光源と原版との間の光路に設けられた回折光学素子と、前記回折光学素子から射出した光束を集光する集光光学系と、前記集光光学系から射出した光束を検出する検出部とを有する照明光学系を調整する調整方法であって、
前記集光光学系によって前記光束が集光される所定面近傍の前記光路に配置された絞りの開口径を、前記回折光学素子に対する前記光源からの光の入射角度が目標角度からずれた場合に前記検出部の出力が低下する第1開口径に設定して、前記検出部の出力である第1出力を測定する第1工程と、
前記絞りの開口径を、前記入射角度が前記目標角度からずれた場合でも前記検出部の出力が低下しない第2開口径に設定して、前記検出部の出力である第2出力を測定する第2工程と、
を有し、
前記入射角度を順次変更し、変更された前記入射角度のそれぞれで前記第1工程と前記第2工程を繰り返し、前記入射角度を、前記第1出力の前記第2出力に対する比として求まる光量比が最大となる角度にするよう調整する
ことを特徴とすることを特徴とする調整方法。 - 物品を製造する物品製造方法であって、
請求項1乃至11のいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で前記露光された基板を現像する工程と、
を含み、
前記現像された基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
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