CN112172342B - 喷墨打印系统 - Google Patents
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Abstract
喷墨打印系统可具备打印部分及测试部分。所述喷墨打印系统可包括:沿着第一方向配置在打印部分内的第一对齐排列标识;沿着与第一方向垂直的第二方向配置在测试部分内的第二对齐排列标识;向基板上提供药液的喷墨头;配置在靠近喷墨头的位置,确认第一对齐排列标识及第二对齐排列标识的第一识别部件;在打印部分及测试部分之间移动喷墨头的门形架;配置在靠近门形架的位置,在测试部分内确认药液的吐出地点的第二识别部件;以及根据在测试部分内第二识别部件确认药液的吐出地点的结果补正在打印部分内从喷墨头向基板上吐出的药液的吐出地点的控制部件。测试部分可沿着第一方向配置成与打印部分对齐。
Description
本申请享有2019年7月3日向韩国特许厅申请的韩国专利申请第10-2019-0079761号的优先权。
技术领域
本发明的例示性实施例涉及喷墨打印系统。更具体来讲,本发明的例示性实施例涉及能够向基板的所需像素区域上准确地吐出药液的喷墨打印系统。
背景技术
液晶显示装置或有机发光显示装置之类的近来的显示装置要求高分辨率。为了得到这种具有高分辨率的显示装置,用于制造所述显示装置的基板的每单位面积应具有更多像素区域。该情况下药液未准确地吐出到所述基板的稠密的像素区域上的情况下可能难以得到具有高分辨率的显示装置。因此在近来用于制造显示装置的工程中,对提供到所述基板的稠密的像素区域上的药液的吐出地点的控制变得更加重要。
发明内容
技术问题
本发明的目的是提供一种为了制造具有高分辨率的显示装置而能够向基板的稠密的像素区域准确地提供药液的喷墨打印系统。
技术方案
根据本发明的一个方面,提供一种包括打印部分及测试部分的喷墨打印系统。所述喷墨打印系统可包括沿着第一方向配置在所述打印部分内的第一对齐排列标识、沿着实质上与所述第一方向垂直的第二方向配置在所述测试部分内的第二对齐排列标识、向基板上提供药液的喷墨头、配置在靠近所述喷墨头的位置,确认所述第一对齐排列标识及所述第二对齐排列标识的第一识别部件、在所述打印部分及所述测试部分之间移动所述喷墨头的门形架、配置在靠近所述门形架的位置,在所述测试部分内确认所述药液的吐出地点的第二识别部件;以及根据在所述测试部分内所述第二识别部件确认所述药液的吐出地点的结果补正在所述打印部分内从所述喷墨头向所述基板上吐出的所述药液的吐出地点的控制部件。该情况下,所述测试部分可沿着所述第一方向配置成实质上与所述打印部分对齐。
在例示性实施例中,所述测试部分的宽度可实质上与所述打印部分的宽度相同,所述测试部分的长度可实质上小于所述打印部分的长度。
在例示性实施例中,所述门形架可向所述第一方向移动,所述喷墨头可沿着所述门形架向所述第二方向移动。
在例示性实施例中,所述第一识别部件可与所述喷墨头一起向所述第一方向及所述第二方向移动。
在部分例示性实施例中,所述喷墨打印系统可包括两个第一识别部件及两个第一对齐排列标识,所述两个第一识别部件可在所述打印部分内随着所述喷墨头的移动确认所述两个第一对齐排列标识。
在部分例示性实施例中,所述喷墨打印系统可包括两个第二对齐排列标识,所述两个第一识别部件可在所述测试部分内随着所述喷墨头的移动确认所述两个第二对齐排列标识。
在例示性实施例中,所述第二识别部件可沿着所述门形架向所述第二方向移动。
在部分例示性实施例中,所述喷墨打印系统可包括两个第二识别部件,所述两个第二识别部件可在所述测试部分内随着所述门形架的移动确认所述药液的吐出地点。
在部分例示性实施例中,所述喷墨打印系统还可以包括浮起分别配置在所述打印部分及所述测试部分内的所述基板的浮起工作台及移送所述基板的移送部件。
在另一例示性实施例中,所述喷墨打印系统还可以包括在所述测试部分内沿着所述第一方向移动的辅助门形架,所述第二识别部件可配置在靠近所述辅助门形架的位置。
在又一例示性实施例中,所述喷墨打印系统还可以包括配置在靠近所述打印部分及所述测试部分的位置的维护部分。
根据本发明的另一方面,提供一种包括打印部分及测试部分的喷墨打印系统。所述喷墨打印系统包括沿着第一方向配置在所述打印部分内的第一对齐排列标识、沿着实质上与所述第一方向垂直的第二方向配置在所述测试部分内的第二对齐排列标识、向基板上提供药液的喷墨头、配置在靠近所述喷墨头的位置,确认所述第一对齐排列标识及所述第二对齐排列标识的第一识别部件、在所述打印部分及所述测试部分之间移动所述喷墨头的门形架、配置在靠近所述门形架的位置,在所述测试部分内确认所述药液的吐出地点的第二识别部件、以及控制用于确认所述第一对齐排列标识及所述第二对齐排列标识的所述第一识别部件的位置的设置、基于对所述第一对齐排列标识及所述第二对齐排列标识的确认的所述喷墨头的位置的设置、以及用于确认所述药液的吐出地点的所述第二识别部件的位置的设置的控制部件。该情况下,所述测试部分可沿着所述第一方向配置成实质上与所述打印部分对齐。
在部分例示性实施例中,所述喷墨打印系统可包括两个第一识别部件及两个第二对齐排列标识,所述控制部件可以使所述两个第一识别部件确认所述两个第二对齐排列标识中的一个,可以使所述两个第一识别部件中的一个确认所述两个第二对齐排列标识,因此所述控制部件能够控制对于所述第一方向及所述第二方向的所述喷墨头的位置的设置。
在例示性实施例中,所述控制部件可根据在所述测试部分内所述第二识别部件确认所述药液的吐出地点的结果补正在所述打印部分内从所述喷墨头向所述基板上吐出的所述药液的吐出地点。
在部分例示性实施例中,所述喷墨打印系统可包括设在沿着所述第一方向在所述打印部分内被移送的所述第一基板上的两个第一对齐排列标识及设在沿着所述第一方向在所述测试部分内被移送的第二基板上的两个第二对齐排列标识。
在另一例示性实施例中,所述喷墨打印系统还可以包括用于防止提供于所述第二基板上的所述药液扩散的部件。
在部分例示性实施例中,所述喷墨打印系统还可以包括沿着所述第二方向配置在所述测试部分内的辅助门形架,所述第二识别部件可配置在靠近所述辅助门形架的位置。
在另一例示性实施例中,所述喷墨打印系统还可以包括配置在靠近所述打印部分及所述测试部分的位置的维护部分。
根据本发明的又一方面,提供一种包括打印部分及测试部分的喷墨打印系统。所述喷墨打印系统可包括沿着第一方向配置在所述打印部分内的两个第一对齐排列标识、沿着与所述第一方向垂直的第二方向配置在所述测试部分内的两个第二对齐排列标识、向基板上提供药液的喷墨头、配置在靠近所述喷墨头的位置,确认所述第一对齐排列标识及所述第二对齐排列标识的两个第一识别部件、在所述打印部分及所述测试部分之间移送所述喷墨头的门形架、配置在靠近所述门形架的位置,在所述测试部分内确认所述药液的吐出地点的第二识别部件、以及控制部件。所述控制部件可控制用于确认所述第一对齐排列标识及所述第二对齐排列标识的所述第一识别部件的位置的设置、基于对所述第一对齐排列标识及所述第二对齐排列标识的确认的所述喷墨头的位置的设置、以及用于确认所述药液的吐出地点的所述第二识别部件的位置的设置,可根据在所述测试部分内所述第二识别部件确认所述吐出地点的结果补正在所述打印部分内从所述喷墨头向所述基板上吐出的所述药液的吐出地点。该情况下,所述测试部分可沿着所述第一方向配置成实质上与所述打印部分对齐,所述门形架可向所述第一方向移动,所述喷墨头可沿着所述门形架向所述第二方向移动。
在部分例示性实施例中,所述喷墨打印系统还可以包括沿着所述第二方向配置在所述测试部分内的辅助门形架、以及其配置在靠近所述打印部分及所述测试部分的位置的维护部分。其中,所述第二识别部件可配置在靠近所述辅助门形架的位置。
技术效果
根据本发明的例示性实施例,可根据在所述测试部分内确认到的所述药液的吐出地点补正从所述喷墨头提供的所述药液的吐出地点后,在所述打印部分内向所述基板上准确地吐出所述药液。所述喷墨打印系统能够向所述基板的稠密的像素区域准确地吐出所述药液,因此能够可靠地实现这种包括稠密的像素区域的具有高分辨率的显示装置。并且,由于所述打印部分与所述测试部分能够沿着所述第一方向实质上对齐配置,因此能够有效地最小化具有所述测试部分及所述打印部分的所述喷墨打印系统的整体空间。尤其,所述门形架可具有对应于所述打印部分的宽度及/或所述测试部分的宽度的长度,因此能够减小所述门形架的大小,能够有效防止所述门形架向下方弯曲。
但本发明要解决的技术问题及效果不限于上述内容,可在不超出本发明的思想及领域的范围内进行多种扩张。
附图说明
图1例示本发明的例示性实施例的喷墨打印系统的简要构成;
图2例示本发明的另一例示性实施例的喷墨打印系统的简要构成;
图3例示本发明的又一例示性实施例的喷墨打印系统的简要构成;
图4例示本发明的又一例示性实施例的喷墨打印系统的简要构成。
具体实施方式
以下说明本发明的例示性实施例,但本发明可实施多种变更,可以具有多种形态,本说明书对实施例进行详细说明。但这并非旨在将本发明限定于特定的公开形态,应该理解为包括本发明的思想及技术范围内的所有变更、等同物及替代物。在说明各附图时对类似的构成要素使用了类似的附图标记。第一、第二等术语可用于说明多种构成要素,但所述构成要素不得受限于所述术语。所述术语只是用于区分一个构成要素与其他构成要素。本申请中使用的术语只是用于说明特定实施例,目的并非限定本发明。单数的表现形式在文中无其他明确说明的情况下还包括复数的表现形式。应该将本申请中所述的“包括”或“构成”等术语理解为存在说明书上记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合,而不应理解为预先排除一个或多个其他特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合的存在或附加可能性。
若无另行定义,包括技术或科学术语在内的此处使用的所有术语均表示与本发明所属技术领域的普通技术人员通常理解相同的意思。通常使用的词典中定义过的术语应解释为与相关技术的文章脉络的意思相一致的意思,本申请中没有明确定义的情况下不得解释为理想或过度形式性的意思。
以下参见附图详细说明本发明的例示性实施例。
图1例示本发明的例示性实施例的喷墨打印系统的简要构成。
参见图1,例示性实施例的喷墨打印系统100可包括打印部分11、测试部分13、门形架15、喷墨头17、第一识别部件19、第二识别部件23、控制部件29等。
所述打印部分11可对于基板之类的被处理对象向第一方向配置。在所述打印部分11内可执行使用所述喷墨头17向所述基板上供应药液的打印工程(以下,在打印部分11内所述基板也可被称作第一基板)。
所述喷墨打印系统100可包括位于所述打印部分11内的第一对齐排列标识21。在例示性实施例中,所述喷墨打印系统100可包括沿着所述第一方向提供于所述打印部分11的一侧的两个第一对齐排列标识21。在另一例示性实施例中,所述喷墨打印系统100可包括向所述第一方向排列于所述打印部分11的一侧的多个对齐排列标识21。所述多个第一对齐排列标识21可以向所述第一方向以实质上相同的距离相隔。并且,所述多个第一对齐排列标识21可以沿着所述第一方向排列成实质上为线构成。
所述喷墨头17可包括能够向所述基板上吐出所述药液的多个喷嘴。所述喷墨头17的多个喷嘴可隔着指定间隔配置成实质上为一列。并且,所述喷墨头17可包括多个压电元件,其中所述压电元件的数量可实质上对应于所述喷嘴的数量。可通过这种压电元件的动作从所述喷墨头17的喷嘴向所述基板上供应所述药液。例如,可通过独立控制施加于所述压电元件的电压独立地调节从所述喷嘴向所述基板的像素区域上供应的所述药液的量。
执行向所述基板上供应所述药液的所述打印工程期间,所述基板可沿着所述第一方向被移送到所述打印部分11内。被移送到所述打印部分11内的所述基板可浮起在能够支撑所述基板的工作台(未图示)上部。例如,所述喷墨打印系统100可包括在所述打印部分11内用于将所述基板浮起在其上部的浮起工作台。并且,所述喷墨打印系统100可包括配置在所述打印部分11内的移送部件(未图示)。所述移送部件可把持所述基板的一侧部或两侧部,可在所述浮起工作台上部移送所述基板。该情况下,所述移送部件可包括导轨及夹钳。所述导轨可配置在所述浮起工作台的一侧部或两侧部上部,所述夹钳可把持着所述基板的一侧部或两侧部沿着所述导轨移动。
如图1例示,所述测试部分13可沿着所述基板被移送的所述第一方向邻接于所述打印部分11配置。例如,所述测试部分13可与所述打印部分11实质上对齐配置。在所述测试部分13内大致可进行对所述喷墨头的测试。并且,可在所述测试部分13内维护及管理所述喷墨头17。
所述喷墨打印系统100可包括位于所述测试部分13内的第二对齐排列标识25。在例示性实施例中,所述喷墨打印系统100可包括沿着第二方向配置于所述测试部分13的一侧的两个第二对齐排列标识25。其中,所述第二方向可实质上垂直于所述第一方向。在另一例示性实施例中,所述喷墨打印系统100可包括向所述第二方向排列在所述测试部分13的一侧的多个第二对齐排列标识25。所述多个第二对齐排列标识25可以以实质上相同的距离相隔,可沿着所述第二方向配置成实质上为线形态。因此所述打印部分11的第一对齐排列标识21可相对于所述测试部分13的第二对齐排列标识25实质上垂直。
在例示性的实施例中,可在所述测试部分13内确认向所述基板上吐出的所述药液的吐出地点。为此,所述喷墨打印系统100可包括配置在所述测试部分13内的能够浮起所述基板的浮起工作台(未图示)及能够在所述浮起工作台上部移送所述基板的移送部件(未图示)(以下,在所述测试部分13内所述基板也可被称作第二基板)。
所述门形架15可支撑所述喷墨头17,可在所述打印部分11及所述测试部分13之间移动所述喷墨头17。所述门形架15可沿着所述第二方向穿越所述打印部分11及所述测试部分13。该情况下,所述打印部分11可具有实质上与所述测试部分13相同的宽度。例如,所述门形架15可沿着所述第一方向在所述打印部分11及所述测试部分13之间移动。由于所述门形架15能够向所述第二方向穿越所述打印部分11及所述测试部分13,因此所述喷墨头17可随着所述门形架15在所述打印部分11与所述测试部分13之间线性移动。并且,所述门形架15可沿着所述第一方向移动,而所述喷墨头17可沿着所述门形架15向所述第二方向移动,可与所述门形架15一起向所述第二方向移动。
参见图1,在所述打印部分11内所述第一识别部件19可靠近所述喷墨头17。例如,所述第一识别部件19可固定于所述喷墨头17的侧部。所述第一识别部件19可确认所述第一对齐排列标识21。所述第一识别部件19可包括能够识别所述第一对齐排列标识21的摄像头或CCD装置之类的拍摄装置。
所述第一识别部件19可沿着所述第一方向相对于所述第一对齐排列标识21对齐排列。在部分例示性实施例中,所述喷墨打印系统100可包括附着在所述喷墨头17的一侧的所述两个第一识别部件19。其中,所述两个第一识别部件19在所述喷墨头17向所述第一方向移动的情况下可识别两个第一对齐排列标识21。在另一例示性实施例中,所述喷墨打印系统100可在所述打印部分11内包括所述多个第一识别部件19。所述多个第一识别部件19可随着所述喷墨头17向所述第一方向移动识别所述多个第一对齐排列标识21。
在例示性的实施例中,所述第一识别部件19可随着所述喷墨头17和所述门形架15一起向所述第一方向移动而沿着所述第一方向移动。并且,所述第一识别部件19可随着所述喷墨头17沿着所述门形架15向所述第二方向移动而沿着所述第二方向移动。因此,所述第一识别部件19能够在所述打印部分11内确认第一对齐排列标识21,还能够在所述测试部分13内确认所述第二对齐排列标识25。
如图1例示,所述喷墨打印系统100可包括靠近所述门形架15的所述第二识别部件23。例如,所述第二识别部件23可附着于所述门形架15的另一侧。所述第二识别部件23可包括能够确认所述第二对齐排列标识25的摄像头或CCD装置之类的拍摄装置。所述第二识别部件23可沿着所述门形架15向所述第二方向移动。由于所述门形架15可向所述第一方向移动,所述第二识别部件23可向所述第二方向移动,因此所述第二识别部件23可在所述测试部分13内确认从所述喷墨头17吐出的所述药液的吐出地点27。所述测试部分13内的所述药液的吐出地点27可用于以下说明的在打印部分11内的对所述药液的吐出地点的补正。例如,在所述测试部件13内所述吐出地点27可排列成一条线或两条线。该情况下,所述第二识别部件23可在所述测试部分13内向所述第二方向移动的同时确认排列成一条线的形态或两条线的形态的所述吐出地点27。
所述控制部件29可根据在所述测试部分13内所述第二识别部件23确认所述药液的吐出地点27的结果补正在所述打印部分11内从所述喷墨头17向所述基板上吐出的所述药液的吐出地点。根据例示性实施例,所述控制部件29可控制用于确认所述第一对齐排列标识21及所述第二对齐排列标识25的所述第一识别部件19的位置的设置、基于对所述第一对齐排列标识21及所述第二对齐排列标识25的确认的所述喷墨头17的位置的设置、以及用于确认所述药液的吐出地点27的所述第二识别部件的位置的设置。
所述控制部件29可通过确认所述第一对齐排列标识21控制所述第一识别部件19的位置的设置。根据所述第一识别部件19的位置的设置,所述控制部件29可确认在所述打印部分11内所述喷墨头17是否准确地位于所述基板上部的所需位置。
所述控制部件29可在所述测试部件13内控制所述喷墨头17的位置的设置。在部分例示性实施例中,所述控制部件29可以使所述两个第一识别部件19确认所述两个第二对齐排列标识25中的任意一个,因此所述控制部件29可控制对于所述第一方向的所述喷墨头17的位置的设置。换而言之,所述控制部件29可调整所述喷墨头17的位置使得所述喷墨头17在所述测试部分13内向所述第一方向对齐排列。可通过沿着所述第一方向移动所述门形架15设置对于所述第一方向的所述喷墨头17的位置使得所述两个第一识别部件19能够确认所述两个第二对齐排列标识25中的一个。
在部分例示性实施例中,所述控制部件29可以使所述两个第一识别部件19中的一个确认所述两个第二对齐排列标识25,从而所述控制部件29可控制对于所述第二方向的所述喷墨头17的位置的设置。换而言之,所述控制部件29可调整所述喷墨头17的位置使得所述喷墨头17在所述测试部分13内能够向所述第二方向对齐排列。可沿着所述第二方向驱动所述喷墨头17以设置对于所述第二方向的所述喷墨头17的位置使得所述两个第一识别部件19中的一个能够确认所述两个第二对齐排列标识25。
如上所述,所述控制部件29可控制所述喷墨头17使得能够从位置已对于所述第一方向及所述第二方向进行过设置的所述喷墨头17在所述测试部分13内向所述基板上吐出所述药液。在所述测试部分13内,所述药液的吐出地点27可通过所述控制部件29排列成一条线或两条线。
在例示性实施例中,所述控制部件29可控制所述第二识别部件23使得所述第二识别部件23能够在所述测试部分13内确认所述药液的吐出地点27。之后,所述控制部件29可根据所述第二识别部件23确认所述药液的吐出地点27的结果补正在所述打印部分11内向所述基板上供应的所述药液的吐出地点。因此,所述喷墨打印系统100可利用所述控制部件29对所述药液的吐出地点的补正从所述喷墨头17向所述基板上准确地吐出所述药液。其结果,所述喷墨打印系统100为了制造具有高分辨率的显示装置而能够向所述基板的稠密的像素区域上准确地提供所述药液。
在例示性实施例的喷墨打印系统100中,可在所述打印部分11及所述测试部分13内执行向所述基板上供应所述药液的工程,可利用所述第一对齐排列标识21设置所述第一识别部件19的位置。并且可利用所述第一识别部件19及所述第二对齐排列标识25准确地设置所述喷墨头17的位置。之后,可在所述测试部分13内确认到所述基板上的所述药液的吐出地点27,可准确地补正在所述打印部分11内向所述基板的像素区域上供应的所述药液的吐出地点。
在本发明的例示性实施例中,在所述测试部分13内所述药液的吐出地点27可如上用作补正在所述打印部分11内向所述基板的像素区域上供应的所述药液的吐出地点的测试用途。所述药液的吐出地点27在所述测试部分13内可排列成一个线或两个线的构成,因此所述测试部分13可沿着所述第一方向具有比所述打印部分11的长度实质上短的长度。该情况下,所述测试部分13的宽度可实质上等于所述打印部分11的宽度。因此所述测试部分13可具有相对小的空间,因此能够有效地最小化具有所述测试部分13及所述打印部分11的所述喷墨打印系统100的整体空间的增大。并且所述门形架15可具有对应于所述打印部分11的宽度及/或所述测试部分13的宽度的长度,因此能够减小所述门形架15的大小,能够有效防止所述门形架15向下方弯曲。
图2例示本发明的另一例示性实施例的喷墨打印系统的简要构成。图2例示的喷墨打印系统100可具有除了包括含两个第一对齐排列标识21的第一基板31及包括两个第二对齐排列标识25的第二基板33以外与图1例示的喷墨打印系统100类似的构成。
参见图2,所述第一对齐排列标识21可以设于在所述打印部分11内被执行所述打印工程的所述第一基板31上。所述第一基板31在所述打印部分11可沿着所述第一方向被移送。所述第二对齐排列标识25可设于在所述测试部分13内被执行所述打印工程的第二基板33上。所述第二基板33在所述测试部分13内可沿着所述第一方向被移送。
在部分例示性实施例中,所述第二基板33可向所述第一方向具有相对短的侧部,可向所述第二方向具有相对长的侧部。换而言之,所述第二基板33可具有所述药液能够以可成为所述一条线或所述两条线的形态的所述吐出地点27吐出到所述第二基板33上的大小。例如,所述第二基板33可具有长方形的平板形状。
在另一例示性实施例中,为了准确地确认所述药液的吐出地点27,所述第二基板33上可具有防止所述药液扩散的部件。例如,能够防止所述药液扩散的部件可包括由有机物质构成的膜。
根据图2例示的喷墨打印系统100,可确认设于在所述打印部分11内沿着所述第一方向被移送的所述第一基板31上的所述两个第一对齐排列标识21。因此,所述两个第一识别部件19与所述两个第一对齐排列标识21对齐排列成线形态时,所述门形架15在所述喷墨打印系统100内可保持固定的状态。并且,可确认设于在所述测试部分13内沿着所述第一方向被移送的所述第二基板33上的所述两个第二对齐排列标识25,因此将所述两个第一识别部件19及所述两个第二对齐排列标识25中的一个对齐排列成线形态的情况下,所述门形架15在所述喷墨打印系统100内可保持固定的状态。
在本发明的另一例示性实施例中,所述控制部件29可根据确认所述两个第一对齐排列标识21、所述两个第二对齐排列标识25及确认向所述第二基板33上吐出的所述药液的吐出地点27的结果补正在所述打印部分11内向所述第一基板31上提供的所述药液的吐出地点。执行完对所述药液的吐出地点的补正后,可在所述打印部分11内向所述第一基板31上吐出所述药液。从而所述喷墨打印系统100为了制造具有高分辨率的显示装置而可以在所述第一基板31的稠密的像素区域准确地吐出所述药液。
本技术领域的普通技术人员可根据需要选择所述两个第一对齐排列标识21提供于所述打印部分11内或所述第一基板31上的构成,或所述两个第二对齐排列标识25提供于所述测试部分13内或所述第二基板33上的构成。
图3例示本发明的又一例示性实施例的喷墨打印系统的简要构成。图3例示的喷墨打印系统100可具有除了所述第二识别部件23靠近的辅助门形架41之外其余与图2例示的喷墨打印系统100类似的构成。
如上图3例示,所述第二识别部件23可附着于所述辅助门形架41的一侧。所述控制部件29可以使所述第二识别部件23确认在所述测试部分13内所述第二基板33上的所述药液的吐出地点27。所述药液在所述测试部分13内供应到所述第二基板35上时所述辅助门形架41可朝着所述吐出地点27沿着所述第一方向移动。并且,也可以使得所述药液吐出到所述第二基板35上时所述第二基板35朝着所述辅助门形架41被移送。
在本发明的又一例示性实施例的喷墨打印系统100中,所述控制部件29可通过确认所述两个第一对齐排列标识21、所述两个第二对齐排列标识25及确认所述第二基板35上的所述药液的吐出地点27的结果补正在所述打印部分11内向所述第一基板31上吐出的所述药液的吐出地点。执行所述药液的吐出地点的补正后,可在所述打印部分11内向所述第一基板31上吐出所述药液。因此所述喷墨打印系统100为了具有高分辨率的显示装置而能够在所述第一基板31的稠密的像素区域准确地吐出所述药液。
图4例示本发明的又一例示性实施例的喷墨打印系统的简要构成。图4例示的喷墨打印系统100除了打印部分11及测试部分13配置在一个平板(surface plate)43上以外其余与图3例示的喷墨打印系统1000类似的构成。
参见图1至图3中任意一个说明的喷墨打印系统100具有具备分别配置在不同的平板上的打印部分11及测试部分13的构成,但图4例示的喷墨打印系统100可具有所述打印部分11及所述测试部分13配置在所述一个平板43上的构成。
在图4例示的喷墨打印系统100中,可在所述一个平板43上确认所述第二基板35上的所述吐出地点27及补正在所述打印部分11内向所述第一基板31上吐出的所述药液的吐出地点。相比于所述打印部分11及所述测试部分13分别位于不同的平板上的情况,所述一个平板43可以实质上无变形地稳定地支撑所述打印部分11及所述测试部分13。因此通过防止所述一个平板43的扭曲之类的变形,可最小化在所述测试部分13内的吐出地点27的确认及在所述打印部分11内的所述药液的打印地点的补正之间可能发生的差异。其结果,图4例示的喷墨打印系统100可有利地用于具有高分辨率及更稠密的像素的大型显示装置的制造。
根据本发明的又一例示性实施例的喷墨打印系统100,虽然可在所述测试部分13内执行对所述喷墨头17的维护及管理,但所述喷墨打印系统100还可以包括用于维护及管理所述喷墨头17的维护部分45。所述维护部分45可沿着所述第二方向靠近所述打印部分11及所述测试部分13配置。因此能够更准确地执行在所述维护部分45甚至所述测试部分13内对所述喷墨头17的维护及管理。
以上说明了本发明的例示性实施例,但本技术领域的普通技术人员应理解可在不超出所附权利要求记载的本发明的思想及领域的范围内对本发明进行多种修改及变更。
Claims (20)
1.一种喷墨打印系统,是包括打印部分及测试部分的喷墨打印系统,其特征在于,包括:
第一对齐排列标识,其沿着第一方向配置在所述打印部分内;
第二对齐排列标识,其沿着与所述第一方向垂直的第二方向配置在所述测试部分内;
喷墨头,其向基板上提供药液;
第一识别部件,其配置在靠近所述喷墨头的位置,确认所述第一对齐排列标识及所述第二对齐排列标识;
门形架,其在所述打印部分及所述测试部分之间移动所述喷墨头;
第二识别部件,其配置在靠近所述门形架的位置,在所述测试部分内确认所述第二对齐排列标识和所述药液的吐出地点;以及
控制部件,其根据在所述测试部分内所述第二识别部件确认所述药液的吐出地点的结果补正在所述打印部分内从所述喷墨头向所述基板上吐出的所述药液的吐出地点,
所述测试部分沿着所述第一方向配置成与所述打印部分对齐。
2.根据权利要求1所述的喷墨打印系统,其特征在于:
所述测试部分的宽度与所述打印部分的宽度相同,所述测试部分的长度小于所述打印部分的长度。
3.根据权利要求1所述的喷墨打印系统,其特征在于:
所述门形架向所述第一方向移动,所述喷墨头沿着所述门形架向所述第二方向移动。
4.根据权利要求3所述的喷墨打印系统,其特征在于:
所述第一识别部件与所述喷墨头一起向所述第一方向及所述第二方向移动。
5.根据权利要求4所述的喷墨打印系统,其特征在于:
所述喷墨打印系统包括两个第一识别部件及两个第一对齐排列标识,所述两个第一识别部件在所述打印部分内随着所述喷墨头的移动确认所述两个第一对齐排列标识。
6.根据权利要求5所述的喷墨打印系统,其特征在于:
所述喷墨打印系统包括两个第二对齐排列标识,所述两个第一识别部件在所述测试部分内随着所述喷墨头的移动确认所述两个第二对齐排列标识。
7.根据权利要求3所述的喷墨打印系统,其特征在于:
所述第二识别部件沿着所述门形架向所述第二方向移动。
8.根据权利要求7所述的喷墨打印系统,其特征在于:
所述喷墨打印系统包括两个第二识别部件,所述两个第二识别部件在所述测试部分内随着所述门形架的移动确认所述药液的吐出地点。
9.根据权利要求1所述的喷墨打印系统,其特征在于,还包括:
浮起工作台,其浮起分别配置在所述打印部分及所述测试部分内的所述基板;以及
移送部件,其移送所述基板。
10.根据权利要求1所述的喷墨打印系统,其特征在于,还包括:
辅助门形架,其在所述测试部分内沿着所述第一方向移动,
所述第二识别部件配置在靠近所述辅助门形架的位置。
11.根据权利要求1所述的喷墨打印系统,其特征在于,还包括:
维护部分,其配置在靠近所述打印部分及所述测试部分的位置。
12.一种喷墨打印系统,是包括打印部分及测试部分的喷墨打印系统,其特征在于,包括:
第一对齐排列标识,其沿着第一方向配置在所述打印部分内;
第二对齐排列标识,其沿着与所述第一方向垂直的第二方向配置在所述测试部分内;
喷墨头,其向基板上提供药液;
第一识别部件,其配置在靠近所述喷墨头的位置,确认所述第一对齐排列标识及所述第二对齐排列标识;
门形架,其在所述打印部分及所述测试部分之间移动所述喷墨头;
第二识别部件,其配置在靠近所述门形架的位置,在所述测试部分内确认所述药液的吐出地点;以及
控制部件,其控制用于确认所述第一对齐排列标识及所述第二对齐排列标识的所述第一识别部件的位置的设置、基于对所述第一对齐排列标识及所述第二对齐排列标识的确认的所述喷墨头的位置的设置、以及用于确认所述药液的吐出地点的所述第二识别部件的位置的设置,
所述测试部分沿着所述第一方向配置在与所述打印部分对齐的位置。
13.根据权利要求12所述的喷墨打印系统,其特征在于:
所述喷墨打印系统包括两个第一识别部件及两个第二对齐排列标识,
所述控制部件使所述两个第一识别部件确认所述两个第二对齐排列标识中的一个,使所述两个第一识别部件中的一个确认所述两个第二对齐排列标识,以控制对于所述第一方向及所述第二方向的所述喷墨头的位置的设置。
14.根据权利要求12所述的喷墨打印系统,其特征在于:
所述控制部件根据在所述测试部分内所述第二识别部件确认所述药液的吐出地点的结果补正在所述打印部分内从所述喷墨头向所述基板上吐出的所述药液的吐出地点。
15.根据权利要求12所述的喷墨打印系统,其特征在于:
所述喷墨打印系统包括设在沿着所述第一方向在所述打印部分内被移送的第一基板上的两个第一对齐排列标识及设在沿着所述第一方向在所述测试部分内被移送的第二基板上的两个第二对齐排列标识。
16.根据权利要求15所述的喷墨打印系统,其特征在于,还包括:
用于防止提供于所述第二基板上的所述药液扩散的部件。
17.根据权利要求12所述的喷墨打印系统,其特征在于,还包括:
辅助门形架,其沿着所述第二方向配置在所述测试部分内,
所述第二识别部件配置在靠近所述辅助门形架的位置。
18.根据权利要求12所述的喷墨打印系统,其特征在于,还包括:
维护部分,其配置在靠近所述打印部分及所述测试部分的位置。
19.一种喷墨打印系统,是包括打印部分及测试部分的喷墨打印系统,其特征在于,包括:
两个第一对齐排列标识,其沿着第一方向配置在所述打印部分内;
两个第二对齐排列标识,其沿着与所述第一方向垂直的第二方向配置在所述测试部分内;
喷墨头,其向基板上提供药液;
两个第一识别部件,其配置在靠近所述喷墨头的位置,确认所述第一对齐排列标识及所述第二对齐排列标识;
门形架,其在所述打印部分及所述测试部分之间移送所述喷墨头;
第二识别部件,其配置在靠近所述门形架的位置,在所述测试部分内确认所述药液的吐出地点;以及
控制部件,其控制用于确认所述第一对齐排列标识及所述第二对齐排列标识的所述第一识别部件的位置的设置、基于对所述第一对齐排列标识及所述第二对齐排列标识的确认的所述喷墨头的位置的设置、以及用于确认所述药液的吐出地点的所述第二识别部件的位置的设置,根据在所述测试部分内所述第二识别部件确认所述吐出地点的结果补正在所述打印部分内从所述喷墨头向所述基板上吐出的所述药液的吐出地点,
所述测试部分沿着所述第一方向配置成与所述打印部分对齐,
所述门形架向所述第一方向移动,所述喷墨头沿着所述门形架向所述第二方向移动。
20.根据权利要求19所述的喷墨打印系统,其特征在于,还包括:
辅助门形架,其沿着所述第二方向配置在所述测试部分内;以及
维护部分,其配置在靠近所述打印部分及所述测试部分的位置,
所述第二识别部件配置在靠近所述辅助门形架的位置。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1550333A (zh) * | 2003-05-14 | 2004-12-01 | ������������ʽ���� | 液滴喷出装置及方法、电光装置及其制造方法 |
JP2006240015A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成装置、アライメント装置、基板処理装置、パターン形成方法、基板処理方法 |
JP2010198028A (ja) * | 2010-04-02 | 2010-09-09 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置 |
CN104769386A (zh) * | 2012-11-01 | 2015-07-08 | 武藏工业株式会社 | 具有位置修正功能的作业装置及作业方法 |
CN106311524A (zh) * | 2015-07-02 | 2017-01-11 | 东京毅力科创株式会社 | 液滴排出装置和液滴排出方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5627571A (en) * | 1994-10-13 | 1997-05-06 | Xerox Corporation | Drop sensing and recovery system for an ink jet printer |
KR100311749B1 (ko) * | 1999-05-27 | 2001-10-18 | 정문술 | 표면실장장치의 모듈 헤드 원점조정장치 및 방법 |
JP2002096523A (ja) | 2000-09-22 | 2002-04-02 | Nec Corp | プリンタの印字位置調整方法及び調整装置 |
JP4351694B2 (ja) | 2006-04-12 | 2009-10-28 | 富士フイルム株式会社 | アライメントユニット及びこれを用いた画像記録装置 |
KR101065977B1 (ko) | 2008-12-18 | 2011-09-19 | 삼성에스디아이 주식회사 | 잉크 젯 프린터 헤드 정렬 방법 및 그 장치 |
US8100499B2 (en) * | 2009-03-30 | 2012-01-24 | Xerox Corporation | Method and system for detecting print head roll |
JP2013043105A (ja) | 2011-08-22 | 2013-03-04 | Shibaura Mechatronics Corp | 塗布装置及び塗布方法 |
US20130222448A1 (en) * | 2012-02-24 | 2013-08-29 | Frederick Allan Donahue | Sensor for averting potential printhead damage |
US8851664B2 (en) * | 2012-11-06 | 2014-10-07 | Xerox Corporation | Maintenance cart for moveable flatbed media marking system |
KR102440568B1 (ko) * | 2016-06-22 | 2022-09-06 | 세메스 주식회사 | 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법 |
JP6857807B2 (ja) | 2017-02-08 | 2021-04-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | インクジェット印刷方法 |
JP6925143B2 (ja) | 2017-03-07 | 2021-08-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1550333A (zh) * | 2003-05-14 | 2004-12-01 | ������������ʽ���� | 液滴喷出装置及方法、电光装置及其制造方法 |
JP2006240015A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成装置、アライメント装置、基板処理装置、パターン形成方法、基板処理方法 |
JP2010198028A (ja) * | 2010-04-02 | 2010-09-09 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置 |
CN104769386A (zh) * | 2012-11-01 | 2015-07-08 | 武藏工业株式会社 | 具有位置修正功能的作业装置及作业方法 |
CN106311524A (zh) * | 2015-07-02 | 2017-01-11 | 东京毅力科创株式会社 | 液滴排出装置和液滴排出方法 |
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