JPH10177183A - フレキシブル基板貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 - Google Patents
フレキシブル基板貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法Info
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- JPH10177183A JPH10177183A JP8352606A JP35260696A JPH10177183A JP H10177183 A JPH10177183 A JP H10177183A JP 8352606 A JP8352606 A JP 8352606A JP 35260696 A JP35260696 A JP 35260696A JP H10177183 A JPH10177183 A JP H10177183A
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1345—Conductors connecting electrodes to cell terminals
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
- H05K3/361—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/42—Arrangements for providing conduction through an insulating substrate
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2202/00—Materials and properties
- G02F2202/28—Adhesive materials or arrangements
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- Liquid Crystal (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Combinations Of Printed Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成によって、フレキシブル基板を液
晶パネルの透明基板に対して、微細なピッチ間隔で形成
されている電極を確実に接続した状態に貼り合わせるた
めに、それぞれの位置調整を極めて正確に行えるように
する。 【構成】 受け台１５には透明ガラス板１７が設けら
れ、液晶パネル１及びＦＰＣ６に２箇所設けたアライメ
ントマーク７，８が位置する部位にそれぞれ透孔１８が
形成され、受け台１５の下部にテレビカメラユニット１
９を設けて、透孔１８及び透明ガラス板１７を介してア
ライメントマーク７，８を視野に入れる。液晶パネル１
の透明基板３は、そのアライメントマーク７が透孔１８
の上部位置に配置して、テレビカメラユニット１９で撮
影され、またＦＰＣ６は受け台１５を所定量下降させ
て、圧着ヘッド２０で上方から押圧された状態で、その
アライメントマーク８を透孔１８を介してテレビカメラ
ユニット１９の視野に入れる。
晶パネルの透明基板に対して、微細なピッチ間隔で形成
されている電極を確実に接続した状態に貼り合わせるた
めに、それぞれの位置調整を極めて正確に行えるように
する。 【構成】 受け台１５には透明ガラス板１７が設けら
れ、液晶パネル１及びＦＰＣ６に２箇所設けたアライメ
ントマーク７，８が位置する部位にそれぞれ透孔１８が
形成され、受け台１５の下部にテレビカメラユニット１
９を設けて、透孔１８及び透明ガラス板１７を介してア
ライメントマーク７，８を視野に入れる。液晶パネル１
の透明基板３は、そのアライメントマーク７が透孔１８
の上部位置に配置して、テレビカメラユニット１９で撮
影され、またＦＰＣ６は受け台１５を所定量下降させ
て、圧着ヘッド２０で上方から押圧された状態で、その
アライメントマーク８を透孔１８を介してテレビカメラ
ユニット１９の視野に入れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレイ
を構成する液晶パネルの製造工程において、透明基板に
フレキシブル基板を貼り合わせる装置及び貼り合わせ方
法に関するものである。
を構成する液晶パネルの製造工程において、透明基板に
フレキシブル基板を貼り合わせる装置及び貼り合わせ方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶ディスプレイは、液晶パネルにドラ
イバ回路を接続することにより構成され、さらにこのド
ライバ回路にフレキシブル基板（Flexible Print Circu
it、以下ＦＰＣという）が接続される。ここで、ドライ
バ回路はＩＣチップを有し、このＩＣチップは液晶パネ
ルを構成する上下の透明基板のうちの一方の透明基板の
表面に形成した電極にするものであるが、ＩＣチップは
ＴＣＰ（Tape Carrier Package）として形成されて、こ
のＴＣＰからドライバＩＣを打ち抜いて、ＡＣＦ（Anis
otropic Conductive Film ）を用いて透明基板にＴＡＢ
（Tape AutomatedBonding）搭載する方式と、液晶パネ
ルに直接ＩＣチップを直接搭載する、所謂ＣＯＧ（Chip
on Glass ）方式とがある。
イバ回路を接続することにより構成され、さらにこのド
ライバ回路にフレキシブル基板（Flexible Print Circu
it、以下ＦＰＣという）が接続される。ここで、ドライ
バ回路はＩＣチップを有し、このＩＣチップは液晶パネ
ルを構成する上下の透明基板のうちの一方の透明基板の
表面に形成した電極にするものであるが、ＩＣチップは
ＴＣＰ（Tape Carrier Package）として形成されて、こ
のＴＣＰからドライバＩＣを打ち抜いて、ＡＣＦ（Anis
otropic Conductive Film ）を用いて透明基板にＴＡＢ
（Tape AutomatedBonding）搭載する方式と、液晶パネ
ルに直接ＩＣチップを直接搭載する、所謂ＣＯＧ（Chip
on Glass ）方式とがある。
【０００３】ＣＯＧ方式にあっては、ＦＰＣはＩＣチッ
プが搭載されている液晶パネルの透明基板に直接貼り付
けられる。ＦＰＣ及び透明基板には相互に電気的に接続
される電極が設けられており、液晶パネルにＦＰＣを貼
り合わせる際には、ＦＰＣと透明基板との電極が確実に
接続されなければならない。このために、透明基板にＡ
ＣＦを貼着しておき、このＡＣＦの上にＦＰＣを貼り合
わせて熱圧着される。ここで、ＦＰＣ及び透明基板にお
ける電極は極めて細かいピッチ間隔で形成されており、
従ってＦＰＣを液晶パネルに対して極めて正確に位置合
わせしなければならない。液晶パネルの透明基板におけ
るＦＰＣが貼り合わされる各辺とＦＰＣとを正確に位置
合わせできるようにするために、それぞれ一対のアライ
メントマークが設けられている。
プが搭載されている液晶パネルの透明基板に直接貼り付
けられる。ＦＰＣ及び透明基板には相互に電気的に接続
される電極が設けられており、液晶パネルにＦＰＣを貼
り合わせる際には、ＦＰＣと透明基板との電極が確実に
接続されなければならない。このために、透明基板にＡ
ＣＦを貼着しておき、このＡＣＦの上にＦＰＣを貼り合
わせて熱圧着される。ここで、ＦＰＣ及び透明基板にお
ける電極は極めて細かいピッチ間隔で形成されており、
従ってＦＰＣを液晶パネルに対して極めて正確に位置合
わせしなければならない。液晶パネルの透明基板におけ
るＦＰＣが貼り合わされる各辺とＦＰＣとを正確に位置
合わせできるようにするために、それぞれ一対のアライ
メントマークが設けられている。
【０００４】以上のことから、液晶パネルにＦＰＣを貼
り合わせる際には、テレビカメラを用いてそれらのアラ
イメントマークを検出して、この画像を画像認識手段で
所定の信号処理を行うことによって、液晶パネル及びＦ
ＰＣの相対位置ずれを検出して、少なくともいずれか一
方の位置補正を行うようにする。これによって、液晶パ
ネルとＦＰＣとの間の位置合わせが行われて、液晶パネ
ルを受け台に当接させた状態で、ＦＰＣをこの液晶パネ
ルにおける透明基板の所定の位置に重ね合わせて、圧着
手段により熱圧着させるようにして貼り合わせが行われ
る。
り合わせる際には、テレビカメラを用いてそれらのアラ
イメントマークを検出して、この画像を画像認識手段で
所定の信号処理を行うことによって、液晶パネル及びＦ
ＰＣの相対位置ずれを検出して、少なくともいずれか一
方の位置補正を行うようにする。これによって、液晶パ
ネルとＦＰＣとの間の位置合わせが行われて、液晶パネ
ルを受け台に当接させた状態で、ＦＰＣをこの液晶パネ
ルにおける透明基板の所定の位置に重ね合わせて、圧着
手段により熱圧着させるようにして貼り合わせが行われ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、液晶パネル
とＦＰＣとにおけるアライメントマークは相互の貼り合
わせ面に形成されている。即ち、液晶パネルとＦＰＣと
を上下に配置した時には、液晶パネル側のアライメント
マークは上面側に、またＦＰＣ側のアライメントマーク
は下面側に形成されている。そして、液晶パネル及びＦ
ＰＣのサイズは大きいことから、それぞれ２箇所設けら
れているアライメントマークを１台のテレビカメラの視
野で捉えるのは不可能である。以上のことから、液晶パ
ネル及びＦＰＣにそれぞれ２箇所設けられ、合計４箇所
のアライメントマークはそれぞれ別個のテレビカメラで
検出する必要があることから、４台のテレビカメラが必
要とする。しかも、これら各アライメントマークを検出
して、液晶パネル及びＦＰＣの位置調整を行った後に、
貼り合わせステーションに移行させて、この貼り合わせ
ステーションに設けた受け台の上で液晶パネルとＦＰＣ
との貼り合わせが行われる。
とＦＰＣとにおけるアライメントマークは相互の貼り合
わせ面に形成されている。即ち、液晶パネルとＦＰＣと
を上下に配置した時には、液晶パネル側のアライメント
マークは上面側に、またＦＰＣ側のアライメントマーク
は下面側に形成されている。そして、液晶パネル及びＦ
ＰＣのサイズは大きいことから、それぞれ２箇所設けら
れているアライメントマークを１台のテレビカメラの視
野で捉えるのは不可能である。以上のことから、液晶パ
ネル及びＦＰＣにそれぞれ２箇所設けられ、合計４箇所
のアライメントマークはそれぞれ別個のテレビカメラで
検出する必要があることから、４台のテレビカメラが必
要とする。しかも、これら各アライメントマークを検出
して、液晶パネル及びＦＰＣの位置調整を行った後に、
貼り合わせステーションに移行させて、この貼り合わせ
ステーションに設けた受け台の上で液晶パネルとＦＰＣ
との貼り合わせが行われる。
【０００６】以上のことから、４台のテレビカメラ相互
の位置が合っていなければ、正確な位置検出を行えな
い。従って、貼り合わせ装置における位置認識機構の構
成が複雑になってしまう。また、４台のテレビカメラの
全てを相互に厳格に位置合わせした状態に組み付けるの
は極めて困難であり、それぞれのテレビカメラに僅かで
も位置ずれがあると、誤差の累積により正確な位置検出
を行えなくなってしまう。特に、近年においては、液晶
パネル及びＦＰＣに形成される電極の幅及びピッチ間隔
が微細化される傾向にあり、テレビカメラ相互の位置出
しが著しく困難になってしまう。しかも、４台のテレビ
カメラは、相互の位置が正確に合っていなければならな
いだけでなく、これら各テレビカメラの位置と貼り合わ
せステーションにおける液晶パネルとＦＰＣとの貼り合
わせ位置との間での位置合わせも必要になる。従って、
全体として貼り合わせ装置の構成、特に４台のテレビカ
メラの組み付け性が極めて困難になる等といった問題点
がある。
の位置が合っていなければ、正確な位置検出を行えな
い。従って、貼り合わせ装置における位置認識機構の構
成が複雑になってしまう。また、４台のテレビカメラの
全てを相互に厳格に位置合わせした状態に組み付けるの
は極めて困難であり、それぞれのテレビカメラに僅かで
も位置ずれがあると、誤差の累積により正確な位置検出
を行えなくなってしまう。特に、近年においては、液晶
パネル及びＦＰＣに形成される電極の幅及びピッチ間隔
が微細化される傾向にあり、テレビカメラ相互の位置出
しが著しく困難になってしまう。しかも、４台のテレビ
カメラは、相互の位置が正確に合っていなければならな
いだけでなく、これら各テレビカメラの位置と貼り合わ
せステーションにおける液晶パネルとＦＰＣとの貼り合
わせ位置との間での位置合わせも必要になる。従って、
全体として貼り合わせ装置の構成、特に４台のテレビカ
メラの組み付け性が極めて困難になる等といった問題点
がある。
【０００７】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、フレキシブル基板を
透明基板に、微細なピッチ間隔で形成されている電極を
確実に接続した状態に貼り合わせるために、簡単な構成
によって、フレキシブル基板及び透明基板の位置ずれを
正確に補正して、相互に位置が厳格に合った状態で貼り
合わせることができるようにすることにある。
あって、その目的とするところは、フレキシブル基板を
透明基板に、微細なピッチ間隔で形成されている電極を
確実に接続した状態に貼り合わせるために、簡単な構成
によって、フレキシブル基板及び透明基板の位置ずれを
正確に補正して、相互に位置が厳格に合った状態で貼り
合わせることができるようにすることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明に係る貼り合わせ装置の構成としては、
透明基板にフレキシブル基板を、それぞれ少なくとも同
じ間隔となるようにして各一対設けたアライメントマー
クを基準として相互に位置合わせした上で貼り合わせる
装置において、搬送基台に装着され、透明基板の下面が
載置され、水平方向及び回転方向に位置調整可能な支持
テーブルと、フレキシブル基板の上面が保持され、水平
方向及び回転方向に位置調整可能な保持手段と、前記透
明基板を当接させると共に、フレキシブル基板がこの透
明基板上に重ね合わされる受け台と、フレキシブル基板
と透明基板との接合部を圧着する圧着手段と、前記受け
台の下部に設けられ、前記透明基板及びフレキシブル基
板の各アライメントマークを撮影するテレビカメラとか
らなり、前記受け台に透明ガラス板を装着すると共に、
前記テレビカメラと対向する位置に開口を設けて、この
テレビカメラは開口及び透明ガラス板を介してアライメ
ントマークを撮影して、画像認識によりこれらアライメ
ントマークの基準位置からの位置ずれを検出可能な構成
としたことをその特徴とするものである。
ために、本発明に係る貼り合わせ装置の構成としては、
透明基板にフレキシブル基板を、それぞれ少なくとも同
じ間隔となるようにして各一対設けたアライメントマー
クを基準として相互に位置合わせした上で貼り合わせる
装置において、搬送基台に装着され、透明基板の下面が
載置され、水平方向及び回転方向に位置調整可能な支持
テーブルと、フレキシブル基板の上面が保持され、水平
方向及び回転方向に位置調整可能な保持手段と、前記透
明基板を当接させると共に、フレキシブル基板がこの透
明基板上に重ね合わされる受け台と、フレキシブル基板
と透明基板との接合部を圧着する圧着手段と、前記受け
台の下部に設けられ、前記透明基板及びフレキシブル基
板の各アライメントマークを撮影するテレビカメラとか
らなり、前記受け台に透明ガラス板を装着すると共に、
前記テレビカメラと対向する位置に開口を設けて、この
テレビカメラは開口及び透明ガラス板を介してアライメ
ントマークを撮影して、画像認識によりこれらアライメ
ントマークの基準位置からの位置ずれを検出可能な構成
としたことをその特徴とするものである。
【０００９】また、貼り合わせ方法としては、透明基板
とフレキシブル基板とにそれぞれ設けたアライメントマ
ークをテレビカメラにより撮影して相互の位置調整を行
った上で、受け台上で相互に重ね合わせて、圧着手段に
より貼り合わせを行うに当って、前記テレビカメラは前
記受け台の下部位置に配置して、この受け台の下方から
前記アライメントマークをテレビカメラの視野が得られ
るように構成した貼り合わせ装置を用い、前記透明基板
を、そのアライメントマークが受け台上のテレビカメラ
の視野範囲に変位させて、アライメントマークを撮影し
て、画像認識により基準位置からのずれを検出して、そ
の位置ずれを補正し、またフレキシブル基板のアライメ
ントマークを前記テレビカメラで撮影可能な位置に変位
させる際に、前記受け台の高さ位置を変えると共に、前
記圧着手段でフレキシブル基板を受け台の上に圧接させ
て、このテレビカメラで撮影したアライメントマークの
位置からフレキシブル基板の位置ずれを検出して、その
位置ずれを補正するようになし、さらに前記受け台を所
定の高さ位置に保った状態で、透明基板を受け台に載置
し、次いでフレキシブル基板を透明基板の上に積層させ
て、前記圧着手段で圧着することをその特徴とする。
とフレキシブル基板とにそれぞれ設けたアライメントマ
ークをテレビカメラにより撮影して相互の位置調整を行
った上で、受け台上で相互に重ね合わせて、圧着手段に
より貼り合わせを行うに当って、前記テレビカメラは前
記受け台の下部位置に配置して、この受け台の下方から
前記アライメントマークをテレビカメラの視野が得られ
るように構成した貼り合わせ装置を用い、前記透明基板
を、そのアライメントマークが受け台上のテレビカメラ
の視野範囲に変位させて、アライメントマークを撮影し
て、画像認識により基準位置からのずれを検出して、そ
の位置ずれを補正し、またフレキシブル基板のアライメ
ントマークを前記テレビカメラで撮影可能な位置に変位
させる際に、前記受け台の高さ位置を変えると共に、前
記圧着手段でフレキシブル基板を受け台の上に圧接させ
て、このテレビカメラで撮影したアライメントマークの
位置からフレキシブル基板の位置ずれを検出して、その
位置ずれを補正するようになし、さらに前記受け台を所
定の高さ位置に保った状態で、透明基板を受け台に載置
し、次いでフレキシブル基板を透明基板の上に積層させ
て、前記圧着手段で圧着することをその特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の一形態について説明する。図面において、図１は液
晶パネル及びＦＰＣの外観を示し、図２にＦＰＣを液晶
パネルに貼り合わせする貼り合わせ装置の全体構成を示
す。
施の一形態について説明する。図面において、図１は液
晶パネル及びＦＰＣの外観を示し、図２にＦＰＣを液晶
パネルに貼り合わせする貼り合わせ装置の全体構成を示
す。
【００１１】図１において、１は液晶パネルであって、
液晶パネル１は透明ガラス等から構成される上下の透明
基板２，３を有し、この透明基板２，３間には液晶が封
入されている。下側に位置する透明基板３は、少なくと
もその２辺において透明基板２より突出しており、この
突出部分の表面側には配線パターンが形成されると共
に、ＩＣチップ４が実装されている。そして、ＩＣチッ
プ４に接続した配線は透明基板３のエッジ部分にまで延
在されており、この部位にはＡＣＦ５が貼着されてい
る。また、６はＦＰＣであって、このＦＰＣ６は長尺の
可撓性のあるシート状の基板からなり、所要の電子部品
等が搭載されると共に、所定の幅の貼着部６ａが複数箇
所形成されており、これら各貼着部６ａには多数の電極
が所定のピッチ間隔で形成されている。そして、図２に
示したように、ＦＰＣ６はその全長が異なるものが２枚
用いられ、液晶パネル１の長辺部と短辺部とに貼着され
る。
液晶パネル１は透明ガラス等から構成される上下の透明
基板２，３を有し、この透明基板２，３間には液晶が封
入されている。下側に位置する透明基板３は、少なくと
もその２辺において透明基板２より突出しており、この
突出部分の表面側には配線パターンが形成されると共
に、ＩＣチップ４が実装されている。そして、ＩＣチッ
プ４に接続した配線は透明基板３のエッジ部分にまで延
在されており、この部位にはＡＣＦ５が貼着されてい
る。また、６はＦＰＣであって、このＦＰＣ６は長尺の
可撓性のあるシート状の基板からなり、所要の電子部品
等が搭載されると共に、所定の幅の貼着部６ａが複数箇
所形成されており、これら各貼着部６ａには多数の電極
が所定のピッチ間隔で形成されている。そして、図２に
示したように、ＦＰＣ６はその全長が異なるものが２枚
用いられ、液晶パネル１の長辺部と短辺部とに貼着され
る。
【００１２】ＦＰＣ６は、その各貼着部６ａが液晶パネ
ル１の透明基板３に貼り合わせられるが、この貼り合わ
せを行うには、それぞれに設けた電極が正確に重なり合
うようになり、ＡＣＦ５を溶融乃至軟化させた時に、こ
のＡＣＦ５に含まれる導電粒子を介して確実に電気的に
接続させるようにしなければならない。このために、図
３に示した貼り合わせ装置を用いてＦＰＣ６を液晶パネ
ル１の透明基板３に正確に位置合わせした状態で貼り合
わせる。
ル１の透明基板３に貼り合わせられるが、この貼り合わ
せを行うには、それぞれに設けた電極が正確に重なり合
うようになり、ＡＣＦ５を溶融乃至軟化させた時に、こ
のＡＣＦ５に含まれる導電粒子を介して確実に電気的に
接続させるようにしなければならない。このために、図
３に示した貼り合わせ装置を用いてＦＰＣ６を液晶パネ
ル１の透明基板３に正確に位置合わせした状態で貼り合
わせる。
【００１３】この貼り合わせ時には、液晶パネル１の透
明基板３側の電極とＦＰＣ６側の電極とが相互に正確に
一致しなければならない。このために、両部材を相互に
位置調整するが、この位置調整を行うために、位置認識
が必要となる。液晶パネル１及びＦＰＣ６の位置を認識
するために、液晶パネル１の透明基板３及びＦＰＣ６に
は、それぞれ少なくとも各一対のアライメントマーク
７，８が設けられる。アライメントマーク７，８はそれ
ぞれ透明基板３の電極形成面及びＦＰＣ６の電極形成面
に設けられており、これらの面が直接重なり合うように
して貼り合わされる。ここで、液晶パネル１側のアライ
メントマーク７は透明基板３のほぼ両端近傍位置に設け
られており、この透明基板３に対して位置合わせが行わ
れるＦＰＣ６側のアライメントマーク８は、ＦＰＣ６を
貼り合わせた時に、アライメントマーク７と正確に重な
り合うか、またはアライメントマーク８はアライメント
マーク７と少なくとも同じ間隔となるように形成され、
実際にＦＰＣ６を透明基板３に貼り合わせる際には、ア
ライメントマーク７と８とは重なり合うか、または所定
の間隔だけ隔たった位置になるように設定される。図示
したものにあっては、ＦＰＣ６に設けたアライメントマ
ーク８は透明基板３に重ならない位置に設けられている
から、ＦＰＣ６を透明基板３に重ねた時に、アライメン
トマーク７，８は相互に一定の間隔だけ離れた位置とな
る。
明基板３側の電極とＦＰＣ６側の電極とが相互に正確に
一致しなければならない。このために、両部材を相互に
位置調整するが、この位置調整を行うために、位置認識
が必要となる。液晶パネル１及びＦＰＣ６の位置を認識
するために、液晶パネル１の透明基板３及びＦＰＣ６に
は、それぞれ少なくとも各一対のアライメントマーク
７，８が設けられる。アライメントマーク７，８はそれ
ぞれ透明基板３の電極形成面及びＦＰＣ６の電極形成面
に設けられており、これらの面が直接重なり合うように
して貼り合わされる。ここで、液晶パネル１側のアライ
メントマーク７は透明基板３のほぼ両端近傍位置に設け
られており、この透明基板３に対して位置合わせが行わ
れるＦＰＣ６側のアライメントマーク８は、ＦＰＣ６を
貼り合わせた時に、アライメントマーク７と正確に重な
り合うか、またはアライメントマーク８はアライメント
マーク７と少なくとも同じ間隔となるように形成され、
実際にＦＰＣ６を透明基板３に貼り合わせる際には、ア
ライメントマーク７と８とは重なり合うか、または所定
の間隔だけ隔たった位置になるように設定される。図示
したものにあっては、ＦＰＣ６に設けたアライメントマ
ーク８は透明基板３に重ならない位置に設けられている
から、ＦＰＣ６を透明基板３に重ねた時に、アライメン
トマーク７，８は相互に一定の間隔だけ離れた位置とな
る。
【００１４】ＦＰＣ６は以上のように、アライメントマ
ークを基準として液晶パネル１との間で位置調整を行っ
た上で、その透明基板３の上に重ね合わせて、熱圧着す
ることにより接続されることになる。ただし、ＦＰＣ６
は透明基板３に重ねた後、直ちにＡＣＦ５を溶融させ
て、両者を完全に固着するのではなく、一度仮圧着され
て、ＦＰＣ６を液晶パネルに対して分離しないように保
持した上で、本圧着工程で液晶パネル１に対してＡＣＦ
５を介して強固にＦＰＣ６の固着を行うようにする。従
って、仮圧着の段階では、ＡＣＦ５がある程度軟化する
までの熱は作用させるが、本圧着時と比較して、かなり
低温で圧着される。そこで、以下に、図３に基づいてア
ライメントマーク７，８を基準として、液晶パネル１の
透明基板３にＦＰＣ６を仮圧着するまでの作業を行う貼
り合わせ装置の概略構成を示す。
ークを基準として液晶パネル１との間で位置調整を行っ
た上で、その透明基板３の上に重ね合わせて、熱圧着す
ることにより接続されることになる。ただし、ＦＰＣ６
は透明基板３に重ねた後、直ちにＡＣＦ５を溶融させ
て、両者を完全に固着するのではなく、一度仮圧着され
て、ＦＰＣ６を液晶パネルに対して分離しないように保
持した上で、本圧着工程で液晶パネル１に対してＡＣＦ
５を介して強固にＦＰＣ６の固着を行うようにする。従
って、仮圧着の段階では、ＡＣＦ５がある程度軟化する
までの熱は作用させるが、本圧着時と比較して、かなり
低温で圧着される。そこで、以下に、図３に基づいてア
ライメントマーク７，８を基準として、液晶パネル１の
透明基板３にＦＰＣ６を仮圧着するまでの作業を行う貼
り合わせ装置の概略構成を示す。
【００１５】而して、図３において、１０は液晶パネル
搬送手段であって、この液晶パネル搬送手段１０は搬送
基台１１を有し、この搬送基台１１には微調整機構１２
を介して支持テーブルとしての吸着テーブル１３が設け
られている。液晶パネル１は、その透明基板３が吸着テ
ーブル１３上に所定の位置に位置決めされた状態で固定
される。ただし、透明基板３の透明基板２から突出する
部分は、吸着テーブル１３からはみ出している。そし
て、吸着テーブル１３が装着されている微調整機構１２
は、吸着テーブル１３上の透明基板３を水平方向、即ち
ＸＹ方向と、水平面での回転方向、即ちθ方向に位置を
微調整できるようになっている。
搬送手段であって、この液晶パネル搬送手段１０は搬送
基台１１を有し、この搬送基台１１には微調整機構１２
を介して支持テーブルとしての吸着テーブル１３が設け
られている。液晶パネル１は、その透明基板３が吸着テ
ーブル１３上に所定の位置に位置決めされた状態で固定
される。ただし、透明基板３の透明基板２から突出する
部分は、吸着テーブル１３からはみ出している。そし
て、吸着テーブル１３が装着されている微調整機構１２
は、吸着テーブル１３上の透明基板３を水平方向、即ち
ＸＹ方向と、水平面での回転方向、即ちθ方向に位置を
微調整できるようになっている。
【００１６】また、１４は保持手段を構成する真空吸着
ヘッドであって、この真空吸着ヘッド１４は図示しない
ロボットに装着されて、ＦＰＣ６を、その上面側を真空
吸着して所定の位置に搬送すると共に、上下方向に変位
可能になっており、さらにＦＰＣ６をＸＹ方向及びθ方
向の位置を微調整できるようになっている。
ヘッドであって、この真空吸着ヘッド１４は図示しない
ロボットに装着されて、ＦＰＣ６を、その上面側を真空
吸着して所定の位置に搬送すると共に、上下方向に変位
可能になっており、さらにＦＰＣ６をＸＹ方向及びθ方
向の位置を微調整できるようになっている。
【００１７】さらに、１５は液晶パネル１の透明基板３
にＦＰＣ６を貼り合わせる際に、液晶パネル１、特にそ
の透明基板３における吸着テーブル１３からはみ出した
部分を受承する受け台を示し、この受け台１５は水平部
１５ａと鉛直部１５ｂとから構成され、鉛直部１５ｂは
ガイド１６に沿って上下方向に変位可能となっている。
受け台１５は高い強度を持たせるために金属で形成され
ており、この受け台１５における水平部１５ａの上に
は、透明基板３におけるＦＰＣ６の貼り合わせ部分が載
置される部位には透明ガラス板１７が設置されており、
しかも水平部１５ａには液晶パネル１及びＦＰＣ６に２
箇所設けられているアライメントマーク７，８が位置す
る部位にそれぞれ透孔１８が形成されている。そして、
これら各透孔１８の下部にアライメントマーク７，８を
撮影するテレビカメラユニット１９が設置されている。
このテレビカメラ１９は、撮像手段１９ａと対物レンズ
１９ｂとを有し、さらにこの対物レンズ１９ｂからの光
路を９０°曲げるための反射ミラー１９ｃが設けられて
いる。
にＦＰＣ６を貼り合わせる際に、液晶パネル１、特にそ
の透明基板３における吸着テーブル１３からはみ出した
部分を受承する受け台を示し、この受け台１５は水平部
１５ａと鉛直部１５ｂとから構成され、鉛直部１５ｂは
ガイド１６に沿って上下方向に変位可能となっている。
受け台１５は高い強度を持たせるために金属で形成され
ており、この受け台１５における水平部１５ａの上に
は、透明基板３におけるＦＰＣ６の貼り合わせ部分が載
置される部位には透明ガラス板１７が設置されており、
しかも水平部１５ａには液晶パネル１及びＦＰＣ６に２
箇所設けられているアライメントマーク７，８が位置す
る部位にそれぞれ透孔１８が形成されている。そして、
これら各透孔１８の下部にアライメントマーク７，８を
撮影するテレビカメラユニット１９が設置されている。
このテレビカメラ１９は、撮像手段１９ａと対物レンズ
１９ｂとを有し、さらにこの対物レンズ１９ｂからの光
路を９０°曲げるための反射ミラー１９ｃが設けられて
いる。
【００１８】受け台１５の上部位置には圧着手段を構成
する圧着ヘッド２０が昇降可能に設けられている。ここ
で、圧着ヘッド２０は液晶パネル１にＦＰＣ６を固着す
るために加熱されているが、この位置では仮圧着であ
り、従って加熱温度は比較的低く設定されている。圧着
ヘッド２０は常時には受け台１５よりも高い位置に配置
されており、この受け台１５に液晶パネル１が設置さ
れ、さらにＦＰＣ６が重ね合わされた時に、液晶パネル
１における透明基板３のＡＣＦ５を貼着した部位をＦＰ
Ｃ６の上から加圧する圧着刃２０ａを備えている。
する圧着ヘッド２０が昇降可能に設けられている。ここ
で、圧着ヘッド２０は液晶パネル１にＦＰＣ６を固着す
るために加熱されているが、この位置では仮圧着であ
り、従って加熱温度は比較的低く設定されている。圧着
ヘッド２０は常時には受け台１５よりも高い位置に配置
されており、この受け台１５に液晶パネル１が設置さ
れ、さらにＦＰＣ６が重ね合わされた時に、液晶パネル
１における透明基板３のＡＣＦ５を貼着した部位をＦＰ
Ｃ６の上から加圧する圧着刃２０ａを備えている。
【００１９】貼り合わせ装置は以上のように構成される
が、この貼り合わせ装置では液晶パネル１にＦＰＣ６を
貼り合わせる際に、液晶パネル１を受け台１５上に位置
させて位置調整を行い、次いでＦＰＣ６を受け台１５上
で位置調整を行う。その後、液晶パネル１を受け台１５
上に設置して、その透明基板３の所定の位置にＦＰＣ６
を重ね合わせて加熱されている圧着ヘッド２０で加圧す
ることにより圧着される。そこで、以下にＦＰＣ６の透
明基板３に対する貼り合わせを行う方法について説明す
る。
が、この貼り合わせ装置では液晶パネル１にＦＰＣ６を
貼り合わせる際に、液晶パネル１を受け台１５上に位置
させて位置調整を行い、次いでＦＰＣ６を受け台１５上
で位置調整を行う。その後、液晶パネル１を受け台１５
上に設置して、その透明基板３の所定の位置にＦＰＣ６
を重ね合わせて加熱されている圧着ヘッド２０で加圧す
ることにより圧着される。そこで、以下にＦＰＣ６の透
明基板３に対する貼り合わせを行う方法について説明す
る。
【００２０】まず、液晶パネル１は吸着テーブル１３の
所定の位置に吸着保持させておき、またＦＰＣ６は真空
吸着ヘッド１４に吸着保持させる。ここで、吸着テーブ
ル１３には液晶パネル１が、また真空吸着ヘッド１４に
はＦＰＣ６が、それぞれ粗位置決めされた状態に保持さ
せておく。この粗位置決めは、後述する位置微調整を行
うために、テレビカメラユニット１９によりアライメン
トマーク７，８が撮影されるが、この時に、アライメン
トマーク７，８がテレビカメラユニット１９の視野に確
実に入る程度のものとする。
所定の位置に吸着保持させておき、またＦＰＣ６は真空
吸着ヘッド１４に吸着保持させる。ここで、吸着テーブ
ル１３には液晶パネル１が、また真空吸着ヘッド１４に
はＦＰＣ６が、それぞれ粗位置決めされた状態に保持さ
せておく。この粗位置決めは、後述する位置微調整を行
うために、テレビカメラユニット１９によりアライメン
トマーク７，８が撮影されるが、この時に、アライメン
トマーク７，８がテレビカメラユニット１９の視野に確
実に入る程度のものとする。
【００２１】この状態から、まず搬送基台１１を前進さ
せて、その吸着テーブル１３に吸着保持されている液晶
パネル１を受け台１５の上部位置において、そのアライ
メントマーク７が透孔１８内に臨む位置まで変位させ
る。そして、テレビカメラユニット１９により液晶パネ
ル１における透明基板３に形成されているアライメント
マーク７を撮影する。アライメントマーク７は２箇所設
けられており、テレビカメラユニット１９もそれぞれの
アライメントマーク７に対応する２箇所に設けられてい
るから、２つのアライメントマーク７をテレビカメラユ
ニット１９で撮影して、それらの基準位置からのずれを
検出する。このアライメントマーク７の位置ずれ検出
は、テレビカメラユニット１９からの画像を画像認識手
段に取り込んで、所定の信号処理を行って、位置ずれ量
を演算する。そして、微調整機構１２におけるサーボ手
段に補正信号を入力して、微調整機構１２をＸＹθ方向
に適宜変位させることにより、液晶パネル１の位置調整
が行われる。ただし、この液晶パネル１の位置は実際に
ＦＰＣ６を貼り合わせる位置ではない。この位置よりア
ライメントマーク７，８間における間隔分だけずらせた
位置が貼り合わせ位置となる。
せて、その吸着テーブル１３に吸着保持されている液晶
パネル１を受け台１５の上部位置において、そのアライ
メントマーク７が透孔１８内に臨む位置まで変位させ
る。そして、テレビカメラユニット１９により液晶パネ
ル１における透明基板３に形成されているアライメント
マーク７を撮影する。アライメントマーク７は２箇所設
けられており、テレビカメラユニット１９もそれぞれの
アライメントマーク７に対応する２箇所に設けられてい
るから、２つのアライメントマーク７をテレビカメラユ
ニット１９で撮影して、それらの基準位置からのずれを
検出する。このアライメントマーク７の位置ずれ検出
は、テレビカメラユニット１９からの画像を画像認識手
段に取り込んで、所定の信号処理を行って、位置ずれ量
を演算する。そして、微調整機構１２におけるサーボ手
段に補正信号を入力して、微調整機構１２をＸＹθ方向
に適宜変位させることにより、液晶パネル１の位置調整
が行われる。ただし、この液晶パネル１の位置は実際に
ＦＰＣ６を貼り合わせる位置ではない。この位置よりア
ライメントマーク７，８間における間隔分だけずらせた
位置が貼り合わせ位置となる。
【００２２】即ち、図４に示したように、左右のテレビ
カメラユニット１９（図３においては、両テレビカメラ
ユニットを区別するために、符号１９Ｒ，１９Ｌを用い
る）の視野をＲ，Ｌとした時に、アライメントマーク７
（左右のアライメントマークを区別するために、図３に
は符号７Ｒ，７Ｌで示す）がそれぞれ視野Ｒ，Ｌにより
捉えられる。それぞれ視野Ｒ，Ｌにおいては、基準位置
ＲＳ，ＬＳが設定されており、これら基準位置ＲＳ，Ｌ
Ｓの位置とアライメントマーク７Ｒ，７Ｌの位置とのず
れを検出する。今、アライメントマーク７Ｒ，７Ｌが図
示の位置にあったとする。これらアライメントマーク７
Ｒ，７Ｌを結ぶ線Ｐは、基準位置ＲＳ，ＬＳを結ぶ線Ｑ
に対してΔθ傾いている。従って、このΔθがθ方向に
おける補正量となる。Δθだけ水平方向に回転させる
と、両アライメントマーク７Ｒ，７Ｌの位置は、共に基
準位置ＲＳ，ＬＳに対してＸ方向にΔｘ，Ｙ方向にΔｙ
だけずれている。従って、これらのずれ量Δｘ，Δｙが
ＸＹ方向のずれ量である。
カメラユニット１９（図３においては、両テレビカメラ
ユニットを区別するために、符号１９Ｒ，１９Ｌを用い
る）の視野をＲ，Ｌとした時に、アライメントマーク７
（左右のアライメントマークを区別するために、図３に
は符号７Ｒ，７Ｌで示す）がそれぞれ視野Ｒ，Ｌにより
捉えられる。それぞれ視野Ｒ，Ｌにおいては、基準位置
ＲＳ，ＬＳが設定されており、これら基準位置ＲＳ，Ｌ
Ｓの位置とアライメントマーク７Ｒ，７Ｌの位置とのず
れを検出する。今、アライメントマーク７Ｒ，７Ｌが図
示の位置にあったとする。これらアライメントマーク７
Ｒ，７Ｌを結ぶ線Ｐは、基準位置ＲＳ，ＬＳを結ぶ線Ｑ
に対してΔθ傾いている。従って、このΔθがθ方向に
おける補正量となる。Δθだけ水平方向に回転させる
と、両アライメントマーク７Ｒ，７Ｌの位置は、共に基
準位置ＲＳ，ＬＳに対してＸ方向にΔｘ，Ｙ方向にΔｙ
だけずれている。従って、これらのずれ量Δｘ，Δｙが
ＸＹ方向のずれ量である。
【００２３】以上のようにして、ＸＹ方向及びθ方向の
ずれを検出して、微調整機構１２により補正を行うと、
吸着テーブル１３上に位置する液晶パネル１は受け台１
５に対して基準位置となるように位置調整がなされる。
液晶パネル１は画像認識による位置ずれが検出されて、
その補正が行われた後、搬送基台１１を作動させて、液
晶パネル１を受け台１５の上部位置から離間させて、こ
の受け台１５の上部位置を開放する。ここで、搬送基台
１１の移動は、ステッピングモータ等のように、正確に
位置を制御できる駆動手段を用いて行うようになし、か
つ位置微調整を行った位置を記憶させておくことによっ
て、再び受け台１５上の位置に復帰させると、所定の位
置に正確に配置できる。ただし、アライメントマーク
７，８は重なり合わないことから、アライメントマーク
７を検出した時の位置より、アライメントマーク７，８
の間の間隔分だけ手前の位置で搬送基台１１を停止させ
るようにする。
ずれを検出して、微調整機構１２により補正を行うと、
吸着テーブル１３上に位置する液晶パネル１は受け台１
５に対して基準位置となるように位置調整がなされる。
液晶パネル１は画像認識による位置ずれが検出されて、
その補正が行われた後、搬送基台１１を作動させて、液
晶パネル１を受け台１５の上部位置から離間させて、こ
の受け台１５の上部位置を開放する。ここで、搬送基台
１１の移動は、ステッピングモータ等のように、正確に
位置を制御できる駆動手段を用いて行うようになし、か
つ位置微調整を行った位置を記憶させておくことによっ
て、再び受け台１５上の位置に復帰させると、所定の位
置に正確に配置できる。ただし、アライメントマーク
７，８は重なり合わないことから、アライメントマーク
７を検出した時の位置より、アライメントマーク７，８
の間の間隔分だけ手前の位置で搬送基台１１を停止させ
るようにする。
【００２４】然る後に、真空吸着ヘッド１４に吸着保持
されているＦＰＣ６の位置調整を行う。このＦＰＣ６の
位置検出も、テレビカメラユニット１９を含む画像認識
手段により行われる。従って、真空吸着ヘッド１４によ
って、ＦＰＣ６を受け台１５の上部位置にまで搬送させ
て、このＦＰＣ６に設けたアライメントマーク８をテレ
ビカメラユニット１９の視野内に入れるようにする。
されているＦＰＣ６の位置調整を行う。このＦＰＣ６の
位置検出も、テレビカメラユニット１９を含む画像認識
手段により行われる。従って、真空吸着ヘッド１４によ
って、ＦＰＣ６を受け台１５の上部位置にまで搬送させ
て、このＦＰＣ６に設けたアライメントマーク８をテレ
ビカメラユニット１９の視野内に入れるようにする。
【００２５】ところで、ＦＰＣ６はフレキシブル基板で
ある関係から、真空吸着ヘッド１４で吸着しているだけ
では、曲がりやうねり等があり、そのままの状態でテレ
ビカメラユニット１９でアライメントマーク８を撮影し
ても、その画像は正しい位置を表したものではない。そ
こで、ＦＰＣ６を受け台１５と圧着ヘッド２０との間で
挾持させるようにして、ＦＰＣ６を真直ぐな状態に矯正
した上で、アライメントマーク８を撮影する。しかも、
テレビカメラユニット１９では液晶パネル１のアライメ
ントマーク７とＦＰＣ６のアライメントマーク８を撮影
するが、液晶パネル１では透明基板３の表面側に設けら
れており、テレビカメラユニット１９は透明ガラス１７
を介して透明基板３の裏面側からアライメントマーク７
が撮影される。これに対して、ＦＰＣ６にはテレビカメ
ラユニット１９に対向する面にアライメントマーク８が
設けられているので、アライメントマーク８は透明ガラ
ス１７のみを介して撮影される。従って、透明基板３の
屈折率によりアライメントマーク７と８とでは、透明基
板３の屈折率分だけテレビカメラユニット１９の対物レ
ンズ１９ｂによる前側焦点位置が異なってくる。
ある関係から、真空吸着ヘッド１４で吸着しているだけ
では、曲がりやうねり等があり、そのままの状態でテレ
ビカメラユニット１９でアライメントマーク８を撮影し
ても、その画像は正しい位置を表したものではない。そ
こで、ＦＰＣ６を受け台１５と圧着ヘッド２０との間で
挾持させるようにして、ＦＰＣ６を真直ぐな状態に矯正
した上で、アライメントマーク８を撮影する。しかも、
テレビカメラユニット１９では液晶パネル１のアライメ
ントマーク７とＦＰＣ６のアライメントマーク８を撮影
するが、液晶パネル１では透明基板３の表面側に設けら
れており、テレビカメラユニット１９は透明ガラス１７
を介して透明基板３の裏面側からアライメントマーク７
が撮影される。これに対して、ＦＰＣ６にはテレビカメ
ラユニット１９に対向する面にアライメントマーク８が
設けられているので、アライメントマーク８は透明ガラ
ス１７のみを介して撮影される。従って、透明基板３の
屈折率によりアライメントマーク７と８とでは、透明基
板３の屈折率分だけテレビカメラユニット１９の対物レ
ンズ１９ｂによる前側焦点位置が異なってくる。
【００２６】以上のことから、ＦＰＣ６の位置検出を行
う際には、受け台１５を所定量だけ下降させて、受け台
１５の高さ調整を行うことによって、受け台１５上にＦ
ＰＣ６を配置した時に、そのアライメントマーク８の位
置にテレビカメラユニット１９における対物レンズ１９
ｂの焦点が合うように位置調整する。そして、真空吸着
ヘッド２０を下降させて、ＦＰＣ６を受け台１５に当接
させ、さらに圧着ヘッド２０を下降させて、ＦＰＣ６を
押圧する。これによって、透明基板３側のアライメント
マーク７の撮影時に対して透明基板３の屈折率に基づく
焦点調節が行われ、かつＦＰＣ６を真直ぐな状態に矯正
される。これによって、テレビカメラユニット１９でＦ
ＰＣ６のアライメントマーク８を正確に撮影することが
でき、前述した液晶パネル１の場合と同様にして画像認
識手段により基準位置からのずれを正確に検出できる。
なお、圧着ヘッド２０は加熱されているが、仮圧着を行
う際の加熱は、例えば４０℃乃至５０℃程度の熱である
から、この程度の熱によってＦＰＣ６が変形する等のお
それはない。
う際には、受け台１５を所定量だけ下降させて、受け台
１５の高さ調整を行うことによって、受け台１５上にＦ
ＰＣ６を配置した時に、そのアライメントマーク８の位
置にテレビカメラユニット１９における対物レンズ１９
ｂの焦点が合うように位置調整する。そして、真空吸着
ヘッド２０を下降させて、ＦＰＣ６を受け台１５に当接
させ、さらに圧着ヘッド２０を下降させて、ＦＰＣ６を
押圧する。これによって、透明基板３側のアライメント
マーク７の撮影時に対して透明基板３の屈折率に基づく
焦点調節が行われ、かつＦＰＣ６を真直ぐな状態に矯正
される。これによって、テレビカメラユニット１９でＦ
ＰＣ６のアライメントマーク８を正確に撮影することが
でき、前述した液晶パネル１の場合と同様にして画像認
識手段により基準位置からのずれを正確に検出できる。
なお、圧着ヘッド２０は加熱されているが、仮圧着を行
う際の加熱は、例えば４０℃乃至５０℃程度の熱である
から、この程度の熱によってＦＰＣ６が変形する等のお
それはない。
【００２７】テレビカメラユニット１９によりアライメ
ントマーク８を撮影して、前述したと同様、画像認識手
段により基準位置からのずれを検出した後、圧着ヘッド
２０を上昇させると共に、真空吸着ヘッド１４を受け台
１５から離間させて、ＸＹ方向及びθ方向の位置調整を
行う。これによって、真空吸着ヘッド１４により吸着保
持されているＦＰＣ６は受け台１５に対して所定の位置
関係となるように、つまり液晶パネル１と正確に位置合
わせできる状態になる。
ントマーク８を撮影して、前述したと同様、画像認識手
段により基準位置からのずれを検出した後、圧着ヘッド
２０を上昇させると共に、真空吸着ヘッド１４を受け台
１５から離間させて、ＸＹ方向及びθ方向の位置調整を
行う。これによって、真空吸着ヘッド１４により吸着保
持されているＦＰＣ６は受け台１５に対して所定の位置
関係となるように、つまり液晶パネル１と正確に位置合
わせできる状態になる。
【００２８】真空吸着ヘッド１４を所定の高さ位置に保
ったままで、搬送基台１１を作動させて、液晶パネル１
を受け台１５の上部位置において、アライメントマーク
７を検出した時の位置よりＦＰＣ６を重ね合わせた時
に、アライメントマーク８との間の間隔分だけ手前の位
置で停止させる。そして、受け台１５を上昇させると、
液晶パネル１は、その透明基板３の張り出し部分が受け
台１５における透明ガラス板１７に当接することにな
る。この後に、真空吸着ヘッド１４を作動させて、この
真空吸着ヘッド１４に吸着保持されているＦＰＣ６を下
降させて、液晶パネル１における透明基板３の上に重ね
合わせる。ここで、透明基板３とＦＰＣ６とは正確に位
置が合っているので、透明基板３の電極とＦＰＣ６の電
極とが正確に一致する状態で重ね合わせられる。この状
態で、さらに圧着ヘッド２０を下降させて、ＦＰＣ６に
対して所定の圧力で押圧して加熱圧着する。この段階で
は、仮圧着であり、ＡＣＦ５はある程度軟化して、ＦＰ
Ｃ６は比較的弱く固着される。そして、ＦＰＣ６を組み
込んだ液晶パネル１を本圧着ステーションに搬送して、
より高温に加熱した状態で圧着される。
ったままで、搬送基台１１を作動させて、液晶パネル１
を受け台１５の上部位置において、アライメントマーク
７を検出した時の位置よりＦＰＣ６を重ね合わせた時
に、アライメントマーク８との間の間隔分だけ手前の位
置で停止させる。そして、受け台１５を上昇させると、
液晶パネル１は、その透明基板３の張り出し部分が受け
台１５における透明ガラス板１７に当接することにな
る。この後に、真空吸着ヘッド１４を作動させて、この
真空吸着ヘッド１４に吸着保持されているＦＰＣ６を下
降させて、液晶パネル１における透明基板３の上に重ね
合わせる。ここで、透明基板３とＦＰＣ６とは正確に位
置が合っているので、透明基板３の電極とＦＰＣ６の電
極とが正確に一致する状態で重ね合わせられる。この状
態で、さらに圧着ヘッド２０を下降させて、ＦＰＣ６に
対して所定の圧力で押圧して加熱圧着する。この段階で
は、仮圧着であり、ＡＣＦ５はある程度軟化して、ＦＰ
Ｃ６は比較的弱く固着される。そして、ＦＰＣ６を組み
込んだ液晶パネル１を本圧着ステーションに搬送して、
より高温に加熱した状態で圧着される。
【００２９】このように、テレビカメラユニット１９に
より受け台１５の位置で液晶パネル１側及びＦＰＣ６側
のアライメントマーク７，８を撮影することによって、
テレビカメラユニット１９を２台設け、しかもこの２台
のテレビカメラユニット１９が相互に正確に位置合わせ
できておれば、液晶パネル１及びＦＰＣ６のアライメン
トマークを極めて正確に検出でき、これらを相互に正確
な位置関係となるように位置調整することができる。従
って、フレキシブル基板であるＦＰＣ６を液晶パネル１
に対して、極めて高精度に接続できるようになる。
より受け台１５の位置で液晶パネル１側及びＦＰＣ６側
のアライメントマーク７，８を撮影することによって、
テレビカメラユニット１９を２台設け、しかもこの２台
のテレビカメラユニット１９が相互に正確に位置合わせ
できておれば、液晶パネル１及びＦＰＣ６のアライメン
トマークを極めて正確に検出でき、これらを相互に正確
な位置関係となるように位置調整することができる。従
って、フレキシブル基板であるＦＰＣ６を液晶パネル１
に対して、極めて高精度に接続できるようになる。
【００３０】
【発明の効果】本発明は以上のように構成したので、２
台のテレビカメラを相互に位置調整した状態で配置する
だけの簡単な構成によって、フレキシブル基板を液晶パ
ネル等の透明基板に対して、微細なピッチ間隔で形成さ
れている電極を確実に接続した状態に貼り合わせるため
に、それぞれの位置調整を極めて正確に行える等の効果
を奏する。
台のテレビカメラを相互に位置調整した状態で配置する
だけの簡単な構成によって、フレキシブル基板を液晶パ
ネル等の透明基板に対して、微細なピッチ間隔で形成さ
れている電極を確実に接続した状態に貼り合わせるため
に、それぞれの位置調整を極めて正確に行える等の効果
を奏する。
【図１】液晶パネル及びＦＰＣの要部外観図である。
【図２】液晶パネルをＦＰＣに貼り合わせた状態を示す
平面図である。
平面図である。
【図３】液晶パネルへのＦＰＣの貼り合わせ装置の概略
構成図である。
構成図である。
【図４】画像認識手段による位置ずれ検出方式に関する
説明図である。
説明図である。
１ 液晶パネル ２，３ 透明基板 ４ ＩＣチップ ５ ＡＣＦ ６ ＦＰＣ ７，８ アライメントマーク １０ 液晶パネル搬送手段 １１ 搬送基台 １２ 微調整機構 １３ 吸着テーブル １４ 真空吸着ヘッド １５ 受け台 １７ 透明ガラス板 １８ 透孔 １９ テレビカメラユニット ２０ 圧着ヘッド
フロントページの続き (72)発明者 岩崎 則之 東京都渋谷区東３丁目16番３号 日立電子 エンジニアリング株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 透明基板にフレキシブル基板を、それぞ
れ少なくとも同じ間隔となるようにして各一対設けたア
ライメントマークを基準として相互に位置合わせした上
で貼り合わせる装置において、搬送基台に装着され、透
明基板の下面が載置され、水平方向及び回転方向に位置
調整可能な支持テーブルと、フレキシブル基板の上面が
保持され、水平方向及び回転方向に位置調整可能な保持
手段と、前記透明基板を当接させると共に、フレキシブ
ル基板がこの透明基板上に重ね合わされる受け台と、フ
レキシブル基板と透明基板との接合部を圧着する圧着手
段と、前記受け台の下部に設けられ、前記透明基板及び
フレキシブル基板の各アライメントマークを撮影するテ
レビカメラとからなり、前記受け台に透明ガラス板を装
着すると共に、前記テレビカメラと対向する位置に開口
を設けて、このテレビカメラは開口及び透明ガラス板を
介してアライメントマークを撮影して、画像認識により
これらアライメントマークの基準位置からの位置ずれを
検出可能な構成としたことを特徴とするフレキシブル基
板貼り合わせ装置。 - 【請求項２】 透明基板とフレキシブル基板とにそれぞ
れ設けたアライメントマークをテレビカメラにより撮影
して相互の位置調整を行った上で、受け台上で相互に重
ね合わせて、圧着手段により貼り合わせを行うに当っ
て、前記テレビカメラは前記受け台の下部位置に配置し
て、この受け台の下方から前記アライメントマークをテ
レビカメラの視野が得られるように構成した貼り合わせ
装置を用い、前記透明基板を、そのアライメントマーク
が受け台上のテレビカメラの視野範囲に変位させて、ア
ライメントマークを撮影して、画像認識により基準位置
からのずれを検出して、その位置ずれを補正し、またフ
レキシブル基板のアライメントマークを前記テレビカメ
ラで撮影可能な位置に変位させる際に、前記受け台の高
さ位置を変えると共に、前記圧着手段でフレキシブル基
板を受け台の上に圧接させて、このテレビカメラで撮影
したアライメントマークの位置からフレキシブル基板の
位置ずれを検出して、その位置ずれを補正するようにな
し、さらに前記受け台を所定の高さ位置に保った状態
で、透明基板を受け台に載置し、次いでフレキシブル基
板を透明基板の上に積層させて、前記圧着手段で圧着す
ることを特徴とするフレキシブル基板貼り合わせ方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8352606A JPH10177183A (ja) | 1996-12-16 | 1996-12-16 | フレキシブル基板貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8352606A JPH10177183A (ja) | 1996-12-16 | 1996-12-16 | フレキシブル基板貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10177183A true JPH10177183A (ja) | 1998-06-30 |
Family
ID=18425198
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP8352606A Pending JPH10177183A (ja) | 1996-12-16 | 1996-12-16 | フレキシブル基板貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
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