JP2004151653A - 電気光学装置、及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置の製造装置、電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを同一の被写界深度内に捉えることができる電気光学装置を得ること。
【解決手段】第１のアライメントマーク２ｂを形成した第１の基板２と、第２のアライメントマーク３ａを形成した第２の基板３とからなる電気光学装置であって、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａは、第１の基板２と第２の基板３が対向する面に形成され、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａとが規定の間隔Ｌを有して隣り合うように、第１の基板２と前記第２の基板３とを対向して配置した。
【選択図】 図１
【解決手段】第１のアライメントマーク２ｂを形成した第１の基板２と、第２のアライメントマーク３ａを形成した第２の基板３とからなる電気光学装置であって、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａは、第１の基板２と第２の基板３が対向する面に形成され、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａとが規定の間隔Ｌを有して隣り合うように、第１の基板２と前記第２の基板３とを対向して配置した。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電気光学装置、及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置の製造装置に関し、更に詳しくは、第１の基板と第２の基板とを精密に位置合せした電気光学装置、及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置の製造装置、電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の技術に係る電気光学装置は、位置合せの基準となる第１のアライメントマークを形成した第１の基板と、位置合せの対象となる第２のアライメントマークを形成した透明な第２の基板とからなり、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなすものであった。この電気光学装置は、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークをカメラで撮像し、その画像に基づいて位置合せを行っていた（例えば、特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】
特開昭６３−１９３２１０号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、第２のアライメントマークを第２の基板の貼り合せ面の裏側面に形成した場合には、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを精密アライメントカメラの同一の被写界深度内に捉えることが困難である。特に、第２の基板が厚い場合には、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを同一の被写界深度内に捉えることができない。したがって、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとをそれぞれ撮像し、その後、第１のアライメントマークの規定位置と第２のアライメントマークの規定位置とに基づいて位置合せを行う必要があった。
【０００５】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを精密アライメントカメラの同一の被写界深度内に捉えるとともに、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを撮像方向において重なることのない電気光学装置、及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置の製造装置、電子機器を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係る電気光学装置は、第１のアライメントマークを形成した第１の基板と、第２のアライメントマークを形成した第２の基板とからなる電気光学装置であって、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークは、前記第１の基板と前記第２の基板が対向する面に形成され、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとが規定の間隔を有して隣り合うように、前記第１の基板と前記第２の基板とが対向して配置されてなることを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークは、第１の基板と第２の基板が対向する面に形成されているので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを同一の被写界深度内に捉えることができる。また、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して隣り合うので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが重なることがない。したがって、第１の基板と第２の基板を貼り合せる場合において、精密に位置合せできる。
【０００８】
なお、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを円形で形成することが好ましい。第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを円形で形成すれば、第１の基板と第２の基板のいずれか一方が撮像方向の軸回りに回転しても、基板の回転に影響されることなく、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを円形として捉えることができる。
【０００９】
また、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとをそれぞれ塗りつぶした図形で形成することが好ましい。さらに、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを同一又は相似の形状で形成することが好ましい。くわえて、予め定めた撮像範囲に前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークのみを有することが好ましい。予め定めた撮像範囲に第１のアライメントマークと第２のアライメントマークのみを有すれば、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを容易に検出できる。
【００１０】
また、本発明に係る電気光学装置は、前記第１のアライメントマークおよび前記第２のアライメントマークは、それぞれの基板に複数形成されてなることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る電気光学装置は、第１の基板の周縁部に前記第１のアライメントマークをそれぞれ形成し、第２の基板の周縁部に前記第２のアライメントマークをそれぞれ形成したことを特徴とする。
【００１２】
この発明によれば、第１の基板の周縁部に第１のアライメントマークをそれぞれ形成し、第２の基板の周縁部に第２のアライメントマークをそれぞれ形成したので、第１の基板と第２の基板をより精密に位置合せできる。
【００１３】
また、本発明に係る電気光学装置は、貼り合せ領域を矩形に形成した第１の基板の対角位置となる両隅部に前記第１のアライメントマークをそれぞれ形成し、貼り合せ領域を矩形に形成した第２の基板の対角位置となる両隅部に前記第２のアライメントマークをそれぞれ形成したことを特徴とする。
【００１４】
この発明によれば、貼り合せ領域を矩形に形成した第１の基板の対角位置となる両隅部に第１のアライメントマークをそれぞれ形成し、貼り合せ領域を矩形に形成した第２の基板の対角位置となる両隅部に第２のアライメントマークをそれぞれ形成したので、第１の基板と第２の基板をより精密に位置合せできる。
【００１５】
また、本発明に係る電気光学装置は、貼り合せ領域を矩形に形成した前記第１の基板の四隅部のそれぞれに第１のアライメントマークを形成し、貼り合せ領域を矩形に形成した第２の基板の四隅部のそれぞれに前記第２のアライメントマークを形成したことを特徴とする。
【００１６】
この発明によれば、貼り合せ領域を矩形に形成した第１の基板の四隅部のそれぞれに第１のアライメントマークを形成し、貼り合せ領域を矩形に形成した第２の基板の四隅部のそれぞれに第２のアライメントマークを形成したので、第１の基板と第２の基板を精密に位置合せできる。
【００１７】
また、本発明に係る電気光学装置は、第１の基板に第２の基板を貼り合せる貼り合せ領域を複数形成したことを特徴とする。
【００１８】
この発明によれば、電気光学装置を貼り合せ領域ごとに切り離すことにより、複数の電気光学装置を得ることができるので、生産効率の向上を図ることができる。
【００１９】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、貼り合せ面に位置合せの基準となる第１のアライメントマークを形成した第１の基板に、貼り合せ面に位置合せの対象となる第２のアライメントマークを形成した透明な第２の基板を貼り合せる貼り合せ工程と、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを撮像する撮像工程と、撮像した前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとに基づいて前記第１のアライメントマークの規定位置と前記第２のアライメントマークの規定位置を特定する位置特定工程と、特定した前記第１のアライメントマークの規定位置と前記第２のアライメントマークの規定位置とを撮像方向において規定の間隔を有して一対をなす態様で位置合せする位置合せ工程とを含むことを特徴とする。
【００２０】
この発明によれば、貼り合せ面に位置合せの基準となる第１のアライメントマークを形成した第１の基板に、貼り合せ面に位置合せの対象となる第２のアライメントマークを形成した第２の基板を貼り合せ、第１のアライメントマークの規定位置と第２のアライメントマークの規定位置を撮像方向において規定の間隔を有して位置合せするので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを同一の被写界深度内に捉えることができる。また、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなすので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において重なることがない。したがって、第１の基板と第２の基板を精密に位置合せできる。
【００２１】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、前記貼り合せ工程が、前記第１のアライメントマークを貼り合せ領域の対角位置となる両隅部に形成した第１の基板に、前記第２のアライメントマークを貼り合せ領域の対角位置となる両隅部に形成した第２の基板を貼り合せる工程であって、前記撮像工程と、前記位置特定工程と、前記位置合せ工程とを、それぞれ対角位置となる両隅部に形成した前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークに基づいて行うことを特徴とする。
【００２２】
この発明によれば、第１のアライメントマークを第１の基板の貼り合せ領域の対角位置となる両隅部に形成した第１の基板に、第２のアライメントマークを貼り合せ領域の対角位置となる両隅部に形成した第２の基板を貼り合せるので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが貼り合せ方向において重なることがなく、第１の基板と第２の基板を貼り合せる場合において、精密に位置合せできる。
【００２３】
なお、前記位置特定工程が、撮像した前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを二値化して、前記第１のアライメントマークの規定位置と前記第２のアライメントマークの規定位置を特定することが好ましい。さらに、前記位置特定工程が、二値化した前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークをパターンマッチングして、前記第１のアライメントマークの規定位置と前記第２のアライメントマークの規定位置を特定することが好ましい。規定位置は、アライメントマークの重心位置が多く用いられる。
【００２４】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、前記位置特定工程が、予め登録した第１のパターンに基づいてパターンマッチングして、前記第１のアライメントマークの規定位置を特定し、予め登録した第２のパターンに基づいてパターンマッチングして、前記第２のアライメントマークの規定位置を特定することを特徴とする。
【００２５】
この発明によれば、予め登録した第１のパターンに基づいてパターンマッチングして、第１のアライメントマークの規定位置を特定し、予め登録した第２のパターンに基づいてパターンマッチングして、第２のアライメントマークの規定位置を特定するので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを個別に識別できる。
【００２６】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、前記位置合せ工程が、第１のアライメントマークの規定位置と撮像方向において規定の間隔を有した位置を中心とする許容範囲内に第２のアライメントマークの規定位置が位置したときに位置合せを終了することを特徴とする。
【００２７】
この発明によれば、第１のアライメントマークの規定位置と撮像方向において規定の間隔を有した位置を中心とする許容範囲内に、第２のアライメントマークの規定位置が位置したときに位置合せを終了するので、位置合せにかかる時間を短縮できる。
【００２８】
なお、前記許容範囲が一辺を許容値とする正方形に囲まれた範囲としても良く、前記許容範囲が直径を許容値とする円に囲まれた範囲としても良い。また、前記許容範囲が対角線の長さを許容値とする正方形に囲まれた範囲としても良い。
【００２９】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、第１の基板に形成した複数の貼り合せ領域に第２の基板をそれぞれ貼り合せる場合において、前記位置合せ工程が、第１の基板の貼り合せ領域ごとに予め登録した補正値に基づいて、規定の間隔を補正することを特徴とする。
【００３０】
この発明によれば、第１の基板の貼り合せ領域ごとに予め登録した補正値に基づいて、規定の間隔を補正するので、第１の基板の貼り合せ領域ごとに貼り合せ位置を調整できる。
【００３１】
また、位置合せの基準となる第１のアライメントマークを貼り合せ面に形成した第１の基板を載置し、かつ、左右方向及び前後方向に移動可能なＸ−Ｙテーブルと、位置合せの対象となる第２のアライメントマークを貼り合せ面に形成した第２の基板を保持し、かつ、撮像方向の軸回りに回動可能なヘッドとを備え、Ｘ−Ｙテーブルを前後方向又は左右方向に移動するとともにヘッドを回動して、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなす態様で位置合せすることが好ましい。この電気光学装置の製造装置によれば、Ｘ−Ｙテーブルを前後方向又は左右方向に移動するとともにヘッドを回動して、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなす態様で位置合せするので、第１の基板に第２の基板を精密に位置合せできる。
【００３２】
また、本発明に係る電気光学装置の製造装置は、第１の基板と第２の基板を対向配置した状態で位置合わせを行う電気光学装置の製造装置であって、位置合せの基準となる第１のアライメントマークを貼り合せ面に形成した前記第１の基板に、位置合せの対象となる第２のアライメントマークを貼り合せ面に形成した前記第２の基板を貼り合せるマウント装置と、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを撮像方向において規定の間隔を有して一対をなす態様で位置合せするアライメント装置とを有し、前記マウント装置が第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとに基づいて仮位置合せし、前記アライメント装置が第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとに基づいて位置合せすることを特徴とする。
【００３３】
この発明によれば、マウント装置が第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとに基づいて仮位置合せし、アライメント装置が第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとに基づいて位置合せするので、アライメント装置の位置合せに要する時間を短縮することができる。
【００３４】
上記した電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を備えた電子機器であることを特徴とする。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、この発明に係る電気光学装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、本発明が適用できる電気光学装置は、例えば液晶パネルや有機ＥＬパネル、プラズマディスプレイパネル、電気泳動ディスプレイパネル等があり、もちろんこれに限定されるものでなく、二枚の基板が対向配置されて位置決めされる電気光学装置にはすべて適用が可能である。
【００３６】
（実施の形態１）
実施の形態１に係る電気光学装置１の構成について説明する。なお、図１は電気光学装置の説明図であって、（ａ）は電気光学装置の平面図、（ｂ）は電気光学装置の拡大図、（ｃ）は電気光学装置の隅部を拡大した拡大正面図である。
【００３７】
電気光学装置１は、透明な矩形の第１の基板（以下の説明においてＴＦＴ基板と称する。）２と、透明な矩形の第２の基板（以下の説明において対向基板と称する。）３をシール材４により貼り合せたものである。ＴＦＴ基板２の貼り合せ面には、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）２ａを形成してあり、その対角位置となる両隅部には、位置合せの基準となる塗りつぶした円形の第１のアライメントマーク２ｂをそれぞれ形成してある。一方、対向基板３の貼り合せ面の対角位置となる両隅部には、位置合せの対象となる塗りつぶした円形の第２のアライメントマーク３ａをそれぞれ形成してある。そして、ＴＦＴ基板２と対向基板３とは、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置と第２のアライメントマーク３ａの規定位置とが撮像方向において規定の間隔Ｌを有して一対をなす態様で位置合せして貼り合せてある。
【００３８】
次に、ＴＦＴ基板２と対向基板３の貼り合せ方法について説明する。まず、対向基板３の貼り合せ面にシール材４を塗布する。次に、ＴＦＴ基板２の貼り合せ面と対向基板３の貼り合せ面を対向して載置する。そして、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａの位置合せを行う。即ち、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置と第２のアライメントマーク３ａの規定位置とが撮像方向において規定の間隔Ｌを有して一対をなす態様で位置合せを行う。その後、シール材４に例えば紫外線などの硬化に必要なエネルギーを与えてシール材４を仮硬化させ、ＴＦＴ基板２と対向基板３を固定する。
【００３９】
実施の形態１に係る電気光学装置１は、ＴＦＴ基板２の対角位置となる両隅部に第１のアライメントマーク２ｂを形成し、対向基板３の対角位置となる両隅部に第２のアライメントマーク３ａを形成したが、ＴＦＴ基板２の四隅部に第１のアライメントマーク２ｂを形成し、対向基板３の四隅部に第２のアライメントマーク３ａを形成しても良い。
【００４０】
また、電気光学装置１は、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａを塗りつぶした円形で形成してあるが、塗りつぶした円形に限らず、白抜きの円形であっても良い。また、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａの形状は円形に限られるものではなく、三角形、四角形等の多角形であっても良い。また、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａの形状は同一であっても良いし、相似であっても良い。
【００４１】
また、電気光学装置は、矩形のものに限らず、円形のもののほか、楕円形等であってもよい。この場合において、ＴＦＴ基板の貼り合せ領域の周縁部の対向する位置に一対の第１のアライメントマークを形成し、対向基板の貼り合せ領域の周縁部の対向する位置に一対の第２のアライメントマークを形成することが好ましい。
【００４２】
実施の形態１に係る電気光学装置１は、位置合せの基準となる第１のアライメントマーク２ｂをＴＦＴ基板２の貼り合せ面に形成し、位置合せの対象となる第２のアライメントマーク３ａを対向基板３の貼り合せ面に形成してあるので、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａは精密アライメントカメラの同一の被写界深度Ｈ内にあり、同一の撮像範囲に捉えられる。また、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置と第２のアライメントマーク３ａの規定位置とが撮像方向において規定の間隔Ｌを有して一対をなすので、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａが貼り合せ方向において重なることがない。
【００４３】
また、ＴＦＴ基板２の四隅部に第１のアライメントマーク２ｂを形成し、対向基板３の四隅部に第２のアライメントマーク３ａを形成すると、ＴＦＴ基板２の対角位置となる両隅部に第１のアライメントマーク２ｂを形成し、対向基板３の対角位置となる両隅部に第２のアライメントマーク３ａを形成した場合に比較して、より精密な位置合せができる。
【００４４】
また、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａを円形で形成しているので、ＴＦＴ基板２と対向基板３のいずれか一方が撮像方向の軸回りに回転しても基板の回転に影響されることなく、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａを円形として捉えることができる。
【００４５】
（実施の形態２）
実施の形態２に係る電気光学装置の構成を図２に基づいて説明する。なお、図２は実施の形態２に係る電気光学装置の構成を示した平面図である。
【００４６】
電気光学装置１１は、透明な円形の第１の基板（以下の説明においてＴＦＴ基板と称する。）１２に、透明な矩形の第２の基板（以下の説明において対向基板と称する。）１３をシール材１４により複数貼り合せたものである。例えば、ＴＦＴ基板１２は８インチのウエハであり、その貼り合せ面に、縦横に複数の対向基板１３を貼り合せる矩形の貼り合せ領域１２ａを形成してある。各貼り合せ領域１２ａにはＴＦＴ１２ｂが形成してあり、その対角位置となる両隅部には、位置合せの基準となる塗りつぶした円形の第１のアライメントマーク１２ｃをそれぞれ形成してある。一方、対向基板１３の貼り合せ面の対角位置となる両隅部には、位置合せの対象となる塗りつぶした円形の第２のアライメントマーク１３ａを形成してある。そして、ＴＦＴ基板１２の各貼り合せ領域１２ａと対向基板１３とは、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとがそれぞれ撮像方向において規定の間隔を有して一対をなすように位置合せして貼り合せてある。
【００４７】
次に、ＴＦＴ基板１２と対向基板１３の貼り合せ方法について説明する。まず、対向基板１３の貼り合せ面にシール材１４を塗布する。次に、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａに対向基板１３の貼り合せ面を対向して載置する。そして、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの位置合せを行う。即ち、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置と第２のアライメントマーク１３ａの規定位置とが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなす態様で位置合せを行う。その後、シール材１４に例えば紫外線などの硬化に必要なエネルギーを与えてシール材１４を仮硬化させ、ＴＦＴ基板１２と対向基板１３を固定する。
【００４８】
ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａに対向基板１３を載置して位置合せすることにより、ＴＦＴ基板１２に複数の対向基板１３を貼り合せた電気光学装置１１とすることができる。
【００４９】
実施の形態２に係る電気光学装置１１は、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａの対角位置となる両隅部に第１のアライメントマーク１２ｃを形成し、対向基板１３の対角位置となる両隅部に第２のアライメントマーク１３ａを形成したが、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａの四隅部に第１のアライメントマーク１２ｃを形成し、対向基板１３の四隅部に第２のアライメントマーク１３ａを形成しても良い。
【００５０】
また、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを塗りつぶした円形で形成してあるが、塗りつぶした円形に限らず、白抜きの円形であっても良い。また、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ｃの形状は、円形に限られるものでなく三角形、四角形等の多角形であっても良い。また、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ｃの形状は同一であっても良いし、相似であっても良い。
【００５１】
また、電気光学装置の貼り合せ領域は、矩形のものに限らず、円形のもののほか、楕円形等であってもよい。この場合において、ＴＦＴ基板の貼り合せ領域の周縁部の対向する位置に一対の第１のアライメントマークを形成し、対向基板の貼り合せ領域の周縁部の対向する位置に一対の第２のアライメントマークを形成することが好ましい。
【００５２】
また、ＴＦＴ基板に複数の対向基板を貼り合せるものとしたが、複数のＴＦＴ基板に複数の対向基板を貼り合せるものとしてもよい。
【００５３】
実施の形態２に係る電気光学装置１１によれば、位置合せの基準となる第１のアライメントマーク１２ｃをＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａに形成し、位置合せの対象となる第２のアライメントマーク１３ａを対向基板１３の貼り合せ面に形成してあるので、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとは精密アライメントカメラの同一の被写界深度内にあり、同一の撮像範囲に捉えられる。また、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置と第２のアライメントマーク１３ａの規定位置とが撮像方向に規定の間隔を有して一対をなすので、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａが撮像方向において重なることがない。
【００５４】
また、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａの四隅部に第１のアライメントマーク１２ｃを形成し、対向基板１３の四隅部に第２のアライメントマーク１３ａを形成すると、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａの対角位置となる両隅部に第１のアライメントマーク１２ｃを形成し、対向基板１３の対角位置となる両隅部に第２のアライメントマーク１３ａを形成した場合に比較して、より精密な位置合せができる。
【００５５】
また、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを円形で形成しているので、ＴＦＴ基板１２と対向基板１３のいずれか一方が撮像方向の軸回りに回転しても基板の回転に影響されることなく、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを円形として捉えることができる。
【００５６】
また、ＴＦＴ基板１２に複数の対向基板１３を貼り合せた電気光学装置１１をその後の工程において、貼り合せ領域１２ａごとに切り離すことにより、それぞれ独立した電気光学装置にすることができるので、電気光学装置を効率よく生産することができる。
【００５７】
図３〜９に基づいて、実施の形態２に係る電気光学装置１１を製造する電気光学装置の製造装置４０の構成について説明する。なお、図３は電気光学装置の製造装置の概要を説明する平面図、図４は図３に示した電気光学装置の製造装置を構成するマウント装置の機能を説明する図、図５は図３に示した電気光学装置の製造装置を構成するアライメント装置を説明するブロック図、図６は図５に示したアライメント装置の作用を説明するフローチャート、図７は精密アライメントカメラで撮像した撮像範囲を示した図、図８は位置合せ判定を説明するフローチャート、図９は位置合せ判定における許容範囲を説明する図である。
【００５８】
電気光学装置の製造装置４０は、対向基板１３を供給する給材装置５０と、給材装置５０から供給した対向基板１３にシール材１４を塗布するシール材塗布装置６０と、対向基板１３に塗布したシール材１４の状態を検査する検査装置７０と、ＴＦＴ基板１２を搬入する搬入装置８０と、ＴＦＴ基板１２に対向基板１３を貼り合せるマウント装置９０と、ＴＦＴ基板１２と対向基板１３を位置合せしてシール材１４を仮硬化するアライメント装置１００とを有している。
【００５９】
次に、電気光学装置の製造装置４０の作用について説明する。給材装置５０は、対向基板１３をシール材塗布装置６０に供給する。シール材塗布装置６０はシール材１４を塗布して、対向基板１３を検査装置７０に送る。検査装置７０はシール材１４の状態を検査して、シール材１４の状態が良好な場合にマウント装置９０に対向基板１３を供給し、シール材１４の状態が不良の場合に検査装置７０から対向基板１３を排出する。搬入装置８０はＴＦＴ基板１２をマウント装置９０に搬入する。マウント装置９０は、搬入したＴＦＴ基板１２にシール１４を塗布した対向基板１３を順次貼り合せる。対向基板１３を貼り合せたＴＦＴ基板１２は、アライメント装置１００に搬出され、精密位置合せをした後にシール材１４を仮硬化して次の工程に搬出する。
【００６０】
図４に示すように、マウント装置９０はシール材１４を塗布した対向基板１３を反転して、ＴＦＴ基板１２に順次貼り合せるが、対向基板１３を保持したまま、仮位置合せすることが好ましい。仮位置合せを行うと、アライメント装置１００において位置合せにかかる時間を短縮でき、電気光学装置１１を効率的に製造できるからである。なお、仮位置合せについても、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを利用して位置合せ行う。
【００６１】
次に、アライメント装置１００をより詳細に説明する。アライメント装置１００は、ＴＦＴ基板１２と、ＴＦＴ基板１２に載置した対向基板１３とを位置合せするものである。
【００６２】
図５に示すように、アライメント装置１００は、コントロールユニット１０１と、画像処理ユニット１０２と、位置合せユニット１０５とを有している。画像処理ユニット１０２には、電気光学装置１１の一方の隅部を撮像する精密アライメントカメラであるＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ１０３と、前記一方の隅部の対角に位置する他の隅部を撮像する精密アライメントカメラであるＣＣＤカメラ１０４とが接続してある。画像処理ユニット１０２には、第１のアライメントマーク１２ｃに対応するパターン２２と、第２のアライメントマーク１３ａに対応するパターン２３とが、予め登録してある。また、画像処理ユニット１０２は、撮像範囲を二値化して、予め登録したパターン２２とパターン２３とに基づいてパターンマッチングすることにより、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置と、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算し、その結果をコントロールユニット１０１に送信する機能を有している。
【００６３】
コントロールユニット１０１は、画像処理ユニット１０２から得た情報に基づいて、位置合せユニット１０５を制御するものであり、規定の間隔と、各貼り合せ領域１２ａごとの補正値であるオフセットデータが登録してある。
【００６４】
位置合せユニット１０５は、ＴＦＴ基板１２を吸着して前後方向と左右方向の位置合せを行うＸ−Ｙテーブル１０６と、対向基板１３を吸着して角度方向の位置合せを行うとともに対向基板１３を圧着するヘッド１０７とを有している。Ｘ−Ｙテーブル１０６は、左右方向（Ｘ方向）の位置合せを行うＸ軸１０８と、前後方向（Ｙ方向）の位置合せを行うＹ軸１０９とを有している。ヘッド１０７は、撮像方向の軸回りの位置合せを行うθ軸１１０と、対向基板１３をＴＦＴ基板１２に圧着するＺ軸１１１とを有している。
【００６５】
図６に基づいて、アライメント装置１００の作用について説明する。対向基板１３を載置したＴＦＴ基板１２をＸ−Ｙテーブル１０６に供給する。Ｘ−Ｙテーブル１０６が供給されたＴＦＴ基板１２を吸着し、ヘッド１０７が下降して対向基板１３を吸着し、加圧して適正な間隙を確保する。次に、位置合せを開始する（ステップＳ１）。まず、コントロールユニット１０１がマーク位置の取得要求を画像処理ユニット１０２に送信する（ステップＳ２）。
【００６６】
画像処理ユニット１０２は、マーク位置取得要求の受信を条件に第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを撮像する（ステップＳ３）。このとき、図７に示すように、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとは同一の被写界深度内にあり、同一の撮像範囲３０に捉えられる。なお、この撮像範囲は予め定めたものであり、その範囲には第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａのみを有している。画像処理ユニット１０２は、撮像した画面を二値化して、予め登録したパターン２２とパターン２３に基づいてパターンマッチングを行い、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算する（ステップＳ４）。その演算結果は画像処理ユニット１０２からコントロールユニット１０１に送信する（ステップＳ５）。
【００６７】
コントロールユニット１０１が第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの位置情報を受信すると（ステップＳ６）、位置合せ判定を行う（ステップＳ７）。位置合せが適正な場合（ステップＳ７：ＯＫ）、即ち、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなしている場合には、位置合せを終了する（ステップＳ８）。一方、位置合せが適正でない場合（ステップＳ７：ＮＧ）、即ち、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなしていない場合には、Ｘ−Ｙテーブル１０６の移動量と、ヘッド１０７の移動量を算出する（ステップＳ９）。そして、Ｘ−Ｙテーブル１０６の移動量とヘッド１０７の移動量に基づいて、Ｘ−Ｙテーブル１０６とヘッド１０７を移動する（ステップＳ１０）。移動が終了すると（ステップＳ１１：ＹＥＳ）、ステップ２に戻る。以下、上記したステップを繰り返し、位置合せを完了する。
【００６８】
図８に基づいて、位置合せ判定Ｓ７をさらに詳しく説明する。位置合せ判定Ｓ７では、まず、ＴＦＴ基板１２に形成した第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を特定する（ステップＳ７１）。次に、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置があるべき位置を算出する（ステップＳ７２）。対向基板１３を貼り合せるＴＦＴ基板１２の各貼り合せ領域１２ａごとに登録してあるオフセットデータに基づいて、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置があるべき位置を補正する（ステップＳ７３）。次に、補正した第２のアライメントマーク１３ａの規定位置があるべき位置に対する許容範囲を算出する（ステップＳ７４）。そして、この許容範囲内に第２のアライメントマーク１３ａの規定位置があるか否かを判定する（ステップＳ７５）。第２のアライメントマーク１３ａの規定位置が算出した許容範囲にある場合には位置合せが適正であると判定し、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置が算出した許容範囲にない場合には位置合せが適正でないと判定する。
【００６９】
図９に基づいて、第２のアライメントマークの規定位置のあるべき位置に対する許容範囲を説明する。許容範囲は、許容値と許容図形を決定することにより定まる。許容図形は、正方形、円、４５度傾けた正方形の中から選択できる。
【００７０】
正方形を選択した場合には、（ａ）に示すように、第２のアライメントマークの規定位置があるべき位置１３Ｇを中心として一辺を許容値とする正方形１３ｐが許容範囲となり、円を選択した場合には、（ｂ）に示すように、第２のアライメントマークの規定位置があるべき位置１３Ｇを中心として直径を許容値とする円１３ｑが許容範囲となる。また、４５度傾けた正方形を選択した場合には、（ｃ）に示すように第２のアライメントマークの規定位置があるべき位置１３Ｇを中心として対角線の長さを許容値とする正方形１３ｒが許容範囲となる。許容値を同じ値、たとえば、プラス１ミクロン、マイナス１ミクロンにすると、正方形、円、４５度傾けた正方形の順に許容範囲は狭くなる。
【００７１】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、マウント装置９０において対向基板１３が貼り合わされていない貼り合せ領域１２ａに対しては位置合せを行わないことが好ましい。
【００７２】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、画像処理ユニット１０２が、撮像した画面を二値化して、予め登録したパターン２２とパターン２３に基づいてパターンマッチングを行い、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算するが、撮像した画面を二値化した後に、重心検出して第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算してもよく、形状外形から第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算してもよい。
【００７３】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、マウント装置９０がＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａに複数の対向基板１３を貼り合せた後にアライメント装置１００がＴＦＴ基板１２と対向基板１３とを位置合せするが、マウント装置９０とアライメント装置１００の間を交互に移動して対向基板の貼り合せと位置合せを交互にするものとしてもよい。
【００７４】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａに複数の対向基板１３を貼り合せるが、一枚のＴＦＴ基板１２に一枚の対向基板１３を貼り合せてもよく、この場合には装置に起因する誤差、基板、機種に起因する誤差に基づいて補正することが好ましい。
【００７５】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、Ｘ−Ｙテーブル１０６がＴＦＴ基板１２を吸着して前後方向と左右方向の位置合せを行い、ヘッド１０７が対向基板１３を吸着して角度方向の位置合せを行うとともに対向基板１３を圧着するが、Ｘ−Ｙテーブル１０６が対向基板１３を吸着して前後方向と左右方向の位置合せを行い、ヘッド１０７がＴＦＴ基板１２を吸着して角度方向の位置合せを行うとともに対向基板１３を圧着するものとしてもよい。
【００７６】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、ＴＦＴ基板１２を吸着して前後方向と左右方向の位置合せを行うＸ−Ｙテーブル１０６と、対向基板１３を吸着して角度方向の位置合せを行うとともに対向基板１３を圧着するヘッド１０７とを有しているので、ＴＦＴ基板１２に比較して小型の対向基板１３を貼り合せ軸回りに位置合せできる。
【００７７】
なお、本発明により製造される電気光学装置は、例えば、図１０に示されるような携帯電話機６００等の電子機器に搭載できる。さらにこの他に、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｄｉｇｉｔａｌ Ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、液晶プロジェクタ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機などの電子機器に搭載できることは言うまでもない。
【００７８】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明に係る電気光学装置によれば、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークは、第１の基板と第２の基板が対向する面に形成されているので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを同一の被写界深度内に捉えることができる。また、第１のアライメントマークの規定位置と第２のアライメントマークの規定位置とが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなすので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが貼り合せ方向において重なることがない。したがって、第１の基板と第２の基板を貼り合せる場合において、精密に位置合せできる。
【００７９】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを円形で形成したので、第１の基板と第２の基板のいずれか一方が撮像方向の軸回りに回転しても、基板の回転に影響されることなく、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを円形として捉えることができるので、精密に位置合せできる。
【００８０】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、予め定めた撮像範囲に第１のアライメントマークと第２のアライメントマークのみを有するので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを容易に検出でき、精密に位置合せできる。
【００８１】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、第１の基板の周縁部に第１のアライメントマークを形成し、第２の基板の周縁部に第２のアライメントマークを形成したので、第１の基板と第２の基板をより精密に位置合せできる。
【００８２】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、貼り合せ領域を矩形に形成した第１の基板の対角位置となる両隅部に第１のアライメントマークをそれぞれ形成し、貼り合せ領域を矩形に形成した第２の基板の対角位置となる両隅部に第２のアライメントマークをそれぞれ形成したので、第１の基板と第２の基板を精密に位置合せできる。
【００８３】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、貼り合せ領域を矩形に形成した第１の基板の四隅部のそれぞれに第１のアライメントマークを形成し、貼り合せ領域を矩形に形成した第２の基板の四隅部のそれぞれに第２のアライメントマークを形成したので、第１の基板と第２の基板を精密に位置合せできる。
【００８４】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、電気光学装置を貼り合せ領域ごとに切り離すことにより、複数の電気光学装置を得ることができるので、生産効率の向上を図ることができる。
【００８５】
また、この発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、貼り合せ面に位置合せの基準となる第１のアライメントマークを形成した第１の基板に、貼り合せ面に位置合せの対象となる第２のアライメントマークを形成した第２の基板を貼り合せ、第１のアライメントマークの規定位置と第２のアライメントマークの規定位置を撮像方向において規定の間隔を有して位置合せするので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを同一の被写界深度内に捉えることができる。また、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなすので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において重なることがない。したがって、第１の基板と第２の基板を精密に位置合せできる。
【００８６】
また、この発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、第１のアライメントマークを第１の基板の貼り合せ領域の対角位置となる両隅部に形成した第１の基板に、第２のアライメントマークを貼り合せ領域の対角位置となる両隅部に形成した第２の基板を貼り合せるので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが貼り合せ方向において重なることがなく、第１の基板と第２の基板を貼り合せる場合において、精密に位置合せできる。
【００８７】
また、この発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、予め登録した第１のパターンに基づいてパターンマッチングして、第１のアライメントマークの規定位置を特定し、予め登録した第２のパターンに基づいてパターンマッチングして、第２のアライメントマークの規定位置を特定するので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを個別に識別できる。
【００８８】
また、この発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、許容範囲内に、第２のアライメントマークの規定位置が位置したときに位置合せを完了するので、位置合せにかかる時間を短縮できる。
【００８９】
また、この発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、第１の基板の貼り合せ領域ごとに予め登録した補正値に基づいて、規定の間隔を補正するので、第１の基板の貼り合せ領域ごとに貼り合せ位置を調整できる。
【００９０】
また、この発明に係る電気光学装置の製造装置によれば、Ｘ−Ｙテーブルを前後方向又は左右方向に移動するとともにヘッドを回動して、第１のアライメントマークの規定位置と第２のアライメントマークの規定位置とが規定の間隔を有して一対をなす態様で位置合せするので、第１の基板に第２の基板を精密に位置合せできる。
【００９１】
また、この発明に係る電気光学装置の製造装置によれば、マウント装置が第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとに基づいて仮位置合せし、アライメント装置が第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとに基づいて位置合せするので、アライメント装置の位置合せに要する時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１に係る電気光学装置の説明図であって、（ａ）は電気光学装置の平面図、（ｂ）は隅部に形成したアライメントマークの拡大図、（ｃ）は電気光学装置の隅部を拡大した拡大正面図である。
【図２】実施の形態２に係る電気光学装置の平面図である。
【図３】電気光学装置の製造装置の概要を説明する平面図である。
【図４】図３に示した電気光学装置の製造装置を構成するマウント装置の機能を説明する図である。
【図５】図３に示した電気光学装置の製造装置を構成するアライメント装置のブロック図である。
【図６】図５に示したアライメント装置の作用を説明するフローチャートである。
【図７】精密アライメントカメラで撮像した撮像範囲を示した図である。
【図８】位置合せ判定を説明するフローチャートである。
【図９】位置合せ判定における許容範囲を説明する図あって、（ａ）は図形に正方形を用いたもの、（ｂ）は図形に円を用いたもの、（ｃ）は図形に４５度傾けた正方形を用いたものである。
【図１０】電気光学装置を適用した携帯電話機を示した図である。
【符号の説明】
１ 電気光学装置
２ ＴＦＴ基板（第１の基板）
２ｂ 第１のアライメントマーク
３ 対向基板（第２の基板）
３ａ 第２のアライメントマーク
４ シール材
１１ 電気光学装置
１２ ＴＦＴ基板（第１の基板）
１３ 対向基板（第２の基板）
１４ シール材
５０ 給材装置
６０ シール材塗布装置
７０ 検査装置
８０ 搬入装置
９０ マウント装置
１００ アライメント装置
１０１ コントロールユニット
１０２ 画像処理ユニット
１０３，１０４ ＣＣＤカメラ
１０５ 位置合せユニット
１０６ Ｘ−Ｙテーブル
１０７ ヘッド
１０８ Ｘ軸
１０９ Ｙ軸
１１０ θ軸
１１１ Ｚ軸
６００ 携帯電話機
【発明の属する技術分野】
この発明は、電気光学装置、及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置の製造装置に関し、更に詳しくは、第１の基板と第２の基板とを精密に位置合せした電気光学装置、及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置の製造装置、電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の技術に係る電気光学装置は、位置合せの基準となる第１のアライメントマークを形成した第１の基板と、位置合せの対象となる第２のアライメントマークを形成した透明な第２の基板とからなり、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなすものであった。この電気光学装置は、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークをカメラで撮像し、その画像に基づいて位置合せを行っていた（例えば、特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】
特開昭６３−１９３２１０号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、第２のアライメントマークを第２の基板の貼り合せ面の裏側面に形成した場合には、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを精密アライメントカメラの同一の被写界深度内に捉えることが困難である。特に、第２の基板が厚い場合には、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを同一の被写界深度内に捉えることができない。したがって、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとをそれぞれ撮像し、その後、第１のアライメントマークの規定位置と第２のアライメントマークの規定位置とに基づいて位置合せを行う必要があった。
【０００５】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを精密アライメントカメラの同一の被写界深度内に捉えるとともに、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを撮像方向において重なることのない電気光学装置、及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置の製造装置、電子機器を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係る電気光学装置は、第１のアライメントマークを形成した第１の基板と、第２のアライメントマークを形成した第２の基板とからなる電気光学装置であって、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークは、前記第１の基板と前記第２の基板が対向する面に形成され、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとが規定の間隔を有して隣り合うように、前記第１の基板と前記第２の基板とが対向して配置されてなることを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークは、第１の基板と第２の基板が対向する面に形成されているので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを同一の被写界深度内に捉えることができる。また、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して隣り合うので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが重なることがない。したがって、第１の基板と第２の基板を貼り合せる場合において、精密に位置合せできる。
【０００８】
なお、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを円形で形成することが好ましい。第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを円形で形成すれば、第１の基板と第２の基板のいずれか一方が撮像方向の軸回りに回転しても、基板の回転に影響されることなく、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを円形として捉えることができる。
【０００９】
また、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとをそれぞれ塗りつぶした図形で形成することが好ましい。さらに、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを同一又は相似の形状で形成することが好ましい。くわえて、予め定めた撮像範囲に前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークのみを有することが好ましい。予め定めた撮像範囲に第１のアライメントマークと第２のアライメントマークのみを有すれば、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを容易に検出できる。
【００１０】
また、本発明に係る電気光学装置は、前記第１のアライメントマークおよび前記第２のアライメントマークは、それぞれの基板に複数形成されてなることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る電気光学装置は、第１の基板の周縁部に前記第１のアライメントマークをそれぞれ形成し、第２の基板の周縁部に前記第２のアライメントマークをそれぞれ形成したことを特徴とする。
【００１２】
この発明によれば、第１の基板の周縁部に第１のアライメントマークをそれぞれ形成し、第２の基板の周縁部に第２のアライメントマークをそれぞれ形成したので、第１の基板と第２の基板をより精密に位置合せできる。
【００１３】
また、本発明に係る電気光学装置は、貼り合せ領域を矩形に形成した第１の基板の対角位置となる両隅部に前記第１のアライメントマークをそれぞれ形成し、貼り合せ領域を矩形に形成した第２の基板の対角位置となる両隅部に前記第２のアライメントマークをそれぞれ形成したことを特徴とする。
【００１４】
この発明によれば、貼り合せ領域を矩形に形成した第１の基板の対角位置となる両隅部に第１のアライメントマークをそれぞれ形成し、貼り合せ領域を矩形に形成した第２の基板の対角位置となる両隅部に第２のアライメントマークをそれぞれ形成したので、第１の基板と第２の基板をより精密に位置合せできる。
【００１５】
また、本発明に係る電気光学装置は、貼り合せ領域を矩形に形成した前記第１の基板の四隅部のそれぞれに第１のアライメントマークを形成し、貼り合せ領域を矩形に形成した第２の基板の四隅部のそれぞれに前記第２のアライメントマークを形成したことを特徴とする。
【００１６】
この発明によれば、貼り合せ領域を矩形に形成した第１の基板の四隅部のそれぞれに第１のアライメントマークを形成し、貼り合せ領域を矩形に形成した第２の基板の四隅部のそれぞれに第２のアライメントマークを形成したので、第１の基板と第２の基板を精密に位置合せできる。
【００１７】
また、本発明に係る電気光学装置は、第１の基板に第２の基板を貼り合せる貼り合せ領域を複数形成したことを特徴とする。
【００１８】
この発明によれば、電気光学装置を貼り合せ領域ごとに切り離すことにより、複数の電気光学装置を得ることができるので、生産効率の向上を図ることができる。
【００１９】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、貼り合せ面に位置合せの基準となる第１のアライメントマークを形成した第１の基板に、貼り合せ面に位置合せの対象となる第２のアライメントマークを形成した透明な第２の基板を貼り合せる貼り合せ工程と、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを撮像する撮像工程と、撮像した前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとに基づいて前記第１のアライメントマークの規定位置と前記第２のアライメントマークの規定位置を特定する位置特定工程と、特定した前記第１のアライメントマークの規定位置と前記第２のアライメントマークの規定位置とを撮像方向において規定の間隔を有して一対をなす態様で位置合せする位置合せ工程とを含むことを特徴とする。
【００２０】
この発明によれば、貼り合せ面に位置合せの基準となる第１のアライメントマークを形成した第１の基板に、貼り合せ面に位置合せの対象となる第２のアライメントマークを形成した第２の基板を貼り合せ、第１のアライメントマークの規定位置と第２のアライメントマークの規定位置を撮像方向において規定の間隔を有して位置合せするので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを同一の被写界深度内に捉えることができる。また、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなすので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において重なることがない。したがって、第１の基板と第２の基板を精密に位置合せできる。
【００２１】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、前記貼り合せ工程が、前記第１のアライメントマークを貼り合せ領域の対角位置となる両隅部に形成した第１の基板に、前記第２のアライメントマークを貼り合せ領域の対角位置となる両隅部に形成した第２の基板を貼り合せる工程であって、前記撮像工程と、前記位置特定工程と、前記位置合せ工程とを、それぞれ対角位置となる両隅部に形成した前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークに基づいて行うことを特徴とする。
【００２２】
この発明によれば、第１のアライメントマークを第１の基板の貼り合せ領域の対角位置となる両隅部に形成した第１の基板に、第２のアライメントマークを貼り合せ領域の対角位置となる両隅部に形成した第２の基板を貼り合せるので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが貼り合せ方向において重なることがなく、第１の基板と第２の基板を貼り合せる場合において、精密に位置合せできる。
【００２３】
なお、前記位置特定工程が、撮像した前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを二値化して、前記第１のアライメントマークの規定位置と前記第２のアライメントマークの規定位置を特定することが好ましい。さらに、前記位置特定工程が、二値化した前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークをパターンマッチングして、前記第１のアライメントマークの規定位置と前記第２のアライメントマークの規定位置を特定することが好ましい。規定位置は、アライメントマークの重心位置が多く用いられる。
【００２４】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、前記位置特定工程が、予め登録した第１のパターンに基づいてパターンマッチングして、前記第１のアライメントマークの規定位置を特定し、予め登録した第２のパターンに基づいてパターンマッチングして、前記第２のアライメントマークの規定位置を特定することを特徴とする。
【００２５】
この発明によれば、予め登録した第１のパターンに基づいてパターンマッチングして、第１のアライメントマークの規定位置を特定し、予め登録した第２のパターンに基づいてパターンマッチングして、第２のアライメントマークの規定位置を特定するので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを個別に識別できる。
【００２６】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、前記位置合せ工程が、第１のアライメントマークの規定位置と撮像方向において規定の間隔を有した位置を中心とする許容範囲内に第２のアライメントマークの規定位置が位置したときに位置合せを終了することを特徴とする。
【００２７】
この発明によれば、第１のアライメントマークの規定位置と撮像方向において規定の間隔を有した位置を中心とする許容範囲内に、第２のアライメントマークの規定位置が位置したときに位置合せを終了するので、位置合せにかかる時間を短縮できる。
【００２８】
なお、前記許容範囲が一辺を許容値とする正方形に囲まれた範囲としても良く、前記許容範囲が直径を許容値とする円に囲まれた範囲としても良い。また、前記許容範囲が対角線の長さを許容値とする正方形に囲まれた範囲としても良い。
【００２９】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、第１の基板に形成した複数の貼り合せ領域に第２の基板をそれぞれ貼り合せる場合において、前記位置合せ工程が、第１の基板の貼り合せ領域ごとに予め登録した補正値に基づいて、規定の間隔を補正することを特徴とする。
【００３０】
この発明によれば、第１の基板の貼り合せ領域ごとに予め登録した補正値に基づいて、規定の間隔を補正するので、第１の基板の貼り合せ領域ごとに貼り合せ位置を調整できる。
【００３１】
また、位置合せの基準となる第１のアライメントマークを貼り合せ面に形成した第１の基板を載置し、かつ、左右方向及び前後方向に移動可能なＸ−Ｙテーブルと、位置合せの対象となる第２のアライメントマークを貼り合せ面に形成した第２の基板を保持し、かつ、撮像方向の軸回りに回動可能なヘッドとを備え、Ｘ−Ｙテーブルを前後方向又は左右方向に移動するとともにヘッドを回動して、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなす態様で位置合せすることが好ましい。この電気光学装置の製造装置によれば、Ｘ−Ｙテーブルを前後方向又は左右方向に移動するとともにヘッドを回動して、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなす態様で位置合せするので、第１の基板に第２の基板を精密に位置合せできる。
【００３２】
また、本発明に係る電気光学装置の製造装置は、第１の基板と第２の基板を対向配置した状態で位置合わせを行う電気光学装置の製造装置であって、位置合せの基準となる第１のアライメントマークを貼り合せ面に形成した前記第１の基板に、位置合せの対象となる第２のアライメントマークを貼り合せ面に形成した前記第２の基板を貼り合せるマウント装置と、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを撮像方向において規定の間隔を有して一対をなす態様で位置合せするアライメント装置とを有し、前記マウント装置が第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとに基づいて仮位置合せし、前記アライメント装置が第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとに基づいて位置合せすることを特徴とする。
【００３３】
この発明によれば、マウント装置が第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとに基づいて仮位置合せし、アライメント装置が第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとに基づいて位置合せするので、アライメント装置の位置合せに要する時間を短縮することができる。
【００３４】
上記した電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を備えた電子機器であることを特徴とする。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、この発明に係る電気光学装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、本発明が適用できる電気光学装置は、例えば液晶パネルや有機ＥＬパネル、プラズマディスプレイパネル、電気泳動ディスプレイパネル等があり、もちろんこれに限定されるものでなく、二枚の基板が対向配置されて位置決めされる電気光学装置にはすべて適用が可能である。
【００３６】
（実施の形態１）
実施の形態１に係る電気光学装置１の構成について説明する。なお、図１は電気光学装置の説明図であって、（ａ）は電気光学装置の平面図、（ｂ）は電気光学装置の拡大図、（ｃ）は電気光学装置の隅部を拡大した拡大正面図である。
【００３７】
電気光学装置１は、透明な矩形の第１の基板（以下の説明においてＴＦＴ基板と称する。）２と、透明な矩形の第２の基板（以下の説明において対向基板と称する。）３をシール材４により貼り合せたものである。ＴＦＴ基板２の貼り合せ面には、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）２ａを形成してあり、その対角位置となる両隅部には、位置合せの基準となる塗りつぶした円形の第１のアライメントマーク２ｂをそれぞれ形成してある。一方、対向基板３の貼り合せ面の対角位置となる両隅部には、位置合せの対象となる塗りつぶした円形の第２のアライメントマーク３ａをそれぞれ形成してある。そして、ＴＦＴ基板２と対向基板３とは、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置と第２のアライメントマーク３ａの規定位置とが撮像方向において規定の間隔Ｌを有して一対をなす態様で位置合せして貼り合せてある。
【００３８】
次に、ＴＦＴ基板２と対向基板３の貼り合せ方法について説明する。まず、対向基板３の貼り合せ面にシール材４を塗布する。次に、ＴＦＴ基板２の貼り合せ面と対向基板３の貼り合せ面を対向して載置する。そして、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａの位置合せを行う。即ち、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置と第２のアライメントマーク３ａの規定位置とが撮像方向において規定の間隔Ｌを有して一対をなす態様で位置合せを行う。その後、シール材４に例えば紫外線などの硬化に必要なエネルギーを与えてシール材４を仮硬化させ、ＴＦＴ基板２と対向基板３を固定する。
【００３９】
実施の形態１に係る電気光学装置１は、ＴＦＴ基板２の対角位置となる両隅部に第１のアライメントマーク２ｂを形成し、対向基板３の対角位置となる両隅部に第２のアライメントマーク３ａを形成したが、ＴＦＴ基板２の四隅部に第１のアライメントマーク２ｂを形成し、対向基板３の四隅部に第２のアライメントマーク３ａを形成しても良い。
【００４０】
また、電気光学装置１は、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａを塗りつぶした円形で形成してあるが、塗りつぶした円形に限らず、白抜きの円形であっても良い。また、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａの形状は円形に限られるものではなく、三角形、四角形等の多角形であっても良い。また、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａの形状は同一であっても良いし、相似であっても良い。
【００４１】
また、電気光学装置は、矩形のものに限らず、円形のもののほか、楕円形等であってもよい。この場合において、ＴＦＴ基板の貼り合せ領域の周縁部の対向する位置に一対の第１のアライメントマークを形成し、対向基板の貼り合せ領域の周縁部の対向する位置に一対の第２のアライメントマークを形成することが好ましい。
【００４２】
実施の形態１に係る電気光学装置１は、位置合せの基準となる第１のアライメントマーク２ｂをＴＦＴ基板２の貼り合せ面に形成し、位置合せの対象となる第２のアライメントマーク３ａを対向基板３の貼り合せ面に形成してあるので、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａは精密アライメントカメラの同一の被写界深度Ｈ内にあり、同一の撮像範囲に捉えられる。また、第１のアライメントマーク２ｂの規定位置と第２のアライメントマーク３ａの規定位置とが撮像方向において規定の間隔Ｌを有して一対をなすので、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａが貼り合せ方向において重なることがない。
【００４３】
また、ＴＦＴ基板２の四隅部に第１のアライメントマーク２ｂを形成し、対向基板３の四隅部に第２のアライメントマーク３ａを形成すると、ＴＦＴ基板２の対角位置となる両隅部に第１のアライメントマーク２ｂを形成し、対向基板３の対角位置となる両隅部に第２のアライメントマーク３ａを形成した場合に比較して、より精密な位置合せができる。
【００４４】
また、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａを円形で形成しているので、ＴＦＴ基板２と対向基板３のいずれか一方が撮像方向の軸回りに回転しても基板の回転に影響されることなく、第１のアライメントマーク２ｂと第２のアライメントマーク３ａを円形として捉えることができる。
【００４５】
（実施の形態２）
実施の形態２に係る電気光学装置の構成を図２に基づいて説明する。なお、図２は実施の形態２に係る電気光学装置の構成を示した平面図である。
【００４６】
電気光学装置１１は、透明な円形の第１の基板（以下の説明においてＴＦＴ基板と称する。）１２に、透明な矩形の第２の基板（以下の説明において対向基板と称する。）１３をシール材１４により複数貼り合せたものである。例えば、ＴＦＴ基板１２は８インチのウエハであり、その貼り合せ面に、縦横に複数の対向基板１３を貼り合せる矩形の貼り合せ領域１２ａを形成してある。各貼り合せ領域１２ａにはＴＦＴ１２ｂが形成してあり、その対角位置となる両隅部には、位置合せの基準となる塗りつぶした円形の第１のアライメントマーク１２ｃをそれぞれ形成してある。一方、対向基板１３の貼り合せ面の対角位置となる両隅部には、位置合せの対象となる塗りつぶした円形の第２のアライメントマーク１３ａを形成してある。そして、ＴＦＴ基板１２の各貼り合せ領域１２ａと対向基板１３とは、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとがそれぞれ撮像方向において規定の間隔を有して一対をなすように位置合せして貼り合せてある。
【００４７】
次に、ＴＦＴ基板１２と対向基板１３の貼り合せ方法について説明する。まず、対向基板１３の貼り合せ面にシール材１４を塗布する。次に、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａに対向基板１３の貼り合せ面を対向して載置する。そして、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの位置合せを行う。即ち、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置と第２のアライメントマーク１３ａの規定位置とが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなす態様で位置合せを行う。その後、シール材１４に例えば紫外線などの硬化に必要なエネルギーを与えてシール材１４を仮硬化させ、ＴＦＴ基板１２と対向基板１３を固定する。
【００４８】
ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａに対向基板１３を載置して位置合せすることにより、ＴＦＴ基板１２に複数の対向基板１３を貼り合せた電気光学装置１１とすることができる。
【００４９】
実施の形態２に係る電気光学装置１１は、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａの対角位置となる両隅部に第１のアライメントマーク１２ｃを形成し、対向基板１３の対角位置となる両隅部に第２のアライメントマーク１３ａを形成したが、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａの四隅部に第１のアライメントマーク１２ｃを形成し、対向基板１３の四隅部に第２のアライメントマーク１３ａを形成しても良い。
【００５０】
また、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを塗りつぶした円形で形成してあるが、塗りつぶした円形に限らず、白抜きの円形であっても良い。また、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ｃの形状は、円形に限られるものでなく三角形、四角形等の多角形であっても良い。また、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ｃの形状は同一であっても良いし、相似であっても良い。
【００５１】
また、電気光学装置の貼り合せ領域は、矩形のものに限らず、円形のもののほか、楕円形等であってもよい。この場合において、ＴＦＴ基板の貼り合せ領域の周縁部の対向する位置に一対の第１のアライメントマークを形成し、対向基板の貼り合せ領域の周縁部の対向する位置に一対の第２のアライメントマークを形成することが好ましい。
【００５２】
また、ＴＦＴ基板に複数の対向基板を貼り合せるものとしたが、複数のＴＦＴ基板に複数の対向基板を貼り合せるものとしてもよい。
【００５３】
実施の形態２に係る電気光学装置１１によれば、位置合せの基準となる第１のアライメントマーク１２ｃをＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａに形成し、位置合せの対象となる第２のアライメントマーク１３ａを対向基板１３の貼り合せ面に形成してあるので、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとは精密アライメントカメラの同一の被写界深度内にあり、同一の撮像範囲に捉えられる。また、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置と第２のアライメントマーク１３ａの規定位置とが撮像方向に規定の間隔を有して一対をなすので、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａが撮像方向において重なることがない。
【００５４】
また、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａの四隅部に第１のアライメントマーク１２ｃを形成し、対向基板１３の四隅部に第２のアライメントマーク１３ａを形成すると、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａの対角位置となる両隅部に第１のアライメントマーク１２ｃを形成し、対向基板１３の対角位置となる両隅部に第２のアライメントマーク１３ａを形成した場合に比較して、より精密な位置合せができる。
【００５５】
また、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを円形で形成しているので、ＴＦＴ基板１２と対向基板１３のいずれか一方が撮像方向の軸回りに回転しても基板の回転に影響されることなく、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを円形として捉えることができる。
【００５６】
また、ＴＦＴ基板１２に複数の対向基板１３を貼り合せた電気光学装置１１をその後の工程において、貼り合せ領域１２ａごとに切り離すことにより、それぞれ独立した電気光学装置にすることができるので、電気光学装置を効率よく生産することができる。
【００５７】
図３〜９に基づいて、実施の形態２に係る電気光学装置１１を製造する電気光学装置の製造装置４０の構成について説明する。なお、図３は電気光学装置の製造装置の概要を説明する平面図、図４は図３に示した電気光学装置の製造装置を構成するマウント装置の機能を説明する図、図５は図３に示した電気光学装置の製造装置を構成するアライメント装置を説明するブロック図、図６は図５に示したアライメント装置の作用を説明するフローチャート、図７は精密アライメントカメラで撮像した撮像範囲を示した図、図８は位置合せ判定を説明するフローチャート、図９は位置合せ判定における許容範囲を説明する図である。
【００５８】
電気光学装置の製造装置４０は、対向基板１３を供給する給材装置５０と、給材装置５０から供給した対向基板１３にシール材１４を塗布するシール材塗布装置６０と、対向基板１３に塗布したシール材１４の状態を検査する検査装置７０と、ＴＦＴ基板１２を搬入する搬入装置８０と、ＴＦＴ基板１２に対向基板１３を貼り合せるマウント装置９０と、ＴＦＴ基板１２と対向基板１３を位置合せしてシール材１４を仮硬化するアライメント装置１００とを有している。
【００５９】
次に、電気光学装置の製造装置４０の作用について説明する。給材装置５０は、対向基板１３をシール材塗布装置６０に供給する。シール材塗布装置６０はシール材１４を塗布して、対向基板１３を検査装置７０に送る。検査装置７０はシール材１４の状態を検査して、シール材１４の状態が良好な場合にマウント装置９０に対向基板１３を供給し、シール材１４の状態が不良の場合に検査装置７０から対向基板１３を排出する。搬入装置８０はＴＦＴ基板１２をマウント装置９０に搬入する。マウント装置９０は、搬入したＴＦＴ基板１２にシール１４を塗布した対向基板１３を順次貼り合せる。対向基板１３を貼り合せたＴＦＴ基板１２は、アライメント装置１００に搬出され、精密位置合せをした後にシール材１４を仮硬化して次の工程に搬出する。
【００６０】
図４に示すように、マウント装置９０はシール材１４を塗布した対向基板１３を反転して、ＴＦＴ基板１２に順次貼り合せるが、対向基板１３を保持したまま、仮位置合せすることが好ましい。仮位置合せを行うと、アライメント装置１００において位置合せにかかる時間を短縮でき、電気光学装置１１を効率的に製造できるからである。なお、仮位置合せについても、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを利用して位置合せ行う。
【００６１】
次に、アライメント装置１００をより詳細に説明する。アライメント装置１００は、ＴＦＴ基板１２と、ＴＦＴ基板１２に載置した対向基板１３とを位置合せするものである。
【００６２】
図５に示すように、アライメント装置１００は、コントロールユニット１０１と、画像処理ユニット１０２と、位置合せユニット１０５とを有している。画像処理ユニット１０２には、電気光学装置１１の一方の隅部を撮像する精密アライメントカメラであるＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ１０３と、前記一方の隅部の対角に位置する他の隅部を撮像する精密アライメントカメラであるＣＣＤカメラ１０４とが接続してある。画像処理ユニット１０２には、第１のアライメントマーク１２ｃに対応するパターン２２と、第２のアライメントマーク１３ａに対応するパターン２３とが、予め登録してある。また、画像処理ユニット１０２は、撮像範囲を二値化して、予め登録したパターン２２とパターン２３とに基づいてパターンマッチングすることにより、第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置と、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算し、その結果をコントロールユニット１０１に送信する機能を有している。
【００６３】
コントロールユニット１０１は、画像処理ユニット１０２から得た情報に基づいて、位置合せユニット１０５を制御するものであり、規定の間隔と、各貼り合せ領域１２ａごとの補正値であるオフセットデータが登録してある。
【００６４】
位置合せユニット１０５は、ＴＦＴ基板１２を吸着して前後方向と左右方向の位置合せを行うＸ−Ｙテーブル１０６と、対向基板１３を吸着して角度方向の位置合せを行うとともに対向基板１３を圧着するヘッド１０７とを有している。Ｘ−Ｙテーブル１０６は、左右方向（Ｘ方向）の位置合せを行うＸ軸１０８と、前後方向（Ｙ方向）の位置合せを行うＹ軸１０９とを有している。ヘッド１０７は、撮像方向の軸回りの位置合せを行うθ軸１１０と、対向基板１３をＴＦＴ基板１２に圧着するＺ軸１１１とを有している。
【００６５】
図６に基づいて、アライメント装置１００の作用について説明する。対向基板１３を載置したＴＦＴ基板１２をＸ−Ｙテーブル１０６に供給する。Ｘ−Ｙテーブル１０６が供給されたＴＦＴ基板１２を吸着し、ヘッド１０７が下降して対向基板１３を吸着し、加圧して適正な間隙を確保する。次に、位置合せを開始する（ステップＳ１）。まず、コントロールユニット１０１がマーク位置の取得要求を画像処理ユニット１０２に送信する（ステップＳ２）。
【００６６】
画像処理ユニット１０２は、マーク位置取得要求の受信を条件に第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａを撮像する（ステップＳ３）。このとき、図７に示すように、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとは同一の被写界深度内にあり、同一の撮像範囲３０に捉えられる。なお、この撮像範囲は予め定めたものであり、その範囲には第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａのみを有している。画像処理ユニット１０２は、撮像した画面を二値化して、予め登録したパターン２２とパターン２３に基づいてパターンマッチングを行い、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算する（ステップＳ４）。その演算結果は画像処理ユニット１０２からコントロールユニット１０１に送信する（ステップＳ５）。
【００６７】
コントロールユニット１０１が第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの位置情報を受信すると（ステップＳ６）、位置合せ判定を行う（ステップＳ７）。位置合せが適正な場合（ステップＳ７：ＯＫ）、即ち、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなしている場合には、位置合せを終了する（ステップＳ８）。一方、位置合せが適正でない場合（ステップＳ７：ＮＧ）、即ち、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなしていない場合には、Ｘ−Ｙテーブル１０６の移動量と、ヘッド１０７の移動量を算出する（ステップＳ９）。そして、Ｘ−Ｙテーブル１０６の移動量とヘッド１０７の移動量に基づいて、Ｘ−Ｙテーブル１０６とヘッド１０７を移動する（ステップＳ１０）。移動が終了すると（ステップＳ１１：ＹＥＳ）、ステップ２に戻る。以下、上記したステップを繰り返し、位置合せを完了する。
【００６８】
図８に基づいて、位置合せ判定Ｓ７をさらに詳しく説明する。位置合せ判定Ｓ７では、まず、ＴＦＴ基板１２に形成した第１のアライメントマーク１２ｃの規定位置を特定する（ステップＳ７１）。次に、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置があるべき位置を算出する（ステップＳ７２）。対向基板１３を貼り合せるＴＦＴ基板１２の各貼り合せ領域１２ａごとに登録してあるオフセットデータに基づいて、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置があるべき位置を補正する（ステップＳ７３）。次に、補正した第２のアライメントマーク１３ａの規定位置があるべき位置に対する許容範囲を算出する（ステップＳ７４）。そして、この許容範囲内に第２のアライメントマーク１３ａの規定位置があるか否かを判定する（ステップＳ７５）。第２のアライメントマーク１３ａの規定位置が算出した許容範囲にある場合には位置合せが適正であると判定し、第２のアライメントマーク１３ａの規定位置が算出した許容範囲にない場合には位置合せが適正でないと判定する。
【００６９】
図９に基づいて、第２のアライメントマークの規定位置のあるべき位置に対する許容範囲を説明する。許容範囲は、許容値と許容図形を決定することにより定まる。許容図形は、正方形、円、４５度傾けた正方形の中から選択できる。
【００７０】
正方形を選択した場合には、（ａ）に示すように、第２のアライメントマークの規定位置があるべき位置１３Ｇを中心として一辺を許容値とする正方形１３ｐが許容範囲となり、円を選択した場合には、（ｂ）に示すように、第２のアライメントマークの規定位置があるべき位置１３Ｇを中心として直径を許容値とする円１３ｑが許容範囲となる。また、４５度傾けた正方形を選択した場合には、（ｃ）に示すように第２のアライメントマークの規定位置があるべき位置１３Ｇを中心として対角線の長さを許容値とする正方形１３ｒが許容範囲となる。許容値を同じ値、たとえば、プラス１ミクロン、マイナス１ミクロンにすると、正方形、円、４５度傾けた正方形の順に許容範囲は狭くなる。
【００７１】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、マウント装置９０において対向基板１３が貼り合わされていない貼り合せ領域１２ａに対しては位置合せを行わないことが好ましい。
【００７２】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、画像処理ユニット１０２が、撮像した画面を二値化して、予め登録したパターン２２とパターン２３に基づいてパターンマッチングを行い、第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算するが、撮像した画面を二値化した後に、重心検出して第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算してもよく、形状外形から第１のアライメントマーク１２ｃと第２のアライメントマーク１３ａの規定位置を演算してもよい。
【００７３】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、マウント装置９０がＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａに複数の対向基板１３を貼り合せた後にアライメント装置１００がＴＦＴ基板１２と対向基板１３とを位置合せするが、マウント装置９０とアライメント装置１００の間を交互に移動して対向基板の貼り合せと位置合せを交互にするものとしてもよい。
【００７４】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、ＴＦＴ基板１２の貼り合せ領域１２ａに複数の対向基板１３を貼り合せるが、一枚のＴＦＴ基板１２に一枚の対向基板１３を貼り合せてもよく、この場合には装置に起因する誤差、基板、機種に起因する誤差に基づいて補正することが好ましい。
【００７５】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、Ｘ−Ｙテーブル１０６がＴＦＴ基板１２を吸着して前後方向と左右方向の位置合せを行い、ヘッド１０７が対向基板１３を吸着して角度方向の位置合せを行うとともに対向基板１３を圧着するが、Ｘ−Ｙテーブル１０６が対向基板１３を吸着して前後方向と左右方向の位置合せを行い、ヘッド１０７がＴＦＴ基板１２を吸着して角度方向の位置合せを行うとともに対向基板１３を圧着するものとしてもよい。
【００７６】
実施の形態２に係る電気光学装置の製造装置４０は、ＴＦＴ基板１２を吸着して前後方向と左右方向の位置合せを行うＸ−Ｙテーブル１０６と、対向基板１３を吸着して角度方向の位置合せを行うとともに対向基板１３を圧着するヘッド１０７とを有しているので、ＴＦＴ基板１２に比較して小型の対向基板１３を貼り合せ軸回りに位置合せできる。
【００７７】
なお、本発明により製造される電気光学装置は、例えば、図１０に示されるような携帯電話機６００等の電子機器に搭載できる。さらにこの他に、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｄｉｇｉｔａｌ Ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、液晶プロジェクタ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機などの電子機器に搭載できることは言うまでもない。
【００７８】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明に係る電気光学装置によれば、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークは、第１の基板と第２の基板が対向する面に形成されているので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを同一の被写界深度内に捉えることができる。また、第１のアライメントマークの規定位置と第２のアライメントマークの規定位置とが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなすので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが貼り合せ方向において重なることがない。したがって、第１の基板と第２の基板を貼り合せる場合において、精密に位置合せできる。
【００７９】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを円形で形成したので、第１の基板と第２の基板のいずれか一方が撮像方向の軸回りに回転しても、基板の回転に影響されることなく、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを円形として捉えることができるので、精密に位置合せできる。
【００８０】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、予め定めた撮像範囲に第１のアライメントマークと第２のアライメントマークのみを有するので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを容易に検出でき、精密に位置合せできる。
【００８１】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、第１の基板の周縁部に第１のアライメントマークを形成し、第２の基板の周縁部に第２のアライメントマークを形成したので、第１の基板と第２の基板をより精密に位置合せできる。
【００８２】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、貼り合せ領域を矩形に形成した第１の基板の対角位置となる両隅部に第１のアライメントマークをそれぞれ形成し、貼り合せ領域を矩形に形成した第２の基板の対角位置となる両隅部に第２のアライメントマークをそれぞれ形成したので、第１の基板と第２の基板を精密に位置合せできる。
【００８３】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、貼り合せ領域を矩形に形成した第１の基板の四隅部のそれぞれに第１のアライメントマークを形成し、貼り合せ領域を矩形に形成した第２の基板の四隅部のそれぞれに第２のアライメントマークを形成したので、第１の基板と第２の基板を精密に位置合せできる。
【００８４】
また、この発明に係る電気光学装置によれば、電気光学装置を貼り合せ領域ごとに切り離すことにより、複数の電気光学装置を得ることができるので、生産効率の向上を図ることができる。
【００８５】
また、この発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、貼り合せ面に位置合せの基準となる第１のアライメントマークを形成した第１の基板に、貼り合せ面に位置合せの対象となる第２のアライメントマークを形成した第２の基板を貼り合せ、第１のアライメントマークの規定位置と第２のアライメントマークの規定位置を撮像方向において規定の間隔を有して位置合せするので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを同一の被写界深度内に捉えることができる。また、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において規定の間隔を有して一対をなすので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが撮像方向において重なることがない。したがって、第１の基板と第２の基板を精密に位置合せできる。
【００８６】
また、この発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、第１のアライメントマークを第１の基板の貼り合せ領域の対角位置となる両隅部に形成した第１の基板に、第２のアライメントマークを貼り合せ領域の対角位置となる両隅部に形成した第２の基板を貼り合せるので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとが貼り合せ方向において重なることがなく、第１の基板と第２の基板を貼り合せる場合において、精密に位置合せできる。
【００８７】
また、この発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、予め登録した第１のパターンに基づいてパターンマッチングして、第１のアライメントマークの規定位置を特定し、予め登録した第２のパターンに基づいてパターンマッチングして、第２のアライメントマークの規定位置を特定するので、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを個別に識別できる。
【００８８】
また、この発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、許容範囲内に、第２のアライメントマークの規定位置が位置したときに位置合せを完了するので、位置合せにかかる時間を短縮できる。
【００８９】
また、この発明に係る電気光学装置の製造方法によれば、第１の基板の貼り合せ領域ごとに予め登録した補正値に基づいて、規定の間隔を補正するので、第１の基板の貼り合せ領域ごとに貼り合せ位置を調整できる。
【００９０】
また、この発明に係る電気光学装置の製造装置によれば、Ｘ−Ｙテーブルを前後方向又は左右方向に移動するとともにヘッドを回動して、第１のアライメントマークの規定位置と第２のアライメントマークの規定位置とが規定の間隔を有して一対をなす態様で位置合せするので、第１の基板に第２の基板を精密に位置合せできる。
【００９１】
また、この発明に係る電気光学装置の製造装置によれば、マウント装置が第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとに基づいて仮位置合せし、アライメント装置が第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとに基づいて位置合せするので、アライメント装置の位置合せに要する時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１に係る電気光学装置の説明図であって、（ａ）は電気光学装置の平面図、（ｂ）は隅部に形成したアライメントマークの拡大図、（ｃ）は電気光学装置の隅部を拡大した拡大正面図である。
【図２】実施の形態２に係る電気光学装置の平面図である。
【図３】電気光学装置の製造装置の概要を説明する平面図である。
【図４】図３に示した電気光学装置の製造装置を構成するマウント装置の機能を説明する図である。
【図５】図３に示した電気光学装置の製造装置を構成するアライメント装置のブロック図である。
【図６】図５に示したアライメント装置の作用を説明するフローチャートである。
【図７】精密アライメントカメラで撮像した撮像範囲を示した図である。
【図８】位置合せ判定を説明するフローチャートである。
【図９】位置合せ判定における許容範囲を説明する図あって、（ａ）は図形に正方形を用いたもの、（ｂ）は図形に円を用いたもの、（ｃ）は図形に４５度傾けた正方形を用いたものである。
【図１０】電気光学装置を適用した携帯電話機を示した図である。
【符号の説明】
１ 電気光学装置
２ ＴＦＴ基板（第１の基板）
２ｂ 第１のアライメントマーク
３ 対向基板（第２の基板）
３ａ 第２のアライメントマーク
４ シール材
１１ 電気光学装置
１２ ＴＦＴ基板（第１の基板）
１３ 対向基板（第２の基板）
１４ シール材
５０ 給材装置
６０ シール材塗布装置
７０ 検査装置
８０ 搬入装置
９０ マウント装置
１００ アライメント装置
１０１ コントロールユニット
１０２ 画像処理ユニット
１０３，１０４ ＣＣＤカメラ
１０５ 位置合せユニット
１０６ Ｘ−Ｙテーブル
１０７ ヘッド
１０８ Ｘ軸
１０９ Ｙ軸
１１０ θ軸
１１１ Ｚ軸
６００ 携帯電話機
Claims (17)
- 第１のアライメントマークを形成した第１の基板と、第２のアライメントマークを形成した第２の基板とからなる電気光学装置であって、
前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークは、前記第１の基板と前記第２の基板が対向する面に形成され、
前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとが規定の間隔を有して隣り合うように、前記第１の基板と前記第２の基板とが対向して配置されてなることを特徴とする電気光学装置。 - 前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを同一又は相似の形状で形成したことを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
- 前記第１のアライメントマークおよび前記２のアライメントマークは、それぞれの基板に複数形成されてなることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
- 第１の基板の周縁部に前記第１のアライメントマークをそれぞれ形成し、
第２の基板の周縁部に前記第２のアライメントマークをそれぞれ形成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の電気光学装置。 - 貼り合せ領域を矩形に形成した第１の基板の対角位置となる両隅部に前記第１のアライメントマークをそれぞれ形成し、
貼り合せ領域を矩形に形成した第２の基板の対角位置となる両隅部に前記第２のアライメントマークをそれぞれ形成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の電気光学装置。 - 貼り合せ領域を矩形に形成した前記第１の基板の四隅部のそれぞれに第１のアライメントマークを形成し、
貼り合せ領域を矩形に形成した第２の基板の四隅部のそれぞれに前記第２のアライメントマークを形成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の電気光学装置。 - 第１の基板に第２の基板を貼り合せる貼り合せ領域を複数形成したことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の電気光学装置。
- 貼り合せ面に位置合せの基準となる第１のアライメントマークを形成した第１の基板に、貼り合せ面に位置合せの対象となる第２のアライメントマークを形成した透明な第２の基板を貼り合せる貼り合せ工程と、
前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを撮像する撮像工程と、
撮像した前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとに基づいて前記第１のアライメントマークの規定位置と前記第２のアライメントマークの規定位置を特定する位置特定工程と、
特定した前記第１のアライメントマークの規定位置と前記第２のアライメントマークの規定位置とを撮像方向において規定の間隔を有して一対をなす態様で位置合せする位置合せ工程と
を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 前記貼り合せ工程が、前記第１のアライメントマークを貼り合せ領域の対角位置となる両隅部に形成した第１の基板に、前記第２のアライメントマークを貼り合せ領域の対角位置となる両隅部に形成した第２の基板を貼り合せる工程であって、
前記撮像工程と、前記位置特定工程と、前記位置合せ工程とを、それぞれ対角位置となる両隅部に形成した前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークに基づいて行うことを特徴とする請求項８に記載の電気光学装置の製造方法。 - 前記位置特定工程が、撮像した前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとを二値化して、前記第１のアライメントマークの規定位置と前記第２のアライメントマークの規定位置を特定することを特徴とする請求項８又は９に記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記位置特定工程が、二値化した前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークをパターンマッチングして、前記第１のアライメントマークの規定位置と前記第２のアライメントマークの規定位置を特定することを特徴とする請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記位置特定工程が、予め登録した第１のパターンに基づいてパターンマッチングして、前記第１のアライメントマークの規定位置を特定し、
予め登録した第２のパターンに基づいてパターンマッチングして、前記第２のアライメントマークの規定位置を特定することを特徴とする請求項１１に記載の電気光学装置の製造方法。 - 前記位置合せ工程が、第１のアライメントマークの規定位置と撮像方向において規定の間隔を有した位置を中心とする許容範囲内に第２のアライメントマークの規定位置が位置したときに位置合せを終了することを特徴とする請求項８〜１２のいずれか一つに記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記許容範囲が対角線の長さを許容値とする正方形に囲まれた範囲であることを特徴とする請求項１３に記載の電気光学装置の製造方法。
- 第１の基板に形成した複数の貼り合せ領域に第２の基板をそれぞれ貼り合せる場合において、前記位置合せ工程が、第１の基板の貼り合せ領域ごとに予め登録した補正値に基づいて、規定の間隔を補正することを特徴とする請求項８〜１４のいずれか一つに記載の電気光学装置の製造方法。
- 第１の基板と第２の基板を対向配置した状態で位置合わせを行う電気光学装置の製造装置であって、
位置合せの基準となる第１のアライメントマークを貼り合せ面に形成した前記第１の基板に、位置合せの対象となる第２のアライメントマークを貼り合せ面に形成した前記第２の基板を貼り合せるマウント装置と、
第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを撮像方向において規定の間隔を有して一対をなす態様で位置合せするアライメント装置とを有し、
前記マウント装置が第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとに基づいて仮位置合せし、
前記アライメント装置が第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとに基づいて位置合せすることを特徴とする電気光学装置の製造装置。 - 請求項８〜１５のいずれか一つに記載の電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を備えた電子機器。
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| JP2002319778A JP2004151653A (ja) | 2002-11-01 | 2002-11-01 | 電気光学装置、及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置の製造装置、電子機器 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2002-11-01 JP JP2002319778A patent/JP2004151653A/ja active Pending
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