KR20110084840A - 잉크젯 도포 장치 및 방법 - Google Patents

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쥰이찌 마쯔이
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가쯔요시 와따나베
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가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지
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Abstract

본 발명은 필름 표면이 도포해야 할 목표 위치를 직접 계측하여 보정하여, 잉크젯 도포 헤드의 노즐 구멍으로부터 정확한 위치에 액적을 사출함으로써, 필름의 도포 품질이 향상된다.
권출측 필름 롤(2)로부터 권출된 필름(1)은 그 도포 대상 에어리어가 도포부(17)에서 흡착 테이블(10) 상에 위치하도록 반송된다. 잉크젯 도포 헤드에 인접하여 촬상 카메라를 설치하고, 상기 도포 헤드와 상기 촬상 카메라는 설치 위치가 일체로 되어 도포 헤드 유닛부를 형성하고, 도포 헤드 유닛은 흡착 테이블의 상방에 있어서 3차원적으로 이동 가능한 XYZ축 방향 구동 수단에 의해 이동하고, 도포 헤드에 의한 도포 동작 중에 촬상 카메라로 다음에 도포하는 위치를 미리 촬상하고, 촬상 카메라에 의한 촬상 결과를 화상 처리 수단으로 처리함으로써 당초 설정된 도포 위치와의 어긋남량을 보정하여, 다음에 도포하는 위치로의 도포 헤드를 이동시킨다.

Description

잉크젯 도포 장치 및 방법 {INK JET APPLICATION APPARATUS AND METHOD}
본 발명은 평활한 부재에 대한 잉크젯 방식에 의한 액상 재료의 도포에 있어서, 촬상 수단에 의해 얻은 데이터에 화상 처리를 실시함으로써 도포해야 할 홈 형상의 현상 위치를 산출하고, 다음의 도포 시에 기준의 위치와의 어긋남량을 산출하여 도포 헤드의 위치를 보정 이동함으로써, 고정밀도로 잉크젯 도포하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
잉크젯 방식이라 함은, 기포 또는 압전 소자를 이용한 잉크젯 헤드로부터 소량의 액적을 고정밀도로 토출하는 것이다. 이 액적의 고정밀도의 토출에 의해, 대상으로 하는 부재에 도포하는 장치로 한 것이, 잉크젯 도포 장치이다. 고정세(高精細)한 도포를 실현할 수 있는 장치로서 최근 주목받고 있고, 종이로의 인쇄로 한정되지 않고, 모든 산업 분야에서 그 적용 가능성도 모색되고 있고, 이미 실용화되어 있는 것도 있다.
종래, 헤드의 사출 상태의 차이에 의한 영향을 없애기 위해, 기판에 패턴 도포를 행하여, 그 도포 도트의 위치 어긋남을 카메라로 계측하여 이동량을 산출하고, 헤드를, XYθ 방향으로 이동함으로써, 목표 위치에 보다 근접하도록 보정을 행하고, 이에 의해, 도포 도트마다의 위치 편차를 경감시켜, 균일하고 불균일이 없는 고품질의 패널을 제조할 수 있도록 한 기술이 제안되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조).
일본 특허 출원 공개 제2009-95690호 공보
잉크젯 도포에 있어서 도포 위치의 정밀도를 정하는 요소로서는, 크게 나누어 두 가지가 있다. 제1점은 잉크젯 도포 헤드의 노즐 구멍으로부터의 액적의 사출 방향에 의한 도포 도트마다의 위치 어긋남이다. 제2점은 잉크젯 도포 헤드의 노즐 구멍이 도포해야 할 대상물의 도포 위치에 어느 정도 합치하고 있는가 하는 것이다.
특허 문헌 1에 기재된 기술에서는, 제1점에 대해서는 해결할 수 있지만, 제2점에 대해서는 대상으로 하는 부재의 종류에 따라서는 충분히 해결할 수 없는 부분도 있다.
이하에서는, 도포 대상으로 하는 부재는 플렉시블한 적층 필름이며, 그 필름 표면에 긴 홈 형상으로 된 패턴이 미리 형성되어 있다(이하에서는, 이 홈 형상 패턴을 스크라이브라고 함). 이러한 스크라이브는 레이저광 등으로 형성되는 것이지만, 플렉시블한 재료이므로, 레이저광의 조사 위치 오차가 발생한다.
또한, 도포하는 개소에 위치 결정한 후에, 일정 간격으로 설치한 위치 결정용 마크를 카메라로 촬상하여 인식하고, 도포 대상으로 하는 부재의 위치 결정 상태를 계측하는 방법도 고려된다. 그러나, 도포 공정보다도 앞의 공정에서 필름의 가열, 냉각이 행해지므로, 적층 필름에 팽창, 수축이 발생하여, 위치 결정용 마크의 위치 어긋남이 발생하여, 잉크젯 방식의 도포 헤드의 노즐 구멍의 위치가 도포해야 할 목표 위치가 어긋나 버리는 문제가 발생한다.
본 발명의 목적은 이러한 문제를 해소하여, 플렉시블한 적층 필름의 표면의 도포해야 할 목표 위치를 보정하여, 잉크젯 도포 헤드의 노즐 구멍으로부터 정확한 위치에 액적을 사출함으로써, 필름으로의 도포 품질을 높일 수 있도록 한 잉크젯 도포 장치 및 방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 롤 형상의 필름을 권출하여 반송하는 상류측의 가이드 롤과, 권출된 필름을 흡착 유지하는 흡착 테이블과, 흡착 테이블에 흡착 유지된 필름 상에 액상의 도포재를 도포하는 도포 헤드와, 도포재가 도포된 필름을 반송하여 롤 형상으로 권취하는 하류측의 가이드 롤로 이루어지는 잉크젯 도포 장치이며, 도포 헤드에 인접하여 촬상 카메라를 설치하고, 도포 헤드와 촬상 카메라는 설치 위치가 일체로 되어 도포 헤드 유닛부를 형성하고, 도포 헤드 유닛은 상기 흡착 테이블의 상방에 있어서 3차원적으로 이동 가능한 XYZ축 방향 구동 수단에 의해 이동하고, 도포 헤드에 의한 도포 동작 중에 촬상 카메라로 다음에 도포하는 위치를 미리 촬상하고, 촬상 카메라에 의한 촬상 결과를 화상 처리 수단으로 처리함으로써 당초 설정된 도포 위치와의 어긋남량을 보정하여, 다음에 도포하는 위치로의 도포 헤드를 이동시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 도포 헤드 유닛부는 복수 조이고, XYZ축 방향 구동 수단은 필름의 폭 방향이 되는 Y축 방향을 공통화하여 모든 도포 헤드 유닛부가 동작하고, 필름의 길이 방향이 되는 X축 방향과 높이 방향이 되는 Z축 방향에 대해서는, 도포 헤드 유닛부마다 개별로 이동 가능한 것을 특징으로 한다.
또한, 필름의 도포 위치에는 위치 결정용 마크를 갖고 있고,
권출된 필름을 흡착 유지한 상태에서 위치 결정용 마크를 촬상 카메라에 의해 촬상하고, 필름의 흡착 유지의 위치 어긋남량도 맞추어 보정하고, 다음에 도포하는 위치로의 도포 헤드를 이동시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 촬상 카메라로 미리 촬상하는 도포 위치의 형상이 선 형상의 홈 형상 단면인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 필름 표면이 도포해야 할 목표 위치를 직접 계측하여 보정하여, 잉크젯 도포 헤드의 노즐 구멍으로부터 정확한 위치에 액적을 사출함으로써, 필름의 도포 품질이 향상된다.
도 1은 본 발명에 의한 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제1 실시 형태에서의 개략 구성을 도시하는 사시도.
도 2는 도 1에 도시하는 도포 헤드의 설치 상황을 상방으로부터 본 도면.
도 3은 도 1에 있어서의 필름을 확대하여 도시하는 도면.
도 4는 도 1에 도시하는 제1 실시 형태에서의 도포 위치 보정의 제어부의 블록도.
도 5는 도 1에 도시하는 도포 위치 보정의 일 구체예를 도시하는 흐름도.
도 6은 도 1에 도시하는 제1 실시 형태에서의 도포 위치 보정의 일 구체예를 도시하는 개략 사시도.
도 7은 도 1에 도시하는 도포 위치 보정에서의 촬상 화상의 일 구체예를 도시하는 도면.
도 8은 도 7에 도시하는 도포 위치 보정을 위한 촬상 화상을 사용한 계측 방법의 일 구체예를 도시하는 도면.
도 9는 도 7에 도시하는 도포 위치 보정을 위한 촬상 화상을 사용한 계측 방법의 다른 구체예를 도시하는 도면.
도 10은 본 발명에 의한 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제2 실시 형태에 있어서의 도포 위치 보정의 일 구체예를 도시하는 사시도.
도 11은 도 10에 도시하는 도포 위치의 보정 처리의 일련의 흐름의 일 구체예를 도시하는 흐름도.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 사용하여 설명한다.
또한, 이하에 설명하는 실시 형태에서는, 비실리콘계의 반도체 재료(예를 들어, CIGS 박막)가 실시된 태양 전지용 필름을 도포 대상의 일례로 하여, 이 필름 상에 잉크젯 방식의 도포 헤드로 전극재나 절연재를 도포함으로써, 전극이나 절연막 등의 막 형성을 행하도록 하는 것으로 한다. 또한, CIGS 박막은 Cu(구리), In(인듐), Ga(갈륨), Se(셀레늄)으로 이루어지는 반도체 재료의 박막이며, 「CIGS」는 이들 소재의 이니셜을 배열한 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제1 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 사시도이다. 부호 1은 태양 전지용 적층 필름(이하, 단순히, 필름이라고 함), 부호 2는 권출측 필름 롤, 부호 3은 권취측 필름 롤, 부호 4, 부호 5는 가이드 롤, 부호 6, 부호 7은 승강 가이드 롤, 부호 8, 부호 9는 흡착 바, 부호 10은 흡착 테이블, 부호 11은 권출측 축모터, 부호 12는 권취측 축모터, 부호 13, 부호 14는 필름 압박 바, 부호 15는 도포 헤드, 부호 16은 권출부, 부호 17은 도포부, 부호 18은 권취부, 부호 19는 촬영 카메라이다.
또한, 도 2는 도 1에 있어서의 도포부(17)의 구성을 구체적으로 도시하는 평면도이다. 부호 20은 X축 구동 수단, 부호 21은 Z축 구동 수단, 부호 22는 Y축 구동 수단, 부호 23은 Y축 갠트리, 부호 24는 Y축 스테이지이고, 도 1에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.
또한, 도 3은 도 1에 있어서의 필름(1)의 구성의 일 구체예를 도시하는 사시도이다. 부호 25는 폴리이미드 필름층, 부호 26은 CIGS 박막층, 부호 27은 버퍼층, 부호 28은 투명 전극층, 부호 29는 스크라이브이다.
도 1에 있어서, 공간은 X축 방향으로 권출부(16)와 도포부(17)와 권취부(19)로 구분되어 있다. 권출부(16)에는 권출측 축모터(11)에 의해 회전 구동되는 권출측 필름 롤(2)이나 상류측의 가이드 롤(4), 승강 가이드 롤(6), 흡착 바(8)를 X축 방향으로 순차적으로 배열시켜 설치하고 있다. 권취부(18)에는 하류측의 흡착 바(9), 승강 가이드 롤(7), 가이드 롤(5) 및 권취측 축모터(12)에 의해 회전 구동되는 권취측 필름 롤(3)을 X축 방향으로 순차적으로 배열시켜 설치하고 있다. 또한, 도포부(17)에는 흡착 테이블(10)이나 도포 헤드(15), 필름 압박 바(13, 14)를 설치하고 있다. 흡착 바(8, 9)나 흡착 테이블(10)은 진공 펌프를 진공원으로 하여, 진공 밸브(30)(도 4)에 의해 필름(1)의 흡착 고정이나 고정 해제를 행한다.
권출부(16)에 있어서, 권출측 필름 롤(2)에는 도포부(17)에서 전극재나 절연재의 도포 대상이 되는 필름(1)을 롤 형상으로 권취하고 있다. 또한, 이 필름(1)은 이 권출측 필름 롤(2)로부터 권출되어 도포부(17)를 통과하여, 권취부(18)에서 권취측 필름 롤(3)에 권취되어 있다. 여기서, 필름(1)의 길이 방향이 X축 방향, 그 폭 방향이 Y축 방향, 그 면에 수직인 방향이 Z축 방향이다.
도포부(17)에서는 흡착 테이블(10)에 의해 필름(1)을 진공 흡착한 후에 위치 고정하고 있다.
또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 잉크젯식 도포 헤드(15)는 Z축 구동 수단(21)에 의해 높이를 개별로 바꿀 수 있다. 이 Z축 구동 수단(21)을 구비한 도포 헤드(15)는 촬영 카메라(19)와 인접 고정하여 조립되고, 일체로 되어 헤드 유닛부를 형성하고 있다. 이 도포 헤드(15)와 촬영 카메라(19)의 조는, 또한 X축 구동 수단(20)에 의해 X축 방향으로 이동할 수 있고, 다른 도포 헤드(15)와 촬영 카메라(19)의 조(카메라 유닛부)와의 상대 위치를 바꾸면서 위치 어긋남의 보정이 가능하다.
이 카메라 유닛부를 형성하는 도포 헤드(15)와 촬영 카메라(19)의 조는, 1조라도 좋지만, 처리 속도를 향상시키기 위해서는, 복수 조의 쪽이 좋다. 여기서는, 4조로 하고 있고, 이들 4조는 공통의 Y축 갠트리(23)에 고정되고, Y축 스테이지(24)를 따라서, 필름(1)이 도포되는 스크라이브(29)(도 3)의 길이 방향에 평행한 Y축 방향으로 동작한다. Y축 갠트리(23)와 Y축 스테이지(24)로 이루어지는 Y축 구동 수단(22)은 서보 모터로 볼 나사를 통해 구동해도 좋고, 리니어 모터로 구동해도 좋다.
이와 같이 Y축 갠트리(23)에 고정된 잉크젯식 도포 헤드(15)에 의해, 액상의 전극재나 절연재 등(이하, 이들을 통합하여 「도포재」라고 함)이 필름(1) 상에 도포되어 전극이나 절연막을 형성해 간다.
도 1로 돌아가, 도포부(17)에 있어서 필름(1)의 소정의 도포 대상 에어리어에서의 도포재의 도포를 종료하면, 권출측 필름 롤(2)로부터 필름(1)을 권출하고, 또한 권취측 필름 롤(3)에 이 필름(1)을 권취하여, 차례로 연속된 필름(1)에 도포를 반복해 간다.
또한, 도포 대상 에어리어라 함은, 도포부(17)에서 필름(1) 상에 1개의 도포 헤드(15)가 도포해야 할 에어리어를 갖는 것이다. 또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 복수의 도포 헤드(15)가 사용되는 경우에는, 도포부(17)에서 각각의 도포 헤드(15)마다 도포 대상 에어리어가 설정되게 된다.
이 필름(1)의 다음의 도포 대상 에어리어[다음에 각각의 도포 헤드(15)가 도포하는 도포 대상 에어리어]가 도포부(17)에서 도포재의 도포를 할 수 있도록 위치하도록, 필름(1)을 권출측 필름 롤(2)측으로부터 권취측 필름 롤(3)측으로 반송해 간다. 이때에는, 권출부(16)에 있어서, 권출측 축모터(11)에 의해 회전 구동되는 권출측 필름 롤(2)로부터 권출된 필름(1)은 가이드 롤러(4)와 승강 가이드 롤러(6)에 의해 지지된다. 이때, 승강 가이드 롤러(6)는 흡착 테이블(10)의 흡착면보다도 높은 위치로 상승하고 있다. 또한, 권출부(16)에서는, 필름(1)은 승강 가이드 롤러(7)와 가이드 롤러(5)에 지지되어 권취측 필름 롤(3)에 권취된다. 이때, 승강 가이드 롤러(7)는 흡착 테이블(10)의 흡착면보다도 높은 위치까지 상승하고 있다. 이로 인해, 필름(1)은 흡착 바(8, 9)나 흡착 테이블(10)에 접촉하지 않고 X축 방향으로 이동할 수 있다.
이와 같이, 필름(1)이 권출부(16)측으로부터 권취부(18)측으로 이송될 때에는, 승강 가이드 롤러(6, 7)에 의해 필름(1)이 들어 올려지고, 이에 의해, 필름(1)이 흡착 테이블(10)에 접촉하지 않고 반송되어, 필름(1)의 이면에 마찰 손상이 생기는 것을 방지할 수 있도록 하고 있다.
이와 같이 하여, 필름(1)이 승강 가이드 롤러(6, 7)에 의해 흡착 바(8, 9)나 흡착 테이블(10)에 접촉하고 있지 않은 상태에서 반송되고 있고, 필름(1)에서의 다음의 도포 대상 에어리어가 도포부(17)에 도달하면, 필름(1)의 반송을 종료하고, 이 도포 대상 에어리어의 도포부(17)에 있어서의 X축 방향의 위치 결정이 이루어진다. 또한, 이 위치 결정은, 우선, 권취측 필름 롤(3)의 권취량을 감시하여, 초벌 위치 조정하고 있다.
다음에, 권취측 축모터(12)에 브레이크를 걸어 필름(1)의 권취부(18)측을 고정한 상태로 한다. 그리고, 이것과 함께, 권출측 축모터(11)를 필름(1)의 권출의 회전 방향과는 역회전 방향으로 토크를 건 상태로 함으로써, 필름(1)에 일정한 장력을 부가한 상태로 한다.
이에 의해, 필름(1)의 반송을 종료해도, 이 필름(1)은 그 길이 방향(즉, 그것이 반송되는 X축 방향)으로 텐션이 걸린 상태 그대로 보유 지지됨으로써, 필름(1)에 이완이 발생하지 않는다.
이러한 상태에서, 도포부(17)에서는 승강 가이드 롤(6, 7)이 강하하고, 이에 의해 필름(1)의 하면을 흡착 유지하는 흡착 바(8, 9)에 의해, 필름(1)은 흡착 테이블(10)에 흡착 유지된다.
여기서, 도 3에 도시한 바와 같이, 필름(1)은 폴리이미드 필름층(25), CIGS 박막층(26), 버퍼층(27) 및 투명 전극층(28)이 순서대로 적층된 복수층의 적층 필름의 구성을 이루고 있고, 전체의 두께도 마찬가지로 수십㎛ 내지 100㎛ 정도이다. 이러한 필름(1)의 표면측에 홈 형상의 오목부인 스크라이브(29)를 설치하고, 이 스크라이브(29)에 도포재를 도포하여 전극이나 절연막을 형성한다. CIGS 박막층(26)의 막 두께는 수십㎛ 내지 100㎛ 정도의 얇은 막 형상이고, 이 CIGS 박막층(26)이 실질적인 발전을 행하는 부분이다.
그리고, 스크라이브(29)는 투명 전극층(28) 및 버퍼층(27)이 홈 형상으로 된 것과, 투명 전극층(28), 버퍼층(27)에 추가하여 CIGS 박막층(26)까지 포함하여 홈 형상으로 된 것의 2종류가 있다. 홈 형상의 오목부에 재료를 잉크젯 도포함으로써, 스크라이브(29)는 층 내의 도통이나 층 사이의 도통을 취해 가는 것이다. 대략적으로는, 스크라이브(29)의 홈 폭은 수십㎛ 내지 100㎛ 정도이고, 깊이는 수㎛ 내지 10㎛ 정도이다.
도 1로 돌아가, 도포 헤드(15)는 각각 XY축 평면 내에서의 이동 동작과 Z축 방향(높이 방향)의 이동 동작이 가능하고, 각각의 도포 헤드(15)의 하면에는 필름(1)을 향한 노즐 구멍이 250개 정도 형성되어 있고, 피에조 구동에 의해 각 노즐 구멍으로부터 도포재의 액적이 압출되어 필름(1) 상에 점 형상으로 사출된다. X축 구동 수단(20)이나 Y축 구동 수단(22)(도 2)에 의해 도포 헤드(15)의 노즐이 XY축 평면 내에서 이동하여 개별로 도포재를 사출함으로써, 필름(1)의 도포면에 모든 패턴으로 도포재를 정세하게 도포하는 것이 가능해진다.
이와 같이 하여, 도포부(17)에서 필름(1) 상의 소정의 도포 대상 에어리어에서 도포재의 도포를 종료하면, 권출측 필름 롤(2)로부터 필름(1)의 권출과 권취측 필름 롤(3)로의 필름(1)의 권취를 행한다. 도포부(17)에서, 차례로 연속된 필름(1) 상의 각 도포 대상 에어리어에 대해 도포 헤드(15)에 의한 도포를 반복해 간다.
도 4는 도 1에 있어서의 도포 위치 보정의 기능을 갖는 잉크젯 도포 장치의 제어부의 일구성예를 도시하는 블록도이다. 부호 30은 진공 밸브, 부호 31은 레귤레이터, 부호 32는 밸브 유닛, 부호 33은 에어 실린더, 부호 34는 USB(Universal Serial Bus) 메모리, 부호 35는 하드 디스크, 부호 36은 제어 유닛, 부호 36a는 마이크로 컴퓨터, 부호 36b는 데이터 통신 버스, 부호 36c는 외부 인터페이스, 부호 36d는 도포 헤드 컨트롤러, 부호 36e는 화상 처리 컨트롤러, 부호 36f는 모터 컨트롤러, 부호 37은 모니터, 부호 38은 키보드, 부호 36gx는 X축 드라이버, 부호 36gy는 Y축 드라이버, 부호 36gz는 Z축 드라이버이고, 전출 도면에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.
도 4에 있어서, 제어 유닛(36)은 마이크로 컴퓨터(36a)와 외부 인터페이스(36c)와 도포 헤드 컨트롤러(36d)와 화상 처리 컨트롤러(36e)와 모터 컨트롤러(36f)를 데이터 통신 버스(36b)로 접속한 구성을 이루고 있다.
제어 유닛(36)은 외부 인터페이스(36c)를 통해, 에어 실린더(33) 등의 에어 구동 기기 및 권출측 축모터(11), 권취측 축모터(12)나 다른 롤용 모터를 구동 제어한다. 또한, 흡착 바(8, 9)(도 1)나 흡착 테이블(10)(도 1)에서 필름(1)을 진공 흡착할 때의 진공원이 되는 진공 펌프로부터의 전환을 행하는 진공 밸브(30)도 제어한다. 도포 헤드 컨트롤러(36d)는 제어 유닛(36)의 제어를 기초로, 도포 헤드(15)의 각 노즐 구멍으로부터의 도포 재료의 사출의 유무나 타이밍을 제어한다. 화상 처리 컨트롤러(36e)는 제어 유닛(36)의 제어를 기초로, 스크라이브(29)(도 3)나 후술하는 위치 결정 마크(38a, 38b)(도 10, 도 11)를 촬영 카메라(19)로 촬상하여 그 시야 내에서의 위치를 화상 처리에 의해 산출하는 것이다. 모터 컨트롤러(36f)는 제어 유닛(36)의 제어를 기초로, 도포 헤드(15)에 설치된 X축 구동 모터의 X축 드라이버(36gx)나 Y축 구동 모터의 Y축 드라이버(36gy), Z축 구동 모터의 Z축 드라이버(36zh)를 각각 구동 제어한다.
도포 위치의 어긋남량 보정이나 필름 흡착 고정 위치의 어긋남량 보정에서는, 어긋남량은 화상 처리 컨트롤러(36e)로 산출하고, 그 결과를 마이크로 컴퓨터(36a)로 환산하여, 모터 컨트롤러(36f)에서의 각 모터의 이동량에 반영시키는 처리를 행한다. 그렇게 하여, 도포 헤드 컨트롤러(36d)로, 도포 헤드(15)의 노즐로부터 도포 재료를 사출하여 필름(1)에 도포한다.
도 5는 도 1에 도시하는 도포 헤드(15)에 의한 필름(1) 상의 도포 대상 에어리어로의 도포재의 도포 처리의 일련의 흐름의 일 구체예를 도시하는 흐름도이다. 이하에서는, 1개의 도포 헤드에 대해 설명하지만, 복수의 도포 헤드가 사용되는 경우, 다른 도포 헤드에 대해서도 마찬가지이다.
도 5에 있어서, 전체의 처리의 흐름은 스텝 110으로부터 스텝 130까지는 일련의 동작의 첫회에 한 번만 실행하고, 스텝 140에서 판정 처리를 행한다. 그 판정 결과에 따라서, 스텝 190에서 종료되는 처리, 또는 스텝 150으로부터 스텝 180까지를 반복하는 처리를 행한다.
스텝 110에서는 도포 헤드(15)의 옆에 설치한 촬영 카메라(19)로 필름(1) 상의 도포 대상 에어리어의 스크라이브(29)를 이동 촬상한다. 여기서, 이 도포 대상 에어리어 전체를 한번에 도포할 수 없는 경우에는, 이러한 도포 대상 에어리어를 복수의 에어리어로 분할하여(이하, 이러한 에어리어를 부분 에어리어라고 함), 각각의 부분 에어리어를 순서대로 도포해 간다. 이하에서는, 도포 대상 에어리어가 걸리는 부분 에어리어마다 도포하는 것으로 한다. 따라서, 촬상 카메라(19)에 의한 촬상은 도포 대상 에어리어에서의 부분 에어리어에 대해 행한다.
스텝 120에서는 촬상한 화상을 화상 처리하여, 촬영 카메라(19)의 시야 중심으로부터의 어긋남량을 기초로 도포 시의 보정값을 산출한다. 스텝 130에서는 원래 도포해야 할 위치에 보정값을 반영하여 목표 위치의 X좌표, Y좌표를 가산 또는 감산하여, 도포 대상 에어리어 상으로 정확하게 도포 헤드(15)를 이동시킨다.
스텝 140에서는 1개의 도포 대상 에어리어 전체의 도포가 완료되었는지 여부의 판단을 행하여, 도포가 완료되지 않았으면, 다음에 설명하는 스텝 150으로부터 스텝 180까지의 도포 동작을 각 부분 에어리어마다 반복한다. 이 도포 동작을 반복해서 행한 후, 1개의 도포 대상 에어리어 전체의 도포가 완료되면, 스텝 190에서 도포 처리를 종료로 한다.
도포 대상 에어리어 전체(즉, 이 도포 대상 에어리어 전체의 부분 에어리어)의 도포가 완료되어 있지 않으면, 스텝 150에서 1개의 부분 에어리어에서의 도포 동작을 행한다. 그리고, 이 도포 동작과 동시에, 스텝 160에 있어서, 도포 헤드(15)의 옆에 설치한 촬영 카메라(19)로 필름(1) 상의 동일한 도포 대상 에어리어에 있어서 다음의 부분 에어리어 상의 스크라이브(29)를 이동 촬상한다. 다음에, 스텝 170에서 이 도포 동작 중에 촬상한 화상을 화상 처리하여, 촬영 카메라(19)의 시야 중심으로부터의 어긋남량을 기초로, 이 다음의 부분 에어리어에서 도포할 때의 보정값을 산출한다. 마지막으로, 스텝 180에서 본래의 도포해야 할 위치에 앞의 보정값을 가미하고, 다음의 부분 에어리어 상으로 도포 헤드(15)를 이동한다. 이상에 의해, 도포 위치의 어긋남량이 보정된 상태에서, 순차적인 부분 에어리어에서의 도포가 가능해진다.
또한, 여기서, 부분 에어리어는 복수개의 스크라이브(29)를 포함하는 것이고, 그 수는 통상 수개(5개 정도)로 한다. 즉, 10개 정도를 그룹으로서 취급하여, 이 스크라이브(29)의 1개의 그룹이 1개의 부분 에어리어에 포함되는 것이고, 현재의 도포 동작 중에 다음의 1그룹(즉, 다음의 부분 에어리어)의 보정값을 먼저 취하여 계측하게 된다.
도 6은 이상의 처리 동작을 구체적으로 도시하는 사시도이다. 부호 39a 내지 부호 39c는 촬상부, 부호 40a, 부호 40b는 도포부이고, 전출 도면에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.
도 6에 있어서, 촬상부(39a 내지 39c, 40a, 40b)는 각각 도포 헤드(15)에 대한 도포 대상 에어리어에서의 1개의 부분 에어리어에 상당하는 크기의 에어리어이며, 촬상부(39a 내지 39c)는 촬상 카메라(19)에 의한 촬상의 대상이 되는 에어리어이고, 도포부(40a, 40b)는 도포 헤드(15)에 의한 도포의 대상이 되는 에어리어이다. 또한, 여기서는 5개의 스크라이브(29)를 1그룹으로 하고, 각 부분 에어리어에서 1그룹분씩의 스크라이브(29)가 포함되어 있는 것으로 한다.
도 6의 (a)는 도 5의 스텝 110으로부터 스텝 130까지의 처리 동작을 도시하는 것이며, 도포 대상 에어리어의 최초의 부분 에어리어가 촬상부(39a)로 되는 것이다.
이 촬상부(39a)에 있어서, 도포 헤드(15)의 옆에 설치한 촬영 카메라(19)로, 최초의 부분 에어리어에서의 스크라이브(29)를 촬상하여 그 위치를 구한다. 이 촬상은 촬영 카메라(19)를, 도포 헤드(15)와 함께, Y축 방향으로 이동시킴으로써 행해진다.
이 촬상이 종료되고, 다음에, 이 최초의 부분 에어리어에서 도포를 행하기 위해, 도포 헤드(15)를 최초에 도포 대상이 되는 부분 에어리어의 방향(X축 방향)으로 이동시키지만, 이 이동 중에 촬영 카메라(19)로 촬상한 촬상부(39a)로서의 최초의 부분 에어리어에서의 스크라이브(29)의 촬상 데이터를 화상 처리하고 있고, 최초에 도포 예정의 부분 에어리어[즉, 촬상부(39a)로 된 부분 에어리어]의 스크라이브(29)의 위치의 보정값을 산출한다. 즉, 이 최초에 도포 대상이 되는 부분 에어리어에서 도포를 행할 때의, 도포 헤드(15)를 위치 결정할 때의 보정 데이터를 구하고 있다.
도포 헤드(15)가 X축 방향으로 이동하고, 촬상부(39a)에 있던 최초의 부분 에어리어를 도포 개시하는 위치에 도달하면, 도 6의 (b)에 도시한 바와 같이, 이 최초의 부분 에어리어가 도포부(40a)로 되고, 2번째의 부분 에어리어가 다음의 촬상부(39b)로 된다. 이러한 상태에서 도포 헤드(15)에 의한 도포 동작(도 5의 스텝 150)을 시작하면, 이 도포 헤드(15)가 Y축 방향으로 이동하여 도포를 행한다. 이것과 함께, 상기와 같이 하여 얻어진 보정 데이터에 의해, 도포 헤드(15)의 X축 방향의 위치를 조정하고, 이에 의해, 도포 헤드(15)는 이 최초의 부분 에어리어의 스크라이브(29)를 따라서 정확하게 도포하게 된다.
또한, 촬상부(39b)에 있어서, 촬영 카메라(19)로 촬상부(39b)로서의 2번째의 부분 에어리어에서의 스크라이브(29)를 촬상하여 그 위치를 구한다. 그리고, 이 도포부(40a)에서의 최초의 부분 에어리어의 도포 동작을 종료하면, 도포 헤드(15)를 이 2번째의 부분 에어리어의 방향(X축 방향)으로 이동시킨다. 그 이동 중, 먼저 촬상부(39b)에서 촬영 카메라(19)로 촬상한 촬상 데이터를 화상 처리하고, 다음에 도포 예정인 2번째의 부분 에어리어의 스크라이브(29)의 위치의 보정값을 산출한다. 이 2번째의 부분 에어리어에서 도포를 행할 때에 이동하는 도포 헤드(15)의 이동 중의 위치를 보정하는 보정 데이터를 구한다. 이러한 처리는 도 5의 스텝 160으로부터 스텝 180에 해당한다.
도포 헤드(15)가 다음에 도포 예정인 2번째의 부분 에어리어에 도달하면, 도 6의 (c)에 도시한 바와 같이, 2번째의 부분 에어리어가 도포부(41b)로 되고, 또한 다음의 도포 대상이 되는 3번째의 부분 에어리어가 촬상부(39c)로 된다. 그리고, 이 2번째의 부분 에어리어에서의 도포 동작에서는, 도포 헤드(15)가 Y방향으로 이동하여 도포가 행해지지만, 상기와 같이 하여 얻어진 보정 데이터에 의해, 도포 헤드(15)의 X축 방향의 위치가 조정되고, 이에 의해, 도포 헤드(15)는 이 2번째의 부분 에어리어의 스크라이브(29)를 따라서 정확하게 도포하게 된다.
이하, 이러한 일련의 동작이 각 부분 에어리어마다 반복되어, 동일한 도포 대상 에어리어에서의 모든 그룹에서의 도포가 완료되면, 종료(도 5의 스텝 190)이다.
다음에, 도 5의 스텝 120, 스텝 170에서의 어긋남량의 산출 방법을 도 6의 (b) 및 도 7 내지 도 9를 사용하여 설명한다. 이 예에서는, 특히, 필름(1)의 신축이나 위치 결정의 영향에 의해 X방향의 어긋남량이 현저해지므로, X방향의 보정을 행하는 것이다.
여기서는, 도 6의 (b)의 Y2 위치에서 스크라이브(29)를 촬상한 경우로 설명한다. 선 형상으로 되어 있는 스크라이브(29)에서의 Y방향의 촬상 위치는 임의로 설정할 수 있다. 도 8의 예에서는, 스크라이브(29)의 중간점으로부터 산출하는 것이다. 이 중간점은, 도 6의 (b)에 도시한 바와 같이 도포 개시 예정 위치(Y1로부터 ΔY12)만큼 이격된 위치로 된다.
도 7은 이와 같이 하여 촬영 카메라(19)로 촬상한 화상을 도시하는 도면이며, 부호 41은 카메라 시야이다.
도 7에 있어서, 이 예에서는 단면이 홈 형상인 3개의 스크라이브(29)가 촬영되어 있다. 스크라이브(29)의 위치의 산출에 있어서는, 촬영 카메라(19)의 카메라 시야(41) 내의 중앙부에 윈도우를 설정하고, 좌우와 밝기가 변화되는 점의 위치를 추출하여 백색부와 흑색부의 경계를 산출해도 좋다. 혹은, 도 8에 도시한 바와 같이, 임계값을 설정하여 이치화 처리에 의해, 흑색 물체(B1, B2, B3, B4)와 스크라이브(29)인 백색 물체(W1, W2, W3)로 나누어도 좋다.
도 8에 있어서, 중간 위치의 백색 물체(W2)에 착안하여, 카메라 시야(41)의 Y방향의 중간이 되는 LH선과의 교점을 점(N2)으로 한다. 카메라 시야(41)의 X방향, Y방향의 중간점은 LH선과 카메라 시야(41)의 X방향의 중간이 되는 LV선의 교점인 점(C)[즉, 카메라 시야(41)의 중심점]이다. 중심점(C)과 점(N2) 사이의 X방향의 거리는 ΔX2이다. 중심점(C)은 설계상에서의 백색 물체(W2), 즉, 스크라이브(29)의 위치이고, X방향의 거리(ΔX2)가 필름(1)의 X방향의 어긋남량이다. 또한, 스크라이브(29)는 직선이므로, LH선과 평행한 가상선과 스크라이브(29)의 교점을 구하여, 스크라이브(29) 상의 이 교점과 점(N2)의 위치 관계로부터, LV선에 대한 백색 물체(W2)의 경사각(Δθ2)을 산출할 수 있다.
도 6의 (b)로부터, 스크라이브(29)에서의 Y2 위치에서의 어긋남량(ΔX2)과 경사각(Δθ2)을 산출할 수 있다. 도포 개시 예정 위치(Y1)의 X방향의 어긋남량은,
ΔX2＋ΔY12ㆍtan(Δθ2)
로서 산출할 수 있다. 이 값을 기초로 위치(Y1)에서의 X방향 어긋남량을 보정할 수 있다.
또한, 스크라이브(29)에서의 도포 종료 예정 위치(Y3)의 X방향 어긋남량은,
ΔX2＋ΔY23ㆍtan(Δθ2)
로서 산출할 수 있다[단, ΔY23은 Y2 위치로부터 도포 종료 예정 위치(Y3)까지의 거리]. 마찬가지로, 이 값으로부터 위치(Y3)에서의 X방향 어긋남량을 보정할 수 있다. 다른 도중의 점에 있어서의 X방향 어긋남량도 마찬가지로 계산할 수 있고, 그 위치 어긋남을 보정할 수 있다. 위치(Y1, Y3)가 각각 도포 개시 예정 위치, 도포 종료 예정 위치가 아닌 경우에는, 또한 위치(Y1)와 위치(Y3)의 외측도 마찬가지로 보정할 수 있게 된다.
도 8에 도시하는 예보다도 어긋남량의 산출 정밀도를 더욱 좋게 하는 다른 방법을 도 9에서 설명한다. 단, 도 9에 있어서, 부호 41a, 부호 41b는 카메라 시야이고, 전출 도면에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.
이 방법은 스크라이브(29)의 중간점 1점이 아니라, 그 상방과 하방의 2점으로부터 보정값을 산출하는 것이고, 도 6의 (b)에서는 위치(Y1)와 위치(Y3)의 2점이다.
도 9에 있어서, 스크라이브(29)의 도포 개시 예정 위치측의 1개의 위치를 Y1, 도포 종료 예정 위치측의 1개의 위치를 Y3으로 하고, 카메라 시야(41a)는 위치 보정 전의 촬상 카메라(19)로 위치(Y1)가 중심점(C)으로 되도록 촬상했을 때의 카메라 시야이다. 카메라 시야(41b)는 위치 보정 전의 촬상 카메라(19)로 위치(Y3)가 중심점(C)으로 되도록 촬상했을 때의 카메라 시야이다. 위치(Y3)에서의 촬상은 위치(Y1)에서 촬상을 종료한 카메라부(19)를 Y축 방향으로 위치(Y3)까지 이동시켜 행해지는 것이다. 여기서, 필름(1)의 신축이나 위치 결정의 영향으로 X축 방향의 어긋남량이 현저하므로, 카메라 시야(41a, 41b)에서의 위치(Y1, Y3)는 시야의 중심점으로부터 X축 방향으로 어긋나게 된다. 또한, 도 9에 있어서는, 그 좌측에 카메라 시야(41a, 41b)를 각각 확대하여 도시하고 있다.
촬영 카메라(19)로 촬상한 카메라 시야(41a, 41b) 각각에 있어서, 그 화상으로부터 중간의 백색 물체(W2)[스크라이브(29)]에 착안하여, 촬영 카메라(19)의 카메라 시야(41a, 41b) 각각 중 Y방향의 중간이 되는 LH선과 이 백색 물체(W2)의 위치(Y1, Y3)측의 교점을 각각 점(N1, N3)으로 하고, 이들 카메라 시야(41a, 41b)의 중심점(C)으로부터 점(N1, N3)까지의 X방향의 거리를 각각 ΔX1, ΔX3으로 한다. 중심점(C)은 설계상에서의 스크라이브(29)의 중심 위치이므로, 거리(ΔX1, ΔX3)가 필름(1)의 각각의 점에서의 X방향의 어긋남량으로 된다. 촬영 카메라(19)에서의 촬상 시에, 위치(Y1)와 위치(Y3)의 2점 사이의 거리인 (ΔY12＋ΔY23)의 값은 결정되어 있다. 이것으로부터, 어긋남량(ΔX1, ΔX3)을 기초로 한 위치(X1, X3)의 위치도 산출 가능하고, 도포 대상이 되는 스크라이브(29)의 Y축 방향에 대한 경사각(Δθ13)도 산출할 수 있다.
마찬가지로 하여, 위치(Y1)와 위치(Y3) 사이의 각 위치에서의 X방향의 어긋남량을 보정할 수 있게 된다. 또한, 위치(Y1)와 위치(Y3)의 외측도 가상선을 상정하여 계산, 보정할 수 있게 된다.
도 8에 도시하는 Y2 위치 1점에서 촬상한 결과로부터 경사각(Δθ2)을 구하는 경우에는, 촬영 카메라(19)의 시야 내의 Y방향에서 수㎜인 것에 비해, 도 9에 도시하는 위치(Y1)와 위치(Y3)의 2점을 촬상하는 경우에는, 이들 2점 사이의 거리가 압도적으로 크기 때문에, 경사값(Δθ13)의 정밀도가 각별히 향상된다.
도 10은 본 발명에 의한 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제2 실시 형태에 있어서의 도포 상태를 도시하는 사시도이다. 부호 42a, 42b는 위치 결정 마크이고, 도 1에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.
도 10에 있어서, 필름(1)의 각 도포 대상 에어리어마다, 그 일측에 위치 결정 마크(42a)를 설치하고, 그 타측에 위치 결정 마크(42b)를 각각 설치하고 있다. 이것을 촬영 카메라(19)로 촬영하여, 화상 처리에 의해, 도포부에 고정한 필름(1)의 전체의 고정 위치를 파악한다. 이에 의해, 필름(1)을 권출한 상태의 어긋남량을 파악할 수 있다. 이로 인해, 다음에 촬영 카메라(19)로 스크라이브(29)를 촬영할 때에, 카메라 시야의 보다 중심 근처에 스크라이브(29)를 촬영할 수 있으므로, 카메라 분해능도 크게 할 수 있어, 보다 정확한 도포 위치로의 위치 결정이 가능해진다.
도 11은 이때의 처리 수순을 도시하는 흐름도이며, 도 5에 대응하는 스텝에는 동일한 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다.
도 11에 있어서, 도 5에 도시한 제1 실시 형태에 있어서의 처리의 흐름과의 차이는, 처리의 최초의 스텝으로서, 도포 헤드에 설치한 촬상 카메라(19)로 필름(1) 상의 도포 대상 에어리어의 전후에 설치된 위치 결정 마크(42a, 42b)를 촬상하고, 화상 처리를 행하여 필름(1) 전체의 X축 방향의 위치 어긋남량을 산출하는 스텝 105의 처리를 추가한 것이다. 이 스텝 105의 처리에 의해, 제1 목적으로서는, Y방향의 어긋남량을 보정하는 것이며, 위치 결정 마크(42a, 42b)의 위치로부터 스크라이브(29)의 단부의 Y방향의 위치 어긋남을 산출한다. 필름(1) 내에서는, 위치 결정 마크(42a, 42b)의 위치와 스크라이브(29)의 위치의 상대적인 위치 관계가 대략 일정한 것을 이용하고 있다. 제2 목적으로서는, X방향의 어긋남량을 보정하는 것이다. 이는, 필름(1)의 도포부(17)(도 2)에서의 도포 대상 에어리어의 X축 방향의 어긋남량이 얻어지는 것으로, 동일한 도포 대상 에어리어에서의 각 부분 에어리어에서의 X축 방향의 어긋남량을 보정하는 데 사용하는 것이다.
즉, 도 5에서의 스텝 130 대신에, 스텝 135의 처리를 행한다. 이 스텝 135에 있어서, 동일한 도포 대상 에어리어에서의 최초의 부분 에어리어에 대해, 스텝 120, 스텝 130의 처리에 의해 얻어진 보정값에 대해, 스텝 105에서 얻어진 위치 어긋남량을 가미하여, 도포 헤드(15)의 위치 어긋남을 보정하는 것이다. 구체적으로는, 도포 대상 에어리어에서 도포 동작을 행하는 경우, 우선, 스텝 105에서 얻어진 필름(1) 전체의 X방향의 보정값을 기초로, 도포 헤드(15)를 정확하게 도포 대상 에어리어의 위치로 이동시킨다. 이 도포 대상 에어리어에서 도포를 행할 때에, 그 각 부분 에어리어에서 도 6의 (b), 도 8에서 얻어진 보정값이나 도 9에서 얻어진 보정값을 기초로, 도포 헤드(15)를 스크라이브(29)를 따라서 이동시키는 것이다.
마찬가지로 하여, 동일한 도포 대상 에어리어의 2번째 이후의 부분 에어리어에 대해서도, 도 5에 도시하는 스텝 180 대신에, 스텝 185의 처리가 행해지는 것이다. 이 스텝 185에 있어서도, 스텝 160, 스텝 170의 처리에 의해 얻어진 보정값에 스텝 105에서 얻어진 위치 어긋남량을 가미하여, 도포 헤드(15)의 위치 어긋남을 보정하는 것이다.
이상과 같이, 스크라이브(29)의 위치를 촬상하여, 다음에 도포해야 할 부분 에어리어의 스크라이브(29)의 위치 어긋남에 대해, 이것을 보정하도록 도포 헤드(15)의 위치를 보정함으로써, 잉크젯 도포 헤드의 노즐 구멍으로부터 정확한 위치에 액적을 사출할 수 있게 된다. 이에 의해, 필름의 도포 품질이 향상되지만, 이것에 추가하여, 필름 전체의 위치 어긋남을 가미하여 보정함으로써, 도포 품질은 더욱 향상된다.
1 : 필름
2 : 권출측 필름 롤
3 : 권취측 필름 롤
4, 5 : 가이드 롤
6, 7 : 승강 가이드 롤
8, 9 : 흡착 바
10 : 흡착 테이블
11 : 권출측 축모터
12 : 권취측 축모터
13, 14 : 필름 압박 바
15 : 도포 헤드
16 : 권출부
17 : 도포부
18 : 권취부
19 : 촬영 카메라
20 : X축 구동 수단
21 : Z축 구동 수단
22 : Y축 구동 수단
23 : Y축 갠트리
24 : Y축 스테이지
25 : 폴리이미드 필름층
26 : CIGS 박막층
27 : 버퍼층
28 : 투명 전극층
29 : 스크라이브
30 : 진공 밸브
31 : 레귤레이터
32 : 밸브 유닛
33 : 에어 실린더
34 : USB 메모리
35 : 하드 디스크
36 : 제어 유닛
36a : 마이크로 컴퓨터
36b : 데이터 통신 버스
36c : 외부 인터페이스
36d : 도포 헤드 컨트롤러
36e : 화상 처리 컨트롤러
36f : 모터 컨트롤러
37 : 모니터
38 : 키보드
36gx : X축 드라이버
36gy : Y축 드라이버
36gz : Z축 드라이버
37 : 모니터
38 : 키보드
39a 내지 39c : 촬상부
40a, 40b : 도포부
41, 41a, 41b : 카메라 시야

Claims (6)

  1. 롤 형상의 필름을 권출하여 반송하는 상류측의 가이드 롤과, 권출된 상기 필름을 흡착 유지하는 흡착 테이블과, 상기 흡착 테이블에 흡착 유지된 상기 필름 상에 액상의 도포재를 도포하는 도포 헤드와, 도포재가 도포된 상기 필름을 반송하여 롤 형상으로 권취하는 하류측의 가이드 롤로 이루어지는 잉크젯 도포 장치에 있어서,
    상기 도포 헤드에 인접하여 촬상 카메라를 설치하고, 상기 도포 헤드와 상기 촬상 카메라는 설치 위치가 일체로 되어 도포 헤드 유닛부를 형성하고,
    상기 도포 헤드 유닛은 상기 흡착 테이블의 상방에 있어서, 3차원적으로 이동 가능한 XYZ축 방향 구동 수단에 의해 이동되고,
    상기 도포 헤드에 의한 도포 동작 중에 상기 촬상 카메라로 다음에 도포하는 위치를 미리 촬상하고,
    상기 촬상 카메라에 의한 촬상 결과를 화상 처리 수단으로 처리함으로써 당초 설정된 도포 위치와의 어긋남량을 보정하여, 다음에 도포하는 위치로의 상기 도포 헤드를 이동시키는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 도포 헤드 유닛부는 복수 조이고,
    상기 XYZ축 방향 구동 수단은, 상기 필름의 폭 방향이 되는 Y축 방향을 공통화하여 모든 도포 헤드 유닛부가 동작하고, 상기 필름의 길이 방향이 되는 X축 방향과 높이 방향이 되는 Z축 방향에 대해서는, 도포 헤드 유닛부마다 개별로 이동 가능한 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 필름의 도포 위치에는 위치 결정용 마크가 설치되어 있고,
    권출된 상기 필름을 흡착 유지한 상태에서 상기 위치 결정용 마크를 상기 촬상 카메라에 의해 촬상하고,
    상기 필름의 흡착 유지의 위치 어긋남량도 맞추어 보정하여, 다음에 도포하는 위치로의 상기 도포 헤드를 이동시키는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 촬상 카메라로 미리 촬상하는 도포 위치의 형상이 선 형상의 홈 형상 단면인 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
  5. 롤 형상의 필름을 권출하여 반송하는 상류측의 가이드 롤과, 권출된 상기 필름을 흡착 유지하는 흡착 테이블과, 상기 흡착 테이블에 흡착 유지된 상기 필름 상에 액상의 도포재를 도포하는 도포 헤드와, 도포재가 도포된 상기 필름을 반송하여 롤 형상으로 권취하는 하류측의 가이드 롤로 이루어지는 잉크젯 도포 장치에 있어서,
    상기 도포 헤드에 인접하여 촬상 카메라를 설치하고, 상기 도포 헤드와 상기 촬상 카메라는 설치 위치가 일체로 되어 도포 헤드 유닛부를 형성하고,
    상기 도포 헤드 유닛은 상기 흡착 테이블의 상방에 있어서, 3차원적으로 이동 가능한 XYZ축 방향 구동 수단에 의해 이동되고,
    상기 XYZ축 방향 구동 수단은 상기 필름의 폭 방향이 되는 Y축 방향을 공통화하여 모든 도포 헤드 유닛부가 동작하고, 상기 필름의 길이 방향이 되는 X축 방향과 높이 방향이 되는 Z축 방향에 대해서는, 상기 도포 헤드 유닛부마다 개별로 이동 가능하고,
    상기 필름의 도포 위치에는 위치 결정용 마크가 설치되고,
    권출된 상기 필름을 흡착 유지한 상태에서 상기 위치 결정용 마크를 상기 촬상 카메라에 의한 촬상 결과를 화상 처리 수단으로 처리함으로써 상기 필름의 흡착 유지의 위치 어긋남량을 산출하고,
    또한, 상기 도포 헤드에 의한 도포 동작 중에 상기 촬상 카메라로 다음에 도포하는 위치를 미리 촬상하여 상기 촬상 카메라에 의한 촬상 결과를 화상 처리 수단으로 처리함으로써 당초 설정된 도포 위치와의 어긋남량을 산출하고,
    상기 흡착 유지의 위치 어긋남량과 상기 도포 위치 어긋남량을 함께 보정하여, 다음에 도포하는 위치로의 상기 도포 헤드를 이동시키는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 설정된 도포 위치와의 어긋남량의 산출은 상기 필름의 길이 방향의 위치와 상기 필름 상의 도포 방향 경사값을 기초로 산출하는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 방법.
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