KR20190053381A - Ｌｄｉ용 노광 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 LDI용 노광 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 LDI(Laser Direct Imaging)를 이용한 마스크리스(Maskless) 방식의 노광 장치에 있어, 노광공정시 연성의 대상시트(기판)를 효율적으로 지지함으로써, 제품의 수율 및 생산성을 크게 향상시킬 수 있도록 한 것이다.
특히, 본 발명은 클램프를 이용하여 특정 부분을 압착 지지하는 방식이 아니라, 빛이 조사되는 위치에 대응하여 대상시트의 지지위치도 이동될 수 있도록 롤러형태의 지지구조를 적용함으로써, 대상시트의 들뜸이나 변형 등을 방지할 수 있다.
따라서, LDI를 이용한 마스크리스 방식의 노광기술분야 및 이를 이용한 PCB 회로 공정 분야, PSR 공정 분야, 플랙시블 기판 제조 분야는 물론, 이와 유사 내지 연관된 분야에서 신뢰성 및 경쟁력을 향상시킬 수 있다.

Description

ＬＤＩ용 노광 장치{Exposure apparatus for LDI}

본 발명은 LDI용 노광 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 LDI(Laser Direct Imaging)를 이용한 마스크리스(Maskless) 방식의 노광 장치에 있어, 노광공정시 연성의 대상시트(기판)를 효율적으로 지지함으로써, 제품의 수율 및 생산성을 크게 향상시킬 수 있도록 한 것이다.

특히, 본 발명은 클램프를 이용하여 특정 부분을 압착 지지하는 방식이 아니라, 빛이 조사되는 위치에 대응하여 대상시트의 지지위치도 이동될 수 있도록 롤러형태의 지지구조를 적용함으로써, 대상시트의 들뜸이나 변형 등을 방지하고 정확한 노광공정이 이루어질 수 있도록 한 LDI용 노광 장치에 관한 것이다.

최근, 우리의 생활환경이 유비쿼터스(Ubiquitous) 시대로 진입하면서, 스마트폰 등의 모바일기기 및 각종 전자제품 등이 소량, 다품종화되고 있으며, 고기능화에 따른 고밀도의 회로를 제작하기 위하여, 초미세 회로 선폭을 구현할 수 있는 기술이 요구 되었다.

이에, 인쇄회로기판(PCB)상에 초미세 선폭을 구현해 주기 위한 새로운 노광 방법들이 개발되었으며, LDI(Laser Direct Imaging)를 이용한 마스크리스(Maskless) 방식이 그 중 하나이다.

LDI는 포토마스크(Photo mask)를 이용하지 않고 기판에 직접 노광하여 패턴을 형성하는 방식으로, PCB 인쇄 공정 및 PSR(Photo Solder Resist) 공정 등에서 활용되고 있으며, 빛을 이용하므로 초미세 선폭의 회로형성이 가능함은 물론, 노광패턴을 변경하는 것만으로 다양한 회로구현이 가능하므로, 제품의 다품종화가 가능하다는 장점이 있다.

결과적으로, LDI는 고분해능이 요구되는 패턴형성이 가능하고, 다품종 소량생산은 물론 대량생산 체제에도 유연하게 대응할 수 있는 기술이라고 할 수 있다.

한편, LDI는 빛을 조사하는 노광공정을 통해 회로나 보호층(Solder resist layer)을 형성하는 기술이므로, 빛이 방출되는 원점으로부터 기판의 위치 및 기판과의 거리 등이 일정하게 유지되어야 정확한 패턴형성이 가능하다.

하기의 선행기술문헌은 이와 관련된 것으로, 대한민국 등록특허공보 제10-1468664호 '인쇄회로기판용 노광장치의 기판흡착장치'(이하, '선행기술1'이라 한다)는 연성PCB를 진공흡착하여 지지하는 장치에 관한 것으로, 연성의 PCB가 휘어지거나 변형되지 않고 평면상에 안정적으로 지지될 수 있도록 하기 위한 것이다.

또한, 하기의 선행기술문헌인 대한민국 공개특허공보 제10-2016-0108792호 'LDI 노광장치의 스테이지 보정장치 및 이를 이용한 보정방법'(이하, '선행기술2'라 한다)은 기판(PCB)이 놓여지는 스테이지를 보정할 수 있도록 한 것으로, 기판이 놓여진 상태를 확인하여 스테이지의 위치 등을 보정하고 정확한 패턴이미지로 노광이 이루어질 수 있도록 하기 위한 것이다.

선행기술1 및 선행기술2와 같이 노광 기술에서 가장 중요한 것은, 빛이 방출되는 원점과 기판(PCB)간의 위치관계를 정확하게 유지하는 것이며, 이러한 조건이 유지되어야만 정확한 패턴을 형성할 수 있다.

한편, 노광장치의 헤드에서 방출된 빛을 이용하여 노광할 수 있는 영역에는 한계가 있으며, 이로 인해 상대적으로 넓은 면적의 기판에 노광하기 위해서는 노광장치의 헤드가 일정한 패턴으로 기판 위를 이동하거나 헤드를 기준으로 기판이 이동하면서 노광공정을 수행해야만 한다.

다시 말해, 노광장치의 헤드나 기판이 이동과 정지를 반복하면서, 기판 상에 일정 패턴으로 노광공정을 수행하게 된다.

이와 같이, 헤드나 기판이 이동과 정지를 반복하게 되면, 노광장치에 진동이 발생하게 되고, 이러한 진동은 빛이 방출되는 원점인 헤드와 기판 간의 상대적인 위치 및 거리를 변경시키게 되며, 이는 제품의 불량률을 증가시키는 요인이 되었다.

지금까지의 노광장치들은 클램프 등을 이용하여 기판의 특정 부분을 압착 지지함으로써, 기계적 진동에 의한 상대위치가 변화되는 것을 방지하고자 하였다.

그러나, PCB 인쇄 공정 및 PSR공정을 거친 기판들은, 형성된 회로 등에 의해 그 표면이 고른 상태가 아니므로, 클램프를 이용하여 일측을 가압 지지할 경우, 기판의 다른 부분에 구부러짐이나 변형이 발생할 수 있으며, 이는 제품의 불량률을 증가시키는 요인이 되므로, 앞서 설명한 문제점을 해결하기에 충분한 해결책이라고 하기에는 부족함이 많았다.

대한민국 등록특허공보 제10-1468664호 '인쇄회로기판용 노광장치의 기판흡착장치' 대한민국 공개특허공보 제10-2016-0108792호 'LDI 노광장치의 스테이지 보정장치 및 이를 이용한 보정방법'

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 본 발명은 LDI를 이용한 마스크리스 방식의 노광 장치에 있어서, 노광공정시 연성의 PCB기판(이하, '대상시트'라 함)을 효율적으로 지지함으로써, 제품의 수율 및 생산성을 크게 향상시킬 수 있는 LDI용 노광 장치를 제공하는데 목적이 있다.

특히, 본 발명은 클램프를 이용하여 특정 부분을 압착 지지하는 방식이 아니라, 빛이 조사되는 위치에 대응하여 대상시트의 지지위치도 이동될 수 있도록 롤러형태의 지지구조를 적용함으로써, 대상시트의 들뜸이나 구부러짐, 변형 등을 방지하고 정확한 노광공정이 이루어질 수 있도록 할 수 있는 LDI용 노광 장치를 제공하는데 목적이 있다.

한편, 선행기술2에서도 나타난 바와 같이, 연성의 기판인 대상시트에 노광공정을 수행하기 위해서는 스테이지에 놓여진 대상시트의 위치 및 각도, 회로패턴 등을 확인하고 이에 따라, 스테이지의 위치를 보정하거나 노광패턴을 보정하여 빛을 조사하게 된다.

이때, 기본위치와 실제 놓여진 위치의 오차가 클 경우, 이를 보정하기 위한 연산량이 크게 증가하며, 특히 노광패턴의 보정에 필요한 시간이 크게 증가할 뿐만 아니라, 패턴을 보정하는 과정에서 오차가 발생할 수 있다.

이에, 본 발명은 대상시트가 놓여지는 스테이지에 가이드핀을 구성하여, 대상시트가 일정한 위치에 놓여지도록 함으로써, 대상시트의 위치보정을 위한 연산량을 최소화하여 신속한 노광공정이 진행될 수 있도록 한 LDI용 노광 장치를 제공하는데 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 LDI용 노광 장치는, 대상시트가 놓여지는 스테이지; 상기 스테이지를 작업영역으로 로딩(Loading)하거나, 작업영역으로부터 언로딩(Unloading)하는 이동모듈; 설정된 패턴으로 상기 대상시트에 빛을 조사하여 노광작업을 수행하는 노광모듈; 상기 대상시트를 지지하는 지지모듈; 및 상기 대상시트가 놓여진 스테이지가 작업영역으로 로딩되면, 상기 지지모듈을 동작하여 로딩된 대상시트를 지지한 후, 상기 노광모듈을 동작하도록 제어하는 제어모듈;을 포함한다.

또한, 상기 지지모듈은, 상기 노광모듈의 적어도 일측에 인접하여, 승하강이 가능하도록 구성될 수 있다.

또한, 상기 지지모듈은, 상기 대상시트가 이동되면 상기 대상시트의 상부면을 지지하면서 자연회동되도록 구성된 지지롤러를 포함할 수 있다.

또한, 상기 제어모듈은, 상기 스테이지가 작업영역으로 로딩되면 상기 지지롤러를 하강시키고, 상기 노광모듈에 의한 노광작업이 종료되면 상기 지지롤러를 상승시킬 수 있다.

또한, 상기 스테이지는, 상기 대상시트가 놓여지는 흡착영역; 및 상기 지지롤러가 하강하여 위치하는 비흡착영역;을 포함하여 구성될 수 있다.

또한, 상기 비흡착영역은, 상기 노광모듈에 의한 노광작업에서 대상시트의 이동방향을 기준으로 상기 흡착영역에 비하여 전방에 형성될 수 있다.

또한, 상기 스테이지는, 상기 흡착영역과 비흡착영역의 경계를 따라, 돌출 및 삽입이 가능하도록 복수 개의 가이드핀이 구성될 수 있다.

또한, 상기 제어모듈은, 상기 가이드핀이 돌출된 상태에서 대상시트가 상기 스테이지에 놓여지면, 상기 이동모듈을 제어하여 해당 스테이지를 로딩한 후, 상기 지지롤러를 하강하기 이전에 상기 가이드핀을 스테이지 내부로 삽입할 수 있다.

또한, 상기 이동모듈은, 상기 대상시트를 로딩 및 언로딩하는 제1 동작모드; 및 상기 노광작업에서 상기 노광모듈의 동작에 대응하여 이동하는 제2 동작모드; 중 어느 하나로 동작되고, 상기 제어모듈은, 상기 가이드핀이 돌출된 상태에서 상기 스테이지의 흡착영역에 대상시트가 놓여지면, 상기 이동모듈을 제1 동작모드로 동작시켜 대상시트를 작업영역으로 로딩하고 상기 가이드핀을 삽입한 후, 상기 지지롤러를 하강시키고 상기 노광모듈의 동작에 연계하여 상기 이동모듈을 제2 동작모드로 동작시켜 노광작업을 수행할 수 있다.

또한, 상기 노광모듈은, 상기 대상시트를 복수 개로 분할된 단위작업영역별로 노광작업을 수행하도록 동작되고, 상기 이동모듈은, 상기 제2 동작모드에서 분할된 단위작업영역에 대응하여 순차적으로 이동되도록 동작되며, 상기 지지모듈은, 상기 노광모듈에 의해 노광작업이 수행되는 단위작업영역의 양측을 지지하도록, 상기 제2 동작모드에서 이동모듈의 이동방향에 대응하여 상기 노광모듈의 전방 및 후방에 각각 지지롤러가 구성될 수 있다.

상기와 같은 해결수단에 의해, 본 발명은 노광공정시 연성의 PCB기판인 대상시트를 지지롤러로 지지함으로써, 대상시트가 이동되더라도 노광부위를 안정적으로 지지할 수 있는 장점이 있다.

이와 같이, 본 발명은 LDI를 이용한 마스크리스 방식의 노광 장치에 있어서, 노광공정이 진행되는 과정에서 대상시트를 효율적으로 지지함으로써, 제품의 수율 및 생산성을 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

특히, 본 발명은 클램프를 이용하여 특정 부분을 압착 지지하는 방식이 아니라, 앞서 설명한 바와 같이 빛이 조사되는 위치에 대응하여 대상시트의 지지위치도 이동될 수 있도록 롤러형태의 지지구조를 적용함으로써, 대상시트의 들뜸이나 구부러짐, 변형 등을 방지하고 정확한 노광공정이 이루어질 수 있도록 하는 장점이 있다.

또한, 본 발명은 스테이지에 돌출 및 삽입이 가능하도록 구성된 가이드핀을 이용하여 대상시트가 일정한 위치에 놓여지도록 함으로써, 노광공정이 보다 신속하고 정확하게 이루어질 수 있도록 하는 장점이 있다.

특히, 본 발명은 노광 장치가 대상시트의 위치 및 회로패턴을 인식하고, 이에 따라 노광패턴을 보정하는 과정에서, 가이드핀을 이용하여 기본위치와 실제 놓여진 위치의 오차를 최소화하고, 이를 통해 대상시트의 위치보정을 위한 연산량을 최소화할 수 있는 장점이 있다.

이에, 본 발명은 연상량을 최소화함에 따라 오차발생확률을 크게 감소시키고, 보다 신속한 노광공정이 진행될 수 있도록 하여, 제품의 수율 및 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

따라서, LDI를 이용한 마스크리스 방식의 노광기술분야 및 이를 이용한 PCB 회로 공정 분야, PSR 공정 분야, 플랙시블 기판 제조 분야는 물론, 이와 유사 내지 연관된 분야에서 신뢰성 및 경쟁력을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명에 의한 LDI용 노광 장치의 일 실시예를 나타내는 구성도이다.
도 2는 도 1을 이용한 노광공정의 일 실시예를 나타내는 흐름도이다.
도 3은 도 1의 구체적인 일 실시예를 나타내는 구성도이다.
도 4는 도 3을 이용한 노광공정의 일 실시예를 나타내는 흐름도이다.
도 5 내지 도 9는 도 3을 이용하여 도 4의 각 과정을 설명하는 도면이다.

본 발명에 따른 LDI용 노광 장치에 대한 예는 다양하게 적용할 수 있으며, 이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 가장 바람직한 실시 예에 대해 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 의한 LDI용 노광 장치의 일 실시예를 나타내는 구성도이다.

도 1을 참조하면, LDI용 노광장치(A)는 스테이지(100), 이동모듈(200), 노광모듈(300), 지지모듈(400) 및 제어모듈(500)을 포함한다.

스테이지(100)는 연성의 PCB 기판을 포함하는 대상시트(s)가 놓여지는 것으로, 진공흡착방식에 의해 대상시트(s)의 놓여진 위치가 유지되도록 할 수 있다.

이동모듈(200)은 스테이지(100)를 노광공정이 이루어지는 작업영역으로 로딩(Loading)하거나 작업영역으로부터 언로딩(Unloading)하는 것으로, 레일형태로 구성되어 스테이지(100)를 왕복이동시키거나, 로봇암을 이용하여 스테이지(100)를 운반하는 형태로 적용이 가능하다.

노광모듈(300)은 작업영역에 구성되어 설정된 패턴으로 대상시트(s)에 빛을 조사하여 노광작업을 수행하는 것으로, 빛을 방출하는 헤드(도시하지 않음)와 스테이지(100)의 상부에서 일정하게 이동할 수 있는 이동부(도시하지 않음)를 포함할 수 있다.

지지모듈(400)은 대상시트(s)를 지지하는 것으로, 평상시 상부에 위치한 상태에서 스테이지(100)가 작업영역으로 로딩되면 하강하여 대상시트(s)의 상부를 지지하게 된다.

제어모듈(500)은 이동모듈(200), 노광모듈(300) 및 지지모듈(400)의 동작을 제어하며, 노광공정을 수행할 수 있다.

이하에서, 제어모듈(500)이 각 구성을 제어하여 대상시트(s)에 대한 노광공정을 수행하는 과정에 대해 살펴보기로 한다.

도 2는 도 1을 이용한 노광공정의 일 실시예를 나타내는 흐름도이다.

도 2를 참조하면, 제어모듈(500)은 로딩단계(S100), 노광단계(S200) 및 언로딩단계(S300)를 통해, 대상시트(s)에 대한 노광공정을 수행할 수 있다.

로딩단계(S100)에서, 작업자에 의해 또는 로봇암 등의 자동화기기에 의해 스테이지(100)의 상부에 대상시트(s)가 놓여지게 되면(S110), 제어모듈(500)은 이동모듈(200)을 제어하여 대상시트(s)가 놓여진 스테이지(100)를 작업영역으로 이동시킬 수 있다(S120). 이때, 이동모듈(200)은 한번의 동작으로 대상시트(s)를 작업영역까지 이동시킬 수 있는 제1 이동모드로 동작될 수 있다.

노광단계(S200)에서, 제어모듈(500)은 지지모듈(400)이 하강하도록 동작하여 작업영역으로 로딩된 대상시트(s)를 지지한 후(S210), 노광모듈(300)을 동작하여 대상시트(s)에 대한 노광작업을 수행할 수 있다(S220). 이때, 이동모듈(200)은 노광모듈(300)의 동작에 대응하여 스테이지(100)를 일정간격으로 이동시킬 수 있는 제2 이동모드로 동작될 수 있다.

언로딩단계(S300)에서, 제어모듈(500)은 대상시트(s)를 지지하던 지지모듈(400)을 원래의 위치까지 이동(상승)시킨 후(S310), 노광작업이 완료된 대상시트(s)를 언로딩할 수 있다(S320). 이때, 이동모듈(200)은 한번의 동작으로 대상시트(s)를 언로딩할 수 있도록 제1 이동모드로 동작될 수 있다.

이하에서, 도 1에 나타난 LDI용 노광 장치(A)의 구체적인 실시예를 참조하여 제어모듈(500)이 각 구성들을 제어하는 과정을 보다 구체적으로 설명하기로 한다.

도 3은 도 1의 구체적인 일 실시예를 나타내는 구성도이다.

도 3을 참조하면, 스테이지(100)의 상부에는 복수 개의 흡입홀(101)이 형성될 수 있으며, 진공펌프(102)에 의해 흡입홀(101)에 음압이 형성될 수 있다. 이에, 대상시트(s)가 스테이지(100)의 상부에 놓여지면, 흡입홀(101)에 의해 형성된 음압에 의해 대상시트(s)가 스테이지(100)의 상부에 밀착되면서 안정적으로 지지될 수 있다.

한편, 스테이지(100)의 상부는 도 7에 나타난 바와 같이 흡착영역(R1)과 비흡착영역(R2)으로 구분될 수 있다.

흡착영역(R1)은 대상시트(s)가 놓여지는 영역으로, 앞서 설명한 바와 같이 복수 개의 흡입홀(101)이 형성될 수 있다.

비흡착영역(R2)은 하기에 설명될 지지롤러(410) 중 하나(도 3에서는 좌측의 지지롤러)가 하강하여 위치하는 영역으로, 노광모듈(300)에 의해 노광작업이 이루어는 과정에서 대상시트(s)의 이동방향(도 3에서는 좌측이고, 도 7에서는 상부)을 기준으로 흡착영역(R1)에 비하여 전방(도 3에서는 좌측이고, 도 7에서는 상부)에 형성될 수 있다.

다시 말해, 비흡착영역(R2)에 지지롤러(410)가 하강된 상태에서, 노광모듈(300)에 의해 노광작업이 이루어지면서 대상시트(s)가 이동되면, 대상시트(s)의 일측(전방)부분이 하강된 지지롤러(410)에 의해 지지될 수 있다.

그리고, 스테이지(100)에는 흡착영역(R1)과 비흡착영역(R2)의 경계를 따라, 돌출 및 삽입이 가능하도록 복수 개의 가이드핀(110)이 구성될 수 있으며, 이러한 가이드핀(110)에 의해 대상시트(s)가 일정한 위치에 놓여질 수 있다.

이때, 가이드핀(110)은 실린더(111)에 의해 스테이지(100)의 상부로 돌출되거나, 스테이지(100)의 내부로 삽입될 수 있다. 여기서, 실린더(111)는 공압실린더 및 유압실린더를 포함할 수 있으나, 응답속도가 빠른 공압실린더를 이용함이 바람직하다.

이동모듈(200)은 스테이지(100)가 로딩 및 언로딩 되는 방향을 따라 구성된 종축레일(210)과, 스테이지(100)가 결합되며 종축레일(210)을 따라 이동하는 종축이동부(220)를 포함할 수 있다.

노광모듈(300)은 스테이지(100)가 이동하는 방향과 수직인 방향으로 구성된 횡축이동부(310)를 포함하며, 대상시트(s)의 상부에서 횡축으로 왕복이동하면서 노광작업을 수행할 수 있다.

지지모듈(400)은 노광모듈(300)의 적어도 일측, 도 3에서는 양측에 인접하여 승하강이 가능하도록 구성된 지지롤러(410)를 포함할 수 있다.

회동가능하도록 구성된 지지롤러(410)를 이용하여 대상시트(s)를 지지하게 되면, 노광작업이 수행되는 과정에서 대상시트(s)가 이동하는 경우, 지지롤러(410)가 대상시트(s)의 상부면을 지지한 상태에서 자연적으로 회동(자연회동)되면서 지속적으로 대상시트(s)를 지지할 수 있다.

특히, 지지롤러(410)를 이용하게 되면, 노광모듈(300)로부터 일정한 거리를 지속적으로 지지하게 되므로, 정확한 패턴의 노광작업이 이루어질 수 있음은 물론, 노광작업시 대상시트(s)의 들뜸, 구부러짐, 변형 등의 발생을 방지하고 안정적으로 지지할 수 있다.

도 3에서, 미설명부호 '112'는 공압펌프이다.

도 4는 도 3을 이용한 노광공정의 일 실시예를 나타내는 흐름도이고, 도 5 내지 도 9는 도 3을 이용하여 도 4의 각 과정을 설명하는 도면이다.

이하에서, 도 5 내지 도 9를 참조하여 도 4를 설명하기로 한다.

먼저, 도 5의 상부와 같이 스테이지(100)의 상부로 가이드핀(110)이 돌출된 상태에서(S101), 가이드핀(110)에 가장자리가 지지되도록 대상시트(s)를 안착시킨다(S110).

이와 같이 스테이지(100)의 상부면에 놓여진 대상시트(s)는, 진공펌프(102)에 의해 흡입홀(101)에 형성된 음압으로 인해, 해당 위치가 안정적으로 유지될 수 있다.

이후, 제어모듈(500)은 이동모듈(200)이 제1 동작모드로 동작되도록 제어하여, 도 5의 하부와 같이 대상시트(s)가 놓여진 스테이지(100)를 노광모듈(300)이 배치된 작업영역까지 이동시킬 수 있다(S120).

제어모듈(500)은 대상시트(s)가 놓여진 스테이지(100)가 작업영역으로 로딩되면, 도 6의 상부에 나타난 바와 같이 돌출된 가이드핀(110)을 스테이지(100)의 내부로 삽입시키고(S201), 도 6의 하부에 나타난 바와 같이 지지모듈(400)을 제어하여 지지롤러(410)를 하강시킬 수 있다(S210).

이때, 지지모듈(400)의 지지롤러(410) 중 어느 하나(도 6에서 좌측)는, 도 7에 나타난 비흡착영역(R2) 중 흡착영역(R1)의 상부에 해당하는 부분으로 하강하게 된다.

이후, 제어모듈(500)은 노광모듈(300) 및 이동모듈(200)을 제어하여 노광작업을 수행하게 된다(S220).

한편, 앞서 설명한 바와 같이 노광모듈(300)의 헤드에서 방출된 빛을 이용하여 노광작업을 할 수 있는 노광영역(R3)은 대상시트(s)의 전체 면적에 비해 상대적으로 매우 좁을 수 밖에 없다.

이에, 노광모듈(300)은 대상시트(s)를 복수 개로 분할된 단위작업영역(Δw)별로 노광작업을 수행할 수 있다. 보다 구체적으로, 노광모듈(300)은 도 3에 나타난 횡축이동부(310)에 의해 도 7의 상부에 나타난 바와 같이 폭방향(도 7에서 좌우방향)으로 이동하면서 노광작업을 수행할 수 있다.

어느 하나의 단위작업영역(Δw)에 대한 노광작업이 완료되면, 도 7의 중앙에 나타난 바와 같이 이동모듈(200)은 제2 동작모드에 의해 해당 단위작업영역(Δw)의 폭만큼 이동하게 되며, 이때 노광모듈(300)은 원래의 위치(도 7에서 좌측)으로 이동하게 된다.

이후, 도 7의 하부에 나타난 바와 같이 다음 순서의 단위작업영역(Δw)에 대한 노광작업을 수행할 수 있다.

그리고, 이와 같이 연속적으로 노광작업이 이루어지는 과정에서, 지지모듈(400)의 지지롤러(410)는 노광작업이 이루어지는 단위작업영역(Δw)의 전방 및 후방(도 7에서 상부 및 하부)을 지지함으로써, 해당 단위작업영역(Δw)에 대한 노광작업이 정확하게 이루어질 수 있도록 할 수 있다.

상기와 같은 과정에 의해 노광작업이 완료되면, 제어모듈(500)은 도 8의 상부에 나타난 바와 같이, 지지모듈(400)의 지지롤러(410)를 상승시키고(S310), 도 8의 하부에 나타난 바와 같이 이동모듈(200)을 제1 동작모드로 동작시켜 작업영역으로부터 언로딩할 수 있다(S320).

이후, 도 9의 상부에 나타난 바와 같이 스테이지(100)로부터 대사시트(s)가 회수되면(S330), 제어모듈(500)은 스테이지(100)의 내부로 삽입되어 있던 가이드핀(110)을 다시 돌출(S340)시켜 다음 대상시트(s)가 놓여지는 것을 가이드하도록 할 수 있다.

지금까지의 설명에서, 제어모듈(500)이 스테이지(100)의 상부에 대상시트(s)가 놓여지고 회수되는 것을 확인하는 방법에 대해서는 당업자의 요구에 따라 다양하게 적용될 수 있으므로, 구체적으로 한정하지 않지 않았다. 예를 들어, 스테이지(100)의 흡입홀(101) 측에 발생되는 압력부하를 측정하는 센서를 구성하고, 해당 센서에 의해 측정된 압력변화를 통해, 대상시트(s)의 안착여부를 확인할 수 있다. 다른 예로, 작업자에 의해 대상시트(s)가 놓여지고 회수 될 경우, 작업자에 의해 조작되는 버튼의 입력신호를 통해 대상시트(s)의 안착여부를 확인할 수 있다.

이상에서 본 발명에 의한 LDI용 노광 장치에 대하여 설명하였다. 이러한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.

그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다.

A : LDI용 노광 장치
R1 : 흡착영역 R2 : 비흡착영역
100 : 스테이지
101 : 흡입홀 110 : 가이드핀
200 : 이동모듈 300 : 노광모듈
400 : 지지모듈 500 : 제어모듈

Claims (10)

1. 대상시트가 놓여지는 스테이지;
   상기 스테이지를 작업영역으로 로딩(Loading)하거나, 작업영역으로부터 언로딩(Unloading)하는 이동모듈;
   설정된 패턴으로 상기 대상시트에 빛을 조사하여 노광작업을 수행하는 노광모듈;
   상기 대상시트를 지지하는 지지모듈; 및
   상기 대상시트가 놓여진 스테이지가 작업영역으로 로딩되면, 상기 지지모듈을 동작하여 로딩된 대상시트를 지지한 후, 상기 노광모듈을 동작하도록 제어하는 제어모듈;을 포함하는 LDI용 노광 장치.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 지지모듈은,
   상기 노광모듈의 적어도 일측에 인접하여, 승하강이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 LDI용 노광 장치.
   
3. 제 2항에 있어서,
   상기 지지모듈은,
   상기 대상시트가 이동되면 상기 대상시트의 상부면을 지지하면서 자연회동되도록 구성된 지지롤러를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 LDI용 노광 장치.
   
4. 제 3항에 있어서,
   상기 제어모듈은,
   상기 스테이지가 작업영역으로 로딩되면 상기 지지롤러를 하강시키고,
   상기 노광모듈에 의한 노광작업이 종료되면 상기 지지롤러를 상승시키는 것을 특징으로 하는 LDI용 노광 장치.
   
5. 제 3항에 있어서,
   상기 스테이지는,
   상기 대상시트가 놓여지는 흡착영역; 및
   상기 지지롤러가 하강하여 위치하는 비흡착영역;을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 LDI용 노광 장치.
   
6. 제 5항에 있어서,
   상기 비흡착영역은,
   상기 노광모듈에 의한 노광작업에서 대상시트의 이동방향을 기준으로 상기 흡착영역에 비하여 전방에 형성된 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 LDI용 노광 장치.
   
7. 제 5항에 있어서,
   상기 스테이지는,
   상기 흡착영역과 비흡착영역의 경계를 따라, 돌출 및 삽입이 가능하도록 복수 개의 가이드핀이 구성된 것을 특징으로 하는 LDI용 노광 장치.
   
8. 제 7항에 있어서,
   상기 제어모듈은,
   상기 가이드핀이 돌출된 상태에서 대상시트가 상기 스테이지에 놓여지면, 상기 이동모듈을 제어하여 해당 스테이지를 로딩한 후, 상기 지지롤러를 하강하기 이전에 상기 가이드핀을 스테이지 내부로 삽입하는 것을 특징으로 하는 LDI용 노광 장치.
   
9. 제 8항에 있어서,
   상기 이동모듈은,
   상기 대상시트를 로딩 및 언로딩하는 제1 동작모드; 및
   상기 노광작업에서 상기 노광모듈의 동작에 대응하여 이동하는 제2 동작모드; 중 어느 하나로 동작되고,
   상기 제어모듈은,
   상기 가이드핀이 돌출된 상태에서 상기 스테이지의 흡착영역에 대상시트가 놓여지면, 상기 이동모듈을 제1 동작모드로 동작시켜 대상시트를 작업영역으로 로딩하고 상기 가이드핀을 삽입한 후, 상기 지지롤러를 하강시키고 상기 노광모듈의 동작에 연계하여 상기 이동모듈을 제2 동작모드로 동작시켜 노광작업을 수행하는 것을 특징으로 하는 LDI용 노광 장치.
   
10. 제 9항에 있어서,
    상기 노광모듈은,
    상기 대상시트를 복수 개로 분할된 단위작업영역별로 노광작업을 수행하도록 동작되고,
    상기 이동모듈은,
    상기 제2 동작모드에서 분할된 단위작업영역에 대응하여 순차적으로 이동되도록 동작되며,
    상기 지지모듈은,
    상기 노광모듈에 의해 노광작업이 수행되는 단위작업영역의 양측을 지지하도록, 상기 제2 동작모드에서 이동모듈의 이동방향에 대응하여 상기 노광모듈의 전방 및 후방에 각각 지지롤러가 구성된 것을 특징으로 하는 LDI용 노광 장치.

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