JP2004163597A

JP2004163597A - 電気光学装置および電気光学装置の製造方法並びに電子機器

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Publication number: JP2004163597A
Application number: JP2002328293A
Authority: JP
Inventors: Makoto Anami; 誠阿南
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-11-12
Filing date: 2002-11-12
Publication date: 2004-06-10

Abstract

【課題】液晶パネルの製造におけるスループットおよび歩留りの向上を可能とする電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供すること。
【解決手段】第１の基板１０および透明な第２の基板２０を互いに対向配置した状態でアライメントする際に、基準となる第１の基板１０に設けた一対の第１のマーク１０ａと、第２の基板２０に設けた一対の第２のマーク２０ａとから構成したアライメントマークであって、第１の基板１０および第２の基板２０を互いにアライメントした際に、第１のマーク１０ａの対における重心Ｇ１０相互間の中点Ｃ１０と、第２のマーク２０ａの対における重心Ｇ２０相互間の中点Ｃ２０とが対向位置するようにした。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アライメントマークを有する電気光学装置およびアライメントマークを有する電気光学装置の製造方法ならびに電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネルのうち、例えばアクティブマトリクス型の一種であるＴＦＴ（薄膜トランジスタ）カラー液晶パネルは、ＴＦＴアレイ基板とカラーフィルタ基板とを貼り合わせて構成される。ここで、互いに対となるＴＦＴアレイ基板およびカラーフィルタ基板を貼り合わせる際には、両方の基板を互いにアライメントする必要がある。具体的には、ＴＦＴアレイ基板上に微細に配列されたアクティブ素子等の構成要素と、カラーフィルタ基板上に微細に配列された着色パターン等の構成要素との位置合わせを精度良く行うために、ＴＦＴアレイ基板およびカラーフィルタ基板を互いにアライメントする必要がある。
【０００３】
そこで、従来では、互いに貼り合わせる対象となる一対の基板にそれぞれマークを設けてアライメントマークを構成し、このアライメントマークを用いてアライメントすることにより、アライメント精度を確保するようにしている。図７は、この種のアライメントマークを例示するもので、第１の基板１に第１のマーク１ａを設ける一方、透明な第２の基板２に第２のマーク２ａを設け、これら第１のマーク１ａと第２のマーク２ａとからアライメントマークを構成している。これら第１の基板１および第２の基板２を互いに対向配置し、透明な第２の基板２から第１の基板１を覗く態様となるようにカメラ３を配置すれば、カメラ３の視野３ａ内に第１のマーク１ａおよび第２のマーク２ａが共に映し出される。視野３ａ内に映し出された第１のマーク１ａおよび第２のマーク２ａは、例えば周知のパターンマッチングによって画像認識され、それぞれの重心位置が求められる。
【０００４】
ここで、カメラ３の視野３ａ内において第１のマーク１ａの重心Ｇ１と、第２のマーク２ａの重心Ｇ２とが互いに重なるように、第１の基板１および第２の基板２を互いにアライメントすることができる（以下、従来技術１という）。あるいは、カメラ３の視野３ａ内において第１のマーク１ａの重心Ｇ１と、第２のマーク２ａの重心Ｇ２とが予め設定した相互間距離Ｌだけ離隔するように、第１の基板１および第２の基板２を互いにアライメントすることができる（例えば、特許文献１参照。以下、従来技術２という）。
【０００５】
【特許文献１】
特許第２５２５５８９号公報（第２項、第１図）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、液晶パネルの製造におけるスループットおよび歩留りに対する向上要求は益々高まるばかりであり、上述したアライメントの高効率化、高精度化が重要となっている。
【０００７】
上述した従来技術１では、アライメント開始時に、カメラの視野内において第１のマークと第２のマークとが互いに重なり合う場合がある。具体的には、ワークの投げ込みと称する第１の基板１と第２の基板２とを対向配置した際に、図８（ａ）、図９（ａ）に例示するように、カメラ３の視野３ａ内において第１のマーク１ａと第２のマーク２ａとが互いに重なり合う場合がある。
【０００８】
このため、従来技術１では、例えば、カメラ３の視野３ａ内に映し出された各マークをパターンマッチングによって画像認識する際に、一方のマークをマスクするマスク処理が不可欠となる。このマスク処理は、画像処理を著しく複雑化し、画像処理を行うソフトウェアやハードウェアの負荷を増大してしまうので、アライメントの高効率化を妨げる要因となる。
【０００９】
また、従来技術１では、図８（ｂ）、図９（ｂ）に例示するアライメントマークの隠蔽状態、つまり一方のマーク全体が他方のマークに重なって隠れた状態となる事態を招来する虞れがある。このアライメントマークの隠蔽状態は、パターンマッチングによる画像認識のエラーを生じさせ、オペレータによる復旧作業が必要となる事態を招来する虞れがあるので、液晶パネルの製造におけるスループットの向上を著しく妨げる要因となる。
【００１０】
一方、従来技術２では、各マークが重なり合うことに伴うマスク処理の問題、およびアライメントマークの隠蔽の問題を招来する虞れがない。しかしながら、従来技術２では、第１のマーク１ａの重心Ｇ１と、第２のマーク２ａの重心Ｇ２との間の相互間距離Ｌを測定する際に、カメラのキャリブレーション誤差等の測定誤差が生じることにより、アライメント誤差を招来するので、アライメントの高精度化を図る上で好ましいものとは言えない。例えば、カメラ３としてＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ−ｃｏｕｐｌｅｄｄｅｖｉｃｅ）カメラを適用した場合、ＣＣＤカメラにおける１画素当りの測定距離の誤差に起因して相互間距離Ｌが大きなものとなる程、測定誤差が増大することになる。
【００１１】
このため、従来技術２では、所望するアライメント精度が得られず、アライメント不良による液晶パネルの品質異常を生じる虞れがあり、液晶パネルの製造における歩留まりの向上を妨げる要因となる。
【００１２】
本発明は、上記実情に鑑みて、液晶パネルの製造におけるスループットおよび歩留りの向上を可能とする電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、この発明にかかる電気光学装置の製造方法は、第１の基板および第２の基板を互いに対向配置した状態でアライメントする電気光学装置の製造方法であって、前記第１の基板に形成された一対の第１のマークと、前記第２の基板に形成された一対の第２のマークとが互いの投影領域外となる位置に、前記第１の基板および第２の基板または撮像手段を移動させて、前記一対の第１のマークと前記一対の第２のマークをそれぞれ前記撮像手段により撮像し、前記撮像手段から取得した画像に基づいて、前記一対の第１のマークの中点と前記一対の第２のマークの中点とが互いに重なり合うように、アライメントを行うことを特徴とする。
【００１４】
この発明によれば、第１の基板と第２の基板とのアライメントを行う際に、第１のマークと第２のマークとが互いの投影領域外に位置するので、前記第１のマークの投影領域と前記第２のマークの投影領域とが互いに重なり合う事態を防止することができる。また、撮像手段から取得した画像に基づいて、一対の第１のマークの中点と一対の第２のマークの中点とが互いに重なり合うように、第１の基板と第２の基板とのアライメントを行うことができる。
【００１５】
電気光学装置の製造方法は、上記の発明において、前記一対の第１のマークが形成する仮想直線と、前記一対の第２のマークが形成する仮想直線とが所定の角度を持って交わることを特徴とする。
【００１６】
この発明によれば、第１の基板および第２の基板をアライメントした際に、一対の第１のマークが形成する仮想直線と、一対の第２のマークが形成する仮想直線とが所定の角度を持って交わるように、第１の基板と第２の基板とのアライメントを行うことができる。
【００１７】
電気光学装置の製造方法は、上記の発明において、前記一対の第１のマークと前記一対の第２のマークとは、互いに大きさの異なる形状であることを特徴とする。
【００１８】
この発明によれば、互いに大きさの異なる形状である第１のマークと第２のマークとを用いて、第１の基板と第２の基板とのアライメントを行うことができる。
【００１９】
電気光学装置の製造方法は、上記の発明において、前記撮像手段が撮像する前記一対の第１のマークの中点を前記第１の基板の撮像位置とし、前記撮像手段が撮像する前記一対の第２のマークの中点を前記第２の基板の撮像位置とすることを特徴とする。
【００２０】
この発明によれば、一対の第１のマークの中点が第１の基板の撮像位置となる一方、一対の第２のマークの中点が第２の基板の撮像位置となる。
【００２１】
電気光学装置の製造方法は、上記の発明において、前記所定の角度は略直交する角度であることを特徴とする。
【００２２】
この発明によれば、前記所定の角度を略直交する角度としたので、第１のマークの投影領域と第２のマークの投影領域とが一層離隔されるので、互いに重なり合う事態を一層確実に防止することができる。
【００２３】
電気光学装置の製造方法は、上記の発明において、前記一対の第１のマークおよび前記一対の第２のマークは、それぞれ基板の対角両隅部に設けられてなることを特徴とする。
【００２４】
この発明によれば、対角両隅部に設けた第１のマークと第２のマークとを用いて、第１の基板と第２の基板とのアライメントを行うことができる。
【００２５】
電気光学装置の製造方法は、上記の発明において、前記一対の第１のマークと前記一対の第２のマークは、円形であり、互いに異なる直径を有することを特徴とする。
【００２６】
この発明によれば、互いに異なる直径の円形を成す第１のマークと第２のマークとを用いて、第１の基板と第２の基板とのアライメントを行うことができる。
【００２７】
つぎの発明にかかる電子機器は、請求項１乃至請求項７のいずれか一つに記載の電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を備えたことを特徴とする。
【００２８】
この発明によれば、上記の発明のいずれかに記載の電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を備えた電子機器を具現化することができる。
【００２９】
つぎの発明にかかる電気光学装置は、第１の基板および第２の基板が互いに対向配置されてなる電気光学装置であって、前記第１の基板には一対の第１のマークが形成されてなり、前記第２の基板には一対の第２のマークが形成されてなり、前記一対の第１のマークの中点と前記一対の第２のマークの中点とが互いに重なり合うように、前記第１の基板と前記第２の基板とが対向配置されてなることを特徴とする。
【００３０】
この発明によれば、製造時のアライメント工程において第１のマークの投影領域と第２のマークの投影領域とが互いに重なり合う事態を防止することが可能になる。また、一対の第１のマークの中点と一対の第２のマークの中点とが投影領域において互いに重なり合うように、第１の基板と第２の基板とのアライメントを行うことができる。
【００３１】
つぎの発明にかかる電気光学装置は、上記の発明において、前記一対の第１のマークと前記一対の第２のマークは、ともに円形であり、かつ互いに異なる直径を有することを特徴とする。
【００３２】
この発明によれば、互いに異なる直径の円形を成す第１のマークと第２のマークとを用いて、第１の基板と第２の基板とのアライメントを行うことができる。
【００３３】
つぎの発明にかかる電子機器は、上記の発明のいずれかに記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする。
【００３４】
この発明によれば、上記の発明のいずれかに記載の電気光学装置を備えた電子機器を具現化することができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、本発明に係るアライメントマークを有する電気光学装置およびその製造方法の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、本発明においては、電気光学装置として液晶パネルを例にとり説明するが、これに限定されるものではなく、例えば有機ＥＬ装置、電気泳動装置等にも適用できることは言うまでもない。
【００３６】
図１〜３は、本発明の概要を説明するためのものである。より詳細には、図１はアライメント装置のブロック線図、図２は図１における矢印Ａ方向の投影図、図３はアライメント前後における各マークの位置関係の説明図である。ここで、図１中では、第１の基板１０および透明な第２の基板２０が上下に互いに対向配置してある。
【００３７】
例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）カラー液晶パネルを製造する場合には、第１の基板１０としてＴＦＴアレイ基板が適用される一方、第２の基板２０としてカラーフィルタ基板が適用される。ここで、ＴＦＴアレイ基板には、アクティブ素子等の構成要素が微細に配列されて設けてある一方、カラーフィルタ基板には、着色パターン等の構成要素が微細に配列されて設けてある。
【００３８】
図１〜３に示したアライメントマークは、第１の基板１０における対向面に一対に設けられた第１のマーク１０ａと、第２の基板２０における対向面に一対に設けられた第２のマーク２０ａとから構成してある。
【００３９】
第１のマーク１０ａおよび第２のマーク２０ａは、第１の基板１０に設けられた構成要素と、第２の基板２０に設けられた構成要素とが所望する位置関係となる場合に、すなわち第１の基板１０と第２の基板２０とが互いにアライメントされた場合に、互いに所定の位置関係を有するようにそれぞれ配設してある。この所定の位置関係とは、第１のマーク１０ａの対における重心相互間の中点Ｃ１０が、第２のマーク２０ａの対における重心相互間の中点Ｃ２０に対して対向位置し、かつ第１のマーク１０ａの対における個々の重心を通って第２の基板２０に直交する平面が、第２のマーク２０ａの対における個々の重心を通って第１の基板１０に直交する平面と互いに直交する位置関係である。また、この所定の位置関係は、第１の基板１０および第２の基板２０を互いに対向配置した際に、第１のマーク１０ａの投影領域と、第２のマーク２０ａの投影領域とが互いに重なり合わない位置関係をも満たすものである。
【００４０】
上述したアライメントマークを備える第１の基板１０および第２の基板２０は、図１中、第１の基板１０がＸ―Ｙテーブル１０Ａに保持されるとともに、第２の基板２０がθテーブル２０Ａに保持されることにより、上下に互いに対向配置された状態となる。この状態においては、上述したように配設された第１のマーク１０ａおよび第２のマーク２０ａが互いの投影領域外に位置するようになるので、カメラ３０の視野３０ａ内に第１のマーク１０ａおよび第２のマーク２０ａの画像が重なり合うことなく映し出される。画像処理部５０は、カメラ３０から取得した画像に基づいて、第１のマーク１０ａの対における重心Ｇ１０および第２のマーク２０ａの対における重心Ｇ２０の位置をそれぞれ求め、さらに第１のマーク１０ａの対における重心Ｇ１０相互間の中点Ｃ１０および第２のマーク２０ａの対における重心Ｇ２０相互間の中点Ｃ２０の位置をそれぞれ求める。その後に、装置シーケンス制御部６０は、カメラ３０の視野３０ａ内において中点Ｃ１０および中点Ｃ２０が互いに重なり合うように、つまり図３（ａ）中、Ｘ軸方向の相互間距離ΔＸおよびＹ軸方向の相互間距離ΔＹがそれぞれ零となるように、第１の基板１０を保持しているＸ―Ｙテーブル１０Ａを駆動させる。また、第１のマーク１０ａの重心Ｇ１０相互間を結ぶ仮想直線と、第２のマーク２０ａの重心Ｇ２０相互間を結ぶ仮想直線との交差角度が９０度となるように、傾斜角度Δθだけ第２の基板２０を保持しているθテーブル２０Ａを回転駆動させる。
【００４１】
これらにより、図３（ｂ）に示すように、すなわち第１のマーク１０ａおよび第２のマーク２０ａが上述した所定の位置関係となるように、第１の基板１０および第２の基板２０が互いにアライメントされる。こうして、第１の基板１０に設けられたアクティブ素子等の構成要素と、第２の基板２０に設けられた着色パターン等の構成要素とが所望する位置関係に位置合わせされることになる。なお、この場合において、第１の基板１０を保持しているＸ―Ｙテーブル１０Ａを回転駆動させる構成としてもよい。
【００４２】
すなわち、本発明は、上述した所定の位置関係を満たすように、第１の基板に配設した第１のマークの対と、第２の基板に配設した第２のマークの対とからアライメントマークを構成することを特徴としており、これにより、アライメントの高効率化および高精度化を図るものである。
【００４３】
図４〜６は、本発明の実施の形態を説明するためのものである。より詳細には、図４はアライメント装置のブロック線図、図５（ａ）は図４における矢印Ｂ方向の投影図、図５（ｂ）は図４における矢印Ｃ方向の投影図、図６はアライメント後における各マークの位置関係の説明図である。ここで、図４中では、第１の基板１１および透明な第２の基板２１が上下に互いに対向配置してある。なお、図５（ｂ）では、裏側に対向する基板を省略している。
【００４４】
本実施の形態であるアライメントマークは、互いに等しい大きさの矩形を成す一対の基板である第１の基板１１および第２の基板２１に適用してある。このアライメントマークは、上述した第１のマーク１０ａと同様の一対のマークを第１の基板１１における対角両隅部にそれぞれ設ける一方、上述した第２のマーク２０ａと同様の一対のマークを第２の基板２１における対角両隅部にそれぞれ設けて構成してある。
【００４５】
具体的には、第１の基板１１における対角両隅部のうち、一方の対角隅部には一対を成す第１のマーク１１ａＬが設けてあり、他方の対角隅部には一対を成す第１のマーク１１ａＲが設けてある。また、第２の基板２１の対向面における対角両隅部のうち、一方の対角隅部には一対を成す第２のマーク２１ａＬが設けてあり、他方の対角隅部には一対を成す第２のマーク２１ａＲが設けてある。ここで、第１のマーク１１ａＲ，１１ａＬおよび第２のマーク２１ａＲ，２１ａＬとしては、円形でかつ互いの直径が異なるもの、具体的には第１のマーク１１ａＲ，１１ａＬの直径が第２のマーク２１ａＲ，２１ａＬの直径よりも小さいものがそれぞれ適用してある。
【００４６】
本実施の形態では、第１の基板１１に設けられたアクティブ素子等の構成要素と、第２の基板２１に設けられた着色パターン等の構成要素とが所望する位置関係となる場合に、すなわち第１の基板１１と第２の基板２１とが互いにアライメントされた場合に、第１のマーク１１ａＲ，１１ａＬおよび第２のマーク２１ａＲ，２１ａＬが互いに所定の位置関係を有するように配設してある。この所定の位置関係とは、各第１のマークの対における重心相互間の中点が、各第２のマークの対における重心相互間の中点に対してそれぞれ対向位置し、かつ各第１のマークの対における個々の重心を通って第２の基板に直交する平面と、各第２のマークの対における個々の重心を通って第１の基板に直交する平面とが互いに直交する位置関係である。また、この所定の位置関係は、第１の基板１１および第２の基板２１を互いに対向配置した際に、第１のマーク１１ａＲおよび第２のマーク２１ａＲの投影領域が互いに重なり合わず、かつ第１のマーク１１ａＬおよび第２のマーク２１ａＬの投影領域が互いに重なり合わない位置関係をも満たすものである。
【００４７】
一方、図４に示したアライメント装置は、Ｘ―Ｙテーブル１０Ａ、θテーブル２０Ａ、カメラ３０，３０′、光学鏡筒４０，４０′、画像処理部５０、装置シーケンス制御部６０および軸駆動部７０を備えている。
【００４８】
このアライメント装置には、図１のアライメント装置に対してカメラ３０′および光学鏡筒４０′が追加してある。ここで、カメラ３０は、第１のマーク１１ａＬおよび第２のマーク２１ａＬの画像を取り込むものであり、カメラ３０′は、第１のマーク１１ａＲおよび第２のマーク２１ａＲの画像を取り込むものである。
【００４９】
画像処理部５０は、カメラ３０，３０′から取得した各マークの画像に対して、例えば周知のパターンマッチングによって画像認識し、各マークの重心の位置をそれぞれ求め、さらにマークの対における重心相互間の中点をそれぞれ求める。
【００５０】
装置シーケンス制御部６０は、画像処理部５０による画像処理結果を取得し、該取得した画像処理結果に基づいて軸駆動部７０を介してＸ―Ｙテーブル１０Ａおよびθテーブル２０Ａを駆動させて、第１の基板１１および第２の基板２１を互いにアライメントする。すなわち、第１のマーク１１ａＲ，１１ａＬおよび第２のマーク２１ａＲ，２１ａＬが上述した所定の位置関係を満足するように、軸駆動部７０を介して、第１の基板１１を保持するＸ―Ｙテーブル１０Ａおよび第２の基板２１を保持するθテーブル２０Ａをそれぞれ駆動させる。
【００５１】
以上により、本実施の形態では、図６（ａ）に例示するように、カメラ３０の視野３０ａＬ内において中点Ｃ１１Ｌおよび中点Ｃ２１Ｌが互いに重なり合うとともに、カメラ３０′の視野３０ａＲ内において中点Ｃ１１Ｒおよび中点Ｃ２１Ｒが互いに重なり合うように、第１の基板１１および第２の基板２１が互いにアライメントされることになる。こうして、第１の基板１１に実装されたアクティブ素子等の構成要素と、第２の基板２１に実装された着色パターン等の構成要素とが所望する位置関係に位置合わせされることになる。
【００５２】
ここで、例えば熱膨張や、加工精度に依存する寸法のバラツキ等の原因によって、一方の基板が他方の基板に対して拡がった状態においては、中点Ｃ１１Ｌおよび中点Ｃ２１Ｌを重ね合わせつつ、中点Ｃ１１Ｒおよび中点Ｃ２１を重ね合わせることができなくなる。
【００５３】
このため、本実施の形態では、所望するアライメント精度に相当する許容値を予め設定しておき、中点Ｃ１１Ｌと中点Ｃ２１Ｌとの相互間距離ＥＬがこの許容値以下となり、かつ中点Ｃ１１Ｒと中点Ｃ２１Ｒとの相互間距離ＥＲがこの許容値以下となるようにアライメントする。ここで、図６（ｂ）に例示するように、相互間距離ＥＲが相互間距離ＥＬと等しくなるように、第１の基板１１および第２の基板２１を互いにアライメントすれば、一方の対角隅部の付近において著しくアライメント誤差が大きなものとなる事態を防止できるので好ましい。
【００５４】
上述したように構成された本実施の形態であるアライメントマークを適用した一対の基板では、互いに対向配置された際に、第１のマークおよび第２のマークが互いの投影領域外に位置するので、カメラの視野内で第１のマークおよび第２のマークの画像が互いに重なり合う事態を防止することが可能になる。また、本実施の形態であるアライメントマークを適用した一対の基板では、第１のマークの対における重心相互間の中点と、第２のマークの対における重心相互間の中点とを対向配置させてアライメントするので、第１のマークと第２のマークとの相互間距離の大きさに応じてアライメント誤差が増大する事態を防止することができる。
【００５５】
これらにより、本実施の形態であるアライメントマークによれば、画像処理の負担となるマスク処理を省略あるいは簡易化しつつ、画像認識エラーを防止することが可能であり、しかもアライメント精度を向上させることが可能になる。このため、本実施の形態であるアライメントマークによれば、液晶パネルの製造におけるスループットおよび歩留りの向上を図ることが可能になる。
【００５６】
また、本実施の形態であるアライメントマークを適用した一対の基板では、第１の基板および第２の基板が互いにアライメントされた際、第１のマークの対における個々の重心を通って第２の基板に直交する平面と、第２のマークの対における個々の重心を通って第１の基板に直交する平面とが、所定の交差角度、具体的には９０度で互いに重なり合う。しかも、本実施の形態であるアライメントマークを適用した一対の基板では、互いに等しい大きさの矩形を成す第１の基板および第２の基板における対角両隅部に設けられた第１のマークおよび第２のマークから成るアライメントマークを用いてアライメントされる。これらにより、本実施の形態であるアライメントマークによれば、第１の基板および第２の基板がθ軸回りに互いの位置ずれを生じることによるアライメント誤差を可及的に抑えることができる。
【００５７】
さらに、本実施の形態であるアライメントマークを適用した一対の基板では、互いに対向配置された際に、互いに対向する面に第１のマークおよび第２のマークが設けてあるので、第１のマークの対を含む平面と、第２のマークの対を含む平面との相互間距離が抑えられる。従って、本実施の形態であるアライメントマークによれば、第１のマークおよび第２のマークの画像をカメラによって取り込む際に、ピンぼけを抑えることが可能になる。
【００５８】
さらにまた、本実施の形態１であるアライメントマークを適用した一対の基板では、第１のマークおよび第２のマークとして、円形を成すものをそれぞれ適用したので、カメラの画面座標における姿勢の影響を受けることなく各マークのパターンマッチングを行うことが可能になり、画像処理を容易かつ高精度に行うことが可能になる。なお、その他の形状として、回転に強い単純な形状であれば、円形でなくともよい。しかも、本実施の形態であるアライメントマークを適用した一対の基板では、第１のマークの直径と、第２のマークの直径とが互いに異なるものを適用しているので、パターンマッチングによる第１のマークおよび第２のマークの識別が容易になる。これらにより、本実施の形態であるアライメントマークによれば、画像処理の負担を可及的に低減することができるので、アライメントを一層高効率に行うことが可能になり、その結果、液晶パネルの製造におけるスループットを一層向上させることが可能になる。
【００５９】
また、本実施の形態では、第１の基板および第２の基板における対角両隅部のそれぞれにおいて、第１のマークの対における重心相互間の中点と、第２のマークの対における重心相互間の中点との相互間距離がそれぞれ予め設定された許容値以下となるように、第１の基板および第２の基板が互いにアライメントされる。従って、本実施の形態では、第１の基板および第２の基板における対角両隅部のうち、いずれか一方の対角隅部の付近において著しくアライメント誤差が大きなものとなる事態が防止される。このため、本実施の形態によれば、アライメント誤差を一層抑えることが可能になるので、液晶パネルの製造における歩留りを一層向上させることが可能になる。
【００６０】
さらに、本実施の形態では、一方の対角隅部に設けた第１のマークおよび第２のマークを捕えるカメラと、他方の対角隅部に設けた第１のマークおよび第２のマークを捕えるカメラとを個別に備えるので、各第１のマークおよび各第２のマークの画像を同時に取り込み、並列に画像処理することが可能になり、その結果、アライメントを一層高効率に行うことが可能になる。
【００６１】
一方、本実施の形態であるアライメントマークを適用した一対の基板では、アライメントされた後に、周知の製造方法と同様に、例えばＴＦＴアレイ基板とカラーフィルタ基板との間に一定の間隙を設けるように、貼り合わせ面に塗布されたシール材を硬化させて両者を貼り合わせ、さらに切断分割、液晶注入、偏向板の取り付け等が行われる。こうして、本実施の形態であるアライメントマークを備える液晶パネルが製造される。ここで、この液晶パネルには、周知のモジュール工程にてバックライトや周辺回路等を実装されたものが含まれるのは勿論である。
【００６２】
こうして製造された液晶パネル（電気光学装置の一例）は、各種の電子機器に搭載され、液晶表示装置としての機能を果たすようになる。この液晶表示装置を搭載した電子機器としては、例えば、携帯電話機、ＰＤＡ（ＰｅｒｓｏｎａｌＤｉｇｉｔａｌＡｓｓｉｓｔａｎｔｓ）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機等が挙げられる。
【００６３】
なお、本実施の形態では、互いに等しい大きさの矩形を成す一対の基板における対角両隅部に第１のマークの対および第２のマークの対を設けた場合を示したが、これに限定されるものではない。例えば、第１のマークの対および第２のマークの対は、矩形を成す一対の基板における四隅部のうち、１つの隅部、３つの隅部および４つの隅部のいずれに設けても良いし、さらには、四隅部以外の部分に設けるようにしても構わない。また、一対の基板は、それぞれの大きさが互いに同一であるものに限定されず、さらには、それぞれの形状が互いに矩形であるものに限定されない。例としては、一方の基板として矩形を成すものを適用し、他方の基板としてウエハと称する大判の円形を成すものを適用することができる。
【００６４】
また、本実施の形態においては、いずれもＴＦＴカラー液晶パネルを例示してきたが、これに限定されるものではなく、例えば、同じくアクティブマトリクス型の液晶パネルの一種である薄膜ダイオードカラー液晶パネル、あるいはパッシブマトリクス型の液晶パネルにも同様に適用することができる。なお、本実施の形態は、カラー液晶パネルに限定されるものではなく、モノクロ液晶パネルにも適用できることは勿論である。
【００６５】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、画像処理の負担を軽減しつつ、画像認識エラーを防止することが可能になり、しかもカメラの視野内における前記第１のマークと前記第２のマークとの相互間距離の大きさに応じてアライメント誤差が増大する事態を防止することができる。このため、液晶パネルの製造におけるスループットおよび歩留りの向上を図ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の概要におけるアライメント装置のブロック線図である。
【図２】図１における矢印Ａ方向の投影図である。
【図３】アライメント前後における各マークの位置関係を示すもので、（ａ）はアライメント前の各マークの位置関係を示す説明図、（ｂ）はアライメント後の各マークの位置関係を示す説明図である。
【図４】本発明の実施の形態におけるアライメント装置のブロック線図である。
【図５】図４における投影図であり、（ａ）は図４における矢印Ｂ方向の投影図、（ｂ）は図４における矢印Ｃ方向の投影図である。
【図６】本実施の形態におけるアライメント後の各マークの位置関係を示すものであり、（ａ）は第１の例を示す説明図、（ｂ）は第２の例を示す説明図である。
【図７】従来のアライメントマークを説明する説明図である。
【図８】従来技術１であるアライメントマークが矩形のマークの対から成る場合における各マークの位置関係を示すもので、（ａ）は第１の例を示す説明図、（ｂ）は第２の例を示す説明図である。
【図９】従来技術１であるアライメントマークが円形のマークの対から成る場合における各マークの位置関係を示すもので、（ａ）は第１の例を示す説明図、（ｂ）は第２の例を示す説明図である。
【図１０】従来技術２であるアライメントマークが円形のマークの対から成る場合における各マークの位置関係を示す説明図である。
【符号の説明】
１０第１の基板、１０ａ第１のマーク、１０ＡＸ−Ｙテーブル、１１第１の基板、１１ａＲ第１のマーク、１１ａＬ第１のマーク、２０第２の基板、２０ａ第２のマーク、２０Ａ θテーブル、２１第２の基板、２１ａＲ第２のマーク、２１ａＬ第２のマーク、３０，３０′ カメラ、３０ａ，３０ａＲ，３０ａＬ視野、４０，４０′ 光学鏡筒、５０画像処理部、６０装置シーケンス制御部、７０軸駆動部、Ｃ１０，Ｃ１１Ｒ，Ｃ１１Ｌ中点、Ｃ２０，Ｃ２１Ｒ，Ｃ２１Ｌ中点、ＥＲ，ＥＬ相互間距離、Ｇ１０，Ｇ２０重心

Claims

第１の基板および第２の基板を互いに対向配置した状態でアライメントする電気光学装置の製造方法であって、
前記第１の基板に形成された一対の第１のマークと、前記第２の基板に形成された一対の第２のマークとが互いの投影領域外となる位置に、前記第１の基板および第２の基板または撮像手段を移動させて、前記一対の第１のマークと前記一対の第２のマークをそれぞれ前記撮像手段により撮像し、
前記撮像手段から取得した画像に基づいて、前記一対の第１のマークの中点と前記一対の第２のマークの中点とが互いに重なり合うように、アライメントを行うことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
前記一対の第１のマークが形成する仮想直線と、前記一対の第２のマークが形成する仮想直線とが所定の角度を持って交わることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造方法。
前記一対の第１のマークと前記一対の第２のマークとは、互いに大きさの異なる形状であることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造方法。
前記撮像手段が撮像する前記一対の第１のマークの中点を前記第１の基板の撮像位置とし、前記撮像手段が撮像する前記一対の第２のマークの中点を前記第２の基板の撮像位置とすることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載の電気光学装置の製造方法。
前記所定の角度は略直交する角度であることを特徴とする請求項２に記載の電気光学装置の製造方法。
前記一対の第１のマークおよび前記一対の第２のマークは、それぞれ基板の対角両隅部に設けられてなることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載の電気光学装置の製造方法。
前記一対の第１のマークと前記一対の第２のマークは、円形であり、互いに異なる直径を有することを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の電気光学装置の製造方法。
請求項１乃至請求項７のいずれか一つに記載の電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を備えた電子機器。
第１の基板および第２の基板が互いに対向配置されてなる電気光学装置であって、
前記第１の基板には一対の第１のマークが形成されてなり、
前記第２の基板には一対の第２のマークが形成されてなり、
前記一対の第１のマークの中点と前記一対の第２のマークの中点とが互いに重なり合うように、前記第１の基板と前記第２の基板とが対向配置されてなることを特徴とする電気光学装置。
前記一対の第１のマークと前記一対の第２のマークは、ともに円形であり、かつ互いに異なる直径を有することを特徴とする請求項９に記載の電気光学装置。
請求項９又は請求項１０に記載の電気光学装置を備えた電子機器。