JP6085433B2 - 描画装置、露光描画装置、プログラム及び描画方法 - Google Patents
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Description
また、図4に示すように、マトリクス状に配列された露光ヘッド22aの各々は、X方向に、画像領域P1の長辺の長さを自然数倍(本実施形態では、1倍)した距離ずつずらして配置されている。そして、露光済み領域P2の各々は、隣接する露光済み領域P2と部分的に重ねられて形成される。
次に、本実施形態に係る露光描画装置10の電気系の構成について説明する。
12 ステージ
22 露光部
22a 露光ヘッド
34 撮影部
40 システム制御部
62 画像
C 被露光基板
M、M1乃至M4 基準マーク
Claims (11)
- 被露光基板の対象領域の4隅に設けられた複数の基準マークの設計上の位置である第1の位置を示す座標データ、前記第1の位置を基準として定められた前記被露光基板に描画する描画パターンを示す座標データ、及び前記複数の基準マークの各々の実際の位置である第2の位置を示す座標データを取得する取得手段と、
前記複数の基準マークの各々毎に、前記第1の位置と前記第2の位置とのずれに基づくオフセット量、伸縮倍率、及び回転量を用いて、前記被露光基板の歪みに応じて前記描画パターンを補正するためのずれ補正量を導出する導出手段と、
前記導出手段で導出されたずれ補正量の各々を予め定められた割合で低減する低減手段と、
前記第2の位置を示す座標データを基準として前記被露光基板に前記描画パターンを描画する場合、前記低減手段で低減されたずれ補正量に基づいて前記描画パターンを示す座標データを補正する補正手段と、
を備えた描画装置。 - 前記低減手段は、前記ずれ補正量に1未満の値を乗算すること、前記ずれ補正量を1を超える値で除算すること、及び前記ずれ補正量から予め定められた量を減算することのうちの少なくとも1つを行うことにより、前記導出されたずれ補正量の各々を予め定められた割合で低減する
請求項1記載の描画装置。 - 前記描画パターンは、電子配線を示す回路パターンであり、
前記割合は、前記描画パターンにおけるランドの内部に導通ビアが収まるように定められた割合である
請求項1または2記載の描画装置。 - 前記描画パターンは、ソルダーレジスト層の部品実装用の開口穴を示すソルダーレジストパターンであり、
前記割合は、前記開口穴が部品と接合するための導体パッドの内部に納まるように定められた割合である
請求項1または2記載の描画装置。 - 前記導出手段は、前記被露光基板の平行移動によるずれ、回転によるずれ、及び伸縮によるずれの少なくとも1つを差し引いたずれ量から前記ずれ補正量を導出する
請求項1乃至4の何れか1項記載の描画装置。 - 前記描画パターンは、前記被露光基板における複数の領域の各々に描画され、
前記基準マークは、前記描画パターンが描画される前記複数の領域の各々毎に設けられ、
前記低減手段は、前記複数の領域の各々毎に前記ずれ補正量の各々を低減する
請求項1乃至5の何れか1項記載の描画装置。 - 前記導出手段で導出されたずれ補正量の各々を低減させるための調整パラメータの入力を受け付ける受付手段をさらに備え、
前記低減手段は、前記受付手段で受け付けられた調整パラメータを基に前記割合を算出する
請求項1乃至6の何れか1項記載の描画装置。 - 前記導出手段は、前記被露光基板に描画パターンを複数積層させて描画する場合で、かつ前記被露光基板の最上位の層に描画パターンを描画する場合、前記ずれ補正量を0とする
請求項1乃至7の何れか1項記載の描画装置。 - 請求項1乃至8の何れか1項記載の描画装置と、
前記描画装置の前記補正手段で補正された座標データに基づいて前記被露光基板に前記描画パターンを露光して描画する露光手段と、
を備えた露光描画装置。 - コンピュータを、
被露光基板の対象領域の4隅に設けられた複数の基準マークの設計上の第1の位置を示す座標データ、前記第1の位置を基準として定められた前記被露光基板に描画する描画パターンを示す座標データ、及び前記複数の基準マークの各々の実際の第2の位置を示す座標データを取得する取得手段と、
前記複数の基準マークの各々毎に、前記第1の位置と前記第2の位置とのずれに基づくオフセット量、伸縮倍率、及び回転量を用いて、前記被露光基板の歪みに応じて前記描画パターンを補正するためのずれ補正量を導出する導出手段と、
前記導出手段で導出されたずれ補正量の各々を予め定められた割合で低減する低減手段と、
前記第2の位置を示す座標データを基準として前記被露光基板に前記描画パターンを描画する場合、前記低減手段で低減されたずれ補正量に基づいて前記描画パターンを示す座標データを補正する補正手段と、
として機能させるためのプログラム。 - 被露光基板の対象領域の4隅に設けられた複数の基準マークの設計上の第1の位置を示す座標データ、前記第1の位置を基準として定められた前記被露光基板に描画する描画パターンを示す座標データ、及び前記複数の基準マークの各々の実際の第2の位置を示す座標データを取得する取得ステップと、
前記複数の基準マークの各々毎に、前記第1の位置と前記第2の位置とのずれに基づくオフセット量、伸縮倍率、及び回転量を用いて、前記被露光基板の歪みに応じて前記描画パターンを補正するためのずれ補正量を導出する導出ステップと、
前記導出ステップで導出されたずれ補正量の各々を予め定められた割合で低減する低減ステップと、
前記第2の位置を示す座標データを基準として前記被露光基板に前記描画パターンを描画する場合、前記低減ステップで低減されたずれ補正量に基づいて前記描画パターンを示す座標データを補正する補正ステップと、
を備えた描画方法。
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