JP5481400B2 - マイクロミラーデバイスの選別方法、マイクロミラーデバイス選別装置およびマスクレス露光装置 - Google Patents
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Description
図1により、本発明の実施の形態1に係るマイクロミラーデバイス(以下、MMDと呼ぶ)選別装置の構成について説明する。図1は本発明の実施の形態1に係るMMD選別装置の構成を示す構成図である。
楔ガラス73を出射した照明光710は直角プリズム74に入射し、MMD2のマイクロミラー21に入射、反射光は直角プリズム74の斜面で全反射される。
n2=1.5とすると、θ5=24度なのでθ4は15.73度となる。一方、θ4とθ3の関係は、以下の(式3)の式となるので、θ3は29.27度となる。
また、直角プリズム74の斜辺での屈折は、以下の(式4)の式で与えられる。
これにより、θ2は47.17度と求まる。θ1とθ2の関係は、以下の(式5)の式となるので、θ1は2.17度となる。
これを実現する楔ガラス73の角度βは(式1)の式より、n1=1.5とすると、1.09度となる。
本実施の形態は、実施の形態1のMMD選別装置をマスクレス露光装置上に搭載したものである。
ここに、f0はコリメートレンズ72の焦点距離、λは照明光の波長、Pはマイクロミラー21の傾斜方向のピッチである。この式でrAを決めることにより、回折光分布が互いに重畳することなく検出することができる。
Claims (8)
- マスクレス露光を行うための転写パターンを生成するマイクロミラーデバイスの選別方法であって、
前記マイクロミラーデバイスのマイクロミラーに照明光を照射し、前記マイクロミラーからの回折光分布を撮像するステップと、
露光シミュレーション結果に基づいた複数の回折光分布の情報と、前記マイクロミラーからの回折光分布の情報とを比較するステップと、
前記比較結果に基づいて、前記マイクロミラーデバイスの良品または不良品の情報、および前記回折光分布の画像を表示するステップとを有することを特徴とするマイクロミラーデバイスの選別方法。 - マスクレス露光を行うための転写パターンを生成するマイクロミラーデバイスの選別方法であって、
前記マイクロミラーデバイスのマイクロミラーに照明光を照射し、前記マイクロミラーからの回折光分布を撮像するステップと、
前記回折光分布の領域別の輝度平均値を算出するステップと、
前記輝度平均値から前記マイクロミラーの評価値を算出するステップと、
前記評価値としきい値を比較するステップと、
前記比較結果に基づいて、前記マイクロミラーデバイスの良品または不良品の情報、および前記回折光分布の画像を表示するステップとを有することを特徴とするマイクロミラーデバイスの選別方法。 - マスクレス露光を行うための転写パターンを生成するマイクロミラーデバイスを選別するマイクロミラーデバイス選別装置であって、
前記マイクロミラーデバイスのマイクロミラーに照明光を照射する照明系と、
前記マイクロミラーで発生した回折光を撮像素子に入射させる光学系と、
前記撮像素子で撮像された回折光分布画像を処理し、前記マイクロミラーデバイスの良品または不良品の判定を行う処理系とを備えたことを特徴とするマイクロミラーデバイス選別装置。 - 請求項3記載のマイクロミラーデバイス選別装置において、
前記回折光分布画像と前記判定結果を表示する表示系を備えたことを特徴とするマイクロミラーデバイス選別装置。 - 請求項3記載のマイクロミラーデバイス選別装置において、
前記照明系は、楔ガラスと直角プリズムを含むことを特徴とするマイクロミラーデバイス選別装置。 - マイクロミラーデバイスにより生成したパターンを投影レンズで基板上に投影するマスクレス露光装置であって、
前記マイクロミラーデバイスに照明光を照射する照明系と、
撮像素子と、
前記基板および前記撮像素子を移動させるステージと、
前記マイクロミラーデバイスの良品または不良品の判定を行う際、前記ステージを移動させ、前記撮像素子に前記マイクロミラーデバイスのマイクロミラーからの回折光を入射させ、前記照明系の絞りの大きさを制御する制御系と、
前記撮像素子によって撮像された回折光分布画像を処理し、前記回折光分布画像の処理結果に基づいて、前記マイクロミラーデバイスの良品または不良品の判定を行う処理系とを備えたことを特徴とするマスクレス露光装置。 - 請求項6記載のマスクレス露光装置において、
前記回折光分布画像および前記判定結果を表示する表示系を備えたことを特徴とするマスクレス露光装置。 - 請求項6記載のマスクレス露光装置において、
前記マイクロミラーデバイスの良品または不良品の判定を行う際の前記照明系の絞りの半径は、前記照明系のコリメートレンズの焦点距離をf、前記照明光の波長をλ、前記マイクロミラーデバイスのマイクロミラーのピッチをPとした時、λ・f/Pより小さいことを特徴とするマスクレス露光装置。
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