JP2003066466A - 基板重ね合わせ装置、基板の貼り合わせ方法、および液晶セルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板類に歪みが生じていたとしても、微調整
の必要なく位置合わせを行うことができるようにする。 【解決手段】 アレイ基板３およびカラーフィルター基
板４に付されたアライメントマークをアライメントカメ
ラ１０により撮像して、その位置を位置算出部１３によ
り算出し、算出されたアライメントマークの位置から、
基準点位置算定部１４により、アレイ基板３およびカラ
ーフィルター基板４の位置合わせ基準点の位置を算出す
る。一方、両基板における所定方向の中線同士がなす角
を角度算定部１５において算出し、基準点位置算定部１
４、角度算定部１５の算出結果に基づき、動作命令部１
６が、保持手段９を制御して、両基板の位置合わせ基準
点の位置がＺ方向から見た場合に一致し、かつ、各基板
の中線同士が一致するように、カラーフィルター基板４
またはアレイ基板３を移動・回転させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の物体または
基板を相互に重ね合わせるために位置合わせを行う装
置、基板の重ね合わせ方法、および、液晶セルの製造方
法に関し、特に、液晶セルを構成する基板類を正確に重
ね合わせるための技術に係るものである。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、液晶セルの製造工程にお
いて、セル組み立て工程はアレイ（ＴＦＴ）基板および
カラーフィルター（ＣＦ）基板を位置合わせしながら貼
り合わせる工程であり、セルの開口率等の光学的特性を
左右する重要な工程となっている。以下に、従来のセル
組み立て工程の一例を示す。

【０００３】図１０は、液晶セルの組み立て装置１００
の構成を模式的に示すものである。図中に示すように、
組み立て装置１００は、組み立てユニット１０１、プレ
スユニット１０２、微位置合わせユニット１０３の３ユ
ニットから構成されている。組み立てユニット１０１で
は、組み立てテーブル（図示略）上に配置されたアレイ
基板３およびカラーフィルター基板４の双方に付された
位置合わせマーク（アライメントマーク）が位置合わせ
アライメントカメラ１０５により読み取られ、読み取ら
れた画像が画像処理装置（図示略）に出力されて処理さ
れる。画像処理装置では、その内部のアルゴリズムによ
り、それぞれの基板位置のずれ量を計算する。計算され
た基板位置のずれ量は、組み立てユニット１０１にフィ
ードバックされ、これに基づいてアレイ基板３およびカ
ラーフィルター基板４の相対位置が修正され、この状態
で、両基板が貼り合わせられる。

【０００４】次に、貼り合わせられたアレイ基板３およ
びカラーフィルター基板４は、プレスユニット１０２に
送られ、両者の隙間の間隔が規定寸法となるまで均一に
加圧される。そして、このように一体化されたアレイ基
板３およびカラーフィルター基板４は、微位置合わせユ
ニット１０３に送られ、ここで再度、アレイ基板３およ
びカラーフィルター基板４の相対位置が確認される。こ
の際、両基板間にズレが生じている場合には、さらに画
像処理を行って位置補正をかけ、両基板をより正確な位
置に位置合わせする。

【０００５】このような組み立て装置１００においてア
レイ基板３およびカラーフィルター基板４の位置合わせ
をする際のアルゴリズムを以下に示す。図１１は、アレ
イ基板３上にカラーフィルター基板４を重ね合わせた場
合の状態をその上方から見た図である。図中に示すよう
に、アレイ基板３に対してカラーフィルター基板４を位
置合わせしようとする場合、アライメントマークＡ１お
よびＢ１でのＸ方向およびＹ方向のズレ量を：ΔＸ１，
ΔＹ１、アライメントマークＡ２およびＢ２でのＸ方向
およびＹ方向のズレ量を：ΔＸ２，ΔＹ２、アライメン
トマークＡ３およびＢ３でのＸ方向およびＹ方向のズレ
量を：ΔＸ３，ΔＹ３、アライメントマークＡ４および
Ｂ４でのＸ方向およびＹ方向のズレ量を：ΔＸ４，ΔＹ
４、とすると、基板の中心でのＸ方向のズレ量ΔＸ、Ｙ
方向のズレ量ΔＹ、基板の傾きのズレ量Δθは、以下の
ように表すことができる。

【０００６】 ΔＸ＝（ΔＸ１＋ΔＸ２＋ΔＸ３＋ΔＸ４）／４ …（１） ΔＹ＝（ΔＹ１＋ΔＹ２＋ΔＹ３＋ΔＹ４）／４ …（２） Δθ＝ Tan^-1（（（ΔＸ１＋ΔＸ４）／２ −（ΔＸ２＋ΔＸ３）／２）／Ｙｄ） …（３） ここに、Ｙｄ：設計値におけるＹ方向のアライメントマ
ークＡ１，Ａ２（またはＡ３，Ａ４）間の距離である。

【０００７】以上の式によりΔＸ、ΔＹ、Δθが求めら
れ、これらの値に基づいてカラーフィルター基板４を移
動させることで、アレイ基板３に対してカラーフィルタ
ー基板４を位置合わせすることができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述のようなセル組み
立て工程には、以下のような問題点がある。上述のセル
組み立て方法では、式（３）に示したように、設計値Ｙ
ｄを利用するようになっている。つまり、この方法にお
いては、アレイ基板３とカラーフィルター基板４が設計
値通りの寸法であり、さらに、基板にプリントされてい
る位置合わせ用のアライメントマークＡ１，Ａ２，Ａ
３，Ａ４およびＢ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４も設計値通りの
位置に設けられていることが前提とされている。

【０００９】しかし、現実には、セル組み立て工程に投
入されるアレイ基板３やカラーフィルター基板４は、図
１２に模式的に示すように、前の工程での応力ストレス
や熱履歴により歪んだ状態でセル組み立て工程に投入さ
れる。例えば、ガラスの素材は、温度により熱膨張係数
が異なり、アレイ基板３およびカラーフィルター基板４
間に１℃の温度差があると、３０ｃｍ長さのガラス製基
板で１．１３μｍもの差が生じる。

【００１０】したがって、こうした歪みをもった基板同
士を従来のアルゴリズムで正確に位置合わせすることは
困難であり、現状では、ある妥協値以内となるまで上述
のアルゴリズムを繰り返し、位置ズレが妥協値以内とな
ったところで、位置合わせを完了させるようにしてい
る。このため、位置合わせを行う回数が増え（現状では
２〜５回）、それに要する時間も必要となっている。

【００１１】また、現在、アレイ基板３とカラーフィル
ター基板４との間隙の保持のために、これらの間に図１
３に示すような微小ボール１０６を設けるのに代えて、
図１４に示すような柱状のスペーサポスト１０７をカラ
ーフィルター基板４に設けることが行われるようになっ
てきている。こうしたスペーサポスト１０７を設けた場
合、微小ボール１０６を用いた場合に比較してアレイ基
板３およびカラーフィルター基板４間の摩擦が大きくな
るため、上述の微位置合わせユニット１０３での工程に
おいて、両基板の相対移動が困難となる。すなわち、現
状では、基板を組み立てた後に位置の微調整をすること
は困難であり、こうした微調整を不要とするような技術
が求められている。

【００１２】ところで、半導体基板類の位置合わせ方法
としては、特開２０００−１６１９１３公報や特開平６
−１５１２７５号公報に記載された技術が一般に知られ
ている。これらのうち、特開２０００―１６１９１３公
報では、複数のシート状物体に付されたアライメントマ
ークの重心を、それぞれのシート状物体について求める
とともに、これら重心が一致するようにシート状物体を
移動し、さらに、複数のシート状物体において互いに対
応するアライメントマーク同士間の距離を最小とするよ
うな回転角で、シート状物体を回転させるようにしてい
る。

【００１３】また、特開平６−１５１２７５号公報にお
いては、半導体基板およびレチクルを位置合わせする際
に、半導体に設けられたアライメントマークの重心を求
め、この重心を原点とした基準座標からの各アライメン
トマークの偏角差が最小になるように半導体基板を回転
させるとともに、レチクルに設けられたアライメントマ
ークの基準座標からの偏角差が最小となるようにレチク
ルを回転させるようにしている。

【００１４】これらの技術においては、基板類に与える
べき変位をアライメントマークの位置から直接求めるこ
とが可能であり、また、設計値を利用することがないた
めに、位置合わせを何回も行う必要が無く、また、基板
類の重ね合わせ後の位置の調整も必要ない。

【００１５】しかしながら、これらの技術においては、
アライメントマーク同士の距離、またはアライメントマ
ークの基準座標からの偏角が最小となるように基板類を
変位させるようにしている。アライメントマークは、一
般に基板類の外縁部に設けられるのが通常であり、この
ように基板類を変位させることは、回路パターンの外縁
部で位置合わせすることを意味する。ところが、半導体
基板やアレイ基板、カラーフィルター基板の回路パター
ンは、通常、光学レンズを有する露光機を使用すること
により、回路パターンの中心部を基準として焼き付けら
れており、回路パターンの部分が誤差がもっとも少な
く、ここから離間するにしたがって誤差が大きくなって
いく。したがって、上述の技術では誤差の大きい部分を
位置合わせすることとなり、上述の技術を単純に液晶セ
ルの組み立て工程に適用したとしても誤差が過大とな
り、画素の開口率の低下を招くことが懸念される。

【００１６】本発明は、以上のような技術的課題に基づ
いてなされたもので、基板類に歪みが生じていたとして
も、微調整の必要なく位置合わせを行うことができ、な
おかつ、位置合わせ誤差が少なくなるような基板類の重
ね合わせ装置等を提供することを主たる目的とする。ま
た、他の目的は、液晶セルの開口率を低下させる懸念の
ない、液晶セルの製造方法等を提供することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】かかる目的のもと、本発
明の基板重ね合わせ装置は、互いに平行配置された一対
の基板の相対位置を調整可能とされた位置決め部と、位
置決め部の動作を制御する制御装置とを備え、制御装置
が、各基板に付された複数のマークの重心である位置合
わせ基準点同士の相対位置を算定する基準点位置算定部
と、各基板において複数のマークに含まれる４つのマー
クを頂点とする四辺形の中点のうちの互いに対向する２
点を結ぶ直線同士がなす角度を算定する角度算定部と、
算定された相対位置および角度に基づいて、位置決め部
を動作させる動作命令部とを有することを特徴としてい
る。

【００１８】このような構成により、複数の基板を、位
置合わせ基準点が一致するように移動させるとともに、
位置合わせのための直線同士が一致するように回転させ
ることができる。また、マークが基板の外縁部に設けら
れていれば、位置合わせ基準点を基板の中央部に設定す
ることができる。したがって、基板同士を、その中央部
において位置合わせすることができる。これにより、基
板に付された位置合わせを行うべき回路パターン等の配
置精度が、位置合わせ領域の中央部において高く、そこ
から離間するに従って低くなっていくような場合には、
基板の外縁部において位置合わせを行う従来技術に比較
して、位置合わせの精度が向上する。この場合、基準点
位置算定部は、例えば、４つのマークの重心位置を位置
合わせ基準点として算定するようにすることができる。

【００１９】また、一対の基板が、マトリックス状に配
置された複数の要素を有しており、これらの要素が、互
いに交差する第１の軸と第２の軸とのそれぞれに関して
線対称な形状を有し、なおかつ、第１の軸方向の長さが
第２の軸方向の長さよりも大きい場合には、角度算定部
が、算定すべき角度を求めるための直線として、第１の
軸方向に延在するものを用いることができる。これによ
り、要素同士を位置合わせする場合に、要素の長手方向
に延在する直線の向きが一致するように、基板同士を位
置合わせすることが可能となる。なお、ここで、算定す
べき角度を求めるための直線は、その方向が、必ずしも
第１の軸方向と一致している必要はなく、第１の軸方向
とほぼ同一の方向であればよい。

【００２０】また、この場合、複数の要素が、矩形状の
領域内にマトリックス状に配置されていれば、一対の基
板のそれぞれに形成された４つのマークが、この領域の
外であってこの領域の各頂点の近傍に配置され、位置決
め部が、各基板の位置合わせ基準点が一致するように各
基板を相対的に移動し、各基板についての直線同士が一
致するように、各基板を相対的に回転させるようにして
もよい。

【００２１】また、本発明は、第１の基板および第２の
基板を、これら第１の基板および第２の基板に付された
マークの位置から決定される位置合わせ基準点同士が互
いに一致するように配置する第一のステップと、第１の
基板および第２の基板に形成された矩形状要素同士の短
辺方向のずれを減ずるように、第１の基板および第２の
基板のうちの少なくとも一方を回転させる第二のステッ
プと、第１の基板および第２の基板を貼り合わせる第三
のステップとを備えた基板の貼り合わせ方法としても捉
えることができる。つまり、第二のステップで、対応す
る画素構成要素同士の短辺方向のずれが最小となるよう
に、第１の基板および第２の基板のうちの少なくとも一
方を回転させることによって、複数の矩形状要素同士が
重なり合う面積を最大化することができる。なお、この
場合、第１の基板および第２の基板には、板状の部材す
べてが含まれるものとする。

【００２２】また、第二のステップでは、第１の基板お
よび第２の基板について、矩形状要素の長辺方向に延在
する仮想直線を設定し、仮想直線同士の向きが一致する
ように、第１の基板および第２の基板のうちの少なくと
も一方を回転させることが望ましい。また、位置合わせ
基準点を、マークのうち少なくとも一部の平均位置とし
て導出し、仮想直線を、マークのうちの４つを頂点とす
る四辺形の中点のうち互いに対向する２点を結ぶ直線同
士の交点を求めることにより導出するようにしてもよ
い。

【００２３】また、本発明は、液晶セルの製造方法、す
なわち、アレイ基板および対向基板のそれぞれについて
の所定方向の中線を求めるステップ（Ａ）と、アレイ基
板および対向基板の双方の位置合わせ基準点の位置を算
出するステップ（Ｂ）と、アレイ基板および対向基板
を、位置合わせ基準点を通りその板面に直交する中心軸
同士を一致させた状態とするステップ（Ｃ）と、アレイ
基板および対向基板のいずれか一方または双方を、中線
同士が一致するように中心軸周りに回転させて位置決め
するステップ（Ｄ）と、ステップ（Ｃ）および（Ｄ）に
おいて位置決めされたアレイ基板および対向基板を、中
心軸と同方向に重ね合わせるステップ（Ｅ）とを備えた
方法としても捉えることができる。なお、この場合、ス
テップ（Ａ）とステップ（Ｂ）、（Ｄ）、ステップ
（Ｂ）とステップ（Ａ）、（Ｃ）との順序は問わない。
つまり、ステップ（Ｃ）より先にステップ（Ａ）が、ス
テップ（Ｄ）より先にステップ（Ｂ）が行われれば、こ
れらの順序は不同である。

【００２４】また、ここで、アレイ基板および対向基板
の四隅にアライメントマークが設けられている場合に
は、ステップ（Ａ）において、互いに隣接するアライメ
ントマーク同士の中点の位置をそれぞれ求め、中点のう
ち、互いに対向する２点同士を結ぶ直線を仮想直線とす
るとともに、ステップ（Ｂ）において、アライメントマ
ークの重心位置を位置合わせ基準点とすることが望まし
い。

【００２５】さらに、所定方向を、アレイ基板および対
向基板に形成された画素構成要素の長辺方向に設定する
ことによって、製造される液晶セルの開口率の低下を避
けることができる。

【００２６】さらに、この場合、アレイ基板および対向
基板のうちの少なくとも一方において、同他方に対向さ
せて配置される面には、アレイ基板および対向基板を一
定間隔に保持するためのスペーサが固定されていてもよ
い。つまり、本液晶セルの製造方法は、アレイ基板およ
び対向基板を貼り合わせた後の位置の微調整が不要であ
るために、このようにスペーサが固定される形式の液晶
セルに好適に用いることができるのである。なお、スペ
ーサとしては、例えば、柱状に形成されたスペーサポス
ト等が考えられる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に示す実施の形態
に基づいてこの発明を詳細に説明する。図１は、本実施
の形態における液晶セル製造装置１の要部を模式的に示
す図である。この液晶セル製造装置１は、液晶セルを構
成するアレイ（ＴＦＴ）基板（第１の基板）３をカラー
フィルター基板（対向基板、第２の基板）４に対して貼
り合わせる機能を有するものであり、位置合わせユニッ
ト５、プレスユニット６、および制御装置７を備えてい
る。

【００２８】位置合わせユニット５は、アレイ基板３を
載置可能な位置合わせテーブル８上に、カラーフィルタ
ー基板４を保持および移動可能な保持手段（位置決め
部）９と、位置合わせテーブル８上の特定範囲を撮像可
能な計４つのアライメントカメラ１０とを備えた構成と
なっている。なお、アレイ基板３およびカラーフィルタ
ー基板４は矩形形状に形成されており、各アライメント
カメラ１０は、後述するように、アレイ基板３およびカ
ラーフィルター基板４の四隅に設けられたアライメント
マークＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４およびＢ１，Ｂ２，Ｂ
３，Ｂ４に対応した位置に設けられ、これらアライメン
トマークＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４およびＢ１，Ｂ２，Ｂ
３，Ｂ４を認識することができるようになっている。

【００２９】また、プレスユニット６は、位置合わせユ
ニット５において位置合わせが行われたアレイ基板３お
よびカラーフィルター基板４を押圧するプレス手段１１
を備えている。

【００３０】制御装置７は、アライメントカメラ１０
と、保持手段９と、プレスユニット６のプレス手段１１
とに対して接続されている。アライメントカメラ１０に
おいて撮影された画像は、制御装置７に対して出力さ
れ、この出力結果に基づき、制御装置７の位置算出部１
３が所定の画像処理を行って、アレイ基板３およびカラ
ーフィルター基板４のアライメントマークＡ１，Ａ２，
Ａ３，Ａ４およびＢ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４の位置を算出
することができるようになっている。また図１中に示す
ように、制御装置７は、さらに、基準点位置算定部１
４、角度算定部１５、および動作命令部１６を備えてい
る。ここに、基準点位置算定部１４は、後述するよう
に、位置算出部１３からの出力に基づき、位置合わせテ
ーブル８上に載置されたアレイ基板３およびカラーフィ
ルター基板４の所定方向の中線（仮想直線）および位置
合わせ基準点の位置を算定する。また、角度算定部１５
は、基準点位置算定部１４において求められた中線を利
用し、アレイ基板３およびカラーフィルター基板４の所
定方向の中線がなす角度を算出する。さらに、動作命令
部１６は、基準点位置算定部１４および角度算定部１５
からの出力結果に基づき保持手段９の動作制御を行うこ
とが可能となっており、なおかつ、保持手段９の動作制
御を行った後、所定のタイミングでプレス手段１１の動
作制御を行うことが可能となっている。

【００３１】また、本実施の形態における液晶セルの製
造に用いられるカラーフィルター基板４には、図１４に
示すように、アレイ基板３に対向配置される板面にスペ
ーサポスト（スペーサ）１０７が固定されている。そし
て、このスペーサポスト１０７により、アレイ基板３と
カラーフィルター基板４とを貼り合わせた際に、アレイ
基板３およびカラーフィルター基板４の間隙寸法が一定
に保持されるようになっている。

【００３２】また、カラーフィルター基板４およびアレ
イ基板３には、後述するように、矩形状の領域に、所定
方向が長手方向となるような矩形状のサブピクセル構成
要素（画素構成要素、矩形状要素）がそれぞれマトリッ
クス状に配列され、このサブピクセル構成要素が形成さ
れた矩形領域が、互いに位置合わせされた状態で貼り合
わされるようになっている。なお、後述するアライメン
トマークＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４およびＢ１，Ｂ２，Ｂ
３，Ｂ４は、この矩形状の領域の外であって、矩形状領
域の各頂点の近傍に配置されている。さらに、カラーフ
ィルター基板４およびアレイ基板３を貼り合わせる際に
は、後述するように、これらのサブピクセル構成要素同
士が液晶セルの板面に直交する方向から見た場合に互い
に一致するように、位置合わせユニット５において、カ
ラーフィルター基板４およびアレイ基板３の相対位置が
決定されるようになっている。

【００３３】次に、この液晶セル製造装置１を用いた液
晶セルの製造方法（基板の貼り合わせ方法）について説
明する。本実施の形態の液晶セルの製造方法は、アレイ
基板３およびカラーフィルター基板４を位置合わせする
工程、位置合わせしたアレイ基板３およびカラーフィル
ター基板４を押圧する工程、および押圧されたアレイ基
板３およびカラーフィルター基板４を熱硬化させて一体
化する工程からなるものである。

【００３４】まず、アレイ基板３およびカラーフィルタ
ー基板４を位置合わせする工程について説明する。最初
に、位置合わせユニット５の位置合わせテーブル８上に
アレイ基板３を載置するとともに、カラーフィルター基
板４を保持手段９により保持させた状態でアレイ基板３
に対向配置する。この場合、アレイ基板３とカラーフィ
ルター基板４は互いに平行に配置される。

【００３５】図２は、位置合わせテーブル８上に載置さ
れたアレイ基板３およびカラーフィルター基板４を上方
から見た状態を示す図である。図中に示すように、矩形
形状とされたアレイ基板３およびカラーフィルター基板
４の四隅には、以前の工程でそれぞれアライメントマー
クＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４およびＢ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ
４が付されている。

【００３６】次に、アライメントカメラ１０により、各
アライメントカメラ１０に対応した位置におけるアレイ
基板３およびカラーフィルター基板４のアライメントマ
ークＡ１，Ａ２，…およびＢ１，Ｂ２，…を撮像する。
そして、アライメントカメラ１０から出力された画像に
基づいて、制御装置７の位置算出部１３が、アレイ基板
３およびカラーフィルター基板４に平行な平面座標系に
おける各アライメントマークＡ１，Ａ２，…およびＢ
１，Ｂ２，…の位置座標を算出する。

【００３７】次に、基準点位置算定部１４が、位置算出
部１３において算出されたアライメントマークＡ１，Ａ
２，…およびＢ１，Ｂ２，…の位置座標に基づき、アレ
イ基板３およびカラーフィルター基板４における位置合
わせ基準点を求める。ここでは、位置合わせ基準点は、
アレイ基板３およびカラーフィルター基板４における中
線の交点として決定される。ここで、中線を設定するに
は、アライメントマークＡ１，Ａ２，…およびＢ１，Ｂ
２，…のなす四辺形の各辺の中点の位置を求め、求めた
中点のうち互いに対向する２点同士を結ぶ直線を、中線
（仮想直線）として設定するようにする。この場合の具
体的な手順は以下のようになる。すなわち、アレイ基板
３において、図３に示すように、各アライメントマーク
Ａ１，Ａ２，…の座標を（Ｘ１，Ｙ１）、（Ｘ２，Ｙ
２）、…とすると、互いに隣接するアライメントマーク
Ａ１，Ａ２，…間の中点（Ｘｃ１，Ｙｃ１）、（Ｘｃ
２，Ｙｃ２）、…を求め、これらのうち、互いに対向し
て位置する中点（Ｘｃ１，Ｙｃ１）、（Ｘｃ３，Ｙｃ
３）間および（Ｘｃ２，Ｙｃ２）、（Ｘｃ４，Ｙｃ４）
間を結ぶ直線を中線として設定する。

【００３８】ここで、中線は以下の式により表すことが
できる。

【数１】 および

【数２】

【００３９】したがって、これらの二式を連立方程式と
して解くことにより、これらの交点である位置合わせ基
準点（Ｘｇａ，Ｙｇａ）が求められる。また、この後、
同様の手順でカラーフィルター基板４についても、中線
を求め、これらの交点である位置合わせ基準点（Ｘｇ
ｂ，Ｙｇｂ）が求められる。なお、この場合、位置合わ
せ基準点（Ｘｇａ，Ｙｇａ）、（Ｘｇｂ，Ｙｇｂ）の座
標は、アライメントマークＡ１，Ａ２，…およびＢ１，
Ｂ２，…の重心、すなわち、アライメントマークＡ１，
Ａ２，…およびＢ１，Ｂ２，…の座標（Ｘ１，Ｙ１）、
（Ｘ２，Ｙ２）、…の平均値として求められる。

【００４０】次に、制御装置７の角度算定部１５が、基
準点位置算定部１４において求めた中線Ｙc2-c4同士の
なす角を算定する。ここで、中線Ｙc2-c4同士の角度を
求めるのは、この角度に基づいて、アレイ基板３および
カラーフィルター基板４の回転方向のずれ量θを検知す
るためである。なお、ここでは、基準点位置算定部１４
において求められた中線Ｙc1-c3およびＹc2-c4のうち、
Ｙ方向（図２参照）に延在するＹc2-c4（図２参照）
を、角度算定対象の中線として設定している。ここに本
実施の形態におけるＹ方向とは、アレイ基板３およびカ
ラーフィルター基板４に形成されたサブピクセル構成要
素の長辺方向である。なお、Ｙc2-c4がＹ方向と完全に
一致している必要はない。

【００４１】Ｙ方向の中線Ｙc2-c4を用いるのは、以下
の理由による。図４は、アレイ基板３に対してカラーフ
ィルター基板４を重ね合わせた場合におけるアレイ基板
３のサブピクセル構成要素（画素構成要素、矩形状要
素）Ｐａと、カラーフィルター基板４のサブピクセル構
成要素（画素構成要素、矩形状要素）Ｐｂとの位置関係
を模式的に示す図である。図４中左欄は、アレイ基板３
およびカラーフィルター基板４の相対位置がＸ方向に寸
法ａだけずれている場合、右欄は、アレイ基板３および
カラーフィルター基板４がＹ方向に寸法ａだけずれてい
る場合を表している。

【００４２】図４に示すように、サブピクセル構成要素
ＰａおよびＰｂは、Ｘ方向の軸（第１の軸）およびＹ方
向の軸（第２の軸）に関して線対称の形状となっている
とともに、Ｙ方向の長さがＸ方向の長さよりも長い（Ｙ
方向が長手方向であるような）矩形形状に形成されてい
る。ここで、図中左欄のようにサブピクセル構成要素Ｐ
ａ，ＰｂがＸ方向に寸法ａずれた場合と、右欄のように
Ｙ方向に寸法ａずれた場合とを比較すると、サブピクセ
ル構成要素ＰａおよびＰｂが重なり合う部分の面積のサ
ブピクセル構成要素Ｐａ，Ｐｂ自体の面積に対する比率
は、Ｙ方向にずれた場合の方が大きくなっている。すな
わち、Ｙ方向のずれよりもＸ方向のずれの方が、より大
きなセルの開口率の低下を招くことが理解できる。そこ
で、本実施の形態においては、サブピクセル構成要素Ｐ
ａ，ＰｂのＸ方向のずれを最小化することによって、サ
ブピクセル構成要素Ｐａ，Ｐｂ同士が互いに重なり合う
面積を最大化し、セル開口率の低下を防ぐようにしてい
る。すなわち、アレイ基板３およびカラーフィルター基
板４のＹ方向の中線Ｙc2-c4を位置合わせに利用するこ
とにより、サブピクセル構成要素Ｐａ，ＰｂのＸ方向の
ずれを最小化し、これによりセル開口率の低下を最小限
にとどめるようにしているのである。

【００４３】ここで、一般に、二直線 ｙ＝ｍ１ｘ＋ｎ
１およびｙ＝ｍ２ｘ＋ｎ２のなす角θは、

【数３】 で与えられるので、θは、

【数４】 で与えられる。いま、Ｙ方向に延在する中線Ｙc2-c4の
傾きは、［数２］の通りなので、アレイ基板３のアライ
メントマークＡ２，Ａ３間およびＡ１，Ａ４間の中点の
座標を（Ｘｃ２ｔ，Ｙｃ２ｔ）、（Ｘｃ４ｔ，Ｙｃ４
ｔ）、アレイ基板３のアライメントマークＢ２，Ｂ３間
およびＢ１，Ｂ４間の中点の座標を（Ｘｃ２ｃ，Ｙｃ２
ｃ）、（Ｘｃ４ｃ，Ｙｃ４ｃ）として区別すると、これ
らを［数２］に代入して求められる式の傾きをさらに
［数４］に代入して、θを、

【数５】 と求めることができる。

【００４４】このように、アレイ基板３およびカラーフ
ィルター基板４の双方の位置合わせ基準点（Ｘｇａ，Ｙ
ｇａ）、（Ｘｇｂ，Ｙｇｂ）と、Ｙ方向の中線Ｙc2-c4
同士のなす角θとを求めたら、これに基づいて、動作命
令部１６が保持手段９を動作させ、カラーフィルター基
板４を、基板板面と直交する方向（図１中Ｚ方向）から
見た際にその位置合わせ基準点（Ｘｇｂ，Ｙｇｂ）が、
アレイ基板３の位置合わせ基準点（Ｘｇａ，Ｙｇａ）と
一致するような位置に配置する。さらに、動作命令部１
６は、保持手段９によりカラーフィルター基板４を角度
算定部１５で求めた角度θだけ回転させる。これによ
り、アレイ基板３およびカラーフィルター基板４は、Ｙ
方向の中線Ｙc2-c4の方向が互いに一致し、なおかつ、
位置合わせ基準点（Ｘｇａ，Ｙｇａ）、（Ｘｇｂ，Ｙｇ
ｂ）を通り、アレイ基板３およびカラーフィルター基板
４の板面に直交する中心軸Ｃａ（図１参照）が互いに一
致するような状態で配置されることとなる。また、カラ
ーフィルター基板４を角度θだけ回転させたことによ
り、アレイ基板３およびカラーフィルター基板４に形成
された互いに対応するサブピクセル構成要素Ｐａ、Ｐｂ
が、Ｚ方向（図１参照）から見た場合に互いに重なり合
う面積が最大化されることとなる。そして、このように
アレイ基板３およびカラーフィルター基板４の位置を合
わせた状態で、動作命令部１６が保持手段９を動作させ
てＺ方向に移動することによりアレイ基板３およびカラ
ーフィルター基板４を貼り合わせる。

【００４５】このように、アレイ基板３およびカラーフ
ィルター基板４を貼り合わせたら、次に、位置合わせし
たアレイ基板３およびカラーフィルター基板４を押圧す
る工程を行う。これには、動作命令部１６が、プレス手
段１１を制御することにより、位置合わせユニット５か
らプレスユニット６に送られたアレイ基板３およびカラ
ーフィルター基板４を、プレス手段１１が押圧する。こ
の場合、プレス手段１１は、アレイ基板３およびカラー
フィルター基板４間の間隙があらかじめ規定された寸法
となるまでアレイ基板３およびカラーフィルター基板４
を均一に加圧する。

【００４６】さらに、図示しない加熱ユニットにおい
て、上述のようにして貼り合わされるとともに均一に加
圧されたアレイ基板３およびカラーフィルター基板４を
加熱し、これらの間に配設されたシール剤を硬化させ
る。この後、アレイ基板３、カラーフィルター基板４、
およびシール剤によって囲まれた間隙に液晶材料を真空
注入し、さらに、液晶材料の注入口を封止剤により閉塞
することによって、液晶セルの完成品を得ることができ
る。

【００４７】次に、本実施の形態の液晶セル製造装置１
によるアレイ基板３およびカラーフィルター基板４の位
置合わせを模擬した計算結果を示す。なお、以下に示す
計算は、図５に示すように、アレイ基板３（図中実線）
およびカラーフィルター基板４（図中鎖線）が配置され
ていると仮定した場合の計算結果である。図５中に示す
座標値は、各基板の四隅に配置されたアライメントマー
クＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４およびＢ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ
４の中心位置の座標である。図５に示した位置を初期位
置として、本実施の形態による位置合わせを行った場合
の両基板の位置関係は、図６のようになる。一方、従来
のように、設計値を利用して位置合わせを行った場合の
両基板の位置関係は図７のようになる。そして、これら
の計算結果を比較したのが表１である。

【表１】 表１に示すように、従来方式では、Ｘ方向およびＹ方向
の位置ずれの補正については、本発明と同様でも、両基
板の角度θのずれ量が異なることがわかる。この差によ
り、両基板の重ね合わせ部分の面積は０．２２４％向上
する。

【００４８】また、このような差が、セルの一画素の開
口率にどのように影響するかを、実際の製品を想定して
計算した結果を示すのが図８である。なお、ここでは、
一副画素を６９×２０７μｍの単なる長方形として計算
を行っている。図中に示すように、本発明の位置合わせ
方法では、一画素の開口率が従来方式に比較して３．１
％上昇していることが理解できる。

【００４９】以上述べたように、本実施の形態では、基
準点位置算定部１４が、アレイ基板３およびカラーフィ
ルター基板４の外縁部にあるアライメントマークＡ１，
Ａ２，Ａ３，Ａ４およびＢ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４の重心
（中線Ｙc1-c3、Ｙc2-c4の交点）として、位置合わせ基
準点（Ｘｇａ，Ｙｇａ）、（Ｘｇｂ，Ｙｇｂ）を算出
し、算出された位置合わせ基準点（Ｘｇａ，Ｙｇａ）、
（Ｘｇｂ，Ｙｇｂ）の位置が基板板面と直交する方向か
ら見た場合に一致するように、保持手段９によりカラー
フィルター基板４を移動させ、さらに、中線Ｙc2-c4同
士の方向が一致するように、カラーフィルター基板４
を、その板面に直交し位置合わせ基準点（Ｘｇａ，Ｙｇ
ａ）、（Ｘｇｂ，Ｙｇｂ）を通る中心軸Ｃａ周りに回転
させている。この場合、アレイ基板３およびカラーフィ
ルター基板４の中央部に位置合わせ基準点（Ｘｇａ，Ｙ
ｇａ）、（Ｘｇｂ，Ｙｇｂ）が位置することとなるた
め、アレイ基板３およびカラーフィルター基板４の中央
部を基準として位置合わせが行われることとなる。した
がって、露光機によりアレイ基板３およびカラーフィル
ター基板４に焼き付けられることにより、中心部から離
れるほど誤差が大きいと考えられるサブピクセル構成要
素Ｐａ，Ｐｂのパターン同士の位置合わせを、基板の中
央部を基準として行うことができることとなり、位置合
わせ領域の外縁部において位置合わせを行う従来技術に
比較して、位置合わせの精度を向上させることができ
る。

【００５０】さらにこの場合、従来と異なり、位置合わ
せのための計算に設計値を用いることが無く、アライメ
ントカメラ１０によって認識したアライメントマークＡ
１，Ａ２，Ａ３，Ａ４およびＢ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４の
位置のみから位置合わせのための相対移動量を決定する
ことができるために、歪みをもった基板同士の位置合わ
せが可能であり、汎用性が高い。しかも、アライメント
マークＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４およびＢ１，Ｂ２，Ｂ
３，Ｂ４の位置として認識された値のみから直接的に一
度の計算で位置合わせのための相対移動量を決定するこ
とも可能であるために、従来と異なり、位置合わせ結果
をフィードバックして繰り返し計算を行う必要がなく、
なおかつ、両基板を貼り合わせた後の位置合わせの微調
整が必要とならない。したがって、位置合わせ時間の短
縮化を図ることができ、ひいては、液晶セルの生産性の
向上を図ることが可能となる。

【００５１】また、本実施の形態においては、Ｙ方向、
すなわち、サブピクセル構成要素Ｐａ，Ｐｂの長辺方向
に延在する中線Ｙc2-c4の方向が、アレイ基板３とカラ
ーフィルター基板４とで同一となるように、アレイ基板
３およびカラーフィルター基板４を位置合わせし、これ
によってサブピクセル構成要素Ｐａ，Ｐｂの短辺方向
（Ｘ方向）のずれが最小となるようにしている。これに
より、基板板面と直交する方向から見た場合の、サブピ
クセル構成要素Ｐａ，Ｐｂ同士の重なり合う面積を最大
化することができ、画素の開口率を最大化することがで
きる。またこれに伴い、液晶セルの裏側にあるバックラ
イトの導光板の厚みを薄くすることが可能となることか
ら、製品の輝度向上に伴う消費電力低減および軽量化に
貢献することが可能となる。

【００５２】さらに、位置合わせのための仮想直線とし
て、互いに隣接するアライメントマークＡ１およびＡ
４、Ａ２およびＡ３、Ｂ１およびＢ４、Ｂ２およびＢ３
の中点（Ｘｃ２，Ｙｃ２）、（Ｘｃ４，Ｙｃ４）同士を
結ぶ直線、すなわち中線Ｙc2-c4を用いるようにしたた
めに、位置合わせのための仮想直線を、容易に、サブピ
クセル構成要素Ｐａ，Ｐｂの長辺方向と略同一とするこ
とができる。さらに、基板板面と平行な平面座標系上に
おける中線Ｙc2-c4の傾きから、中線Ｙc2-c4同士がなす
角度を求め、この角度をカラーフィルター基板４を回転
させるべき角度θとすることで、容易にカラーフィルタ
ー基板４を回転させるべき角度を求めることができる。

【００５３】さらに、本実施の形態では、カラーフィル
ター基板４のうちアレイ基板３に対向する板面にスペー
サポスト１０７が固定されているが、アレイ基板３およ
びカラーフィルター基板４を貼り合わせた後の位置の微
調整が不要であるために、この微調整時の両基板間の摩
擦が問題とならない。すなわち、本実施の形態の液晶セ
ルの製造方法は、こうしたスペーサポスト１０７を有す
る液晶セルにも好適に用いることができる。

【００５４】以上において本発明の一実施の形態を説明
したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものでな
く、必要に応じて、他の構成を採用するようにすること
ができる。例えば、上記実施の形態においては、アレイ
基板３およびカラーフィルター基板４の位置合わせ基準
点（Ｘｇａ，Ｙｇａ）、（Ｘｇｂ，Ｙｇｂ）を算定し、
その後、これら基板のＹ方向の中線Ｙc2-c4を算定して
から、カラーフィルター基板４を移動させるようにして
いたが、これに限らず、位置合わせ基準点（Ｘｇａ，Ｙ
ｇａ）、（Ｘｇｂ，Ｙｇｂ）の位置を算定した後、両基
板の位置合わせ基準点（Ｘｇａ，Ｙｇａ）、（Ｘｇｂ，
Ｙｇｂ）の位置を一致させるようにカラーフィルター基
板４を移動させ、その後、両基板のＹ方向の中線Ｙc2-c
4同士の方向が一致するように、カラーフィルター基板
４を回転させるようにしてもよい。また、先に中線Ｙc2
-c4同士の方向を一致させてから両基板の位置合わせ基
準点（Ｘｇａ，Ｙｇａ）、（Ｘｇｂ，Ｙｇｂ）の位置を
一致させるようにしてもよい。

【００５５】また、回転角θを求める際の計算方法は、
上記実施の形態に限定されず、例えば、図９に示すよう
に、基板板面と平行な平面座標系においてＸ軸（または
Ｙ軸）からの各基板の中線Ｙc2-c4の偏角θ１およびθ
２をそれぞれ求め、これら偏角θ１およびθ２の差を求
めることによって回転角θを求めるようにしてもよい。
この場合、θは、

【数６】 と表されることとなる。

【００５６】また、上記実施の形態において位置合わせ
ユニット５は、カラーフィルター基板４のみ移動するこ
とができるように構成されていた。しかし、これに代え
て、アレイ基板３のみ、または両基板を同時に移動でき
るように位置合わせユニット５を構成し、これによっ
て、アレイ基板３または両基板を移動させて、中線Ｙc2
-c4同士や位置合わせ基準点（Ｘｇａ，Ｙｇａ）、（Ｘ
ｇｂ，Ｙｇｂ）同士の位置合わせを行うようにしてもよ
い。

【００５７】また、上記実施の形態においては、アライ
メントマークＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４およびＢ１，Ｂ
２，Ｂ３，Ｂ４の位置を画像認識し、これに基づき、ア
レイ基板３およびカラーフィルター基板４における中線
を設定するようにしていたが、これに限定されず、画像
処理等により、各基板の輪郭形状を求め、これに基づい
て中線を設定するようにしてもよい。

【００５８】また、上記実施の形態においては、アレイ
基板３およびカラーフィルター基板４間に、スペーサポ
スト１０７が固定されていたが、これに限らず、他の形
状のスペーサが、両基板のうちのいずれかに固定された
構成であってもよい。また、アレイ基板３およびカラー
フィルター基板４間にスペーサとしてボールが配置され
ていたとしても、上記実施の形態のような位置合わせ方
法および装置を適用することができる。また、サブピク
セル構成要素Ｐａ，Ｐｂの形状は長方形に限定されず、
例えば、楕円形状であってもよい。

【００５９】また、上記実施の形態によるアレイ基板３
およびカラーフィルター基板４の位置合わせ方法は、液
晶ディスプレイのセルの製造方法に適用されるものとさ
れていたが、これに限らず、プラズマディスプレイ等の
他のセルの製造に他の基板同士または物体同士の位置合
わせにも適用することができる。また、物体における特
定の位置合わせ領域同士の位置合わせに対して、上記実
施の形態のような位置合わせ方法を適用するようにして
もよい。

【００６０】また、上記実施の形態においては、アライ
メントマークが各基板にそれぞれ４カ所設けられている
が、これに限らず、より多くのアライメントマークを利
用して、位置合わせを行うようにしてもよい。また、上
記実施の形態における基板の貼り合わせ方法は、半導体
基板等の他の板状部材についても適用することができ
る。また、これ以外にも、本発明の趣旨を逸脱しない限
り、上記実施の形態で挙げた構成を取捨選択したり、他
の構成に適宜変更することが可能である。

【００６１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
位置合わせの精度を向上させることができるとともに、
位置合わせ時間の短縮化を図ることができ、ひいては、
液晶セル等の生産性の向上を図ることが可能となる。さ
らに、本発明を液晶セルの製造に適用した場合には、液
晶セルの開口率を向上させ、これに伴い製品の輝度向上
を図り、消費電力低減および軽量化に貢献することが可
能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施の形態である液晶セル製造装
置の要部構成図である。

【図２】 図１に示した液晶セル製造装置の位置合わせ
テーブル上に配置されたアレイ基板およびカラーフィル
ター基板の位置合わせ以前の状況を模式的に示す平面図
である。

【図３】 図２に示した基板の中線および位置合わせ基
準点の求め方を説明するための基板の模式図である。

【図４】 アレイ基板およびカラーフィルター基板のサ
ブピクセル構成要素を重ね合わせた際の状況を示す模式
図である。

【図５】 本発明の一実施の形態における液晶セル製造
装置において重ね合わされるべきアレイ基板およびカラ
ーフィルター基板の模式図である。

【図６】 図５に示したアレイ基板およびカラーフィル
ター基板を本発明の方法により重ね合わせた際の状態を
示す模式図である。

【図７】 図５に示したアレイ基板およびカラーフィル
ター基板を従来の方法により重ね合わせた際の状態を示
す模式図である。

【図８】 アレイ基板およびカラーフィルター基板を重
ね合わせた際の一画素の開口率を、従来と本発明とで比
較した場合の、画素の開口状況を示す模式図、および画
素の開口率を示す図である。

【図９】 本発明の他の実施の形態を示す図であって、
アレイ基板およびカラーフィルター基板の中線同士のな
す角の算定方法を説明するための模式図である。

【図１０】 従来の液晶セルの組み立て装置の模式図で
ある。

【図１１】 図１０に示した組み立て装置における位置
合わせ以前のアレイ基板およびカラーフィルター基板の
配置状況を模式的に示す平面図である。

【図１２】 液晶セルの組み立てに用いられる基板の形
状を模式的に示した平面図である。

【図１３】 従来の液晶セルの断面図である。

【図１４】 本発明の製造対象とされた液晶セルの断面
図である。

【符号の説明】

１…液晶セル製造装置、３…アレイ基板（第１の基
板）、４…カラーフィルター基板（第２の基板、対向基
板）、７…制御装置、９…保持手段（位置決め部）、１
０…アライメントカメラ、１３…位置算出部、１４…基
準点位置算定部、１５…角度算定部、１６…動作命令
部、Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４
…アライメントマーク（マーク）、Ｐａ，Ｐｂ…サブピ
クセル構成要素（画素構成要素、矩形状要素）、Ｙc2-c
4…中線（仮想直線）、１０７…スペーサポスト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 敏弘 滋賀県野洲郡野洲町大字市三宅800番地 日本アイ・ビー・エム株式会社 野洲事業 所内 Ｆターム(参考） 2H088 FA04 FA16 FA30 MA17 2H089 NA38 NA60 QA12

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに平行配置された一対の基板の相対
   位置を調整可能とされた位置決め部と、 前記位置決め部の動作を制御する制御装置とを備え、 前記制御装置は、各前記基板に付された複数のマークの
   重心である位置合わせ基準点同士の相対位置を算定する
   基準点位置算定部と、 各前記基板の前記複数のマークに含まれる４つのマーク
   を頂点とする四辺形の中点のうち互いに対向する２点を
   結ぶ直線同士がなす角度を算定する角度算定部と、 算定された前記相対位置および前記角度に基づいて、前
   記位置決め部を動作させる動作命令部とを有することを
   特徴とする基板重ね合わせ装置。
2. 【請求項２】 前記基準点位置算定部は、前記４つのマ
   ークの重心位置を前記位置合わせ基準点とすることを特
   徴とする請求項１記載の基板重ね合わせ装置。
3. 【請求項３】 前記一対の基板は、マトリックス状に配
   置された複数の要素を有し、 前記要素は、互いに交差する第１の軸と第２の軸とのそ
   れぞれに関して線対称であり、かつ、前記第１の軸方向
   の長さが前記第２の軸方向の長さよりも大となるような
   形状を有し、 前記角度算定部は、算定すべき前記角度を求めるための
   前記直線として、前記第１の軸方向に延在するものを用
   いることを特徴とする請求項１記載の基板重ね合わせ装
   置。
4. 【請求項４】 前記複数の要素は、矩形状の領域内にマ
   トリックス状に配置され、 前記一対の基板のそれぞれに形成された４つのマーク
   は、前記領域の外であって前記領域の各頂点の近傍に配
   置され、 前記位置決め部は、各前記基板の位置合わせ基準点が一
   致するように各前記基板を相対的に移動し、各前記基板
   の前記直線同士が一致するように、各前記基板を相対的
   に回転させる、請求項３記載の基板重ね合わせ装置。
5. 【請求項５】 第１の基板および第２の基板を、当該第
   １の基板および当該第２の基板に付されたマークの位置
   から決定される位置合わせ基準点同士が互いに一致する
   ように配置する第一のステップと、 前記第１の基板および前記第２の基板に形成された矩形
   状要素同士の短辺方向のずれを減ずるように、当該第１
   の基板および当該第２の基板のうちの少なくとも一方を
   回転させる第二のステップと、 前記第１の基板および前記第２の基板を貼り合わせる第
   三のステップとを備えたことを特徴とする基板の貼り合
   わせ方法。
6. 【請求項６】 前記第二のステップでは、前記第１の基
   板および前記第２の基板について、前記矩形状要素の長
   辺方向に延在する仮想直線を設定し、前記仮想直線同士
   の向きが一致するように、当該第１の基板および当該第
   ２の基板のうちの少なくとも一方を回転させることを特
   徴とする請求項５記載の基板の貼り合わせ方法。
7. 【請求項７】 前記位置合わせ基準点は、前記マークの
   うち少なくとも一部の平均位置として導出され、 前記仮想直線は、前記マークのうちの４つを頂点とする
   四辺形の中点のうち互いに対向する２点を通る直線同士
   の交点を求めることにより導出されることを特徴とする
   請求項６記載の基板の貼り合わせ方法。
8. 【請求項８】 アレイ基板および対向基板のそれぞれに
   ついての所定方向の仮想直線を求めるステップ（Ａ）
   と、 前記アレイ基板および前記対向基板の双方の位置合わせ
   基準点の位置を算出するステップ（Ｂ）と、 前記アレイ基板および前記対向基板を、前記位置合わせ
   基準点を通りその板面に直交する中心軸同士を一致させ
   た状態とするステップ（Ｃ）と、 前記アレイ基板および前記対向基板のいずれか一方また
   は双方を、前記仮想直線同士が一致するように前記中心
   軸周りに回転させて位置決めするステップ（Ｄ）と、 前記ステップ（Ｃ）および（Ｄ）において位置決めされ
   た前記アレイ基板および前記対向基板を、前記中心軸と
   同方向に重ね合わせるステップ（Ｅ）とを備えたことを
   特徴とする液晶セルの製造方法。
9. 【請求項９】 前記アレイ基板および前記対向基板の四
   隅にアライメントマークが設けられており、 前記ステップ（Ａ）は、互いに隣接する前記アライメン
   トマーク同士の中点のうち、互いに対向する２点を結ぶ
   一つの直線を前記仮想直線とし、 前記ステップ（Ｂ）は、前記アライメントマークの重心
   位置を前記位置合わせ基準点とすることを特徴とする請
   求項８記載の液晶セルの製造方法。
10. 【請求項１０】 前記所定方向を、前記アレイ基板およ
    び前記対向基板のそれぞれに形成された画素構成要素の
    長辺方向に設定することを特徴とする請求項８記載の液
    晶セルの製造方法。
11. 【請求項１１】 前記アレイ基板および前記対向基板の
    うちの少なくとも一方において、同他方に対向させて配
    置される面には、当該アレイ基板および当該対向基板を
    一定間隔に保持するためのスペーサが固定されているこ
    とを特徴とする請求項８記載の液晶セルの製造方法。