JP4273030B2 - 露光装置の校正方法及び露光装置 - Google Patents
露光装置の校正方法及び露光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4273030B2 JP4273030B2 JP2004096557A JP2004096557A JP4273030B2 JP 4273030 B2 JP4273030 B2 JP 4273030B2 JP 2004096557 A JP2004096557 A JP 2004096557A JP 2004096557 A JP2004096557 A JP 2004096557A JP 4273030 B2 JP4273030 B2 JP 4273030B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure
- calibration
- photosensitive material
- data
- alignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 41
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 156
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 47
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 23
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 description 10
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 10
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 238000011161 development Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 230000001915 proofreading effect Effects 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 208000024891 symptom Diseases 0.000 description 1
Images
Description
ΔYc=ΔYa+s・(ΔYb−ΔYa)/P
この補間を、Y方向に並んだ基準点全てに対して行うことで、1ヘッド分(露光ヘッド30A)のオフセット関数が得られる(図12(A)、(B)参照)。また、露光ヘッド30B、30C、30Dについても、同様に、Y方向に並んだ基準点全てに対して上記式による直線補間をそれぞれ行うことにより、各々のオフセット関数が得られる。なお、この直線補間により求めたオフセット関数を用いて補正を行う場合には、校正用感光材料110に設けるアライメントマーク106のY方向のピッチPyを狭くして数を増やし、取得するデータ数を多くすることによって補正精度を高めることができる。
12 感光材料
13 アライメントマーク(基準マーク)
14 ステージ(移動手段)
24 スキャナ(露光手段)
26 CCDカメラ(読取手段)
28 コントローラ(制御手段)
30 露光ヘッド(露光手段)
85 メモリ(データ記憶手段)
100 校正用感光材料
102 ベース基板
104 感光層
106 アライメントマーク(校正用基準マーク)
108 パターン(所定のパターン)
110 校正用感光材料
Claims (5)
- 感光材料に設けられた露光位置の基準となる基準マークを読み取って取得した基準位置データに基づいて前記感光材料に対する露光位置合わせを行い、その感光材料を走査方向へ移動させつつ画像データに応じて変調された光ビームにより露光する露光装置の前記露光位置合わせ機能を校正する校正方法であって、
校正用感光材料に設けられた露光位置の基準となる校正用基準マークを読み取って取得した校正用基準位置データに基づいて前記校正用感光材料に対する校正前の露光位置合わせを行い、その校正用感光材料を走査方向へ移動させつつ前記校正用基準マークとの対応位置にその校正用基準マークと識別可能な所定のパターンを前記光ビームにより露光し、その露光後に前記校正用基準マークと前記所定のパターンとの位置ずれ量を計測して取得した位置ずれデータに基づいて校正用データを算出し、その校正用データを前記感光材料に対する露光位置合わせに反映させることにより前記露光装置の露光位置合わせ機能を校正することを特徴とする露光装置の校正方法。 - 前記校正用データに基づいて前記露光位置合わせに反映させるための補正テーブルを作成すると共にその補正テーブルを前記露光装置のシステムパラメータとして管理し、前記感光材料に対する露光では、前記画像データに基づいて作成する露光データを前記補正テーブルを用いてオフセットすることにより前記露光装置の露光位置合わせ機能を校正することを特徴とする請求項1記載の露光装置の校正方法。
- 前記校正用感光材料は、感光層を設けるベース基板がガラス材料により形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の露光装置の校正方法。
- 露光位置の基準となる基準マークが設けられた感光材料が載置され、その感光材料を走査方向に沿った方向へ移動させる移動手段と、
前記移動手段に載置された前記感光材料の前記基準マークを読み取る読取手段と、
前記読取手段による読み取り後に、前記移動手段により移動される前記感光材料を画像データに応じて変調された光ビームにより露光する露光手段と、
前記露光手段による露光で、前記読取手段による読み取りにより取得された基準位置データに基づいて前記光ビームによる露光位置合わせを行い前記露光手段を制御して露光動作させる制御手段と、
を有する露光装置であって、
前記露光装置は更に、
露光位置の基準となる校正用基準マークが設けられた校正用感光材料を前記移動手段に載置した状態で前記読取手段により前記校正用基準マークを読み取り、その読み取りにより取得された校正用基準位置データに基づいて前記制御手段による前記露光位置合わせを行い、前記校正用感光材料を前記移動手段により走査方向へ移動させつつ前記校正用基準マークとの対応位置にその校正用基準マークと識別可能な所定のパターンを前記光ビームにより露光し、その露光後に前記校正用基準マークと前記所定のパターンとの位置ずれ量を計測して取得した位置ずれデータに基づいて算出した校正用データを記憶するデータ記憶手段を有し、
前記感光材料に対する露光では、前記制御手段が前記データ記憶手段から前記校正用データを読み出してその校正用データを前記露光位置合わせに反映させ前記露光手段を制御して露光動作させることを特徴とする露光装置。 - 前記制御手段が前記校正用データに基づいて前記露光位置合わせに反映させるための補正テーブルを作成すると共にその補正テーブルを前記露光装置のシステムパラメータとして前記データ記憶手段に記憶し、前記感光材料に対する露光では、前記制御手段が前記画像データに基づいて作成する露光データを前記補正テーブルを用いてオフセットすることにより前記露光位置合わせを行うことを特徴とする請求項4記載の露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004096557A JP4273030B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 露光装置の校正方法及び露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004096557A JP4273030B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 露光装置の校正方法及び露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005283893A JP2005283893A (ja) | 2005-10-13 |
JP4273030B2 true JP4273030B2 (ja) | 2009-06-03 |
Family
ID=35182346
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004096557A Expired - Lifetime JP4273030B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 露光装置の校正方法及び露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4273030B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4533785B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2010-09-01 | 富士フイルム株式会社 | アライメントセンサの位置校正方法、基準パターン校正方法、露光位置補正方法、校正用パターン及びアライメント装置 |
JP4606992B2 (ja) * | 2005-10-20 | 2011-01-05 | 富士フイルム株式会社 | 描画装置及び描画方法 |
KR100816494B1 (ko) * | 2006-10-09 | 2008-03-24 | 엘지전자 주식회사 | 마스크리스 노광기 및 이를 이용한 표시장치용 기판의 제조방법 |
JP5253916B2 (ja) * | 2008-03-10 | 2013-07-31 | 株式会社ジャパンディスプレイイースト | マスクレス露光方法 |
WO2011024289A1 (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | 富士通株式会社 | 光学部品製造方法および光学部品製造装置 |
KR101678061B1 (ko) * | 2009-10-20 | 2016-11-22 | 삼성전자 주식회사 | 경통 지지장치 및 이를 갖춘 마스크리스 노광 장치 |
KR101059811B1 (ko) * | 2010-05-06 | 2011-08-26 | 삼성전자주식회사 | 마스크리스 노광 장치와 마스크리스 노광에서 오버레이를 위한 정렬 방법 |
KR101376819B1 (ko) * | 2012-04-26 | 2014-03-20 | 삼성전기주식회사 | 노광 모니터링 시스템 및 방법 |
JP5975785B2 (ja) * | 2012-08-14 | 2016-08-23 | 株式会社アドテックエンジニアリング | 描画装置、露光描画装置、プログラム及び描画方法 |
JP6085433B2 (ja) * | 2012-08-14 | 2017-02-22 | 株式会社アドテックエンジニアリング | 描画装置、露光描画装置、プログラム及び描画方法 |
JP6309740B2 (ja) * | 2013-11-01 | 2018-04-11 | ビアメカニクス株式会社 | 直接描画露光装置 |
US20220004109A1 (en) * | 2018-11-15 | 2022-01-06 | Inspec Inc. | Calibration system and drawing device |
CN117369222B (zh) * | 2023-12-07 | 2024-04-12 | 浙江大学杭州国际科创中心 | 一种极紫外物镜装调全息图的制备系统和制备方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0328909A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-02-07 | Tokyo Electron Ltd | 移動誤差補正方法 |
JP3410779B2 (ja) * | 1993-09-28 | 2003-05-26 | 株式会社ソキア | 画像入力装置における移動ステージの校正方法 |
JPH0897120A (ja) * | 1994-09-26 | 1996-04-12 | Fujitsu Ltd | 荷電粒子ビーム露光方法 |
JPH10261567A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-29 | Nikon Corp | 投影露光装置及び投影光学系の光学特性測定方法 |
JP4416195B2 (ja) * | 1998-10-23 | 2010-02-17 | キヤノン株式会社 | 荷電粒子線露光方法及び装置、ならびにデバイス製造方法 |
JP3644846B2 (ja) * | 1999-05-13 | 2005-05-11 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 描画装置の移動誤差検出装置及びその方法 |
-
2004
- 2004-03-29 JP JP2004096557A patent/JP4273030B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005283893A (ja) | 2005-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100742597B1 (ko) | 노광장치의 교정방법, 노광방법 및 노광장치 | |
JP4322837B2 (ja) | 露光装置の校正方法及び露光方法並びに露光装置 | |
JP4450739B2 (ja) | 露光装置 | |
JP4328385B2 (ja) | 露光装置 | |
KR101485437B1 (ko) | 기준 위치 측정 장치 및 방법, 및 패턴 형성 장치 | |
JP4401308B2 (ja) | 露光装置 | |
US20090097002A1 (en) | Exposure device | |
JP4486323B2 (ja) | 画素位置特定方法、画像ずれ補正方法、および画像形成装置 | |
JP4533785B2 (ja) | アライメントセンサの位置校正方法、基準パターン校正方法、露光位置補正方法、校正用パターン及びアライメント装置 | |
JP4273030B2 (ja) | 露光装置の校正方法及び露光装置 | |
KR101067729B1 (ko) | 프레임 데이타 작성 장치, 작성 방법, 작성 프로그램, 그프로그램을 격납한 기억 매체, 및 묘화 장치 | |
KR100726187B1 (ko) | 화상기록방법 및 화상기록장치 | |
JP2006308994A (ja) | 露光装置 | |
JP2006337873A (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
JP2006234921A (ja) | 露光装置および露光方法 | |
JP2006337878A (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
JP2005294373A (ja) | マルチビーム露光装置 | |
JP2006337874A (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
JP2006220799A (ja) | 露光方法及び装置 | |
JP5064862B2 (ja) | アライメントマーク測定方法および装置並びに描画方法および装置 | |
JP2008076590A (ja) | 描画位置測定方法および装置 | |
JP2005202226A (ja) | 感光材料の感度検出方法および装置並びに露光補正方法 | |
JP2006030791A (ja) | 光学装置 | |
JP2005202095A (ja) | マルチビーム露光装置 | |
JP2006251207A (ja) | 画像記録システム、画像記録方法、変換装置および変換方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060519 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090224 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090302 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4273030 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130306 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130306 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140306 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |