JP2009236669A - 検査装置、突状体の検査方法及び液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】正常に塗布されたインクと連結して塗布されたインクとを液状体のまま識別することが可能な検査装置、突状体の検査方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板２の上面２ａに形成されたのカラーインク５の輪郭形状を検査する検査装置にかかわり、上面２ａと垂直な方向に対して斜めの方向から基板２に照射光５８を照射する照明装置２８と、上面２ａと略垂直な方向からカラーインク５を撮像する撮像装置２４と、撮像装置２４により撮像された画像を用いて、画像の明部と暗部の形状からカラーインク５の輪郭形状を識別する識別演算部と、を有する。
【選択図】図６

Description

本発明は、検査装置、突状体の検査方法及び液滴吐出装置にかかわり、特に、簡便な構成の検査装置で突状体の輪郭形状を判別する装置に関するものである。

従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向に配置されるガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。

この液滴吐出装置を用いてカラーフィルタを製造する方法が特許文献１に紹介されている。これによると基板上に格子状のブラックマトリクスを形成し、液滴吐出装置はブラックマトリクスに囲まれるフィルタエレメントにインクジェットヘッドから赤青緑色の各色のインクを吐出している。このとき、インクがブラックマトリクスの面より突出するようにインクが吐出される。そして、インクを加熱してインク内の溶媒を蒸発させて、インクの膜を形成している。

フィルタエレメントは配列して形成され、各フィルタエレメントに吐出されたインクが隣接するフィルタエレメント間で連結する場合がある。例えば、液滴吐出ヘッドに塵が付着するとき、付着した塵がフィルタエレメント内に吐出されているインクに触れることがある。このとき、塵に触れたインクがブラックマトリクス上にのりあげて、隣接するフィルタエレメントに配置されたインクが連結する。インクが連結した場所のフィルタエレメントでは混色することにより色が不良な色合いになるときや、色が薄くなるときがある。このとき、カラーフィルタは不良となる。

そして、乾燥工程にてカラーフィルタのインクを乾燥することにより、インクを固化した後、検査工程にてカラーフィルタが検査される。その検査装置が特許文献２に開示されている。これによると、カラーフィルタに光を照射し、透過した光の量をセンサにて検出する。そして、透過した光の量の分布を分析して不良を検出している。

特開２００５−３３８８７５号公報 特開２００８−１４７２８号公報

カラーフィルタのインクを乾燥して固化するには時間がかかるので、生産性良くカラーフィルタを生産するために、インクを乾燥する間にも、液滴吐出装置を用いて基板にインクが塗布される工程が行われる。そして、不良となる原因が発生するとき、検査されるまで、不良のカラーフィルタが製造されることがある。従って、インクを乾燥する前にインクの塗布状況を検査することにより、不良のカラーフィルタが製造され難くする必要がある。そのために、正常に塗布されたインクと連結して塗布されたインクとを液状体のまま識別する簡便な構成の装置が望まれていた。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］
本適用例にかかる検査装置は、基板の突状体形成面に形成された突状体の輪郭形状を検査する検査装置であって、前記突状体形成面と垂直な方向に対して斜めの方向から前記基板に光を照射する照射部と、前記突状体形成面と略垂直な方向から前記突状体を撮像する撮像部と、前記撮像部により撮像された画像を用いて、前記画像の明部と暗部の形状から前記突状体の前記輪郭形状を識別する識別部と、を有することを特徴とする。

この検査装置によれば、基板上の突状体形成面に突状体が形成され、この突状体に対して照射部が突状体形成面と平行な方向に対して斜めの方向から光を照射する。そして、撮像部が突状体形成面と略垂直な方向から突状体を撮像する。このとき、基板を照射する光は基板で反射して、反射光は入射角と同じ角度の反射角の方向に進行する。撮像部は突状体形成面と略垂直な方向に配置されていることから、基板における反射光は撮像部に入射しない。従って、撮像部が撮像する画像において、基板は暗く撮像される。

同様に、突状体において基板と平行に近い面を照射部が照射する光は撮像部に入射しない。従って、撮像部が撮像する画像では、基板と平行に近い突状体の面は暗く撮像される。突状体は基板と平行に近い面以外にも基板の法線方向に対して斜めに形成されている斜面を有している。この斜面のうち、照射する光の反射光が撮像部に進行する場所は撮像部によって明るく撮像される。従って、撮像部は突状体の斜面のうち、反射光が撮像部に入射する部分の形状に応じた画像を撮像することができる。

突状体の周囲が斜面になっているとき、撮像された画像情報において、暗部と明部の構成から突状体の輪郭形状が所定の形状となっているか否かを識別部が検査することができる。このとき、突状体に対して斜めからの光を照射して突状体の輪郭形状を識別することから、簡便な構成で突状体の輪郭形状を識別することができる。

［適用例２］
上記適用例にかかる検査装置において、前記斜めの方向は前記突状体形成面と垂直な方向との成す角度が４５度以上であることを特徴とする。

この検査装置によれば、突状体形成面と平行な方向に対して４５度以下となる方向から照射部は突状体に光を照射する。つまり、照射部は突状体の側面に光を照射し、突状体の側面にて反射する光の一部が撮像部を照射する。そして、撮像部が撮像する画像には、突状体の側面が明るく撮像される。そして、撮像される画像において突状体の側面は突状体の輪郭の一部を形成することから、識別部が突状体の輪郭形状を識別し易くすることができる。

［適用例３］
上記適用例にかかる検査装置において、前記突状体は前記基板上に複数配置され、前記照射部は複数の前記突状体に略平行な光を照射することを特徴とする。

この検査装置によれば、複数の突状体に略平行な光が照射されるので、略同じ形状の突状体は略同じ形状の画像として撮像される。また、形状が異なる突状体は、異なる形状の画像として撮像される。その結果、複数の突状体の輪郭形状を識別し易くすることができる。

［適用例４］
上記適用例にかかる検査装置において、前記照射部は複数の前記突状体に対して同時に照射し、前記撮像部は複数の前記突状体を同時に撮像することを特徴とする。

この検査装置によれば、複数の突状体に光が照射され、複数の突状体が同時に撮像される。そして、１度の撮像により、複数の突状体の輪郭形状を識別できる画像を撮像部は撮像することができる。従って、１回の撮像において１個の突状体を撮像部が撮像する場合に比べて、少ない回数で撮像する予定の突状体を撮像部は撮像することができる。その結果、撮像部は生産性良く突状体を撮像することができる。

［適用例５］
上記適用例にかかる検査装置において、前記照射部が光を照射する光の照射方向を変更させる照射方向変更部を備えることを特徴とする。

この検査装置によれば、照射部が光を照射する方向を照射方向変更部が変更している。突状体の斜面の形状が変わるとき、反射光の進行方向が変わる。この装置では、突状体の形状を識別部が認識し易い画像にするために、突状体に対して光を照射する方向を照射方向変更部が変更することができる。従って、識別部が突状体の輪郭形状を識別し易くすることができる。

［適用例６］
上記適用例にかかる検査装置において、前記撮像部が撮像する撮像方向を変更させる撮像方向変更部を備えることを特徴とする。

この検査装置によれば、撮像部が突状体を撮像する撮像方向を撮像方向変更部が変更している。突状体の斜面の形状が変わるとき、反射光の進行方向が変わる。この装置では、突状体の形状を識別部が認識し易い画像にするために、突状体に対して撮像する撮像方向を撮像方向変更部が変更することができる。従って、突状体の輪郭形状を識別し易くすることができる。

［適用例７］
上記適用例にかかる検査装置において、前記照射部は前記基板上の前記突状体形成面と平行な方向において前記突状体に複数の方向から光を照射することを特徴とする。

この検査装置によれば、照射部により突状体形成面と平行な方向のうち、複数の方向から突状体に光が照射され、突状体における反射光が撮像される。従って、照射部が１方向から突状体に光を照射するときに比べて、画像の明部が多く撮像される。この明部は突状体の形状に応じてできるので、突状体の特徴を含む明部を多く含む画像を撮像部が撮像することができる。従って、識別部が突状体の輪郭形状を識別し易くすることができる。

［適用例８］
上記適用例にかかる検査装置において、前記照射方向変更部は前記突状体形成面に平行な方向において、前記照射部が照射する方向を変更することを特徴とする。

この検査装置によれば、突状体形成面と平行な方向において、照射部が光を照射する方向を照射方向変更部が変更している。突状体が回転体でないとき、突状体の斜面が多い方向と少ない方向とがある。そして、斜面が多い方に光を照射する方が、斜面が少ない方に光を照射する方に比べて、突状体の形状を識別部が認識し易い画像を撮像部が撮像可能となる。そして、突状体の形状を識別部が認識し易い画像を撮像部が撮像するために、突状体に対して照射部が光を照射する方向を照射方向変更部が変更することができる。従って、識別部が突状体の輪郭形状を識別し易くすることができる。

［適用例９］
上記適用例にかかる検査装置において、前記照射方向変更部は前記突状体形成面と垂直な方向と前記照射部が照射する方向との成す角度を変更することを特徴とする。

この検査装置によれば、突状体形成面と垂直な面上の方向に対して照射部が光を照射する方向を照射方向変更部が変更している。突状体の斜面に対して照射部が照射する方向を変えて光を照射するとき、撮像部に反射光が多く進行する方向と少なく進行する方向とがある。そして、斜面から撮像部に反射光が多く進行する方が、斜面から撮像部に反射光が少なく進行する方に比べて、突状体の形状を識別部が認識し易い画像を撮像部が撮像可能となる。そして、識別部が突状体の形状を認識し易い画像を撮像部が撮像するために、照射部が突状体に対して照射する方向を照射方向変更部が変更することができる。従って、識別部が突状体の輪郭形状を識別し易くすることができる。

［適用例１０］
上記適用例にかかる検査装置において、前記撮像部は前記突状体を拡大又は縮小して撮像する倍率変更部を備えることを特徴とする。

この検査装置によれば、操作者が突状体の形状を詳細に確認したいとき、操作者は確認したい突状体を拡大して撮像し、撮像した拡大画像を用いて突状体の形状を確認することができる。従って、操作者は突状体の形状を詳しく確認することができる。

［適用例１１］
上記適用例にかかる検査装置において、前記基板と前記撮像部とを相対移動させるステージと、前記ステージを制御するステージ制御部と、前記突状体の前記画像から前記画像の特徴を示す特徴量を演算し、前記特徴量と良否判定するための判定値とを比較して、不良突状体を検出する不良検出部と、前記不良突状体の場所を記憶する記憶部と、を有し、前記記憶部が記憶する前記不良突状体の場所の情報を用いて、前記不良突状体が前記撮像部の視野に入るように前記ステージ制御部は前記ステージを移動させることを特徴とする。

この検査装置によれば、ステージ制御部がステージを駆動して基板を移動させて、撮像部が突状体の画像を順次撮像する。そして、撮像された画像を用いて不良検出部が不良突状体を検出し、記憶部はその不良突状体のある場所を記憶する。そして、操作者が不良突状体を観察するとき、撮像部の視野に不良突状体が入るように、不良突状体のある場所の情報を用いて、基板が載置されたステージをステージ制御部が移動させる。従って、観測者は不良突状体の場所を探す必要がなく、容易に不良突状体を観測することができる。

［適用例１２］
上記適用例にかかる検査装置において、前記突状体は着色された液状体であり、前記突状体が固化されて、カラーフィルタを構成する色素子になることを特徴とする。

この検査装置によれば、突状体が固化されてカラーフィルタの色素子となる。そして、この突状体は簡便な構成で検査される為、この検査装置を用いることにより、簡便な装置で品質の良いカラーフィルタを製造するための検査をすることができる。

［適用例１３］
本適用例にかかる検査装置は、基板に形成された複数の着色体の色を検査する検査装置であって、複数の前記着色体に光を照射する照射部と、複数の前記着色体のカラー画像を撮像する撮像部と、前記カラー画像から不良着色体を検出する不良検出部と、を有し、前記不良検出部は、前記カラー画像における波長分布を演算し、分布の存在する波長と良否判定するための波長範囲とを比較して、所定の色と異なる不良着色体を検出することを特徴とする。

この検査装置によれば、照射部が複数の着色体を照射して、撮像部が複数の着色体を撮像する。そして、不良検出部はカラー画像内に配置される複数の着色体における波長に対する波長分布を演算し、波長分布と良否判定するための波長範囲とを比較して、不良着色体を検出している。従って、１度の撮像で複数の着色体の中に予め設定された色以外の色を有する不良着色体があるとき、この不良着色体を検出することができる。従って、生産性良く着色体の色を検査することができる。

［適用例１４］
本適用例にかかる液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと基板とを相対的に走査し、前記液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を前記基板上の突状体形成面に吐出して前記液状体からなる突状体を形成する液滴吐出装置であって、前記突状体形成面と垂直な方向に対して斜めの方向から複数の前記突状体に光を照射する照射部と、前記突状体形成面と略垂直な方向から複数の前記突状体を撮像する撮像部と、前記撮像部が撮像する画像を用いて液状体の輪郭形状を識別する識別部とを有することを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、基板に液状体を吐出する機能と、吐出した液状体の輪郭形状を識別して検査する機能とを有している。従って、液状体が吐出された基板を、同じ装置において検査することができる為、液状体を吐出してから吐出された液状体の輪郭形状を検査するまでの時間を短くすることができる。そして、操作者が検査結果を用いて、吐出条件を反映することにより、この装置は基板に塗布される液状体における不良の発生を低減することができる。その結果、品質よく液状体を吐出することができる。

［適用例１５］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドによる前記基板への前記液状体の吐出と、前記撮像部による前記液状体の撮像とが並行して行われることを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、液状体の吐出と、液状体の撮像とが並行して行われる。従って、基板上に総て吐出した後、液状体の撮像を行う場合に比べて、短い時間で液状体の吐出と、液状体の撮像とを行うことができる。その結果、生産性良く、液状体の吐出と、液状体の撮像とを行うことができる。

［適用例１６］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドと前記基板とが走査する方向において、前記液滴吐出ヘッドと前記撮像部とが近い場所に配置されることを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドと撮像部とが近い場所に配置されている。従って、液滴吐出ヘッドが吐出した液状体を、撮像部が撮像する場所に移動するのに短時間で移動することができる。その結果、生産性良く、液状体の吐出と、液状体の撮像とを行うことができる。

［適用例１７］
本適用例にかかる突状体の検査方法は、基板の突状体形成面に形成された複数の突状体の輪郭形状を検査する突状体の検査方法であって、前記突状体形成面と垂直な方向に対して斜めの方向から複数の前記突状体に光を照射し、前記突状体形成面と略垂直な方向から複数の前記突状体を撮像部が撮像する撮像工程と、前記撮像部が撮像する画像を用いて前記突状体の特徴量を演算し、前記特徴量と良否判定するための判定値とを比較して、不良突状体を検出する不良検出工程と、を有することを特徴とする。

この検査方法によれば、基板上の突状体形成面に突状体が形成され、撮像工程では、この突状体に対して突状体形成面と垂直な方向に対して斜めの方向から光を照射する。そして、突状体形成面と略垂直な方向から突状体を撮像する。このとき、突状体の斜面の形状に応じた画像を撮像することができる。不良検出工程では、撮像した画像から突状体の斜面の形状を識別する。突状体形成面と垂直な方向から観測するとき、突状体の斜面の形状から突状体の輪郭を推測することができる。従って、突状体の輪郭形状を識別することができる。そして、不良検出工程では、突状体の輪郭の特徴を示す特徴量を演算し、特徴量と良否判定するための判定値とを比較して、不良突状体を検出する。従って、突状体に対して斜めからの光を照射して突状体の輪郭形状を識別することから簡便な方法で突状体の輪郭形状を識別し、不良を検出することができる。

［適用例１８］
上記適用例にかかる突状体の検査方法において、前記不良検出工程にて検出した前記不良突状体の場所を記憶する記憶工程と、前記不良突状体を前記撮像部の視野に移動させて、前記不良突状体を拡大して撮像し、前記不良突状体の輪郭形状を表示する不良確認工程と、を有することを特徴とする。

この検査方法によれば、記憶工程にて不良突状体の場所を記憶し、不良確認工程では、不良突状体を拡大して撮像し、不良突状体の輪郭形状を表示する。従って、観測者は容易に不良突状体を観測することができる。

［適用例１９］
上記適用例にかかる突状体の検査方法において、前記基板に液状体を吐出して前記突状体を形成する吐出工程を有し、前記吐出工程と前記撮像工程とが並行して行われることを特徴とする。

この検査方法によれば、吐出工程と撮像工程とが並行して行われる。基板に吐出する予定の場所総てに吐出した後、基板を撮像する方法に比べて、短い時間で吐出と撮像とを行うことができる。従って、生産性良く吐出と撮像とを行うことができる。

以下、具体化した実施形態について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。

（第１の実施形態）
本実施形態において検査する対象となるカラーフィルタと、カラーフィルタを検査する特徴的な検査装置と、この検査装置を用いて、カラーフィルタを検査する場合の例について図１〜図８に従って説明する。

（カラーフィルタ）
最初に、カラーフィルタ１について図１を用いて説明する。図１（ａ）は、カラーフィルタを示す模式平面図であり、図１（ｂ）は、カラーフィルタを示す模式断面図である。そして、図１（ｂ）は図１（ａ）におけるＡ−Ａ’線から見た図である。カラーフィルタ１は液晶テレビ等の表示装置に用いられる。表示装置は画像信号に応じた輝度分布をもつ白色光をカラーフィルタ１に通過させることにより、カラー画像を形成する。このときにカラーフィルタ１が用いられる。図１に示すように、カラーフィルタ１は基板２を備えている。この基板２は光透過性があり、張力に対して破れ難い強度があればよく、ガラス板、プラスチック板、プラスチックシート等を用いることができる。本実施形態においては、例えば、ガラス板を採用している。基板２の突状体形成面としての上面２ａにはカラー素子領域３が縦横並んで配列して形成されている。そして、カラー素子領域３は赤、青、緑色のカラー素子領域３により構成され、各色のカラー素子領域３が列毎に配列して配置されている。図１（ａ）において、左から赤色素子領域３ａ、青色素子領域３ｂ、緑色素子領域３ｃの順に配置される。そして、図中に左から右へ、この順番を繰り返してストライプ状に配置されている。

カラー素子領域３を囲んで格子状に形成されたバンク４が配置され、バンク４によって矩形に仕切られたカラー素子領域３に突状体及び液状体としてのカラーインク５が塗布されている。赤色素子領域３ａには赤色カラーインク５ａが塗布され、青色素子領域３ｂ、緑色素子領域３ｃにはそれぞれ青色カラーインク５ｂ、緑色カラーインク５ｃが塗布されている。

カラーインク５の液面５ｄはバンク４のバンク上面４ａを超えてよりＺ方向に突出して塗布されている。そして、カラーインク５は乾燥させられることにより、カラーインク５に含まれる溶媒または分散媒が蒸発して体積が減少するようになっている。従って、乾燥させられる前のカラーインク５はバンク上面４ａより突出するように塗布される。そして、基板２を乾燥することにより、このカラーインク５が固化されるとき、乾燥したカラーインク５によって色素子が形成される。

図２（ａ）及び（ｃ）はカラーフィルタを示す要部模式平面図であり、図２（ｂ）及び（ｄ）はカラーフィルタを示す要部模式断面図である。図２（ａ）及び（ｂ）はカラー素子領域３に正常にカラーインク５が塗布されている状態を示している。図２（ｃ）及び（ｄ）はカラー素子領域３にカラーインク５が塗布され、カラーインク５がバンク上面４ａに乗り上げた不良な状態を示している。

図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、カラーインク５が正常に塗布されている場合には、カラーインク５はバンク上面４ａに乗り上げていない。そして、隣り合う場所に塗布されたカラーインク５は連結することなく、各々のカラー素子領域３に配置される。バンク４にはカラーインク５に対して撥液性を有するように撥液化処理が施されている。この撥液化処理は、四フッ化炭素（テトラフルオロメタン）、フルオロカーボン系のガス、ＳＦ₆、ＳＦ₅ＣＦ₃等の撥液化処理ガスを用いてプラズマ処理する方法を用いることができる。本実施形態では、例えば、テトラフルオロメタンをプラズマ処理する方法を採用している。従って、カラーインク５はバンク上面４ａに乗り上げ難くなっている。

図２（ｃ）及び（ｄ）に示すように、カラーインク５が正常に塗布されていない場合には、カラーインク５がバンク上面４ａに乗り上げている。そして、隣り合うカラー素子領域３に塗布されたカラーインク５が連結する。連結したカラーインク５は色が混じるので、正常な色に変換するフィルタとならないので、不良品となる。

（検査装置）
次に、基板２にカラーインク５を塗布した後、塗布状態を検査する検査装置について図３及び図４に従って説明する。図３は、検査装置の構成を示す概略斜視図である。検査装置８により、カラーフィルタ１におけるカラーインク５の塗布状態の検査が実施される。図３に示すように、検査装置８は、直方体形状に形成される基台９を備えている。本実施形態では、この基台９の長手方向をＹ方向とし、Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。

基台９の上面９ａには、Ｙ固定テーブル１０が配置され、Ｙ固定テーブル１０の上面１０ａには、Ｙ方向に延在する一対の案内レール１１が、Ｙ固定テーブル１０のＹ方向全幅にわたり凸設されている。その案内レール１１の上側には、一対の案内レール１１に対応する図示しない直動機構を備えたステージとしてのＹステージ１２が取付けられている。そのＹステージ１２の直動機構は、例えば、案内レール１１に沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ１３に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＹ軸モータ１３に入力すると、Ｙ軸モータ１３が正転又は逆転して、Ｙステージ１２が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ方向に移動するようになっている。さらに、Ｙ固定テーブル１０の上面１０ａには、案内レール１１と平行に図示しないＹテーブル位置検出装置が配置され、Ｙステージ１２の位置が測定できるようになっている。

そのＹステージ１２の上面１２ａには、Ｘ方向に延在する一対の案内レール１４が、Ｙステージ１２のＸ方向全幅にわたり凸設されている。その案内レール１４の上側には、一対の案内レール１４に対応する図示しない直動機構を備えたステージとしてのＸステージ１５が取付けられている。そのＸステージ１５の直動機構は、例えば、本実施形態では、Ｙステージ１２が備える直動機構と同様の機構となっている。そして、その直動機構が備える駆動軸には、Ｘ軸モータ１６が連結されている。所定のステップ数に相対する駆動信号をＸ軸モータ１６に入力すると、Ｘ軸モータ１６が正転又は逆転して、Ｘステージ１５が同ステップ数に相当する分だけ、Ｘ方向に移動するようになっている。

Ｘステージ１５の上面には、載置面１７が形成され、その載置面１７には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面１７に基板２を載置すると、基板チャック機構によって、その基板２が載置面１７の所定の位置に位置決めされて、固定されるようになっている。

基台９の上面９ａにおいて、Ｙ方向の逆方向の側には、略矩形のＺ固定テーブル２０が立設され、Ｚ固定テーブル２０において、Ｙ方向の側面には、図示しない一対の案内レールが、Ｚ方向に配置されている。その案内レールにおいて、Ｙ方向側には、一対の案内レールに対応する図示しない直動機構を備えたＺステージ２１が配置されている。そのＺステージ２１の直動機構は、例えば、本実施形態では、Ｙステージ１２が備える直動機構と同様の機構となっている。そして、その直動機構が備える駆動軸には、Ｚ軸モータ２２が連結されている。所定のステップ数に相対する駆動信号をＺ軸モータ２２に入力すると、Ｚ軸モータ２２が正転又は逆転して、Ｚステージ２１が同ステップ数に相当する分だけ、Ｚ方向に移動するようになっている。

そして、Ｚステージ２１のＹ方向側には支持部２３が凸設して形成され、支持部２３のＹ方向側には撮像部としての撮像装置２４が配置されている。撮像装置２４は内部に固体撮像素子等からなるエリアセンサを備え、エリアセンサが撮像する画像を電気信号に変換して出力することが可能になっている。撮像装置２４の下側には、倍率変更部としての倍率切換装置２５を介して撮像レンズ２６が配置されている。撮像レンズ２６は低倍率レンズ２６ａと高倍率レンズ２６ｂとを備え、この低倍率レンズ２６ａ及び高倍率レンズ２６ｂはＹ方向に並んでレンズ配置板２５ａに配置されている。倍率切換装置２５はレンズ配置板２５ａをＹ方向に応動及び復動する直動機構を備え、倍率切換装置２５は撮像装置２４と対向する場所に低倍率レンズ２６ａもしくは高倍率レンズ２６ｂを配置することが可能になっている。そして、撮像装置２４は内部に落射照明装置を備え、撮像レンズ２６を通してカラーフィルタ１に光を照射可能になっている。そして、撮像装置２４にはエリアセンサに入射する光の波長や特性を限定する光学フィルタが配置されている。このフィルタは撮像するカラーインク５や外光の状態に応じて変更することが可能になっており、予備実験で撮像しフィルタを選定するのが望ましい。

基台９の上面９ａにおいて、Ｙ方向の側には、コの字形の支持台２７が立設され、その支持台２７には照射部としての照明装置２８が配置されている。照明装置２８の内部には白色光を発光するＬＥＤがＸ方向に配列して配置され、各ＬＥＤの光軸上にはコリメートレンズが配置されている。そして、ＬＥＤが発光する白色光はコリメートレンズにより略平行光に変換された後、投光面２８ａからカラーフィルタ１に向けて照射される。そして、照明装置２８には照射する光の波長や特性を限定する光学フィルタが配置されている。このフィルタは撮像するカラーインク５に応じて変更することが可能になっており、予備実験で撮像しフィルタを選定するのが望ましい。

照明装置２８はＸ方向を回転中心にして回動可能に支持台２７と配置されている。従って、照明装置２８が照射する光の進行方向と、基板２の上面２ａと水平な方向とが成す角度は変更可能になっている。この角度は、０度〜４５度が好ましく、この角度にて照射するとき、突状に塗布されたカラーインク５の斜面を照射する光が撮像装置２４の配置された方向に進行する。基板２の上面２ａと水平な方向とが成す角度は２５度〜３５度のときがさらに好ましい。この角度で照射するとき、カラーインク５の輪郭に近い場所で反射する反射光が撮像装置２４の配置された方向に進行する。さらには、基板２の上面２ａと水平な方向とが成す角度は３０度の場合が好ましい。この角度で照射するとき、カラーインク５の輪郭に近い場所で反射する反射光が撮像装置２４の配置された方向に進行し、輪郭を認識し易い画像を撮像することができる。突状に塗布されたカラーインク５の斜面を照射する光が撮像装置２４によって撮像され易い角度に照明装置２８の角度を調整するのが好ましい。従って、実際の加工対象物を用いた予備調整を実施して、最適な照射角度を調整することが望ましい。基台９のＸ方向には、制御装置２９が配置され、この制御装置２９が検査装置８を制御する。

図４は、検査装置の電気制御ブロック図である。図４において、制御装置２９はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）３２と、各種情報を記憶する記憶部としてのメモリ３３とを有する。

Ｘステージ駆動装置３４、Ｘステージ位置検出装置３５、Ｙステージ駆動装置３６、Ｙステージ位置検出装置３７は、入出力インターフェース３８及びデータバス３９を介してＣＰＵ３２に接続されている。さらに、撮像装置２４、倍率切換装置２５、オートフォーカス装置４０、Ｚステージ駆動装置４１、Ｚステージ位置検出装置４２、も入出力インターフェース３８及びデータバス３９を介してＣＰＵ３２に接続されている。さらに、照明装置２８、入力装置４３、表示装置４４も入出力インターフェース３８及びデータバス３９を介してＣＰＵ３２に接続されている。

Ｘステージ駆動装置３４は、Ｘ軸モータ１６を駆動して、Ｘステージ１５の移動を制御する装置であり、Ｘステージ位置検出装置３５は、Ｘステージ１５のＸ方向の位置を検出する装置である。同様に、Ｙステージ駆動装置３６は、Ｙ軸モータ１３を駆動してＹステージ１２の移動を制御する装置であり、Ｙステージ位置検出装置３７は、Ｙステージ１２のＹ方向の位置を検出する装置である。Ｘステージ位置検出装置３５及びＹステージ位置検出装置３７が、Ｘステージ１５のＸ方向及びＹステージ１２のＹ方向の位置を検出した後、Ｘステージ駆動装置３４及びＹステージ駆動装置３６が、Ｘステージ１５及びＹステージ１２を移動することにより、載置面１７に搭載された基板２を所望の位置に移動して停止することが可能になっている。

Ｚステージ駆動装置４１は、Ｚ軸モータ２２を駆動して、Ｚステージ２１の移動を制御する装置であり、Ｚステージ位置検出装置４２は、Ｚステージ２１のＺ方向の位置を検出する装置である。Ｚステージ位置検出装置４２が、Ｚステージ２１のＺ方向の位置を検出した後、Ｚステージ駆動装置４１がＺステージ２１を駆動することにより、Ｚステージ２１を所望の位置に移動して停止することが可能になっている。そして、Ｚステージ２１は支持部２３を介して撮像装置２４に配置されているので、撮像装置２４と基板２との距離が所望の距離になる場所に撮像装置２４を移動して停止することが可能になっている。

撮像装置２４は撮像した画像をデジタル信号に変換する変換回路を内蔵しており、画像の情報をデジタル信号にして送信可能になっている。そして、ＣＰＵ３２から画像を撮像する指示信号を受信すると、画像を撮像した後、その画像のデジタル信号をＣＰＵ３２へ送信する。さらに、倍率切換装置２５は、撮像する倍率を切り換える機能を備え、ＣＰＵ３２の指示により、撮像する画像の倍率を切り換えることが可能になっている。

オートフォーカス装置４０は、撮像レンズ２６により投影される画像の焦点が撮像装置２４のエリアセンサにあうように、Ｚステージ駆動装置４１に移動もしくは停止する指示信号を出す装置である。

照明装置２８は白色の略並行な光を照射する装置であり、ＣＰＵ３２が出力する指示信号に従って、照射する光の強度を切り換えることが可能になっている。そして、照射する光の強度を検出する手段と検出した光の強度をＣＰＵ３２に送信する機能を備えている。

入力装置４３は、塗布されたカラーインク５の状態を測定する各種条件を入力する装置であり、例えば、基板２に塗布されたカラーインク５を測定する手順を、入力する装置である。表示装置４４は、検査条件や、作業状況を表示する装置であり、操作者は、表示装置４４に表示される情報を基に、入力装置４３を用いて入力操作を行う。

メモリ３３は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、検査装置８における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト４５を記憶する記憶領域が設定される。さらに、検査装置８が検査する場所を示す検査位置データ４６を記憶するための記憶領域も設定される。他にも、撮像装置２４が撮像したデータである撮像データ４７や、撮像データ４７の特徴量を演算するときに比較するための撮像比較データ４８を記憶するための記憶領域も設定される。さらに、画像の特徴量を演算した演算結果のデータである特徴量データ４９や、検査した後に良否判断するときの判定値等のデータである良否判定値データ５０等の記憶領域やＣＰＵ３２のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。

ＣＰＵ３２は、メモリ３３内に記憶されたプログラムソフト４５に従って、カラーフィルタ１に塗布されたカラーインク５の状態を検査する制御を行うものである。具体的な機能実現部として、ステージの移動を制御するための演算を行うステージ制御部としてのステージ制御演算部５１を有する。他にも、照明の明るさ調整や撮像するタイミングを演算して、撮像装置２４や照明装置２８を制御する撮像制御演算部５２を有する。さらに、撮像装置２４が撮像する画像データから特徴量を演算する識別部としての識別演算部５３を有する。加えて、画像の特徴量と良否判定値データ５０とを比較してカラーフィルタ１の良否を判断する不良検出部としての不良検出演算部５４や、不良と判断された場所を観測するときに撮像装置２４が撮像するときの倍率を変更する倍率制御演算部５５等を有する。

（検査方法）
次に、上述した検査装置８を使って、カラーインク５の塗布状態を検査する検査方法について図５〜図８にて説明する。図５は、塗布状態を検査する製造工程を示すフローチャートである。図６〜図８は、検査装置を使った塗布状態の検査方法を説明する図である。

図５において、ステップＳ１は、基板配置工程に相当し、検査装置の載置面に基板を配置して固定する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は、移動工程に相当し、Ｘテーブル及びＹテーブルを駆動して、撮像レンズと対向する場所に基板の検査する場所を移動する工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３は、撮像工程に相当し、基板の検査する場所の画像を撮像する工程である。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は、特徴量抽出工程に相当し、撮像した画像から特徴となる部分を明確にし易いパラメータである特徴量を演算する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ５は、不良検出工程に相当し、算出した特徴量と良否判定値データとを比較して、正常か不良かを判断する工程である。次にステップＳ６に移行する。ステップＳ６は、不良記憶工程に相当し、不良と判断されたカラー素子領域の場所を記憶する工程である。次にステップＳ７に移行する。

ステップＳ７は、検査終了判断工程に相当し、検査する予定の場所を総て検査したかを判断する工程である。まだ検査していない領域があるとき、ステップＳ２に移行する。予定した総ての検査領域を検査したとき、ステップＳ８に移行する。ステップＳ８は、不良確認工程に相当し、不良と判断された場所を撮像レンズと対向する場所に移動し、高倍率の画像を撮像し、不良場所を確認する工程である。次にステップＳ９に移行する。ステップＳ９は、基板除去工程に相当し、載置面から基板を除去する工程である。以上の工程により塗布状態を検査する製造工程を終了する。

次に、図６〜図８を用いて、図５に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。図６（ａ）はステップＳ１及びステップＳ２に対応する図である。ステップＳ１では、図６（ａ）に示すように、カラーインク５が塗布された基板２をＸステージ１５の載置面１７に載置する。載置面１７には吸引式の基板チャック機構が形成されているので、この基板チャック機構を作動することにより、基板２を載置面１７に固定する。

ステップＳ２では、倍率制御演算部５５が倍率切換装置２５を駆動して、撮像装置２４と対向する場所に低倍率レンズ２６ａを配置する。次に、ステージ制御演算部５１がＸステージ１５及びＹステージ１２を駆動することにより、低倍率レンズ２６ａと対向する場所に基板２の検査する場所が位置するように基板２を移動させる。

図６（ｂ）〜図７（ｂ）はステップＳ３に対応する図である。図６（ｂ）に示すように、ステップＳ３では、撮像制御演算部５２が照明装置２８を駆動することにより、照明装置２８から略平行光である照射光５８を照射する。図６（ｃ）に示すように、照射光５８はカラーインク５及びバンク４を照射し、表面で反射した光は反射光５９となって進行する。そして、カラーインク５を照射する照射光５８のうち、インク上面５ｅで反射する反射光５９ａは、Ｙ方向と逆方向に進行する。そして、反射光５９ａが進行する方向には低倍率レンズ２６ａがないので、撮像されない。同様に、バンク上面４ａで反射する反射光５９も撮像されない。

また、カラーインク５の側面であるインク側面５ｆを照射する照射光５８が反射した反射光５９ｂはＹ方向に反射する。そして、反射光５９ｂが進行する方向には低倍率レンズ２６ａがないので、撮像されない。そして、インク上面５ｅとインク側面５ｆとに挟まれた場所であるインク斜面５ｇを照射する照射光５８が反射した反射光５９ｃはＺ方向に反射する。そして、反射光５９ｃが進行する方向には低倍率レンズ２６ａが配置されているので、インク斜面５ｇが撮像される。

図７（ａ）は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す形状のカラーインク５を撮像したときの画像を示している。図７（ａ）に示すように、バンク４は撮像されず、カラーインク５では照射光５８が照射される側のインク斜面５ｇが撮像される。予め、この画像を撮像比較データ４８としてメモリ３３に保存しておく。

図７（ｂ）は、図２（ｃ）及び図２（ｄ）に示す形状のカラーインク５を撮像したときの画像を示している。図７（ｂ）に示すように、バンク４は撮像されず、カラーインク５では照射光５８が照射される側のインク斜面５ｇが撮像される。隣り合うカラー素子領域３の間のバンク４にカラーインク５が乗り上げて連結している部分を異常体としてのインク連結部５ｈとするとき、インク連結部５ｈに照射光５８が照射され、照射される側の斜面である連結部インク斜面５ｉが撮像される。従って、インク斜面５ｇに加えて、連結部インク斜面５ｉが撮像される。この画像を撮像データ４７としてメモリ３３に記憶する。

図７（ｃ）はステップＳ４に対応する図であり、図８はステップＳ４及びステップＳ５に対応する図である。図７（ｃ）は、図７（ｂ）に示す画像から図７（ａ）に示す画像の差を演算した差分画像を示している。このとき、識別演算部５３が撮像データ４７に記憶した画像データ及び撮像比較データ４８に記憶した画像データを用いて演算することにより実施している。図７（ｃ）に示すように、図７（ｂ）のインク斜面５ｇに比べて、インク斜面５ｇにおける画像の面積が小さくなっている。そして、連結部インク斜面５ｉにおける画像の面積は変わっていないので、この画像は連結部インク斜面５ｉを検出し易い画像になっている。次に、インク斜面５ｇに対応する部分の画像や連結部インク斜面５ｉに対応する部分の画像のように、明るく撮像されている領域であって閉曲線により囲まれている領域を明領域６０と捉え、各明領域６０の面積を演算する。

図８（ａ）は差分画像における各明領域６０の面積に対する分布を示している。図８（ａ）において、横軸は各明領域６０の面積６１を示し、右側が左側より面積６１が大きくなっている。縦軸は各面積における明領域６０の個数６２を示し、上側が下側より個数が多くなっている。そして、１つ画像に対して明領域６０の面積６１の分布を演算するとき、面積６１の分布における１例を分布曲線６３が示している。

分布曲線６３は２つの分布に分かれている。面積６１が小さい方の分布を小面積分布６３ａとし、面積６１が大きい方の分布を、大面積分布６３ｂとする。この小面積分布６３ａは図７（ｃ）におけるインク斜面５ｇに相当する領域や画像上のノイズによる明領域６０の分布を示している。大面積分布６３ｂは図７（ｃ）における連結部インク斜面５ｉの明領域６０の分布を示している。

ステップＳ５において、大面積分布６３ｂがある場合を不良と判断する。つまり、大面積分布６３ｂがある場合はインク連結部５ｈが発生していると判断する。一方、大面積分布６３ｂがない場合を正常と判断する。このとき、予め、小面積分布６３ａに属する明領域６０であるか、大面積分布６３ｂに属する明領域６０であるかを判定する判定値６４を設定しておく。この判定値６４は面積６１を規定したものであり、判定値６４以上の不良判定範囲６５に属する面積６１を有する明領域６０があるとき、この撮像した場所を不良の場所と判断する。

ステップＳ５において、撮像した場所を不良の場所と判断するとき、ステップＳ６において不良の場所を検査位置データ４６として記憶領域に記憶する。詳しくは、撮像したときの、Ｘステージ１５及びＹステージ１２の位置を示す座標を記憶する。さらに、大面積分布６３ｂに相当する明領域６０の画像における座標を記憶する。そして、Ｘステージ１５及びＹステージ１２の位置を示す座標と、画像における明領域６０の座標を用いて明領域６０の座標を演算して記憶する。

ステップＳ７において、検査する予定の領域において、総ての領域の検査を終了したかを判断する。予め、検査する場所と検査順を検査位置データ４６に登録しておき、その検査順に従って検査を行い、検査した場所を検査位置データ４６に記憶する。そして、検査する場所と検査が済んだ場所とを比較する。登録した場所のうち、まだ検査していない場所があるときステップＳ２に移行して検査を行う。総ての場所を検査したときステップＳ８に移行する。

図８（ｂ）及び図８（ｃ）はステップＳ８に対応する図である。図８（ｂ）に示すように、倍率制御演算部５５が倍率切換装置２５を駆動することにより、撮像装置２４と対向する場所に高倍率レンズ２６ｂを移動する。そして、ステージ制御演算部５１が検査位置データ４６を用いてＸステージ駆動装置３４及びＹステージ駆動装置３６を駆動することにより、高倍率レンズ２６ｂと対向する場所に不良と判断した場所が位置するように基板２を移動する。そして、撮像装置２４が内蔵する落射照明装置からカラーフィルタ１に光を照射する。次に、オートフォーカス装置４０がＺステージ駆動装置４１を駆動することにより、撮像装置２４の撮像する画像の焦点が基板２に合うようにする。

図８（ｃ）は撮像装置２４が撮像した画像の例を示す。図８（ｃ）に示すように、３つのカラー素子領域３のカラーインク５が連結している場所が撮像される。操作者はこの画像を観察して不良検出演算部５４が不良と判断した場所の状態を確認する。不良と判断された場所が複数ある場合には、不良と判断された場所を順次確認する。確認が終了した後、ステップＳ９において、基板チャック機構を解除して、基板２を載置面１７から除去する。以上の工程により塗布状態を検査する製造工程を終了する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、基板２のカラー素子領域３にカラーインク５による突状体が形成され、この突状体に対して照明装置２８が基板２と平行な方向に対して斜めの方向から光を照射する。そして、撮像装置２４が基板２と略垂直な方向からカラーインク５を撮像する。カラーインク５の周囲が斜面になっており、撮像された画像において、暗部と明部の構成からカラーインク５の輪郭形状が所定の形状となっているか否かを識別部が検査することができる。このとき、カラーインク５に対して斜めからの光を照射して突状体の輪郭形状を識別することから、簡便な構成でカラーインク５の輪郭形状を識別することができる。

（２）本実施形態によれば、基板２と平行な方向に対して鋭角となる方向から照明装置２８はカラーインク５に光を照射する。つまり、照明装置２８はカラーインク５の側面に照射光５８を照射し、カラーインク５の側面にて反射する反射光５９の一部が撮像装置２４を照射する。そして、撮像装置２４が撮像する画像には、カラーインク５の側面が明るく撮像される。そして、撮像される画像において、カラーインク５の側面はカラーインク５の輪郭の一部を形成することから、識別演算部５３がカラーインク５の輪郭形状を識別し易くすることができる。

（３）本実施形態によれば、複数のカラーインク５に略平行な照射光５８が照射されるので、略同じ形状のカラーインク５は略同じ形状の画像として撮像される。また、形状が異なるカラーインク５は、異なる形状の画像として撮像される。その結果、複数のカラーインク５の輪郭形状を識別し易くすることができる。

（４）本実施形態によれば、複数のカラーインク５に照射光５８が照射され、複数のカラーインク５が同時に撮像される。そして、１度の撮像により、複数のカラーインク５の輪郭形状を識別できる画像を撮像装置２４は撮像することができる。従って、１回の撮像において１個のカラーインク５を撮像装置２４が撮像する場合に比べて、少ない回数で撮像する予定のカラーインク５を撮像装置２４は撮像することができる。その結果、撮像装置２４は生産性良くカラーインク５を撮像することができる。

（５）本実施形態によれば、操作者がカラーインク５の形状を詳細に確認したいとき、検査装置８が確認したいカラーインク５を拡大して撮像し、操作者は撮像した拡大画像を用いてカラーインク５の形状を確認することができる。従って、操作者はカラーインク５の形状を簡便に詳しく確認することができる。

（６）本実施形態によれば、ステージ制御演算部５１がＸステージ１５及びＹステージ１２を駆動して基板２を移動させた後、撮像装置２４がカラーインク５の画像を順次撮像する。そして、撮像された画像を用いて不良検出演算部５４が不良である場所を検出し、その不良の場所をメモリ３３に記憶する。そして、操作者が不良と判定した場所のカラーインク５を観察するとき、撮像装置２４の視野に不良の場所が入るように、不良の場所の検査位置データ４６を用いて、基板２が載置されたＸステージ１５及びＹステージ１２をステージ制御演算部５１が移動させる。従って、観測者は不良の場所を探す必要がなく、容易に不良の場所のカラーインク５を観測することができる。

（７）本実施形態によれば、カラーインク５が固化されてカラーフィルタ１の色素子となる。そして、このカラーインク５は簡便な構成で検査される為、この検査装置８を用いることにより、簡便な装置で品質の良いカラーフィルタ１を製造するための検査をすることができる。

（第２の実施形態）
次に、検査装置の一実施形態について図９及び図１０を用いて説明する。図９は、検査装置の構成を示す概略斜視図である。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、照明装置２８が基板２を照射する角度を変更可能にした点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。

すなわち、本実施形態では、図９に示すように、検査装置６８は基台９を備えている。そして、基台９の上面９ａにおいて、Ｙ方向の側には、照明用Ｚ固定テーブル６９が立設され、照明用Ｚ固定テーブル６９のＹ方向と逆方向の面にはＺ方向に延在する一対の案内レール７０が、照明用Ｚ固定テーブル６９のＺ方向全幅にわたり凸設されている。その案内レール７０のＹ方向の逆方向には、一対の案内レール７０に対応する図示しない直動機構を備えたＬ字状の照射方向変更部としての照明用Ｚステージ７１が取付けられている。その照明用Ｚステージ７１の直動機構は、例えば、本実施形態では、Ｙステージ１２が備える直動機構と同様の機構となっている。そして、その直動機構が備える駆動軸には、照射方向変更部としての照明用Ｚ軸モータ７２が連結されている。所定のステップ数に相対する駆動信号を照明用Ｚ軸モータ７２に入力すると、照明用Ｚ軸モータ７２が正転又は逆転して、照明用Ｚステージ７１が同ステップ数に相当する分だけ、Ｚ方向に移動するようになっている。

照明用Ｚステージ７１のＹ方向と逆方向には、矩形の連結部７１ａが突出して形成されている。連結部７１ａのＹ方向と逆方向には略コの字状の照明支持部７３が配置されている。そして、照明支持部７３の中央にはＹ方向に突出する矩形の連結部７３ａが形成されている。照明用Ｚステージ７１の連結部７１ａのＺ方向には照射方向変更部としての方位変更モータ７４が配置され、照明用Ｚステージ７１の連結部７１ａのＺ方向と逆方向には、照明支持部７３の連結部７３ａが配置されている。そして、方位変更モータ７４の本体は照明用Ｚステージ７１に固定され、方位変更モータ７４の回転軸は連結部７３ａと固定されている。所定のステップ数に相対する駆動信号を方位変更モータ７４に入力すると、方位変更モータ７４が正転又は逆転して、照明支持部７３が同ステップ数に相当する分だけ、Ｚ方向を中心にして回転するようになっている。

照明支持部７３はコの字形に形成され、照明支持部７３の両端で挟むように照明装置２８が配置されている。そして、照明支持部７３のＸ方向と逆方向の１端には俯角変更モータ７５が配置され、俯角変更モータ７５の本体は照明支持部７３に固定されている。そして、俯角変更モータ７５の回転軸は照明装置２８の側面２８ｂに固定されている。所定のステップ数に相対する駆動信号を俯角変更モータ７５に入力すると、俯角変更モータ７５が正転又は逆転して、照明装置２８が同ステップ数に相当する分だけ、Ｘ方向を中心にして回転するようになっている。

従って、照明装置２８が照射する光の進行方向と、基板２の上面２ａと水平な方向とが成す角度は変更可能になっている。この角度の最適条件は、バンク４の形状によって変わる可能性があるので、パターンの異なるバンク４にカラーインク５を塗布するとき、突状に塗布されたカラーインク５の斜面を照射する光が撮像装置２４によって撮像され易い角度に照明装置２８の角度を調整する必要がある。従って、実際の加工対象物を用いた予備調整を実施して、最適な照射角度を調整することが望ましい。基台９のＸ方向には、制御装置７６が配置され、この制御装置７６が検査装置６８を制御する。

図１０は、検査装置の電気制御ブロック図である。図１０において、検査装置６８は制御装置７６を備えている。そして、照明用Ｚステージ駆動装置７７、照明用Ｚステージ位置検出装置７８、照射方向変更部としての方位モータ駆動装置７９、照射方向変更部としての俯角モータ駆動装置８０は、入出力インターフェース３８及びデータバス３９を介してＣＰＵ３２に接続されている。

照明用Ｚステージ駆動装置７７は、照明用Ｚ軸モータ７２を駆動して、照明用Ｚステージ７１の移動を制御する装置であり、照明用Ｚステージ位置検出装置７８は、照明用Ｚステージ７１のＺ方向の位置を検出する装置である。照明用Ｚステージ位置検出装置７８が、照明用Ｚステージ７１のＺ方向の位置を検出した後、照明用Ｚステージ駆動装置７７が照明用Ｚステージ７１を駆動することにより、照明用Ｚステージ７１を所望の位置に移動して停止することが可能になっている。そして、照明用Ｚステージ７１は照明支持部７３を介して照明装置２８に配置されているので、照明装置２８と基板２との距離が所望の距離になる場所に照明装置２８を移動して停止することが可能になっている。

方位モータ駆動装置７９は、方位変更モータ７４を駆動して、照明支持部７３の角度を制御する装置である。照明支持部７３には照明装置２８が配置されているので、方位モータ駆動装置７９が方位変更モータ７４を駆動することにより、基板２と平行な平面上の所望の角度から光を照射することが可能になっている。

俯角モータ駆動装置８０は、俯角変更モータ７５を駆動して、照明装置２８の角度を制御する装置である。俯角モータ駆動装置８０が俯角変更モータ７５を駆動することにより、基板２に対して、所望の角度から照射光５８を照射することが可能になっている。そして、照明用Ｚステージ駆動装置７７が照明装置２８の高さを制御して、俯角モータ駆動装置８０が照射光５８の角度を制御する。これにより、照明装置２８は基板２の所望の場所に所望の角度で照射光５８を照射することが可能になっている。

ＣＰＵ３２には、機能実現部として照射方向変更部としての照明角度制御演算部８１を備えている。照明角度制御演算部８１は基板２に形成されたバンク４のパターン及びカラーインク５の形状に合わせて、カラーインク５の輪郭形状が撮像し易い照射光５８の角度を設定する。そして、その照射光５８の角度になるように照明用Ｚステージ駆動装置７７、方位モータ駆動装置７９、俯角モータ駆動装置８０に指示を出す。そして、カラーインク５の輪郭形状が撮像し易い方向から照明装置２８は照射光５８を照射する。

尚、バンク４の各パターン及びカラーインク５の形状において、輪郭形状が撮像し易い照射光５８の角度は、予め、予備実験により照射条件を設定しておく必要がある。そして、操作者は、その照射条件をメモリ３３に照射条件データ８２として格納する。照明角度制御演算部８１はこの照射条件データ８２を用いて照射光５８の角度を設定する指示を出力する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、照明装置２８が照射光５８を照射する方向を照明角度制御演算部８１が変更している。カラーインク５のインク斜面５ｇの形状が変わるとき、反射光５９の進行方向が変わる。この検査装置６８では、カラーインク５の形状を識別演算部５３が認識し易い画像にするために、カラーインク５に対して照射光５８を照射する方向を照明角度制御演算部８１が変更することができる。従って、識別演算部５３がカラーインク５の輪郭形状を識別し易くすることができる。

（２）本実施形態によれば、基板２と平行な方向において、照明装置２８が照射光５８を照射する方向を照明角度制御演算部８１が変更している。カラーインク５が回転体形状でないとき、カラーインク５の斜面が多い方向と少ない方向とがある。そして、斜面が多い方に照射光５８を照射する方が、斜面が少ない方に照射光５８を照射する方に比べて、カラーインク５の形状を識別演算部５３が認識し易い画像を撮像装置２４が撮像可能となる。そして、カラーインク５の形状を識別演算部５３が認識し易い画像を撮像装置２４が撮像するために、カラーインク５に対して照明装置２８が照射光５８を照射する方向を照明角度制御演算部８１が変更することができる。従って、識別演算部５３がカラーインク５の輪郭形状を識別し易くすることができる。

（３）本実施形態によれば、基板２と垂直な面上の方向において照明装置２８が照射光５８を照射する方向を照明角度制御演算部８１が変更している。カラーインク５の斜面に対して、照明装置２８が照射する方向を変えて、照射光５８を照射するとき、撮像装置２４に反射光５９が多く進行する方向と少なく進行する方向とがある。そして、カラーインク５の斜面から撮像装置２４に反射光５９が多く進行する方が、斜面から撮像装置２４に反射光５９が少なく進行する場合に比べて、カラーインク５の形状を識別演算部５３が認識し易い画像を撮像装置２４が撮像可能となる。そして、カラーインク５の形状が認識し易い画像を撮像装置２４が撮像するために、カラーインク５に対して照射する方向を照明角度制御演算部８１が変更することができる。従って、識別演算部５３がカラーインク５の輪郭形状を識別し易くすることができる。

（第３の実施形態）
次に、検査装置の一実施形態について図１１及び図１２を用いて説明する。図１１は、検査装置の構成を示す概略斜視図である。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、撮像装置２４が基板２を撮像する角度を変更可能にした点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。

すなわち、本実施形態では、図１１に示すように、検査装置８５はＺステージ２１を備え、Ｚステージ２１のＹ方向には支持部８６が配置されている。支持部８６のＹ方向にはコの字状に１対の支持板８６ａ，８６ｂが配置され、支持板８６ａ，８６ｂが撮像装置２４を挟むように配置されている。支持板８６ａのＸ方向の逆側にはカメラ角度モータ８７が配置され、カメラ角度モータ８７の回転軸は撮像装置２４に固定されている。撮像装置２４のＸ方向の面には軸が突設され、この軸を受ける軸受けが支持板８６ｂに配置されている。そして、撮像装置２４がカメラ角度モータ８７の回転軸を中心に回転可能に配置されている。所定のステップ数に相当する駆動信号をカメラ角度モータ８７に入力すると、カメラ角度モータ８７が正転又は逆転して、撮像装置２４が同ステップ数に相当する分だけ、回転するようになっている。そして、この支持部８６及びカメラ角度モータ８７等により撮像方向変更部が構成されている。

図１２は、検査装置の電気制御ブロック図である。図１２において、検査装置８５は制御装置８８を備えている。そして、撮像方向変更部としてのカメラ角度モータ駆動装置８９は、入出力インターフェース３８及びデータバス３９を介してＣＰＵ３２に接続されている。カメラ角度モータ駆動装置８９はカメラ角度モータ８７を駆動する装置であり、撮像方向変更部としての撮像制御演算部５２が出力する指示によりカメラ角度モータ駆動装置８９はカメラ角度モータ８７を回転又は停止する。そして、基板２に垂直な方向に対して撮像装置２４が撮像する方向を変更可能になっているので、撮像装置２４はＹＺ平面内の所望の方向から基板２を撮像することが可能になっている。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、撮像装置２４がカラーインク５を撮像する撮像方向を撮像制御演算部５２が変更している。カラーインク５の斜面の形状が変わるとき、反射光５９の進行方向が変わる。この検査装置８５では、カラーインク５の形状を識別演算部５３が認識し易い画像にするために、カラーインク５に対して撮像する撮像方向を撮像制御演算部５２が変更することができる。従って、カラーインク５の輪郭形状を識別し易くすることができる。

（第４の実施形態）
次に、検査装置の一実施形態について図１３を用いて説明する。図１３は、検査装置の構成を示す模式平面図である。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、基板２に平行な面上の４方向から照射光５８を照射する点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。

すなわち、本実施形態では、図１３に示すように、検査装置９２は基台９を備え、基台９上にはＹ固定テーブル１０、Ｙステージ１２、Ｘステージ１５等のステージが配置されている。そして、Ｘステージ１５の載置面１７にはカラーインク５が塗布された基板２が載置されている。Ｙ固定テーブル１０のＹ方向には支持台２７に支持された照明装置２８が配置され、Ｙ固定テーブル１０のＹ方向の逆側には支持台９３に支持された照明装置９４が配置されている。さらに、Ｙ固定テーブル１０のＸ方向には支持台９５に支持された照明装置９６が配置され、Ｘステージ１５のＸ方向の逆側には支持台９７に支持された照明装置９８が配置されている。これらの照明装置２８，９４，９６，９８等により照明部が構成されている。

この支持台９３，９５，９７は支持台２７と同様な支持台であり、照明装置９４，９６，９８は照明装置２８と同様な照明装置となっている。従って、基板２には４方向から平行光の照射光５８が照射可能になっている。そして、Ｙ方向の逆方向に配置されているＺステージ２１には支持部９９がＹ方向に張出して配置され、支持部９９のＹ方向には撮像装置２４が配置されている。そして、撮像装置２４は基板２と対向する場所に位置するので、４方向から照射される基板２を基板２と垂直な方向から撮像可能になっている。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、照明装置２８，９４，９６，９８により、４方向から基板２上に形成されたカラーインク５に照射光５８が照射され、カラーインク５における反射光５９が撮像装置２４に撮像される。従って、照明装置２８が１方向からカラーインク５に照射光５８を照射するときに比べて、画像の明部が多く撮像される。この明部はカラーインク５の形状に応じて撮像されるので、カラーインク５の特徴を含む明部を多く含む画像を撮像装置２４が撮像することができる。従って、識別演算部５３がカラーインク５の輪郭形状を識別し易くすることができる。

（第５の実施形態）
次に、検査装置の一実施形態について図１４〜図１６を用いて説明する。図１４は、検査装置の構成を示す模式側面図である。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、カラーインクが混じるときの色の変化を観測して検査する点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。

すなわち、本実施形態では、図１４に示すように、検査装置１０２は基台９を備え、基台９上にはＹ固定テーブル１０、Ｙステージ１２、Ｘステージ１５等のステージが配置されている。そして、Ｘステージ１５上には中空の載置台１０３が配置され、載置台１０３の内部には白色光を発光する冷陰極管１０４と冷陰極管１０４が発光する光１０５をＺ方向に反射する反射ミラー１０６が配置されている。反射ミラー１０６は凹面鏡になっており、冷陰極管１０４が発光する光１０５はＺ方向に進行するようになっている。

冷陰極管１０４のＺ方向には拡散板１０７及びガラス板１０８が配置され、ガラス板１０８の上にはカラーインク５が塗布された基板２が載置されている。冷陰極管１０４が発光する光１０５及び反射ミラー１０６に反射した光１０５は拡散板１０７により拡散され、ガラス板１０８を通過して基板２を照射する。そして、基板２を照射する光は基板２に塗布されたカラーインク５を通過し、波長が限定されて着色した光１０５となる。そして、基板２を通過した光１０５は撮像レンズ２６を通過して撮像装置２４に撮像される。撮像装置２４が撮像する画像は図１に示すようにカラー素子領域３にカラーインク５が塗布された画像となっている。

検査装置１０２は制御装置１０９を備え、制御装置１０９はメインコンピュータ１１０、画像処理装置１１１、倍率切換装置２５、照明駆動装置１１２、ステージ駆動装置１１３、入力装置４３、表示装置４４等を備えている。画像処理装置１１１、倍率切換装置２５、照明駆動装置１１２、ステージ駆動装置１１３、入力装置４３、表示装置４４はインターフェースを通してメインコンピュータ１１０と接続され、メインコンピュータ１１０に入出力する装置となっている。画像処理装置１１１は撮像装置２４が撮像する画像信号を処理して、画像を構成する色を分析する装置である。照明駆動装置１１２は冷陰極管１０４の点灯及び消灯の制御と輝度の制御を行う装置である。ステージ駆動装置１１３はＹ軸モータ１３及びＸ軸モータ１６を駆動してＹステージ１２及びＸステージ１５の位置を制御する装置である。メインコンピュータ１１０はステージ駆動装置１１３の移動と停止の指示を出した後、撮像装置２４が撮像することにより、基板２の所望の場所における画像を撮像することが可能になっている。

他に、撮像装置２４が鮮明な画像を撮像するための図示しないオートフォーカス装置や、基板２に斜めから照射光５８を照射する照明装置２８が配置されている。メインコンピュータ１１０は不良検出演算部５４を備え、不良検出演算部５４が画像処理装置１１１に撮像の指示や、撮像した画像を解析する指示を出す。そして、画像処理装置１１１の出力信号を基に不良検出演算部５４が不良を検出する。

次に、上述した検査装置１０２を使って、カラーインク５の塗布状態を検査する検査方法について図１５〜図１６にて説明する。図１５は、塗布状態を検査する製造工程を示すフローチャートである。図１６は、検査装置を使った塗布状態の検査方法を説明する図である。

図１５において、ステップＳ１〜ステップＳ３は第１の実施形態と同じ工程である。検査装置の載置面に基板を配置し、検査する場所を撮像レンズと対向する場所に移動する。そして、基板の検査する場所を撮像する工程である。ステップＳ３の次にステップＳ１１に移行する。ステップＳ１１は、ＲＧＢ画像取込工程に相当する工程であり、撮像装置が出力する赤青緑の各色の映像信号を画像処理装置が取り込む工程である。次にステップＳ１２に移行する。ステップＳ１２は、光度演算工程に相当し、カラー画像の映像信号から赤緑青色の各色の光度を演算する工程である。次にステップＳ１３に移行する。ステップＳ１３は、波長演算工程に相当し、カラーの画像信号から画像の各場所における波長を解析する工程である。次にステップＳ１４に移行する。ステップＳ１４は、波長分布演算工程に相当し、光の波長に対する画像の光度の分布を演算する工程である。次にステップＳ１５に移行する。ステップＳ１５は、不良検出工程に相当し、正常の分布とは異なる分布を検出する工程である。ステップＳ１５の次にステップＳ６〜ステップＳ９に移行する。ステップＳ６〜ステップＳ９は第１の実施形態と同じ工程であり説明を省略する。以上の工程により、塗布状態を検査する製造工程を終了する。

次に、図１６を用いて、図１５に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。尚、ステップＳ１〜ステップＳ３、ステップＳ６〜ステップＳ９は第１の実施形態と略同じ工程であり、説明を省略する。図１６（ａ）はステップＳ１１及びステップＳ１２に対応する図であり、撮像装置が出力する映像信号のタイムチャートの例を示している。図１６において、横軸は時間１１４の経過を示している。縦軸は電圧１１５を示し、上が下より高い電圧となっている。そして、赤映像信号１１６、青映像信号１１７、緑映像信号１１８は赤青緑色の各色の映像信号を示している。撮像装置２４はマトリクス状に配置された撮像素子を備え、各撮像素子は照射される光度に比例した電圧１１５を出力する。その撮像素子には赤青緑の３色のカラーフィルタが配置されており、赤映像信号１１６は赤色フィルタを通った光の撮像素子の出力信号である。そして、青映像信号１１７、緑映像信号１１８はそれぞれ青色フィルタ、緑色フィルタを通った光の撮像素子の出力信号である。

そして、時間１１４軸において区間１１９ａでは撮像装置２４が図１に示す赤色素子領域３ａを撮像し、区間１１９ｂでは撮像装置２４が青色素子領域３ｂを撮像するときの例を示している。同じく、区間１１９ｃでは撮像装置２４が緑色素子領域３ｃを撮像するときの例を示している。区間１１９ａでは撮像装置２４が赤色カラーインク５ａを撮像するので、赤映像信号１１６の電圧が高く出力され、青映像信号１１７及び緑映像信号１１８の電圧が低く出力される。区間１１９ｂでは撮像装置２４が青色カラーインク５ｂを撮像するので、青映像信号１１７の電圧が高く出力され、赤映像信号１１６及び緑映像信号１１８の電圧が低く出力される。同様に、区間１１９ｃでは撮像装置２４が緑色カラーインク５ｃを撮像するので、緑映像信号１１８の電圧が高く出力され、赤映像信号１１６及び青映像信号１１７の電圧が低く出力される。

ステップＳ１１では撮像装置２４が出力する赤映像信号１１６、青映像信号１１７、緑映像信号１１８を画像処理装置１１１が取り込む。そして、ステップＳ１２では、時間１１４軸上の各区間における赤映像信号１１６、青映像信号１１７、緑映像信号１１８の電圧１１５から赤青緑色の各色における光度を演算する。このとき、電圧と光度との対応表を予め作成しておき、この対応表にもとづいて光度を算出する。ステップＳ１３において、赤青緑の各色における光度の割合より波長を演算する。各色の光度の割合と波長との関係については、撮像装置２４の特性により異なるので、予め予備実験により各色の光度の割合と波長との対応表を作成しておく必要がある。

図１６（ｂ）はステップＳ１３に対応する図であり、複数のカラー素子領域３を１回で撮像した画像における、波長に対する光度の分布を示している。図１６（ｂ）において横軸は波長１２０を示し、右側が左側より長くなっている。そして、縦軸は光度１２１を示し、上側が下側より強くなっている。カラーフィルタ１には赤青緑色のカラーインク５が塗布されているので、主に赤色カラーインク５ａによる赤色波長分布１２２ａ、青色カラーインク５ｂによる青色波長分布１２２ｂ、緑色カラーインク５ｃによる緑色波長分布１２２ｃの分布が形成される。そして、この３つの波長分布はカラーインク５が正常に塗布されるときの分布である。これ以外に、例えば、赤色カラーインク５ａと緑色カラーインク５ｃが混じった場合には、赤緑色波長分布１２２ｄが配置される。これら赤色波長分布１２２ａ、青色波長分布１２２ｂ、緑色波長分布１２２ｃ等の分布を波長分布１２２とする。

赤色波長分布１２２ａが占める波長１２０の区間を赤色区間１２３ａとする。そして、青色波長分布１２２ｂ、緑色波長分布１２２ｃが占める波長１２０の区間をそれぞれ青色区間１２３ｂ、緑色区間１２３ｃとする。そして、ステップＳ１４では、波長分布１２２の中で、赤色区間１２３ａ、青色区間１２３ｂ、緑色区間１２３ｃの分布を除く演算を行う。図１６（ｃ）はステップＳ１４及びステップＳ１５に対応する図であり、縦軸と横軸は図１６（ｂ）と同じである。図１６（ｃ）に示すように、ステップＳ１４の演算の結果、波長分布１２２は赤緑色波長分布１２２ｄだけとなる。他にも青色カラーインク５ｂと緑色カラーインク５ｃとが混色する場合や、赤色カラーインク５ａと青色カラーインク５ｂとが混色する場合にも波長分布１２２が得られる。一方、異なる色のカラーインク５が混色しないとき、波長分布１２２が得られない。ステップＳ１５では、波長分布１２２が得られないときを正常とし、波長分布１２２が得られるとき不良と判断する。

そして、波長分布１２２が得られるとき、画像処理装置１１１は撮像した画像から波長分布１２２が生じた場所を検索する。例えば、赤緑色波長分布１２２ｄがあるとき、赤の光度と緑の光度とが強い場所を検索して、撮像した画像上の場所を特定し、特定した場所を不良場所とし、ステップＳ６に移行する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、冷陰極管１０４が発光する光１０５が複数のカラー素子領域３を照射して、撮像装置２４が複数のカラーインク５を撮像する。そして、不良検出演算部５４及び画像処理装置１１１はカラー画像内に配置される複数のカラーインク５の波長１２０に対する波長分布１２２を演算し、波長分布１２２と良否判定するための波長範囲とを比較して、不良のカラーインク５を検出している。従って、１度の撮像で複数のカラーインク５の中に予め設定された色以外色を有する不良のカラーインク５があるとき、この不良のカラーインク５を検出することができる。従って、生産性良くカラーインク５の色を検査することができる。

（第６の実施形態）
次に、検査装置を搭載した液滴吐出装置の一実施形態について図１７〜図２０を用いて説明する。図１７は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、検査装置が液滴吐出装置に組み込まれている点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。

（液滴吐出装置）
液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。すなわち、本実施形態では、図１７に示すように、液滴吐出装置１２６は、直方体形状に形成された基台１２７を備えている。この基台１２７の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。

基台１２７の上面１２７ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１２８ａ，１２８ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台１２７の上側には、一対の案内レール１２８ａ，１２８ｂに対応する図示しない直動機構を備えたステージ１２９が取付けられている。そのステージ１２９の直動機構は、例えば、案内レール１２８ａ，１２８ｂに沿ってＹ方向に延びるリニアモータを備えた直動機構である。そして、この直動機構に所定のステップ数に相対する駆動信号がリニアモータに入力されると、リニアモータが前進又は後退して、ステージ１２９が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は復動する。この動作によりステージ１２９がＹ方向に走査するようになっている。

そのステージ１２９の上面には、載置面１３０が形成され、その載置面１３０には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面１３０に基板２を載置すると、基板チャック機構によって、その基板２が載置面１３０の所定の位置に位置決め固定されるようになっている。そして、この基板２は第１の実施形態と同様にバンク４が格子状に形成されている。

基台１２７のＸ方向両側には、一対の支持台１３１ａ，１３１ｂが立設され、その一対の支持台１３１ａ，１３１ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材１３２が架設されている。案内部材１３２の上側には、吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク１３３が配設されている。

一方、その案内部材１３２の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１３４がＸ方向全幅にわたり凸設されている。そして、案内レール１３４に沿って略直方体形状に形成されたテーブルとしてのキャリッジ１３５が配置されている。キャリッジ１３５はステージ１２９の直動機構と同様な機構を備え、Ｘ方向に走査可能となっている。そして、キャリッジ１３５の下面には、液滴吐出ヘッド１３６が凸設されている。ステージ１２９が基板２をＹ方向に走査して、キャリッジ１３５が液滴吐出ヘッド１３６をＸ方向に走査する。そして、液滴吐出ヘッド１３６は基板２上の所望の場所に液状体を吐出して塗布することが可能になっている。

案内部材１３２のＹ方向と逆方向には、案内部材１３２と平行にカメラ支持部材１３７が配置され、カメラ支持部材１３７には撮像装置２４が等間隔に６台配置されている。撮像装置２４は第１の実施形態と略同じ光学系を備え、基板２を撮像可能になっている。そして、撮像するときの倍率を切り換えることと、焦点合わせを自動的に行えるようになっている。

ステージ１２９が走査するＹ方向において、液滴吐出ヘッド１３６と撮像装置２４とが近い場所に配置されている。そして、液滴吐出ヘッド１３６から吐出した液滴が着弾する場所を撮像装置２４が撮像するとき、ステージ１２９を短い距離移動して撮像することが可能になっている。

基台１２７に対して、Ｘ方向と逆方向の側面であってキャリッジ１３５の移動範囲と対向する場所には、保守装置１３８が配置され、保守装置１３８には液滴吐出ヘッド１３６をクリーニングする機構が配置されている。

一対の支持台１３１ａ，１３１ｂに対してＹ方向と逆方向であって、基台１２７のＸ方向両側には照明支持台１３９ａ，１３９ｂが立設され、その一対の照明支持台１３９ａ，１３９ｂには、Ｘ方向に延びる照明装置２８が架設されている。この照明装置２８は第１の実施形態と同様に平行光を基板２に照射し、基板２と垂直な面上で基板２に対して斜めに照射することが可能になっている。

図１８（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図である。図１８（ａ）に示すように、１つのキャリッジ１３５には、３個の液滴吐出ヘッド１３６が略Ｙ方向において等間隔に配列して配置されている。３個の液滴吐出ヘッド１３６は赤色、青色、緑色の機能液が供給されている。そして、この各色の機能液としてのカラーインク５を吐出する液滴吐出ヘッド１３６はそれぞれＸ方向に千鳥状に配列して配置されている。

そして、液滴吐出ヘッド１３６の表面にはノズルプレート１４０が配置され、ノズルプレート１４０にはノズル１４１が複数形成されている。ノズル１４１の数は、吐出するパターンと基板２の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート１４０にはノズル１４１の配列が１列形成され、各列には１５個のノズル１４１が配置されている。

図１８（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図１８（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１３６は、ノズルプレート１４０を備え、ノズルプレート１４０には、ノズル１４１が形成されている。ノズルプレート１４０の上側であって、ノズル１４１と対向する位置には、ノズル１４１と連通する圧力室としてのキャビティ１４２が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド１３６のキャビティ１４２には、図示しない供給装置に貯留されている液状体としてのカラーインク５が図示しない流路を介して供給される。

キャビティ１４２の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ１４２内の容積を拡大縮小する振動板１４３と、上下方向に伸縮して振動板１４３を振動させる駆動部としての圧電素子１４４が配設されている。そして、液滴吐出ヘッド１３６が圧電素子１４４を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子１４４が伸張して、振動板１４３がキャビティ１４２内の容積を拡大縮小してキャビティ１４２を加圧する。その結果、液滴吐出ヘッド１３６のノズル１４１からは、縮小した容積分のカラーインク５が液滴１４５として吐出される。この液滴吐出ヘッド１３６において、ノズル１４１、キャビティ１４２、振動板１４３、圧電素子１４４等により液滴吐出素子１４６が構成され、１つの液滴吐出ヘッド１３６には複数の液滴吐出素子１４６が配列して形成されている。

図１９は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図１９において、液滴吐出装置１２６の制御装置１４９はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）１５０と各種情報を記憶する記憶部としてのメモリ１５１とを有する。

主走査駆動装置１５２、副走査駆動装置１５３、液滴吐出ヘッド１３６を駆動するヘッド駆動回路１５４は、入出力インターフェース１５５及びデータバス１５６を介してＣＰＵ１５０に接続されている。さらに、撮像装置２４、倍率切換装置２５、オートフォーカス装置１６６、照明装置２８も入出力インターフェース１５５及びデータバス１５６を介してＣＰＵ１５０に接続されている。さらに、入力装置１５７、表示装置１５８、保守装置１３８も入出力インターフェース１５５及びデータバス１５６を介してＣＰＵ１５０に接続されている。

主走査駆動装置１５２はステージ１２９の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置１５３はキャリッジ１３５の移動を制御する装置である。主走査駆動装置１５２がステージ１２９の移動を制御し、副走査駆動装置１５３がキャリッジ１３５の移動を制御することにより、液滴吐出ヘッド１３６を基板２に対して所望の位置に移動及び停止することが可能となっている。

ヘッド駆動回路１５４は液滴吐出ヘッド１３６を駆動する回路である。そして、ＣＰＵ１５０が指示する駆動電圧、吐出数、吐出間隔等の吐出条件に従って、ヘッド駆動回路１５４は液滴吐出ヘッド１３６を駆動する。撮像装置２４、倍率切換装置２５、照明装置２８は第１の実施形態の場合と略同じ機能を備えた装置であり、説明を省略する。オートフォーカス装置１６６は第１の実施形態の場合と略同じ機能を備えている。つまり、撮像装置２４は対物レンズを備え、オートフォーカス装置１６６は対物レンズを移動する機構を備えている。そして、撮像装置２４がカラーインク５を撮像するとき、撮像装置２４の焦点をカラーインク５に合わせて、鮮明な画像を撮像することが可能となっている。

入力装置１５７は液滴１４５を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板２に液滴１４５を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。表示装置１５８は加工条件や作業状況を表示する装置であり、表示装置１５８に表示される情報を基に、操作者は入力装置１５７を用いて操作を行う。保守装置１３８は液滴吐出ヘッド１３６を保守する装置であり、キャビティ１４２内のカラーインク５を吸引したり、ノズルプレート１４０の拭取を行う装置である。

メモリ１５１は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１２６における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト１５９を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板２内における吐出位置の座標データである吐出位置データ１６０を記憶するための記憶領域も設定される。さらに、吐出するカラーインク５の量に対応する駆動信号データ１６１を記憶するための記憶領域も設定される。

さらに、第１の実施形態と同様に検査位置データ４６、撮像データ４７、撮像比較データ４８、特徴量データ４９、良否判定値データ５０の記憶領域や、ＣＰＵ１５０のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。

ＣＰＵ１５０はメモリ１５１内に記憶されたプログラムソフト１５９に従って、基板２における表面の所定位置にカラーインク５を液滴１４５にして吐出するための制御や液滴吐出ヘッド１３６を保守するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、液滴吐出ヘッド１３６において液滴１４５を吐出するための演算を行う吐出演算部１６２等を有する。吐出演算部１６２を詳しく分割すれば、吐出演算部１６２は基板２を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部１６３を有する。加えて、吐出演算部１６２は液滴吐出ヘッド１３６を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査移動量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部１６４を有する。さらに、吐出演算部１６２は液滴吐出ヘッド１３６内に複数あるノズルの内、どのノズルを作動させてカラーインク５を吐出するかを制御するための演算を行う吐出制御演算部１６５等といった各種の機能演算部を有する。吐出演算部１６２の他にも、第１の実施形態と同様に撮像制御演算部５２、識別演算部５３、不良検出演算部５４、倍率制御演算部５５の演算部を備えている。

（液滴吐出ヘッドの清掃及び吐出方法）
次に、上述した液滴吐出装置１２６を用いて、液滴吐出ヘッド１３６から基板２にカラーインク５を塗布し、塗布状況を検査する製造方法について図２０にて説明する。図２０は、基板にカラーインクを塗布し、塗布状況を検査する製造工程を示すフローチャートである。

ステップＳ２１は基板配置工程に相当する。この工程は、載置面１３０に基板２を載置した後、吸引チャックを用いて基板２を載置面１３０に固定する工程である。次にステップＳ２２に移行する。ステップＳ２２は、移動工程に相当し、ステージ１２９及びキャリッジ１３５を駆動して、基板２のカラーインク５を塗布する予定の場所を液滴吐出ヘッド１３６と対向する場所に移動する工程である。尚、撮像のみ行う場合には、撮像する予定の場所を撮像装置２４と対向する場所に移動する工程である。次にステップＳ２３及びステップＳ２４に移行する。ステップＳ２３は、撮像工程に相当し、撮像装置２４が基板２を撮像する工程である。次にステップＳ２５に移行する。ステップＳ２４は、吐出工程に相当し、基板２に液滴１４５を吐出して塗布する工程である。次にステップＳ２５に移行する。

このステップＳ２３とステップＳ２４とは並行して行われる。つまり、ステップＳ２２において、ステージ１２９がＹ方向に往復移動する。そして、カラーインク５を塗布する予定の場所が液滴吐出ヘッド１３６と対向する場所にくるとき、液滴吐出ヘッド１３６から基板２に液滴１４５を吐出する。同様に、撮像装置２４は撮像する予定の場所が撮像装置２４と対向する場所にくるとき、撮像装置２４は基板２を撮像する。従って、液滴吐出ヘッド１３６が液滴１４５を吐出する工程と撮像装置２４が撮像する工程とは各々並行して行われる。

ステップＳ２５は、吐出終了判断工程に相当する。カラーインク５を塗布する予定の場所総てに塗布したかの判断と、塗布した後の画像を総て撮像したかの判断とを行う工程である。予定した総ての領域に塗布して、その後、撮像したとき、ステップＳ２６に移行する。予定した総ての領域の中に塗布していない場所があるとき、又は、塗布した後の画像を撮像していない場所があるとき、ステップＳ２２に移行する。

ステップＳ２６は、特徴量抽出工程に相当し、撮像した画像から特徴となる部分を演算し、特徴量を抽出する工程である。この工程では、ステップＳ２３において撮像した総ての画像に対して特徴量を抽出する。次にステップＳ２７に移行する。ステップＳ２７は、不良検出工程に相当し、算出した特徴量と良否判定値データとを比較して、正常か不良かを判断する工程である。この工程では、ステップＳ２６で算出した総ての特徴量に対して判断を行う。次にステップＳ２８に移行する。ステップＳ２８は、不良記憶工程に相当し、不良と判断されたカラー素子領域の場所を記憶する工程である。次にステップＳ２９に移行する。

ステップＳ２９は、不良確認工程に相当し、不良と判断された場所を撮像レンズと対向する場所に移動し、倍率の高い画像を撮像し、不良場所を確認する工程である。次にステップＳ３０に移行する。ステップＳ３０は、基板除去工程に相当し、載置面から基板を除去する工程である。以上の工程により基板にカラーインクを塗布し、塗布状態を検査する製造工程を終了する。

以上の工程において、ステップＳ２３は第１の実施形態におけるステップＳ３と略同じステップであり、ステップＳ２６はステップＳ４と略同じステップである。同様に、ステップＳ２７はステップＳ５と略同じステップであり、ステップＳ２８はステップＳ６と略同じステップである。さらに、ステップＳ２９はステップＳ８と略同じステップである。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、液滴吐出装置１２６は基板２にカラーインク５を吐出する機能と、吐出したカラーインク５の輪郭形状を識別して検査する機能とを有している。従って、カラーインク５が吐出された基板２を、同じ液滴吐出装置１２６において検査することができる為、カラーインク５を吐出してから吐出されたカラーインク５の輪郭形状を検査するまでの時間を短くすることができる。そして、操作者が検査結果を用いて、吐出条件を反映することにより、この液滴吐出装置１２６は基板２に塗布されるカラーインク５における不良の発生を低減することができる。その結果、品質よくカラーインク５を吐出することができる。

（２）本実施形態によれば、カラーインク５の吐出を行うステップＳ２４と、カラーインク５が塗布された基板２を撮像するステップＳ２３とが並行して行われる。従って、基板２上に塗布する予定の総ての場所にカラーインク５を吐出した後、カラーインク５の撮像を行う場合に比べて、短い時間でカラーインク５の吐出と、カラーインク５が塗布された基板２の撮像とを行うことができる。その結果、生産性良く、カラーインク５の吐出と、カラーインク５が塗布された基板２の撮像とを行うことができる。

（３）本実施形態によれば、ステージ１２９が移動するＹ方向において、液滴吐出ヘッド１３６と撮像装置２４とが近い場所に配置されている。従って、液滴吐出ヘッド１３６が吐出したカラーインク５を、撮像装置２４が撮像する場所に移動するのに短時間で移動することができる。そして、カラーインク５を塗布するためにステージ１２９を走査する時間に、撮像のためにステージ１２９を移動する時間が追加される。この撮像のために追加されるステージ１２９の移動時間を短くすることができる。その結果、生産性良く、カラーインク５の吐出と、カラーインク５が塗布された基板２の撮像とを行うことができる。

尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態では、図７に示すように、撮像した画像から正常な塗布状態の画像を引き算して、差分画像を算出した後、明部の塊の面積６１が判定値６４より広い場所を不良とした。これによらず、他の特徴量を採用しても良い。図２１は特徴量の１例を説明する図である。例えば、図２１（ａ）は、図７（ａ）に示す画像と同じ画像を示している。このとき、隣り合うインク斜面５ｇの距離である明部間距離１６８を演算して特徴量とする。図２１（ｂ）は、図７（ｂ）に示す画像と同じ画像を示している。そして、インク連結部５ｈが形成されているので、インク斜面５ｇに加えて連結部インク斜面５ｉが形成されている。このとき、連結部インク斜面５ｉが形成されていないときに比べて、明部間距離１６８は短く算出される。

図２１（ｃ）は撮像した画像における明部間距離１６８の分布を示している。図２１（ｃ）において、横軸は明部間距離１６８を示し、右側が左側より明部間距離１６８が長くなっている。縦軸は明部間距離１６８におけるインク斜面５ｇ及び連結部インク斜面５ｉで明部間距離１６８を測定した場所の個数６２を示し、上側が下側より個数が多くなっている。そして、１つの画像内で各明部間距離１６８に対して各明部間距離１６８を測定した場所の数の１例を距離分布曲線１６９が示している。そして、距離分布曲線１６９は明部間距離１６８が長い分布である長距離分布１６９ａと明部間距離１６８が短い分布である短距離分布１６９ｂとが形成される。

長距離分布１６９ａはインク斜面５ｇ間の明部間距離１６８の分布であり、短距離分布１６９ｂはインク斜面５ｇと連結部インク斜面５ｉとの明部間距離１６８の分布である。そして、長距離分布１６９ａは正常にカラーインク５が塗布されている状態における分布であり、短距離分布１６９ｂは異常と判断する分布である。予め予備実験により短距離分布１６９ｂの分布を調査して不良判定範囲１７０及び不良判定値１７１を設定しておく。そして、不良検出工程では、不良判定値１７１と明部間距離１６８とを比較することにより、正常か不良かを判断する。明部間距離１６８を特徴量として用いる方法では、画像と画像とを引いて差分画像を演算しないので、演算に用いるメモリが少ない場合にもＣＰＵ３２は演算することができる。

（変形例２）
前記第１の実施形態において、カラーフィルタ１は同じ色のカラー素子領域３が直線状に配列するストライプ状のフィルタであるが、カラー素子領域３の配列はデルタ配置、モザイク配置等の配列にも採用することができる。

（変形例３）
前記第１の実施形態において、カラーフィルタ１は３色のカラー素子領域３が配置されているが、３色に限らず、２色もしくは４色以上の色の場合にも適用することができる。

（変形例４）
前記第１の実施形態では、ＣＰＵ３２のメモリ３３内に動作手順に沿ったプログラムソフト４５を記憶し、プログラムにより検査装置８の制御を行ったが、これに限らず、電気回路にて構成される制御装置にて制御しても良い。周辺機器が手順通りに制御されれば良い。この内容は前記第２の実施形態〜前記第６の実施形態においても同様に適応することができる。

（変形例５）
前記第１の実施形態において、検査装置８は塗布されたカラーインク５の形状を検査したが、これによらず、各種の機能液の検査を行うことができる。例えば、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置の発光材料を含んだ溶液、配線を形成するために導通材料を含んだ溶液、凸レンズを形成するためにレンズ材料を含んだ溶液等の溶液を塗布した後、塗布状態を検査するときに検査装置８を用いることができる。この内容は前記第２の実施形態〜前記第６の実施形態においても同様に適応することができる。

（変形例６）
前記第３の実施形態において、撮像装置２４はカメラ角度モータ８７の回転軸を中心にてＹＺ平面の角度を変更したが、ＺＸ平面の角度を変更可能にしても良い。つまり、回転軸がＹ方向となるモータを支持部８６に配置して、撮像装置２４がモータの回転軸と連動してＺＸ平面の角度を変更できるようにしても良い。カラーインク５の形状に合わせて撮像し易い角度に調整し易くすることができる。

（変形例７）
前記第４の実施形態において、照明装置２８，９４，９６，９８により基板２は４方向から照射されたが、４方向に限らず、２〜３方向、５方向以上でも良い。さらに、曲った発光管を用いて多方向から照射しても良く、リング状の発光管を用いて総ての方向から照射しても良い。カラーインク５の形状に合わせて撮像し易い方向から照射することができる。

（変形例８）
前記第５の実施形態では、１回で撮像した画像毎に図１６（ｂ）に示す波長分布１２２を演算したが、カラーインク５を撮像するときの明部毎に波長を演算しても良い。異なる色のカラーインク５が混じった場所があるとき、画像から明部の位置情報が演算し易いので、色が混じった場所のデータを容易に算出することができる。

（変形例９）
前記第５の実施形態では、図１６（ｂ）に示すように、波長分布１２２を演算したが、色温度の分布を演算してもよい。色を識別し易く、演算し易い方法を選択しても良い。生産性良く識別演算を行うことができる。

（変形例１０）
前記第６の実施形態では、図１７に示すように、照射方向を固定しているが、第２の実施形態に示すような照射角度を変更する機構を備えても良い。カラーインク５の形状に合わせて撮像し易い方向から照射することができる。

（変形例１１）
前記第６の実施形態では、図１７に示すように、撮像方向を固定しているが、第３の実施形態に示すような撮像方向を変更する機構を備えても良い。カラーインク５の形状に合わせて撮像し易い角度に調整し易くすることができる。

（変形例１２）
前記第６の実施形態では、図１７に示すように、照射方向を固定しているが、第２の実施形態に示すような照射方向を変更する機構を備えても良い。カラーインク５の形状に合わせて照射する角度を調整して、インク斜面５ｇ及び連結部インク斜面５ｉを撮像し易くすることができる。

（変形例１３）
前記第６の実施形態では、図１７に示すように、１方向から照射しているが、第４の実施形態に示すように複数の方向から照射しても良い。カラーインク５の形状に合わせて撮像し易い方向から照射することができる。

（変形例１４）
前記第６の実施形態では、ステップＳ２３の撮像工程とステップＳ２４の吐出工程とを並行して実施したが、さらにステップＳ２６の特徴量抽出工程も並行して行っても良い。つまり、ステップＳ２４を行っている間に、ステップＳ２３とステップＳ２６とを行っても良い。ステップＳ２３及びステップＳ２６の演算時間をステップＳ２４にかかる時間に比べて短い時間に演算することが可能なときには、ステップＳ２３とステップＳ２６とを続けて行っても良い。さらに、ＣＰＵ１５０が短い時間で演算が可能なときには、ステップＳ２７、ステップＳ２８も並行して行っても良い。さらに生産性良く検査を行うことができる。

（変形例１５）
前記第６の実施形態では、撮像装置２４がＸ方向に配列して配置されたが、撮像装置２４がＸ方向に移動可能に配置しても良い。すなわち、カメラ支持部材１３７上にＸ方向に移動するテーブルとテーブルを駆動する駆動装置を配置する。そして、そのテーブルに撮像装置２４を配置することにより、撮像装置２４がＸ方向に移動可能に配置する。このとき、基板２のＸ方向が長さが長くなる場合にも撮像装置２４の台数が少なくても良い為、簡便な構成でＸ方向に長い基板２を検査することができる。

（変形例１６）
前記第６の実施形態において、キャビティ１４２を加圧する加圧手段に、圧電素子１４４を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板１４３を変形させて、加圧しても良い。他に、キャビティ１４２内にヒータ配線を配置して、ヒータ配線を加熱することにより、カラーインク５を気化させたり、カラーインク５に含む気体を膨張させたりして加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板１４３を変形させて、加圧しても良い。

（変形例１７）
前記第６の実施形態において、液滴吐出装置１２６は第１の実施形態に記載の検査方法と略同じ方法で塗布されたカラーインク５の塗布状態を検査しているが、第５の実施形態に記載の検査方法と略同じ方法で塗布されたカラーインク５の塗布状態を検査しても良い。この方法でも、同様に塗布状態を生産性良く検査することができる。

第１の実施形態にかかわり、（ａ）は、カラーフィルタを示す模式平面図、（ｂ）は、カラーフィルタを示す模式断面図。 （ａ）及び（ｃ）はカラーフィルタを示す要部模式平面図、（ｂ）及び（ｄ）はカラーフィルタを示す要部模式断面図。 検査装置の構成を示す概略斜視図。 検査装置の電気制御ブロック図。 塗布状態を検査する製造工程を示すフローチャート。 検査装置を使った塗布状態の検査方法を説明する図。 検査装置を使った塗布状態の検査方法を説明する図。 検査装置を使った塗布状態の検査方法を説明する図。 第２の実施形態にかかわる検査装置の構成を示す概略斜視図。 検査装置の電気制御ブロック図。 第３の実施形態にかかわる検査装置の構成を示す概略斜視図。 検査装置の電気制御ブロック図。 第４の実施形態にかかわる検査装置の構成を示す模式平面図。 第５の実施形態にかかわる検査装置の構成を示す模式側面図。 塗布状態を検査する製造工程を示すフローチャート。 検査装置を使った塗布状態の検査方法を説明する図。 第６の実施形態にかかわる液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。 （ａ）は、キャリッジを示す模式平面図、（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。 液滴吐出装置の電気制御ブロック図。 基板にカラーインクを塗布し、塗布状況を検査する製造工程を示すフローチャート。 変形例１にかかわる特徴量の１例を説明する図。

符号の説明

１…カラーフィルタ、２…基板、２ａ…突状体形成面としての上面、５…突状体及び液状体としてのカラーインク、５ｈ…異常体としてのインク連結部、８…検査装置、１２…ステージとしてのＹステージ、１５…ステージとしてのＸステージ、２４…撮像部としての撮像装置、２５…倍率変更部としての倍率切換装置、２８，９４，９６，９８…照射部としての照明装置、３３，１５１…記憶部としてのメモリ、５１…ステージ制御部としてのステージ制御演算部、５２…撮像方向変更部としての撮像制御演算部、５３…識別部としての識別演算部、５４…不良検出部としての不良検出演算部、７１…照射方向変更部としての照明用Ｚステージ、７２…照射方向変更部としての照明用Ｚ軸モータ、７４…照射方向変更部としての方位変更モータ、７９…照射方向変更部としての方位モータ駆動装置、８０…照射方向変更部としての俯角モータ駆動装置、８１…照射方向変更部としての照明角度制御演算部、８６…撮像方向変更部としての支持部、８７…撮像方向変更部としてのカメラ角度モータ、８９…撮像方向変更部としてのカメラ角度モータ駆動装置、１３６…液滴吐出ヘッド、１４１…ノズル。

Claims (19)

1. 基板の突状体形成面に形成された突状体の輪郭形状を検査する検査装置であって、
   前記突状体形成面と垂直な方向に対して斜めの方向から前記基板に光を照射する照射部と、
   前記突状体形成面と略垂直な方向から前記突状体を撮像する撮像部と、
   前記撮像部により撮像された画像を用いて、前記画像の明部と暗部の形状から前記突状体の前記輪郭形状を識別する識別部と、を有することを特徴とする検査装置。
2. 請求項１に記載の検査装置であって、
   前記斜めの方向は前記突状体形成面と垂直な方向との成す角度が４５度以上であることを特徴とする検査装置。
3. 請求項２に記載の検査装置であって、
   前記突状体は前記基板上に複数配置され、前記照射部は複数の前記突状体に略平行な光を照射することを特徴とする検査装置。
4. 請求項３に記載の検査装置であって、
   前記照射部は複数の前記突状体に対して同時に照射し、前記撮像部は複数の前記突状体を同時に撮像することを特徴とする検査装置。
5. 請求項４に記載の検査装置であって、
   前記照射部が光を照射する光の照射方向を変更させる照射方向変更部を備えることを特徴とする検査装置。
6. 請求項４に記載の検査装置であって、
   前記撮像部が撮像する撮像方向を変更させる撮像方向変更部を備えることを特徴とする検査装置。
7. 請求項４に記載の検査装置であって、
   前記照射部は前記基板上の前記突状体形成面と平行な方向において前記突状体に複数の方向から光を照射することを特徴とする検査装置。
8. 請求項５に記載の検査装置であって、
   前記照射方向変更部は前記突状体形成面に平行な方向において、前記照射部が照射する方向を変更することを特徴とする検査装置。
9. 請求項８に記載の検査装置であって、
   前記照射方向変更部は前記突状体形成面と垂直な方向と前記照射部が照射する方向との成す角度を変更することを特徴とする検査装置。
10. 請求項５に記載の検査装置であって、
    前記撮像部は前記突状体を拡大又は縮小して撮像する倍率変更部を備えることを特徴とする検査装置。
11. 請求項１０に記載の検査装置であって、
    前記基板と前記撮像部とを相対移動させるステージと、
    前記ステージを制御するステージ制御部と、
    前記突状体の前記画像から前記画像の特徴を示す特徴量を演算し、前記特徴量と良否判定するための判定値とを比較して、不良突状体を検出する不良検出部と、
    前記不良突状体の場所を記憶する記憶部と、を有し、
    前記記憶部が記憶する前記不良突状体の場所の情報を用いて、前記不良突状体が前記撮像部の視野に入るように前記ステージ制御部は前記ステージを移動させることを特徴とする検査装置。
12. 請求項１１に記載の検査装置であって、
    前記突状体は着色された液状体であり、前記突状体が固化されて、カラーフィルタを構成する色素子になることを特徴とする検査装置。
13. 基板に形成された複数の着色体の色を検査する検査装置であって、
    複数の前記着色体に光を照射する照射部と、
    複数の前記着色体のカラー画像を撮像する撮像部と、
    前記カラー画像から不良着色体を検出する不良検出部と、を有し、
    前記不良検出部は、前記カラー画像における波長分布を演算し、分布の存在する波長と良否判定するための波長範囲とを比較して、所定の色と異なる不良着色体を検出することを特徴とする検査装置。
14. 液滴吐出ヘッドと基板とを相対的に走査し、前記液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を前記基板上の突状体形成面に吐出して前記液状体からなる突状体を形成する液滴吐出装置であって、
    前記突状体形成面と垂直な方向に対して斜めの方向から複数の前記突状体に光を照射する照射部と、
    前記突状体形成面と略垂直な方向から複数の前記突状体を撮像する撮像部と、
    前記撮像部が撮像する画像を用いて液状体の輪郭形状を識別する識別部とを有することを特徴とする液滴吐出装置。
15. 請求項１４に記載の液滴吐出装置であって、
    前記液滴吐出ヘッドによる前記基板への前記液状体の吐出と、前記撮像部による前記液状体の撮像とが並行して行われることを特徴とする液滴吐出装置。
16. 請求項１５に記載の液滴吐出装置であって、
    前記液滴吐出ヘッドと前記基板とが走査する方向において、前記液滴吐出ヘッドと前記撮像部とが近い場所に配置されることを特徴とする液滴吐出装置。
17. 基板の突状体形成面に形成された複数の突状体の輪郭形状を検査する突状体の検査方法であって、
    前記突状体形成面と垂直な方向に対して斜めの方向から複数の前記突状体に光を照射し、前記突状体形成面と略垂直な方向から複数の前記突状体を撮像部が撮像する撮像工程と、
    前記撮像部が撮像する画像を用いて前記突状体の特徴量を演算し、前記特徴量と良否判定するための判定値とを比較して、不良突状体を検出する不良検出工程と、を有することを特徴とする突状体の検査方法。
18. 請求項１７に記載の突状体の検査方法であって、
    前記不良検出工程にて検出した前記不良突状体の場所を記憶する記憶工程と、
    前記不良突状体を前記撮像部の視野に移動させて、前記不良突状体を拡大して撮像し、前記不良突状体の輪郭形状を表示する不良確認工程と、を有することを特徴とする突状体の検査方法。
19. 請求項１７に記載の突状体の検査方法であって、
    前記基板に液状体を吐出して前記突状体を形成する吐出工程を有し、
    前記吐出工程と前記撮像工程とが並行して行われることを特徴とする突状体の検査方法。

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