JP2002287106A - 液晶表示素子の製造方法および製造装置ならびに液晶表示素子 - Google Patents
液晶表示素子の製造方法および製造装置ならびに液晶表示素子Info
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Abstract
向基板との正確な貼り合わせが行える液晶表示素子の製
造方法を提供する。また、高精細かつ高開口率で光漏れ
のない、画像表示品質の高い液晶表示素子を提供する。
また、かかる製造方法により液晶表示素子を製造する製
造装置を提供する。 【解決手段】 作製済みの表示駆動基板27に設けられ
ているEGAマーク40を読み取り、EGAマーク40
の位置を基準として対向基板の遮光膜開口部および貼り
合せマーク部の露光位置分布を決定し、該露光位置分布
にしたがって露光処理を行うことで対向基板を作製す
る。
Description
クス型液晶表示素子、該液晶表示素子の製造方法および
該液晶表示素子の製造装置に関する。
液晶表示素子の一部を示す断面図である。アクティブマ
トリクス型液晶表示素子は、画素電極1、薄膜トランジ
スタ2などから形成される表示駆動基板3と、対向電極
4などで形成される対向基板5との間に、スペーサー6
および液晶7をシール材8で封入して形成される。ま
た、図6(b)は、表示駆動基板3の一部を示した平面
図である。複数のゲート配線11および複数のソース配
線12は、互いに直交するように形成され、さらにその
交差する近傍に薄膜トランジスタ2が形成されている。
また、画素電極1は、隣接するゲート配線11および隣
接するソース配線12に挟まれるように形成されてい
る。
子による画像表示は、スイッチング素子としての薄膜ト
ランジスタ2をオン・オフさせ、画素電極1および対向
電極4の電位を画素単位でコントロールすることで行わ
れる。
領域および画素電極1の外縁部では電位のコントロール
が難しいため、液晶の配向制御を良好に行うことができ
ない。よって、光漏れ、コントラスト低下などが起こり
やすくなるが、開口部10を有する遮光膜9を対向基板
5に設けることで、光漏れ、コントラスト低下などを防
止し、これら画像表示品質の低下を防いでいる。
ね合わせたときの開口部10を有する遮光膜9と、表示
駆動基板3との位置関係を示した平面図である。ここ
で、遮光膜9は、斜線部で示されている。上述したよう
な画像表示品質の低下の防止を良好に行うためには、図
7に示すように、表示駆動基板3にある画素電極1上の
所定の位置に、対向基板5にある遮光膜9の開口部10
が来るように貼り合わせる必要がある。
す平面図であり、図8(b)は、対向基板5の概観を示
す平面図である。表示駆動基板3には表示駆動基板画素
部21が、対向基板5には対向基板画素部23が、それ
ぞれ3×4の12面設けられている。表示駆動基板画素
部21は、主に、画素電極、薄膜トランジスタ、ソース
配線およびゲート配線から成り、対向基板画素部23
は、主に、対向電極および開口部を有する遮光膜から成
る。該画素部21,23の外側に貼り合わせマーク部2
0,22が設けられている。さらに、該貼り合わせマー
ク部20,22の両端に、図示しない貼り合わせマーク
が設けられている。
けられた貼り合わせマーク24の拡大図であり、図8
(d)は、対向基板側に設けられた貼り合わせマーク2
5の拡大図であり、図8(e)は、マーク24,25を
重ね合わせた状態の拡大図である。
としては、表示駆動基板3と対向基板5の両基板に設け
られている貼り合わせマーク部20,22にある貼り合
わせマーク24,25を基準として、画像処理によって
位置合わせし、両基板3,5の位置ズレを調整してから
両基板3,5を貼り合わせる方法が一般的に用いられて
いる。
工程において高温での熱処理が頻繁に行われているた
め、かかる高温処理により表示駆動基板の収縮が発生し
てしまう。
駆動基板38と、対向基板39とを上述した従来の方法
で貼り合わせたときの液晶表示素子37の概観を示す平
面図と、貼り合わせマーク部31,32に設けられてい
る貼り合わせマーク35,36を重ね合わせた状態の拡
大図である。図9(b)は、貼り合わされた両基板3
8,39の、中央部の画素部33と周辺部の画素部34
との重ね合わせズレを示した拡大図である。
で、前記貼り合わせマーク35,36を基準としてアラ
イメントを行って両基板38,39を貼り合わせする場
合、貼り合わせマーク35,36の重なりが、図9
(a)の拡大図に示すようになる。すなわち、対向基板
39の貼り合わせマーク36の中心と、表示駆動基板3
8の貼り合わせマーク35の中心が重ならない状態とな
り、アライメントが正確に行えなくなる。それに伴っ
て、画素部の貼り合わせも図9(b)に示すように基板
の周辺に行くにしたがってズレが生じることになる。
合であっても、すべての表示駆動基板において収縮が常
に一定であれば、対向基板の露光位置分布が表示駆動基
板の露光位置分布と合うように露光装置の調整を行えば
よい。しかし、実際にはすべての表示駆動基板が常に一
定の収縮を生じることはなく、各表示駆動基板内におい
ても常に均一に収縮が発生するわけではない。よって、
貼り合わせズレに対して表示駆動基板の収縮ばらつき以
上の設計マージンを持たせることで液晶表示素子の画像
表示品質の低下防止に対応しているのが現状である。
するために、特開平9−127546号公報には、表示
駆動基板側のアライメント部として、該基板内の一番隅
の画素部を用い、表示駆動基板側のアライメント基準と
してはソース配線やゲート配線のような駆動用配線など
を用い、対向基板側のアライメント基準としては遮光膜
開口部を用いる液晶表示素子の製造方法が開示されてい
る。
基板と対向基板とをそれぞれ作製して完成させた後に両
基板の貼り合わせを行っているので、従来の貼り合わせ
方法で貼り合わせた場合と同様に、上記の貼り合わせズ
レをほぼ完全になくすことは困難である。
駆動基板の収縮ばらつきが生じても、対向基板との正確
な貼り合わせが行える液晶表示素子の製造方法を提供す
ることである。本発明の他の目的は、高精細かつ高開口
率で光漏れのない、画像表示品質の高い液晶表示素子を
提供することである。本発明のさらに他の目的は、かか
る製造方法により液晶表示素子を製造する製造装置を提
供することである。
膜トランジスタ、ソース配線およびゲート配線を有する
複数の表示駆動基板画素部、貼り合わせマークが形成さ
れている貼り合わせマーク部および重ね合わせ露光用ア
ライメントマークを備えて構成される表示駆動基板と、
対向電極、開口部を有する遮光膜を有する複数の対向基
板画素部および貼り合わせマーク部を備えて構成される
対向基板とを貼り合わせて成る液晶表示素子の製造方法
であって、表示駆動基板を作製する工程、対向基板を作
製する工程、および前記表示駆動基板と前記対向基板と
を貼り合わせる工程を含み、前記対向基板を作製する工
程は、前記表示駆動基板を作製する工程で作製された表
示駆動基板に設けられている重ね合わせ露光用アライメ
ントマークを読み取り、該マークの位置を基準として対
向基板の遮光膜開口部および貼り合せマーク部の露光位
置分布を決定し、該露光位置分布にしたがって露光処理
を行う工程を含むことを特徴とする液晶表示素子の製造
方法である。
の重ね合わせ露光用アライメントマークの位置を基準と
して対向基板の露光位置分布を決定し、該露光位置分布
にしたがって露光処理を行うので、収縮などによる表示
駆動基板の寸法変化にばらつきがあっても、それに応じ
て表示駆動基板の貼り合わせマーク部および画素部の配
置とほとんどずれのない配置を有する対向基板を作製で
きる。
イメントマークが、表示駆動基板内のすべての表示駆動
基板画素部にそれぞれ少なくとも1ヵ所ずつ設けられて
いるとともに、貼り合わせマーク部に少なくとも1ヵ所
設けられていることを特徴とする。
ライメントマークが、表示駆動基板内のすべての表示駆
動基板画素部にそれぞれ少なくとも1ヵ所ずつ設けられ
ているとともに、貼り合わせマーク部に少なくとも1ヵ
所設けられているので、それぞれの表示駆動基板画素部
および貼り合わせマーク部の配置を、それぞれに設けら
れたマークにより読み取ることができる。よって、表示
駆動基板画素部および貼り合わせマーク部の配置を正確
に読み取ることができる。
布を決定するために読み取る、前記重ね合わせ露光用ア
ライメントマークの数を、作製過程における前記表示駆
動基板の収縮の度合によって決定することを特徴とす
る。
分布を決定するために読み取る、前記重ね合わせ露光用
アライメントマークの数を、作製過程における前記表示
駆動基板の収縮の度合によって決定するので、該マーク
の読み取り数を、表示駆動基板画素部および貼り合わせ
マーク部の位置を正確に読み取るのに最適な数に決定で
きる。
イメントマークが、ステッパ露光の際に用いられるEG
Aマークであることを特徴とする。
ライメントマークが、ステッパ露光の際に用いられるE
GAマークであるので、ステッパ露光処理により対向基
板を作製できる。
されたことを特徴とする液晶表示素子である。
造され、表示駆動基板と対向基板との貼り合わせ精度が
高いので、高精細かつ高開口率で光漏れがない。
ントマークの読み取り手段を有し、基板に露光処理を行
う露光手段と、基板の搬入または搬出を行う搬送手段
と、前記露光手段および前記搬送手段を制御する手段と
を有し、前記制御手段は、前記搬送手段を駆動して表示
駆動基板を露光手段に搬入し、前記読み取り手段を駆動
して前記表示駆動基板内にある所定の重ね合わせ露光用
アライメントマークを読み取って、該マークの位置デー
タを露光手段に取り込み、対向基板の露光位置分布の補
正を行い、前記搬送手段を駆動して前記表示駆動基板を
露光手段から搬出して、対向基板作製用基板を露光手段
に搬入し、補正した露光位置分布にしたがって、前記露
光手段を駆動して前記対向基板作製用基板に露光処理を
行うことを特徴とする液晶表示素子の製造装置である。
る所定の重ね合わせ露光用アライメントマークを読み取
って該マークの位置データを露光手段に取り込み、前記
位置データを使用して対向基板の露光分布位置の補正を
行った後、前記対向基板作製用基板に露光処理を行うの
で、収縮などによる表示駆動基板の寸法変化にばらつき
があっても、それに応じて表示駆動基板の貼り合わせマ
ーク部および画素部の配置とほとんどずれのない配置を
有する対向基板を作製できる。よって、表示駆動基板と
対向基板との貼り合わせ精度が高い液晶表示素子を提供
できる。
を示す平面図であり、該基板27に設けられている重ね
合わせ露光用アライメントマークであるEGA(Enhance
d GlobalAlignment)マーク40の配置の一例を示して
いる。また、図2は、該EGAマーク40の一例を示し
ている。ここで、EGAマークは、ステッパ露光の際に
用いられるマークであり、かかるマークを表示駆動基板
内に設けることにより、ステッパ露光装置を使用して、
後述するように対向基板を作製することができる。
動基板画素部21が、3×4の12面設けられている。
表示駆動基板画素部21は、主に、画素電極、薄膜トラ
ンジスタ、ソース配線およびゲート配線から成る。ま
た、該画素部21の外側に貼り合わせマーク部20が設
けられている。さらに、該貼り合わせマーク部20の両
端に、図示しない貼り合わせマークが設けられている。
板画素部21とすべての貼り合わせマーク部20に設け
られている。表示駆動基板画素部21においては、それ
ぞれの表示駆動基板画素部21を平行移動させ、他の表
示駆動基板画素部21に重ね合わせたとき、それぞれの
表示駆動基板画素部21にあるEGAマーク40が、他
の表示駆動基板画素部21にあるEGAマーク40と重
なり合うような位置に設けられている。また、各貼り合
わせマーク部20においては、その両端に1ヶ所ずつ、
計2ヶ所に設けられている。
マーク42の集合体であり、L字形状を有している。具
体的に述べると、L字状に並べられた小マーク42の集
合体43があり、該集合体43の一辺と少し間隔を空け
て平行に、小マークの集合体44が2列並べられてお
り、該集合体43の他の一辺と少し間隔を空けて平行
に、小マークの集合体45が2列並べられている。
表示駆動基板27内に設けらている前記EGAマーク4
0の位置を読み取り、その位置データを基に、対向基板
の露光位置分布を決定し、該露光位置分布にしたがって
露光処理を行って対向基板を作製する。かかる方法によ
り、表示駆動基板27との重ね合わせズレがほとんどな
い対向基板を作製することができる。
7内での配置および数は、変更してもよい。さらに、該
EGAマーク40は、L字形状をしているが、これは、
一ヶ所でX方向とY方向とを同時に測定し、EGAマー
ク40の位置を決定して、表示駆動基板27の露光位置
分布を読み取るためである。なお、同様の機能を示すも
のであればかかるL字形状をしていなくてもよい。
基板画素部のどこにEGAマーク40を形成するかで異
なる。また、EGAマーク40は、該EGAマーク40
が設けられる表示駆動基板画素部が形成されるのと同時
に形成される。具体的には、表示駆動基板画素部を形成
する際のフォトマスクに、EGAマーク40のパターン
を反映させておき、フォトリソグラフィ工程により形成
される。
方法の工程を、本発明の実施の他の形態である液晶表示
素子の製造装置50により示した概略図である。液晶表
示素子の製造装置50は、少なくともステッパ露光装置
51、表示駆動基板ローダー52および対向基板作製用
基板ローダー53を備えている。
駆動基板の収縮が全体に均一である場合の液晶表示素子
の製造方法について具体的に以下に説明する。
ー52に、対向基板作製用基板がローダー53にそれぞ
れセットされる(図3(a)参照)。
27がステッパ露光装置51に搬入され(図3(b)参
照)、ステッパ露光装置51により該表示駆動基板27
の四隅の表示駆動基板画素部41および貼り合わせマー
ク部20にあるEGAマーク40が読み取られる(図3
(c)参照)。この場合、表示駆動基板27の収縮が均
一であるので、読み取るEGAマーク40は、表示駆動
基板画素部41に存在する4つのEGAマーク40と貼
り合わせマーク部20にあるEGAマーク40だけでよ
い。EGAマーク40の読み取りを行わない表示駆動基
板画素部21については、後述するように補正を行うこ
とで対向基板の露光位置分布を決定する。
下のように行われる。レーザー光により表示駆動基板2
7上を走査して、該レーザー光をEGAマーク40にあ
てる。次に、回折格子の原理により発生した特定角度の
回折光を検出することで、EGAマーク40を読み取
る。かかるEGAマーク40の位置データを取得するこ
とで、表示駆動基板27上にある表示駆動基板画素部4
1および貼り合わせマーク部20の位置を判定する。
置51に読み込まれる(図3(c)参照)。このとき、
EGAマーク40の読み取りを行っていない表示駆動基
板画素部21の位置については、各々の間隔が均等とな
るように自動的に補正される。
表示駆動基板作製時に収縮が全くない場合における表示
駆動基板画素部上のEGAマークの位置(設計値)をス
テッパ露光装置51に予め登録しておく。次に、上述し
た方法でEGAマーク40を実際に読み取り、予め登録
されているEGAマークの位置(設計値)からどれだけ
ずれているかを測定する。かかる測定により、表示駆動
基板27が収縮した量を検出し、対向基板の露光位置分
布を決定する。
4つ並んでおり、その両端の表示駆動基板画素部のEG
Aマークを読み取った場合を想定する。一方の表示駆動
基板画素部(一番右側)のEGAマークの位置が設計値
からX方向に−0.2μmずれており、他方の表示駆動
基板画素部(一番左側)のEGAマークの位置が設計値
からX方向に+0.1μmずれていたとする。このと
き、設計値からX方向に−0.2μmずれていた表示駆
動基板画素部のすぐ左側にある表示駆動基板画素部は、
設計値からX方向に−0.1μmのズレ有りと補正さ
れ、そのすぐ左側にある表示駆動基板画素部はズレ無し
と補正され、対向基板の露光位置分布が決定される。
27がステッパ露光装置51から搬出され、ローダー5
3により対向基板作製用基板がステッパ露光装置51に
搬入される(図3(d)参照)。
向基板側の対向基板画素部および貼り合わせマーク部の
露光位置分布が、表示駆動基板27の露光位置分布と同
一となるように、対向基板作製用基板に露光処理が行わ
れる(図3(e)参照)。
板は次の処理装置へと移される。そこで、対向基板と表
示駆動基板27の対応がとれるように、タイトラ処理に
より両基板に同じ通し番号が付けられ、現像処理、エッ
チング処理などを経て対向基板が作製される。さらに、
作製された対向基板とそれに対応する表示駆動基板27
が貼り合わされ、その間にスペーサーおよび液晶をシー
ル材で封入して液晶表示素子が形成される。
60の概観の平面図を示している。図9と比較して、表
示駆動基板61の貼り合わせマーク部63と対向基板6
2の貼り合わせマーク部64、および表示駆動基板画素
部65と対向基板画素部66の重なりがほぼ一致してい
ることがわかる。また、両貼り合わせマーク部63,6
4の両端に設けられている、貼り合わせマーク68,6
9を重ね合わせた状態を示す拡大図からも、それぞれの
貼り合わせマーク68,69の中心がほぼ重なっている
ことがわかる。
は、それぞれに対応する表示駆動基板の露光位置分布と
同一の露光位置分布を有する。よって、両基板を貼り合
わせ工程で貼り合わせると、両基板の画素部および貼り
合わせマーク部がほとんど一致し、貼り合わせズレがほ
とんどない液晶表示素子を作製できる。
均一でない場合について説明する。図5(a)は、不均
一な収縮によって歪んでいるような露光位置分布を有す
る表示駆動基板70の概観の平面図である。図5(b)
は、上述したように、表示駆動基板の収縮が全体に均一
である場合の液晶表示素子の製造方法によって対向基板
72を作製し、該対向基板72と表示駆動基板70との
貼り合わせを行ったときの液晶表示素子71の平面図で
ある。図5(b)より、表示駆動基板画素部75と対向
基板画素部76との重ね合わせは、ほとんど一致してお
らず、両基板70,72に設けられた貼り合わせマーク
部77,78の重ね合わせも一致していないことがわか
る。
ではなく、該表示駆動基板70の露光位置分布は規則的
でないため、上述したように表示駆動基板70内の四隅
の表示駆動基板画素部74および貼り合わせマーク部7
3のEGAマークのみを読み取り、補正を行うことで対
向基板の露光位置分布を決定したのでは、図5(b)に
示すように完全に貼り合わせズレをなくすことはできな
い。
全体に均一でない場合には、表示駆動基板内に存在する
すべてのEGAマークを読み取って、液晶表示素子を作
製する。そうすることにより、両基板の貼り合わせズレ
がほとんどない液晶表示素子を作製できる。
基板の収縮が該基板全体に均一でない場合の液晶表示素
子の製造方法について具体的に以下に説明する。
ー52に、対向基板作製用基板がローダー53にそれぞ
れセットされる(図3(a)参照)。
27がステッパ露光装置51に搬入され(図3(b)参
照)、ステッパ露光装置51により該表示駆動基板27
内にあるすべてのEGAマーク40が読み取られる(図
3(c)参照)。EGAマーク40の読み取りは上述し
た方法と同様の方法で行われる。
ステッパ露光装置51に読み込まれる(図3(c)参
照)。
27がステッパ露光装置51から搬出され、ローダー5
3により対向基板作製用基板がステッパ露光装置51に
搬入される(図3(d)参照)。
向基板側の対向基板画素部および貼り合わせマーク部の
露光位置分布が、上記のように読み込んだ表示駆動基板
27の露光位置分布と同一となるように、対向基板作製
用基板に露光処理が行われる(図3(e)参照)。
板は次の処理装置へと移される。そこで、対向基板と表
示駆動基板27の対応がとれるように、タイトラ処理に
より両基板に同じ通し番号が付けられ、現像処理、エッ
チング処理などを経て対向基板が作製される。さらに、
作製された対向基板とそれに対応する表示駆動基板27
が貼り合わされ、その間にスペーサーおよび液晶をシー
ル材で封入して液晶表示素子が形成される。
すれば、表示駆動基板の収縮が全体に均一でない場合で
も、両基板の貼り合わせズレがほとんどない液晶表示素
子を製造することができる。
精度は、EGAマーク40の読み取り個数が多いほど高
くなり、すべてのEGAマーク40を読み取る場合が一
番精度がよいが、対向基板作製時の処理時間と工程能力
に応じて、該EGAマーク40の読み取り個数を減らし
てもよい。
による表示駆動基板の寸法変化にばらつきがあっても、
それに応じて表示駆動基板の貼り合わせマーク部および
画素部の配置とほとんどずれのない配置を有する対向基
板を作製できる。よって、表示駆動基板と対向基板とを
非常に高い精度で貼り合わせられるので、高精細かつ高
開口率で光漏れのない、画像表示品質の高い液晶表示素
子を作製できる。
用アライメントマークが、表示駆動基板内のすべての表
示駆動基板画素部にそれぞれ少なくとも1ヵ所ずつに設
けられているとともに、貼り合わせマーク部に少なくと
も1ヵ所設けられているので、それぞれの表示駆動基板
画素部および貼り合わせマーク部の配置を、それぞれに
設けられたマークにより読み取ることができる。よっ
て、表示駆動基板画素部および貼り合わせマーク部の配
置を正確に読み取ることができ、貼り合わせマーク部お
よび画素部の配置が表示駆動基板の配置とほとんどずれ
のない対向基板を作製できる。したがって、表示駆動基
板と対向基板とを非常に高い精度で貼り合わせられるの
で、高精細かつ高開口率で光漏れのない、画像表示品質
の高い液晶表示素子を作製できる。
位置分布を決定するために読み取る、前記重ね合わせ露
光用アライメントマークの数を、作製過程における前記
表示駆動基板の収縮の度合によって決定するので、読み
取る該マークの数を、表示駆動基板画素部および貼り合
わせマーク部の位置を正確に読み取るのに最適な数に決
定できる。よって、表示駆動基板の収縮が均一でない場
合でも、表示駆動基板の表示駆動基板画素部および貼り
合わせマーク部の位置を正確に読み取ることができ、貼
り合わせマーク部および画素部の配置が表示駆動基板の
配置とほとんどずれのない対向基板を作製できる。した
がって、表示駆動基板と対向基板とを非常に高い精度で
貼り合わせられるので、高精細かつ高開口率で光漏れの
ない画像表示品質の高い液晶表示素子を作製できる。
用アライメントマークが、ステッパ露光の際に用いられ
るEGAマークであるので、ステッパ露光処理により対
向基板を作製できる。よって、表示駆動基板ごとに対向
基板の露光位置分布を調整する必要がなくなり、貼り合
わせマーク部および画素部の配置が表示駆動基板とほと
んどずれのない対向基板を作製できる。したがって、表
示駆動基板と対向基板とを非常に高い精度で貼り合わせ
られるので、高精細かつ高開口率で光漏れのない、画像
表示品質の高い液晶表示素子を作製できる。
て製造され、表示駆動基板と対向基板との貼り合わせ精
度が高く、高精細かつ高開口率で光漏れのない液晶表示
素子であるので、表示品質の高い画像を提供できる。
にある所定の重ね合わせ露光用アライメントマークを読
み取って該マークの位置データをステッパ露光装置に取
り込み、前記位置データを使用して対向基板の露光分布
位置の補正を行った後、前記対向基板作製用基板に露光
処理を行うので、収縮などによる表示駆動基板の寸法変
化にばらつきがあっても、それに応じて表示駆動基板の
貼り合わせマーク部および画素部の配置とほとんどずれ
のない配置を有する対向基板を作製できる。よって、表
示駆動基板と対向基板との貼り合わせ精度が高い液晶表
示素子を作製できる。したがって、高精細かつ高開口率
で光漏れのない、画像表示品質の高い液晶表示素子を提
供できる。
露光用アライメントマークであるEGAマーク40の配
置の一例を示している図である。
造方法の工程を、本発明の実施の他の形態である液晶表
示素子の製造装置50により示した概略図である。
60の平面図である。
るような露光位置分布を有する表示駆動基板70の平面
図である。図5(b)は、表示駆動基板70の四隅の表
示駆動基板画素部74および貼り合わせマーク部73に
あるEGAマークのみを読み取って対向基板72を作製
し、該対向基板72と表示駆動基板70とを貼り合わせ
て作製した液晶表示素子71の平面図である。
示素子の一部を示す断面図である。図6(b)は、表示
駆動基板3の一部を示した平面図である。
きの開口部10を有する遮光膜9と、表示駆動基板3と
の位置関係を示した平面図である。
面図である。図8(b)は、対向基板5の概観を示す平
面図である。図8(c)は表示駆動基板側の貼り合わせ
マーク24の拡大図である。図8(d)は、対向基板側
の貼り合わせマーク25の拡大図である。図8(e)
は、マーク24,25を重ね合わせた状態の拡大図であ
る。
8と対向基板39とを従来の方法で貼り合わせたときの
液晶表示素子37の概観を示す平面図である。図9
(b)は、貼り合わされた両基板の中央部と周辺部の両
画素部の重ね合わせズレを示した拡大図である。
8 貼り合わせマーク部 21,41,65,74,75 表示駆動基板画素部 23,66,76 対向基板画素部 24,35,68 表示駆動基板側貼り合わせマーク 25,36,69 対向基板側貼り合わせマーク 26,30,67 貼り合わせマークの重ね合わせ 33,34 両画素部の重ね合わせ 40 EGAマーク 42 小マーク 43,44,45 小マーク集合体 50 液晶表示素子の製造装置 51 ステッパ露光装置 52 表示駆動基板ローダー 53 対向基板作製用基板ローダー 37,60,71 液晶表示素子
Claims (6)
- 【請求項1】 画素電極、薄膜トランジスタ、ソース配
線およびゲート配線を有する複数の表示駆動基板画素
部、貼り合わせマークが形成されている貼り合わせマー
ク部および重ね合わせ露光用アライメントマークを備え
て構成される表示駆動基板と、対向電極、開口部を有す
る遮光膜を有する複数の対向基板画素部および貼り合わ
せマーク部を備えて構成される対向基板とを貼り合わせ
て成る液晶表示素子の製造方法であって、 表示駆動基板を作製する工程、対向基板を作製する工
程、および前記表示駆動基板と前記対向基板とを貼り合
わせる工程を含み、 前記対向基板を作製する工程は、前記表示駆動基板を作
製する工程で作製された表示駆動基板に設けられている
重ね合わせ露光用アライメントマークを読み取り、該マ
ークの位置を基準として対向基板の遮光膜開口部および
貼り合せマーク部の露光位置分布を決定し、該露光位置
分布にしたがって露光処理を行う工程を含むことを特徴
とする液晶表示素子の製造方法。 - 【請求項2】 前記重ね合わせ露光用アライメントマー
クが、表示駆動基板内のすべての表示駆動基板画素部に
それぞれ少なくとも1ヵ所ずつ設けられているととも
に、貼り合わせマーク部に少なくとも1ヵ所設けられて
いることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子の製
造方法。 - 【請求項3】 前記対向基板の露光位置分布を決定する
ために読み取る、前記重ね合わせ露光用アライメントマ
ークの数を、作製過程における前記表示駆動基板の収縮
の度合によって決定することを特徴とする請求項1また
は2記載の液晶表示素子の製造方法。 - 【請求項4】 前記重ね合わせ露光用アライメントマー
クが、ステッパ露光の際に用いられるEGAマークであ
ることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の液
晶表示素子の製造方法。 - 【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載の製造方
法によって製造されたことを特徴とする液晶表示素子。 - 【請求項6】 重ね合わせ露光用アライメントマークの
読み取り手段を有し、基板に露光処理を行う露光手段
と、 基板の搬入または搬出を行う搬送手段と、 前記露光手段および前記搬送手段を制御する手段とを有
し、 前記制御手段は、前記搬送手段を駆動して表示駆動基板
を露光手段に搬入し、 前記読み取り手段を駆動して前記表示駆動基板内にある
所定の重ね合わせ露光用アライメントマークを読み取っ
て、該マークの位置データを露光手段に取り込み、対向
基板の露光位置分布の補正を行い、 前記搬送手段を駆動して前記表示駆動基板を露光手段か
ら搬出して、対向基板作製用基板を露光手段に搬入し、 補正した露光位置分布にしたがって、前記露光手段を駆
動して前記対向基板作製用基板に露光処理を行うことを
特徴とする液晶表示素子の製造装置。
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