JP5708264B2 - 孔形状検査方法および孔形状検査プログラム - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る孔形状検査に用いる孔形状検査装置の概要を示す構成図である。図1に示すように、孔形状検査装置100(以下、検査装置100という)は、被検査物としてのノズルプレート10が載置される検査台20と、落射照明装置33が備えられる顕微鏡31に、顕微鏡31によって拡大されるノズルプレート10の円筒形の被検査孔10a(以下、ノズル孔10aという)を撮像するカメラ32が装着される撮像装置30と、を備えている。また、検査台20に載置されるノズルプレート10を挟んで顕微鏡31が設置される方向とは反対の側には透過光を検査台20側に投光する透過照明装置50が備えられていても良い。孔形状検査において、落射照明装置33による落射照明を用いるか、透過照明装置50による透過照明を用いるかは、被検査物、検査部位、検査精度などの条件より適宜決定すればよい。
形状撮像工程(S11)では、図3(a)に示すように、検査装置100に備える撮像装置30の顕微鏡31によるノズル孔10xの拡大画像を、カメラ32を介して画像データとして取得し、画像処理手段41に図3(b)に示す撮像画像の画像データを格納する。ノズル孔10xには、欠陥部Dが存在しており、図3(b)に示す画像データにおいても画像dとして識別される。なお、本実施形態では落射照明装置33を用いた図示矢印Ld方向に照明する落射照明によって画像を取得する方法を例示する。
形状撮像工程(S11)によって取得された画像データを2値化し、2値化画像を形成する2値化画像形成工程(S12)に移行する。2値化とは得られた画像の輝度値が、所定の閾値以上であれば「白」に、閾値未満であれば「黒」に変換する処理である。この2値化画像形成工程(S12)によって、得られる2値化画像の模式図を図4に示す。図4に示す、2値化された画像において、図示黒塗り部Sが示す孔形状の面積を演算し、面積判定工程(S13)に移行する。
面積判定工程(S13)は、被検査物であるノズルプレート10は、いわゆるインクジェットヘッドに用いられ、所定量の液滴をノズル孔10aから吐出させるために、ノズル孔10xの面積が所定の面積範囲にあるかによって、ノズル孔10xの孔形状の適否を判定する。すなわち、図4に示すノズル孔10xの孔形状の2値化画像である図示された黒塗り部Sの面積を演算し、演算された黒塗り部Sの面積が、規定された孔面積の上下限値内である場合にはノズル孔10xが所定の孔形状であると良品判定する。黒塗り部Sの面積が規定された孔面積の上下限値外である場合にはノズル孔10xが所定の孔形状ではないと不良品判定して不良品処理へ移行する。
面積判定工程(S13)により、良品と判定されたノズル孔10xにおいて、図4に示す2値化画像からノズル孔10xの重心を演算し求める孔重心演算工程(S14)に移行する。孔重心演算工程(S14)では図4に示す黒塗り部Sの面積を構成する形状の重心(または図心ともいう)Gを求める。
次に、図3(b)に示す撮像画像に対して、フィルターをかけフィルタリング後の画像を形成するフィルタリング画像形成工程(S15)に移行する。フィルタリング画像形成工程(S15)では、図3(b)に示す撮像画像に対して、孔重心演算工程(S14)において求められた図4に示す重心Gを中心として同心形状、本例であれば円筒状のノズル孔10aであるので、ノズル孔10aの孔内部から孔外部に向けて同心円フィルターを掛けてノイズ除去を行なう。
図6(b)に示すフィルタリング画像を2値化する、2値化フィルタリング画像形成工程(S16)に移行する。図7は2値化フィルタリング画像形成工程(S16)によって得られた2値化フィルタリング画像を模式的に示す。図7(a)に示すように2値化によって、図6(b)に示すフィルタリング画像が所定の閾値により白黒化された欠陥部Dの画像を得ることができる。
2値化フィルタリング画像形成工程(S16)によって得られた2値化フィルタリング画像から、欠陥部Dの有無、もしくは欠陥部Dを示す画素数(面積)によって良否を判定する良否判定工程(S17)に移行する。良否判定の規格は、ノズルプレート10のノズル孔10aに対する要求品質、すなわち検査規格により既定される。例えば、欠陥部Dの検査規格を3μm以下が良品とした場合、1画素のサイズが0.2μmで形成されている画像であると、図7(b)に示すように、画素pは良否判定領域となるP1×P2には各辺に15画素配置される。この、P1×P2の領域内の大きさの欠陥部Dの画像であれば「良品」と判定され、P1×P2の領域内の大きさを超える欠陥部Dの画像であれば「不良品」と判定される。なお、欠陥部Dの検査規格、画像形成画素の大きさなどは、検査対象品、要求品質などから適宜、設定され、本例に限定されない。また、良否判定基準は、本例では図7(b)におけるP1辺、P2辺の画素数を基準としたが、欠陥部Dを形成する画素数、すなわち欠陥部D画像の面積で判定しても良い。
Claims (3)
- 物体に形成された孔の形状良否を判定する孔形状検査方法であって、
前記孔の内形状を撮像して孔形状画像を得る孔形状撮像工程と、
前記孔形状画像を2値化して2値化画像を得る2値化画像形成工程と、
前記2値化画像形成工程によって形成された前記2値化画像により前記孔の面積が既定値であるかを判定する孔面積判定工程と、
前記2値化画像から前記孔の内形状の孔重心を求める孔重心演算工程と、
前記孔形状画像に対して、前記孔重心を中心とする同心フィルターをかけ、前記孔重心を中心とする同心形状上の画素の1画素当たりの平均輝度と、前記同心形状上の1画素の画素輝度と、の差によるフィルタリング画像を得るフィルタリング画像形成工程と、
前記フィルタリング画像を2値化して2値化フィルタリング画像を得る2値化フィルタリング画像形成工程と、を有し、
前記2値化フィルタリング画像の画素数が所定の値以下である場合、前記孔を良品と判定する良否判定工程を有する、
ことを特徴とする孔形状検査方法。 - 前記物体が液滴吐出ノズルプレートである、
ことを特徴とする請求項1に記載の孔形状検査方法。 - 物体に形成された孔の形状良否を判定する孔形状検査方法をコンピューターに実現させる孔形状検査プログラムであって、
前記孔の内形状を撮像して孔形状画像を得る孔形状撮像ステップと、
前記孔形状画像を2値化して2値化画像を得る2値化画像形成ステップと、
前記2値化画像形成ステップによって形成された前記2値化画像により前記孔の面積が既定値であるかを判定する孔面積判定ステップと、
前記2値化画像から前記孔の内形状の孔重心を求める孔重心演算ステップと、
前記孔形状画像に対して、前記孔重心を中心とする同心フィルターをかけ、前記孔重心を中心とする同心形状上の画素の1画素当たりの平均輝度と、前記同心形状上の1画素の画素輝度と、の差によるフィルタリング画像を得るフィルタリング画像形成ステップと、
前記フィルタリング画像を2値化して2値化フィルタリング画像を得る2値化フィルタリング画像形成ステップと、を有し、
前記2値化フィルタリング画像の画素数が所定の値以下である場合、前記孔を良品と判定する良否判定ステップを有する、
ことを特徴とする孔形状検査プログラム。
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