JP7446854B2 - インク塗布装置、インク塗布装置の制御装置、及びインク塗布方法 - Google Patents
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Description
第1搬送装置と、
基板を保持して、相互に直交する2方向に移動させる移動機構と、
前記第1搬送装置で搬送された基板を前記移動機構まで搬送する第2搬送装置と、
前記第1搬送装置を搬送される基板の表面の親液性を変化させる表面改質装置と、
前記移動機構で保持された基板に向かってインクを液滴化して吐出するインクジェットヘッドと、
前記表面改質装置及び前記インクジェットヘッドを制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、
前記移動機構で保持された基板のうち、前記表面改質装置によって表面が改質されてからの経過時間が許容上限値を超えた基板に対しては、前記インクジェットヘッドからのインクの吐出を中止させるインク塗布装置が提供される。
第1搬送装置と、
基板を保持して、相互に直交する2方向に移動させる移動機構と、
前記第1搬送装置で搬送された基板を前記移動機構まで搬送する第2搬送装置と、
前記第1搬送装置を搬送される基板の表面の親液性を変化させる表面改質装置と、
前記移動機構で保持された基板に向かってインクを液滴化して吐出するインクジェットヘッドと
を有するインク塗布装置の制御装置であって、
前記移動機構で保持された基板のうち、前記表面改質装置によって表面が改質された基板のそれぞれについて、改質を行ったときからの経過時間を監視し、表面が改質されてからの経過時間が許容上限値を超えた基板に対しては、インクを液滴化して吐出する処理を中止させる制御装置が提供される。
第1搬送装置を搬送される基板の表面の親液性を変化させる表面改質を行い、
前記第1搬送装置で搬送された基板を、相互に直交する2方向に移動させる移動機構まで第2搬送装置によって搬送し、
前記移動機構に搬送された前記基板の表面に、インクの液滴を着弾させてインクの塗布を行い、
前記基板の表面改質を行った時点からの経過時間を監視し、前記移動機構に搬送された基板のそれぞれについて、インクの塗布を行う前に表面改質を行った時点からの経過時間が許容上限値を超えたら、インクの塗布を中止するインク塗布方法が提供される。
図1は、本実施例によるインク塗布装置の概略図である。複数のローラからなる第1搬送装置51のローラの上に基板60が載せられて、保管場所から中継場所まで搬送される。第1搬送装置51の上方に表面改質装置10が配置されている。表面改質装置10は、例えば紫外線ランプを含んでおり、第1搬送装置51によって搬送される基板60の表面に紫外線を照射する。この紫外線は、第1搬送装置51による搬送方向に対して直交する方向に長い長尺形状の断面を有しており、搬送される基板60の表面の全域に紫外線を照射することができる。
本願の発明者は、種々の評価実験により、基板表面の改質処理を行っても、改質処理終了からの経過時間が長くなると改質の効果が低減し、十分な親液性が得られなくなることを見出した。十分な親液性を持たない基板60にインクジェットヘッド31からインクを吐出してインク塗布を行うと、基板60に付着したインクが表面上で広がらず、所望の形状の膜を形成できない場合がある。
上記実施例では、表面改質装置10として、紫外線を照射する紫外線ランプを用いたが、他の方法で表面の改質を行ってもよい。例えば、エキシマレーザの照射、プラズマの照射等を行ってもよい。
本実施例においても、図1~図4に示した実施例と同様に、所望の形状の膜が形成されていない不良な基板60の発生を抑制することができる。さらに、本実施例では、硬化用光源33を改質用光源としても利用するため、図1に示した表面改質装置10に相当する光源が不要である。これにより、インク塗布装置の部品点数の削減、及び低価格化を図ることができる。
20 インク塗布部
21 基台
22 移動機構
22X X方向移動機構
22Y Y方向移動機構
22T 基板保持テーブル
24 支持部材
30 インク吐出ユニット
31 インクジェットヘッド
32 ノズル
33 硬化用光源
35 撮像装置
40 制御装置
51 第1搬送装置
52 第2搬送装置
53 リフタ
54 リニアガイド
55 搬出路
60 基板
61 アライメントマーク
Claims (7)
- 第1搬送装置と、
基板を保持して、相互に直交する2方向に移動させる移動機構と、
前記第1搬送装置で搬送された基板を前記移動機構まで搬送する第2搬送装置と、
前記第1搬送装置を搬送される基板の表面の親液性を変化させる表面改質装置と、
前記移動機構で保持された基板に向かってインクを液滴化して吐出するインクジェットヘッドと、
前記表面改質装置及び前記インクジェットヘッドを制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、
前記移動機構で保持された基板のうち、前記表面改質装置によって表面が改質されてからの経過時間が許容上限値を超えた基板に対しては、前記インクジェットヘッドからのインクの吐出を中止させるインク塗布装置。 - 前記表面改質装置は、前記第1搬送装置を搬送される基板に紫外線を照射することにより、基板の表面の改質を行う請求項1に記載のインク塗布装置。
- さらに、前記移動機構に保持された基板が移動する範囲の一部の領域の上方に配置された撮像装置を有しており、
前記制御装置は、前記撮像装置で、前記移動機構に保持された基板のアライメントマークを検出し、基板の位置情報を取得する請求項1または2に記載のインク塗布装置。 - 前記制御装置は、前記アライメントマークの位置の検出結果から得られた基板の位置情報と、基板に形成すべき膜の形状及び位置を定義した画像データとに基づいて、描画データを形成し、前記描画データに基づいて、前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御する請求項3に記載のインク塗布装置。
- 前記制御装置は、処理する基板の基板種別ごとに前記許容上限値を記憶しており、表面が改質された基板の基板種別に対応する前記許容上限値を用いて、インクの吐出を中止させるか否かを判定する請求項3または4に記載のインク塗布装置。
- 第1搬送装置と、
基板を保持して、相互に直交する2方向に移動させる移動機構と、
前記第1搬送装置で搬送された基板を前記移動機構まで搬送する第2搬送装置と、
前記第1搬送装置を搬送される基板の表面の親液性を変化させる表面改質装置と、
前記移動機構で保持された基板に向かってインクを液滴化して吐出するインクジェットヘッドと
を有するインク塗布装置の制御装置であって、
前記移動機構で保持された基板のうち、前記表面改質装置によって表面が改質された基板のそれぞれについて、改質を行ったときからの経過時間を監視し、表面が改質されてからの経過時間が許容上限値を超えた基板に対しては、インクを液滴化して吐出する処理を中止させる制御装置。 - 第1搬送装置を搬送される基板の表面の親液性を変化させる表面改質を行い、
前記第1搬送装置で搬送された基板を、相互に直交する2方向に移動させる移動機構まで第2搬送装置によって搬送し、
前記移動機構に搬送された前記基板の表面に、インクの液滴を着弾させてインクの塗布を行い、
前記基板の表面改質を行った時点からの経過時間を監視し、前記移動機構に搬送された基板のそれぞれについて、インクの塗布を行う前に表面改質を行った時点からの経過時間が許容上限値を超えたら、インクの塗布を中止するインク塗布方法。
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JP2024021807A (ja) * | 2022-08-04 | 2024-02-16 | キヤノントッキ株式会社 | アライメント装置、成膜装置、アライメント方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006150179A (ja) | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Seiko Epson Corp | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2006240015A (ja) | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成装置、アライメント装置、基板処理装置、パターン形成方法、基板処理方法 |
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JP2007190770A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Fujifilm Corp | インクジェット描画装置および方法 |
JP4723387B2 (ja) * | 2006-01-18 | 2011-07-13 | 富士フイルム株式会社 | インクジェット描画方法および装置 |
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JP5875496B2 (ja) * | 2012-09-26 | 2016-03-02 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法、およびパターン形成装置 |
JP2014071354A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Nippon Steel & Sumikin Chemical Co Ltd | 受容層を用いたカラーフィルターの製造方法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006150179A (ja) | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Seiko Epson Corp | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2006240015A (ja) | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成装置、アライメント装置、基板処理装置、パターン形成方法、基板処理方法 |
JP2013030571A (ja) | 2011-07-27 | 2013-02-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 液滴吐出装置及び液滴吐出方法 |
JP2017013011A (ja) | 2015-07-02 | 2017-01-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
Non-Patent Citations (1)
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穂積篤、外6名,真空紫外光照射によるポリスチレンフィルムの親水化,表面技術,2001年,Vol.52,No.12,p.97-98 |
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