JP2009145494A - 焦点位置検出方法および描画装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】描画装置において投影光学系の焦点位置を検出する場合、CCDラインセンサ60を角度αだけ傾斜させた状態で描画テーブル18に搭載する。そして、コントラストが繰り返される焦点検出用パターンを、CCDラインセンサ60の受光面60Aに投影する。検出される一連の画像信号に基づき、投影光学系の焦点位置を検出する。焦点位置が検出されると、描画テーブル18の位置が調整する。
【選択図】図4
Description
k=A2/A1 ・・・・(1)
CCDラインセンサ60を傾斜させることによって、焦点位置がZ方向に微小距離ずれたとしても、CCDラインセンサ60の受光面60Aでは、大きな距離によるずれ量が検出される。その結果、投影光学系24の焦点位置を高い精度で検出することができる。
18 描画テーブル
201〜208 露光ヘッド
24 DMD(露光ユニット)
26 投影光学系
30 描画制御部
32 システムコントロール回路
34 DMD駆動回路
36 ラスタ変換回路
42 描画テーブル制御回路
46 X−Yステージ機構
47 Z方向機構
60 CCDラインセンサ(焦点検出装置)
60A 受光面
62 バー
SW 基板(被描画体)
EA 露光エリア
M 万線パターン(焦点検出用パターン)
FP 焦点面
TM 基準露光面
Claims (6)
- 投影光学系を備えたパターン形成装置の焦点位置検出方法であって、
複数の受光素子を配列させた焦点検出デバイスを、その受光面が前記投影光学系の焦点面に対して傾斜するように露光エリアへ配置し、
コントラストの繰り返される焦点検出用パターンを、前記投影光学系を介して前記受光面に投影し、
前記複数の受光素子から読み出される一連の画像信号から、前記投影光学系の焦点位置を検出する焦点位置検出方法。 - 前記焦点検出用パターンが、万線パターンであることを特徴とする請求項1に記載の焦点位置検出方法。
- 前記一連の画像信号の中で最もコントラスト差のある合焦状態に応じた画像信号を検出し、
合焦状態に応じた画像信号を出力する受光素子の配列位置と、前記受光面の傾斜角とに基づいて、前記投影光学系の焦点位置を検出する請求項1乃至2に記載の焦点位置検出方法。 - 前記焦点検出デバイスが、CCDセンサであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の焦点位置検出方法。
- 検出された焦点位置に基づいて、前記被描画体の搭載される描画テーブルの前記投影光学系に対する相対的位置を調整することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の焦点位置検出方法。
- 複数の空間光変調素子から構成される光変調器と、
前記光変調器を経由した照明光を被描画体へ投影する投影光学系と、
複数の受光素子を配列させた焦点検出デバイスが搭載される描画テーブルと、
前記光変調器を制御し、前記投影光学系の焦点面に対して傾斜する前記焦点検出デバイスの受光面に焦点検出用パターンを投影する描画制御手段と、
前記複数の受光素子から読み出される一連の画像信号に基づいて、焦点位置を検出する焦点位置検出手段と
を備えたことを特徴とする描画装置。
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