KR20210111164A

KR20210111164A - 잉크도포장치, 잉크도포장치의 제어장치, 및 잉크도포방법

Info

Publication number: KR20210111164A
Application number: KR1020210023821A
Authority: KR
Inventors: 마코토 가기히로
Original assignee: 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
Priority date: 2020-03-02
Filing date: 2021-02-23
Publication date: 2021-09-10
Also published as: TWI763328B; JP7446854B2; CN113334930A; CN113334930B; TW202134067A; JP2021137691A

Abstract

표면의 충분한 개질효과가 발휘되지 않는 것에 의한 잉크의 도포불량의 발생을 억제하는 것이 가능한 잉크도포장치를 제공한다.
표면개질장치가, 기판의 표면의 친액성을 변화시킨다. 잉크젯헤드가, 기판을 향하여 잉크를 액적화하여 토출한다. 제어장치가, 표면개질장치 및 잉크젯헤드를 제어한다. 이 제어장치는, 표면개질장치로 표면이 개질된 기판의 각각에 대하여, 개질을 행했을 때로부터의 경과시간을 감시하고, 표면이 개질된 후의 경과시간이 허용상한값을 초과한 기판에 대해서는, 잉크젯헤드로부터의 잉크의 토출을 중지시킨다.

Description

잉크도포장치, 잉크도포장치의 제어장치, 및 잉크도포방법{INK APPLICATION APPARATUS, CONTROL DEVICE OF INK APPLICATION APPARATUS, AND METHOD FOR APPLYING INK}

본 출원은 2020년 3월 2일에 출원된 일본 특허출원 제2020-035024호에 근거하여 우선권을 주장한다. 그 출원의 전체 내용은 이 명세서 중에 참고로 원용되어 있다.

본 발명은, 잉크도포장치, 잉크도포장치의 제어장치, 및 잉크도포방법에 관한 것이다.

기판에 다양한 막을 형성하는 수법으로서, 잉크젯법이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1). 특허문헌 1에 개시된 방법에서는, 잉크젯헤드를 이용하여 액정표시장치용의 배향재료를 기판에 도포한다. 배향재료로서, 예를 들면 폴리이미드 수지 등의 유기고분자재료가 이용된다. 특허문헌 1에 개시된 방법에서는, 배향재료를 기판에 도포하기 전에, 기판에 자외선을 조사함으로써 기판의 표면을 개질(改質)시킨다. 이 자외선 조사에 의하여, 기판의 표면이, 폴리이미드 수지 등의 배향재료에 대하여 친액성(親液性)을 갖는 것이 된다. 다만, 도포하는 잉크로서, 유기고분자재료 이외의 잉크를 이용하는 방법에 있어서도, 자외선 조사에 의하여 기판이나 피인쇄물의 표면의 개질이 행해지는 경우가 있다.

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2003-75795호

기판의 표면의 개질을 행해도, 기판에 잉크를 도포했을 때에 충분한 개질효과가 발휘되지 않아, 원하는 형상의 잉크의 막을 형성할 수 없는 경우가 있다.

본 발명의 목적은, 표면의 충분한 개질효과가 발휘되지 않는 것에 의한 잉크의 도포불량의 발생을 억제하는 것이 가능한 잉크도포장치, 잉크도포장치의 제어방법, 및 잉크도포방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 관점에 의하면,

기판의 표면의 친액성을 변화시키는 표면개질장치와,

기판을 향하여 잉크를 액적화하여 토출하는 잉크젯헤드와,

상기 표면개질장치 및 상기 잉크젯헤드를 제어하는 제어장치를 가지며,

상기 제어장치는,

상기 표면개질장치로 표면이 개질된 기판의 각각에 대하여, 개질을 행했을 때로부터의 경과시간을 감시하고, 표면이 개질된 후의 경과시간이 허용상한값을 초과한 기판에 대해서는, 상기 잉크젯헤드로부터의 잉크의 토출을 중지시키는 잉크도포장치가 제공된다.

본 발명의 다른 관점에 의하면,

기판의 표면의 친액성을 변화시키는 표면개질을 행한 후, 표면개질이 행해진 기판을 향하여 잉크를 액적화하여 토출하는 잉크도포장치의 제어장치로서,

표면이 개질된 기판의 각각에 대하여, 개질을 행했을 때로부터의 경과시간을 감시하고, 표면이 개질된 후의 경과시간이 허용상한값을 초과한 기판에 대해서는, 잉크를 액적화하여 토출하는 처리를 중지시키는 제어장치가 제공된다.

본 발명의 또 다른 관점에 의하면,

기판의 표면의 친액성을 변화시키는 표면개질을 행하고,

표면개질을 행한 상기 기판의 표면에, 잉크의 액적을 착탄(着彈)시켜 잉크의 도포를 행하며,

상기 기판의 표면개질을 행한 시점으로부터의 경과시간을 감시하고, 잉크의 도포를 행하기 전에 경과시간이 허용상한값을 초과했다면, 잉크의 도포를 중지하는 잉크도포방법이 제공된다.

동일한 조건으로 기판의 표면을 개질해도, 기판에 부착된 잉크에 대하여 원하는 젖음성이 얻어지지 않아, 잉크의 도포불량이 발생하는 경우가 있다. 본원의 발명자에 의한 다양한 평가실험에 의하면, 표면의 개질을 행하여 잉크도포장치 내에 기판이 체류하는 시간이 길어지면, 도포불량이 발생하기 쉬운 것이 판명되었다. 본원의 발명에서는, 표면의 개질을 행한 후의 경과시간이 허용상한값을 초과한 기판에 대해서는 잉크의 토출을 중지시키기 때문에, 잉크의 도포불량의 발생을 억제할 수 있다.

도 1은, 일 실시예에 의한 잉크도포장치의 개략도이다.
도 2는, 기판지지테이블, 잉크토출유닛, 및 촬상장치의 평면시(平面視)에 있어서의 위치관계를 나타내는 도이다.
도 3은, 일 실시예에 의한 잉크도포장치를 이용하여 잉크의 도포를 행하는 수순을 나타내는 플로차트이다.
도 4는, 허용상한값의 정의의 일례를 나타내는 도표이다.
도 5는, 다른 실시예에 의한 잉크도포장치를 이용하여 잉크의 도포를 행하는 수순을 나타내는 플로차트이다.

도 1~도 4를 참조하여, 일 실시예에 의한 잉크도포장치에 대하여 설명한다.

도 1은, 본 실시예에 의한 잉크도포장치의 개략도이다. 복수의 롤러로 이루어지는 제1 반송장치(51)의 롤러의 위에 기판(60)이 얹어져, 보관장소로부터 중계장소까지 반송된다. 제1 반송장치(51)의 상방에 표면개질장치(10)가 배치되어 있다. 표면개질장치(10)는, 예를 들면 자외선램프를 포함하고 있고, 제1 반송장치(51)에 의하여 반송되는 기판(60)의 표면에 자외선을 조사한다. 이 자외선은, 제1 반송장치(51)에 의한 반송방향에 대하여 직교하는 방향으로 긴 장척형상의 단면(斷面)을 갖고 있고, 반송되는 기판(60)의 표면의 전역에 자외선을 조사할 수 있다.

제2 반송장치(52)가, 제1 반송장치(51)에 의하여 중계장소까지 반송된 기판(60)을, 잉크도포부(20)의 기판지지테이블(22T)의 위까지 반송한다. 제2 반송장치(52)는, 리니어가이드(54)와 리프터(53)를 구비하고 있다. 제1 반송장치(51)의 중계장소까지 반송된 기판(60)을 리프터(53)가 지지하여 상승한다. 기판(60)을 지지한 리프터(53)가 리니어가이드(54)로 안내되어 잉크도포부(20)까지 이동한 후, 하강함으로써, 기판지지테이블(22T)에 기판(60)을 지지시킨다.

또한, 리프터(53)는, 잉크가 도포된 기판(60)을 지지하여, 잉크도포부(20)로부터 반출로(搬出路)(55)까지 반송한다. 반출로(55)까지 반송된 기판(60)은, 잉크도포가 완료된 기판(60)의 보관장소까지 반송된다.

다음으로, 잉크도포부(20)의 구성에 대하여 설명한다. 기대(基臺)(21)의 위에 이동기구(22)가 지지되어 있다. 이동기구(22)는 X방향 이동기구(22X), Y방향 이동기구(22Y), 및 기판지지테이블(22T)을 포함한다. x축 및 y축이 수평방향을 향하고, z축이 연직상방을 향하는 xyz직교좌표계를 정의한다. X방향 이동기구(22X)는 기대(21)에 대하여 Y방향 이동기구(22Y)를 x방향으로 이동시키고, Y방향 이동기구(22Y)는, 기대(21)에 대하여 기판지지테이블(22T)을 y방향으로 이동시킨다. 이동기구(22)는, 또한 기판지지테이블(22T)을, z방향에 평행한 회전축을 회전중심으로 하여 회전시킴으로써, xy면 내에 관하여 기판(60)의 회전방향의 자세를 변화시킬 수 있다.

기판지지테이블(22T)의 상면(지지면)에, 잉크도포 대상인 기판(60)이 지지된다. 기판(60)은, 예를 들면 진공척에 의하여 기판지지테이블(22T)에 고정된다. 기판지지테이블(22T)의 상방에 잉크토출유닛(30) 및 촬상장치(35)가, 예를 들면 문형(門型)의 지지부재(24)에 의하여 지지되어 있다. 잉크토출유닛(30)은 기대(21)에 대하여 승강 가능하게 지지되어 있다. 잉크토출유닛(30)은, 기판(60)에 대향하는 복수의 노즐을 갖는다. 각 노즐은, 기판(60)의 표면을 향하여 광경화성(예를 들면 자외선경화성)의 잉크를 토출한다. 촬상장치(35)는, 기판(60)의 표면을 촬상한다.

도 1에서는, 기대(21)에 대하여 잉크토출유닛(30) 및 촬상장치(35)를 정지시키고, 기판(60)을 이동시키는 구성을 나타냈지만, 그 반대로, 기대(21)에 대하여 기판(60)을 정지시키고, 잉크토출유닛(30) 및 촬상장치(35)를 이동시키는 구성을 채용해도 된다.

제어장치(40)가, 표면개질장치(10), 제1 반송장치(51), 제2 반송장치(52), 이동기구(22), 및 잉크토출유닛(30)을 제어한다. 촬상장치(35)로 촬상된 화상데이터가 제어장치(40)에 입력된다.

도 2는, 기판지지테이블(22T), 잉크토출유닛(30), 및 촬상장치(35)의 평면시에 있어서의 위치관계를 나타내는 도이다. 기판지지테이블(22T)의 지지면에 기판(60)이 지지되어 있다. 기판(60)의 상방에 잉크토출유닛(30) 및 촬상장치(35)가 지지되어 있다.

잉크토출유닛(30)은, 잉크젯헤드(31) 및 경화용 광원(33)을 포함한다. 잉크젯헤드(31)의, 기판(60)에 대향하는 면에, 복수의 노즐(32)이 마련되어 있다. 복수의 노즐(32)은, x방향에 관하여 등간격으로 나열되어 있다.

경화용 광원(33)은, y방향에 관하여 잉크젯헤드(31)의 양측에 각각 배치되어 있고, 기판(60)에 부착된 잉크를 경화시키는 경화장치로서 기능한다. 이동기구(22)는, 제어장치(40)에 의하여 제어됨으로써, 기판지지테이블(22T)에 지지된 기판(60)을 x방향 및 y방향으로 이동시킨다. 또한, 제어장치(40)는, 잉크젯헤드(31)의 각 노즐(32)로부터의 잉크의 토출을 제어한다.

기판(60)을 y방향으로 이동시키면서, 잉크젯헤드(31)로부터 잉크를 토출함으로써, 기판(60)에 잉크의 액적을 부착시킬 수 있다. 기판(60)에 부착된 잉크는, 기판(60)의 이동방향의 하류측에 위치하는 경화용 광원(33)으로부터 방사되는 광에 의하여 경화된다. 본 명세서에 있어서, 기판(60)을 y방향으로 이동시키면서, 잉크젯헤드(31)로부터 기판(60)에 잉크를 부착시키는 동작을, "스캔동작"이라는 것으로 한다. 기판(60)에 대한 잉크젯헤드(31)의 x방향의 위치를 다르게 하여 복수 회의 스캔동작을 행함으로써, 기판(60)의 표면의 전역의 원하는 위치에 잉크를 부착시킬 수 있다.

기판(60)에, 복수의 얼라인먼트마크(61)가 마련되어 있다. 예를 들면, 기판(60)의 네 모서리에 각각 얼라인먼트마크(61)가 마련되어 있다. 제어장치(40)가 이동기구(22)를 제어하여, 복수의 얼라인먼트마크(61)를 차례로 촬상장치(35)의 화각 내에 배치한다. 촬상장치(35)에 의하여 촬상된 얼라인먼트마크(61)의 화상데이터를, 제어장치(40)가 취득한다.

제어장치(40)는, 얼라인먼트마크(61)의 화상데이터의 해석을 행함으로써, 얼라인먼트마크(61)의 각각의 위치정보를 취득한다. 4개의 얼라인먼트마크(61)의 위치정보로부터, 기판(60)의 x방향 및 y방향의 위치, 회전방향의 자세, 신축정보를 구한다. 제어장치(40)는, 회전방향의 자세의 검출결과에 근거하여 이동기구(22)를 제어하여, 기판(60)의 회전방향의 위치맞춤을 행한다.

제어장치(40)에, 기판(60)에 형성해야 할 잉크의 막의 형상 및 위치를 정의하는 화상데이터가 기억되어 있다. 제어장치(40)는, 이 화상데이터에 근거하여, 잉크젯헤드(31) 및 이동기구(22)를 제어하기 위한 묘화데이터를 생성한다. 예를 들면, 기판(60)의 신축정보에 근거하여, 형성해야 할 막의 형상을 신축시킨 묘화데이터를 생성한다.

도 3은, 본 실시예에 의한 잉크도포장치를 이용하여 잉크의 도포를 행하는 수순을 나타내는 플로차트이다.

먼저, 다음에 처리해야 할 기판(60)을 제1 반송장치(51)(도 1)로 보관장소로부터 중계장소까지 반송한다(스텝 S01). 반송의 도중에서, 표면개질장치(10)로부터 기판(60)의 표면에 자외선을 조사하여, 기판표면을 개질한다(스텝 S02). 제어장치(40)는, 기판(60)의 표면의 전역의 개질을 행했을 때로부터의 경과시간의 감시를 개시한다(스텝 S03). 예를 들면, 기판(60)의 표면의 전역의 개질이 종료된 시점을, 경과시간감시의 개시시점으로 한다. 그 후, 제2 반송장치(52)(도 1)가 기판(60)을 중계장소로부터 반출하여, 잉크도포부(20)의 기판지지테이블(22T)까지 반송한다. 기판지지테이블(22T)은, 반송되어 온 기판(60)을 그 상면에 지지한다(스텝 S04).

계속해서, 기판(60)의 얼라인먼트를 행한다(스텝 S05). 구체적으로는, 제어장치(40)가, 기판(60)에 마련된 얼라인먼트마크(61)의 위치를 검출하여, 기판(60)의 위치, 회전방향의 자세, 신축정보를 취득한다. 필요하면, 기판(60)의 회전방향의 위치맞춤을 행한다. 얼라인먼트가 정상적으로 종료되면(스텝 S06), 기판(60)에 형성해야 할 막의 형상 및 위치를 정의한 화상데이터와, 스텝 S05에서 취득한 얼라인먼트 정보에 근거하여, 묘화데이터를 생성한다. 묘화데이터의 생성이 정상적으로 종료되면(스텝 S07), 기판(60)의 개질을 행했을 때로부터의 경과시간이 허용상한값 이하인지 아닌지를 판정한다(스텝 S08). 이 허용상한값은 기판종별마다 정의되어 있고, 제어장치(40)에 기억되어 있다.

도 4는, 허용상한값의 정의의 일례를 나타내는 도표이다. 예를 들면, 기판종별 A, B, C, D에 대하여, 각각의 허용상한값으로서 2시간, 4시간, 4시간, 및 3시간이 설정되어 있다.

기판(60)의 개질을 행했을 때로부터의 경과시간이 허용상한값 이하인 경우, 그 기판(60)에 대하여 잉크도포를 행한다(스텝 S10). 잉크도포가 종료되면, 기판(60)을 잉크도포부(20)로부터 반출하여, 반출로(55)로 이송한다(스텝 S10). 미처리의 기판(60)이 남아 있는 경우에는, 다음에 처리해야 할 미처리의 기판(60)에 대하여, 스텝 S01부터의 처리를 반복한다(스텝 S11).

다만, 1매의 기판(60)에 대한 처리가 계속되고 있는 기간에, 다음의 기판(60)에 대한 처리를 개시해도 된다. 예를 들면, 스텝 S10에서 잉크도포가 완료된 기판(60)을 잉크도포부(20)로부터 반출한 직후에, 미처리의 기판(60)을 잉크도포부(20)에 반입하면 된다. 이 경우에는, 잉크도포부(20)에 반입되어 있는 기판(60)으로의 잉크도포 중(스텝 S09)에, 다음에 처리해야 할 기판(60)에 대한 개질처리(스텝 S02)를 병행하여 행함으로써, 잉크도포 종료까지, 다음에 처리해야 할 기판(60)에 대한 개질처리를 종료시켜 두면 된다.

스텝 S06에서 얼라인먼트가 정상적으로 종료되지 않았던 경우에는, 제어장치(40)는 얼라인먼트가 정상적으로 종료되지 않았던 것을 오퍼레이터에게 알린다(스텝 S12). 예를 들면, 얼라인먼트마크(61)의 검출을 할 수 없었던 경우 등에, 얼라인먼트가 정상적으로 종료되지 않는다. 오퍼레이터는, 얼라인먼트 불량의 원인이나 상황에 따라, 처리를 속행할지 아닐지를 판단한다(스텝 S13). 예를 들면, 4개의 얼라인먼트마크(61) 중 1개의 얼라인먼트마크(61)를 검출할 수 없고, 나머지의 3개의 얼라인먼트마크(61)를 정상적으로 검출할 수 있는 경우는, 처리를 속행해도 된다. 이때, 제어장치(40)는, 3개의 얼라인먼트마크(61)의 검출결과에 근거하여 기판(60)의 얼라인먼트를 행한다.

처리를 속행하지 않는 경우에는, 얼라인먼트가 불량이었던 기판(60)을 잉크도포장치로부터 배제한다. 예를 들면, 오퍼레이터가 제어장치(40)에 대하여 처리를 속행하지 않는다는 커맨드를 부여하면, 제어장치(40)는, 기판지지테이블(22T)로부터 반출로(55)로, 잉크가 도포되어 있지 않은 기판(60)을 반출한다. 얼라인먼트 불량의 기판(60)을 잉크도포장치로부터 배제하면, 제어장치(40)는, 다음에 처리해야 할 기판에 대하여 스텝 S01부터의 수순을 반복한다.

묘화데이터를 정상적으로 생성할 수 없었던 경우(스텝 S07), 또는 개질을 행했을 때로부터의 경과시간이 허용상한값을 초과하고 있었던 경우(스텝 S08), 제어장치(40)는, 묘화데이터의 생성 불량, 또는 경과시간의 초과를 오퍼레이터에게 알린다(스텝 S14). 오퍼레이터는, 알려진 내용을 확인하여, 기판(60)을 배제하는 커맨드를 제어장치(40)에 부여한다. 제어장치(40)는, 기판지지테이블(22T)로부터 반출로(55)로 기판(60)을 반출한다(스텝 S15). 기판(60)을 잉크도포장치로부터 배제하면, 제어장치(40)는, 다음에 처리해야 할 기판에 대하여 스텝 S01부터의 수순을 반복한다.

스텝 S15에서 배제된 기판(60)에 대해서는, 오퍼레이터가 배제원인에 따른 처리를 행하면 된다. 배제의 원인이 기판(60) 자체에 있는 경우에는, 그 기판(60)은 폐기하면 된다. 배제의 원인이 잉크도포장치에 있고, 기판(60) 자체는 정상적인 경우에는, 오퍼레이터는, 잉크도포장치의 메인터넌스를 행한 후, 그 기판(60)에 대하여, 스텝 S01부터의 수순을 재차 실행하면 된다.

다음으로, 본 실시예의 우수한 효과에 대하여 설명한다.

본원의 발명자는, 다양한 평가실험에 의하여, 기판표면의 개질처리를 행해도, 개질처리 종료로부터의 경과시간이 길어지면 개질의 효과가 저감되어, 충분한 친액성이 얻어지지 않게 되는 것을 알아냈다. 충분한 친액성을 갖지 않는 기판(60)에 잉크젯헤드(31)로부터 잉크를 토출하여 잉크도포를 행하면, 기판(60)에 부착된 잉크가 표면 상에서 확산되지 않아, 원하는 형상의 막을 형성할 수 없는 경우가 있다.

본 실시예에서는, 기판(60)의 표면의 개질을 행했을 때로부터의 경과시간을 감시하고, 경과시간이 허용상한값을 초과했다면 잉크도포를 중지하고 있다. 이 때문에, 원하는 형상의 막이 형성되어 있지 않은 불량인 기판(60)의 발생을 억제할 수 있다. 또, 정상적인 형상의 막을 형성할 수 없게 되는 정도까지 개질의 효과가 저감되어 버리는 시간은, 기판(60)의 표면의 재질이나, 형성해야 할 막의 형상 등에 의존한다. 본 실시예에서는, 기판종별마다 경과시간의 허용상한값을 설정하고 있기 때문에, 기판(60)에 잉크를 도포할지 아닐지의 판정의 정밀도를 높일 수 있다.

다음으로, 상기 실시예의 변형예에 대하여 설명한다.

상기 실시예에서는, 표면개질장치(10)로서, 자외선을 조사하는 자외선램프를 이용했지만, 다른 방법으로 표면의 개질을 행해도 된다. 예를 들면, 엑시머레이저의 조사, 플라즈마의 조사 등을 행해도 된다.

상기 실시예에서는, 스텝 S07(도 3)에서 묘화데이터를 생성한 후에, 표면개질로부터의 경과시간이 허용상한값 이하인지 아닌지의 판정을 행하고 있지만, 스텝 S03에서 경과시간의 감시를 개시한 후, 경과시간이 허용상한값에 도달한 시점에서 오퍼레이터에게 알리도록(스텝 S13) 해도 된다.

다음으로, 도 5를 참조하여 다른 실시예에 대하여 설명한다. 이하, 도 1~도 4에 나타낸 실시예와 공통의 구성에 대해서는 설명을 생략한다. 본 실시예에 의한 잉크도포장치에 있어서는, 제1 반송장치(51)의 상방에 표면개질장치(10)(도 1)가 배치되어 있지 않다. 본 실시예에서는, 경화용 광원(33)(도 2)을 표면개질장치의 광원으로서 이용한다.

도 5는, 본 실시예에 의한 잉크도포장치를 이용하여 잉크의 도포를 행하는 수순을 나타내는 플로차트이다. 본 실시예에서는, 다음에 처리해야 할 기판(60)을 제1 반송장치(51)에서의 반송 중(스텝 S01)에 기판(60)의 표면의 개질을 행하지 않고, 기판(60)을 기판지지테이블(22T)에 지지시킨다(스텝 S04).

기판(60)을 촬상장치(35) 및 경화용 광원(33)에 대하여 이동시키고, 얼라인먼트마크(61)의 검출과, 경화용 광원(33)으로부터 기판(60)으로의 자외선 조사를 병행하여 행한다(스텝 S21). 경화용 광원(33)으로부터의 자외선의 조사에 의하여, 기판(60)의 표면이 개질된다. 기판(60)의 표면의 전역의 개질이 종료되면, 개질처리 종료로부터의 경과시간의 감시를 개시한다(스텝 S22). 스텝 S06 이후의 수순은, 도 3에 나타낸 수순과 동일하다.

다음으로, 본 실시예의 우수한 효과에 대하여 설명한다.

본 실시예에 있어서도, 도 1~도 4에 나타낸 실시예와 동일하게, 원하는 형상의 막이 형성되어 있지 않은 불량인 기판(60)의 발생을 억제할 수 있다. 또한, 본 실시예에서는, 경화용 광원(33)을 개질용 광원으로서도 이용하기 때문에, 도 1에 나타낸 표면개질장치(10)에 상당하는 광원이 불필요하다. 이로써, 잉크도포장치의 부품개수의 삭감, 및 저가격화를 도모할 수 있다.

상술한 각 실시예는 예시이며, 다른 실시예로 나타낸 구성의 부분적인 치환 또는 조합이 가능한 것은 말할 것도 없다. 복수의 실시예의 동일한 구성에 의한 동일한 작용효과에 대해서는 실시예별로는 따로 언급하지 않는다. 또한, 본 발명은 상술한 실시예에 제한되는 것은 아니다. 예를 들면, 다양한 변경, 개량, 조합 등이 가능한 것은 당업자에게 자명할 것이다.

10 표면개질장치
20 잉크도포부
21 기대
22 이동기구
22X X방향 이동기구
22Y Y방향 이동기구
22T 기판지지테이블
24 지지부재
30 잉크토출유닛
31 잉크젯헤드
32 노즐
33 경화용 광원
35 촬상장치
40 제어장치
51 제1 반송장치
52 제2 반송장치
53 리프터
54 리니어가이드
55 반출로
60 기판
61 얼라인먼트마크

Claims

기판의 표면의 친액성을 변화시키는 표면개질장치와,
기판을 향하여 잉크를 액적화하여 토출하는 잉크젯헤드와,
상기 표면개질장치 및 상기 잉크젯헤드를 제어하는 제어장치를 가지며,
상기 제어장치는,
상기 표면개질장치로 표면이 개질된 기판의 각각에 대하여, 개질을 행했을 때로부터의 경과시간을 감시하고, 표면이 개질된 후의 경과시간이 허용상한값을 초과한 기판에 대해서는, 상기 잉크젯헤드로부터의 잉크의 토출을 중지시키는 잉크도포장치.
제1항에 있어서,
기판을 지지하여, 지지한 기판을 이동시키는 이동기구를 더 갖고,
상기 표면개질장치 및 상기 잉크젯헤드는, 상기 이동기구에 지지된 기판이 이동하는 범위의 일부의 영역의 상방에 배치되어 있으며,
상기 표면개질장치는, 상기 이동기구에 지지된 기판에 자외선을 조사하고,
상기 제어장치는, 상기 이동기구를 제어하여 기판을 이동시키면서, 상기 표면개질장치로부터 기판에 자외선을 조사함으로써, 기판의 표면의 개질을 행하는 잉크도포장치.
제2항에 있어서,
상기 이동기구에 지지된 기판이 이동하는 범위의 일부의 영역의 상방에 배치된 촬상장치를 더 갖고 있고,
상기 제어장치는, 기판에 자외선을 조사할 때의 기판의 이동 시에, 상기 촬상장치로 기판의 얼라인먼트마크를 검출하여, 기판의 위치정보를 취득하는 잉크도포장치.
제3항에 있어서,
상기 제어장치는, 처리하는 기판의 기판종별마다 상기 허용상한값을 기억하고 있고, 표면이 개질된 기판의 기판종별에 대응하는 상기 허용상한값을 이용하여, 잉크의 토출을 중지시킬지 아닐지를 판정하는 잉크도포장치.
기판의 표면의 친액성을 변화시키는 표면개질을 행한 후, 표면개질이 행해진 기판을 향하여 잉크를 액적화하여 토출하는 잉크도포장치의 제어장치로서,
표면이 개질된 기판의 각각에 대하여, 개질을 행했을 때로부터의 경과시간을 감시하고, 표면이 개질된 후의 경과시간이 허용상한값을 초과한 기판에 대해서는, 잉크를 액적화하여 토출하는 처리를 중지시키는 제어장치.
기판의 표면의 친액성을 변화시키는 표면개질을 행하고,
표면개질을 행한 상기 기판의 표면에, 잉크의 액적을 착탄시켜 잉크의 도포를 행하며,
상기 기판의 표면개질을 행한 시점으로부터의 경과시간을 감시하고, 잉크의 도포를 행하기 전에 경과시간이 허용상한값을 초과했다면, 잉크의 도포를 중지하는 잉크도포방법.