JP2006287157A - 処理装置、処理装置における交換方法、着脱装置、着脱装置における着脱方法 - Google Patents

Abstract

【課題】装置構成を小型化、簡素化すると共に、部分的交換作業を高精度かつ効率的に行うことを可能とする各種処理装置等を提供する。
【解決手段】Ｘ方向移動機構５のスライダ７は、吸着テーブル３の下側に設けられる。Ｘ方向移動機構５のスライドレール９は、ベース１０の上側に設けられる。スライダ７をスライドレール９に沿って移動させることにより、吸着テーブル３の位置調整が行われる。また、スライダ７をスライドレール９に対して抜き差しさせることにより、吸着テーブル３の脱着が行われる。駆動機構１９の永久磁石２０は、吸着テーブル３の下側に設けられる。駆動機構１９のコイル２１は、ベース１０の上側に設けられる。駆動機構１９の駆動力がＸ方向移動機構５に作用し、吸着テーブル３がベース１０の上側に設けられるスライドレール９に沿って移動する。
【選択図】図１

Description

本発明は、対象物に対して所定の処理を行う各種処理装置等に関する。より詳細には、基板を所定の位置に載置する載置装置、基板に対して加工処理を行う加工装置等に関する。

従来、フレキシブル・プリント配線板とリジッド・プリント配線板とを連続させ一体化したフレキシブル・リジッド・プリント配線板が作製されている（例えば、［特許文献１］参照。）。
フレキシブル・リジッド・プリント配線板は、例えば、折り畳み式の携帯電話における回路配置に用いられる。リジッド・プリント配線板間をフレキシブル基板により結合することにより、携帯電話を折り畳み可能に構成することができる。

また、近年、プリント配線板、カラーフィルタ等の基板に用いられるガラスは、厚さが薄くなると共に、生産性を向上させるため、ガラスサイズが大型化しており、例えば、厚さ１ｍｍ以下、１５００ｍｍ×１８００ｍｍ（Ｇ６）、１９００ｍｍ×２２００ｍｍ（Ｇ７）等のサイズのものが用いられる。

特開平３−２４６９８６号公報

リジッド基板間にフレキシブル基板を位置決めする際、リジッド基板をテーブルに固定支持する必要がある。リジッド基板間には開口部が存在し、リジッド基板及びリジッド基板周縁の枠の位置以外にテーブルの吸着孔が配置されると、吸引時にエアがリークしてリジッド基板及びリジッド基板周縁の枠を把持できないという問題点がある。
また、複数種類の製品に対応させるために、吸着エリアを選択可能な吸着テーブルを用いることもあるが、全ての品種に対応することが困難であるという問題点がある。
また、基板の位置決めには、数ミクロン〜数十ミクロンオーダの精度が必要とされるが、基板の大型化等に伴い、精度を維持することが困難であるという問題点がある。

また、基板等の対象物に対して加工処理及び吸着支持等の所定の処理を行う各種処理装置において、他の品目への対応及び装置の維持管理等ために処理装置の一部を交換する場合、作業が極めて煩雑となって稼働率が低下することがあるという問題点がある。

本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、装置構成を小型化、簡素化すると共に、部分的交換作業を高精度かつ効率的に行うことを可能とする各種処理装置等を提供することを目的とする。

前述した目的を達成するために第１の発明は、所定の処理を行う第１装置と前記第１装置を支持する第２装置とを備える処理装置であって、前記第２装置に対して少なくとも１つの前記第１装置を個別に移動可能かつ個別に着脱可能に装着させる移動機構と、前記第２装置に対して前記第１装置を移動させるための駆動力を与える駆動機構と、を具備することを特徴とする処理装置である。

また、処理装置は、第２装置に対する第１装置の位置を測長する測長機構を具備するようにしてもよい。

処理装置は、所定の処理を行う装置であり、第１装置及び当該第１装置を支持する第２装置等から構成される。
処理装置は、例えば、基板の吸着支持を行う載置装置、あるいは、基板に対して加工を行う加工装置（ヘッドユニット等）等である。処理装置が載置装置である場合、第１装置は、吸着テーブル等であり、第２装置は、当該吸着テーブルを支持するベース等である。処理装置がヘッドユニットである場合、第１装置は、ヘッド等であり、第２装置は、当該ヘッドを支持するベース等である。

移動機構は、可動部（スライダ等）、固定部（スライドレール等）から構成されるスライド機構等である。尚、可動部は、第１装置側に設けられ、固定部は、第２装置側に設けられる。移動機構としては、例えば、ガイドレール等から構成されるガイド機構やエアフロートユニット等から構成されるエアスライダ機構等を用いることができる。
尚、移動機構の可動部と固定部とは、移動方向に関しては互いに嵌挿（抜き差し）することにより着脱可能とし、上下方向等に関しては互いに把持しあう構成あるいは一方が他方を把持する構成として分離不能とすることが望ましい。

駆動機構は、可動子（永久磁石等）、固定子（励磁コイル等）から構成されるリニアモータ等である。尚、可動子は、第１装置側に設けられ、固定子は、第２装置側に設けられる。
尚、駆動機構がリニアモータである場合、コイル可動形、磁石可動形のいずれでもよい。第２装置側に電気系統を集約する場合、磁石可動形のリニアモータを用いることが望ましい。

測長機構は、スケール（リニアスケール等）、スケール読取部（リニアスケールヘッド等）から構成される測長装置等である。
尚、第１装置側にスケールを設け第２装置側にスケール読取部を設けてもよいし、第１装置側にスケール読取部を設け第２装置側にスケールを設けてもよい。第２装置側に電気系統を集約する場合、第１装置側にスケールを設け第２装置側にスケール読取部を設けることが望ましい。

第１の発明の処理装置では、第１装置は、同一の移動機構を介して、第２装置に対して移動し、第２装置に対して着脱される。尚、第１装置は、駆動機構からの駆動力により移動する。また、測長機構により、第２装置に対する第１装置の位置、移動量等を測長する。

第１の発明の処理装置では、同一の移動機構により、脱着用の移動機構及び駆動用の移動機構を同時に構成することができるので、その分、装置高さ等を小さくすることができる。また、移動機構から装置部分の交換を行うことができる。すなわち、装置構成を小型化、簡素化すると共に、部分的交換作業を高精度かつ効率的に行うことができる。
また、各種処理装置における処理対象の変更及び維持管理等に伴う装置部分の交換を迅速かつ効率的におこなうことができる。
尚、移動機構の可動部の側面側に駆動機構の可動子を設け、移動機構の固定部の側面側に駆動機構の固定子を設けることにより、駆動機構の設置による装置高さの増加を抑制することが望ましい。

第２の発明は、所定の処理を行う第１装置と、前記第１装置を支持する第２装置と、固定部と前記固定部に対して移動可能かつ着脱可能である可動部とから構成される移動機構と、固定子と可動子とから構成される駆動機構と、を具備し、前記可動部及び前記可動子は前記第１装置側に設けられ、前記固定部及び前記固定子は前記第２装置側に設けられる、処理装置における前記第１装置の交換方法であって、前記駆動機構により前記第２装置に対して前記第１装置を移動させるステップと、前記移動機構の固定部から前記移動機構の可動部を抜き出して前記第１装置の取り外しを行うステップと、前記移動機構の固定部に前記移動機構の可動部を差し込むことにより、前記第１装置と同一または異なる第１装置の取り付けを行うステップと、を具備することを特徴とする交換方法である。

第２の発明は、第１の発明の処理装置における第１装置の交換方法に関する発明である。
移動機構の可動部は、第１装置側に設けられる移動機構の構成部材であり、例えば、スライダである。
移動機構の固定部は、第２装置側に設けられる移動機構の構成部材であり、例えば、スライドレールである。

第２の発明では、第１装置側に設けられる移動機構の可動部を第２装置側に設けられる移動機構の固定部に対して抜き差しすることにより、処理装置に対して第１装置の脱着を行う。
また、測長機構により、第２装置に対する第１装置の位置を測長して、取り付けた第１装置の位置決め等を行うようにしてもよい。
また、処理装置とは別に第１装置を搬送する搬送装置（キャリア等）を用意し、搬送装置に設けられる固定部と第２装置に設けられる固定部とを連結し、連結された固定部に沿って、第１装置を搬送装置と第２装置との間で移動させるようにしてもよい。尚、固定部の連結及び位置固定等に関しては、位置決めピン、案内部材等を用いて行うことが望ましい。

第３の発明は、第１装置と第２装置とを着脱する着脱装置であって、固定部と前記固定部に対して移動可能かつ着脱可能である可動部とから構成される移動機構を具備し、前記可動部は、前記第１装置側に設けられ、前記固定部は、前記第２装置側に設けられることを特徴とする着脱装置である。
また、固定子と可動子とから構成される駆動機構をさらに具備し、前記可動子は、前記第１装置側に設けられ、前記固定子は、前記第２装置側に設けるようにしてもよい。

第３の発明は、第１の発明の処理装置における着脱機構に関する発明である。
第３の発明の着脱装置では、駆動機構により第２装置に対して第１装置を移動させ、移動機構の固定部から移動機構の可動部を抜き出して第２装置から第１装置を取り外し、移動機構の固定部に移動機構の可動部を差し込むことにより第２装置に第１装置を取り付けることができる。また、第２装置に対する第１装置の位置を測長して位置決め等を行うこともできる。

第４の発明は、固定部と前記固定部に対して移動可能かつ着脱可能である可動部とから構成される移動機構と、固定子と可動子とから構成される駆動機構と、を具備し、前記可動部及び前記可動子は第１装置側に設けられ、前記固定部及び前記固定子は第２装置側に設けられる、着脱装置における前記第１装置と前記第２装置との着脱方法であって、前記駆動機構により前記第２装置に対して前記第１装置を移動させるステップと、前記移動機構の固定部から前記移動機構の可動部を抜き出して前記第２装置から前記第１装置の取り外しを行うステップと、前記移動機構の固定部に前記移動機構の可動部を差し込むことにより前記第２装置に前記第１装置の取り付けを行うステップと、を具備することを特徴とする着脱方法である。

第４の発明は、第３の発明の着脱装置における着脱方法に関する発明である。

本発明によれば、装置構成を小型化、簡素化すると共に、部分的交換作業を高精度かつ効率的に行うことを可能とする各種処理装置等を提供することができる。

以下、添付図面を参照しながら、本発明に係る各種処理装置等の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明及び添付図面において、略同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略することにする。

最初に、図１〜図３を参照しながら、本発明の実施の形態に係る各種処理装置としての載置装置１の構成について説明する。
図１は、載置装置１の概略斜視図である。
図２は、載置装置１をＸ方向から見た図である。
図３は、載置装置１をＹ方向から見た図である。
尚、Ｘ軸及びＹ軸は、直交する２方向を示し、Ｚ軸は、鉛直方向を示す。

図１に示す載置装置１は、吸着テーブル３、Ｘ方向移動機構５、Ｙ方向移動機構１１、定盤１７等により構成される。

載置装置１は、載置対象物を載置台に載置する装置である。載置対象物は、例えば、ガラス基板、プリント基板等の基板、シリコンウェハ等のウェハである。載置台は、載置対象物を載置する台であり、例えば、吸着テーブル等である。

吸着テーブル３は、基板（ガラス基板、プリント基板等）を吸着して固定するテーブルである。基板の吸着は、例えば、吸着テーブルと基板との間の空気を減圧、真空にすることにより行われる。この場合、吸着テーブル３には、空気を吸引するための吸着孔４が設けられ、吸着の際には当該吸着孔４を通じて真空ポンプ（図示しない）等により空気の吸引が行われる。

吸着テーブル３は、Ｘ方向移動機構５を介してベース１０に設けられる。ベース１０は、Ｙ方向移動機構１１を介して定盤１７に設けられる。
吸着テーブル３は、Ｘ方向移動機構５によりＸ方向に移動可能である。Ｘ方向移動機構５による位置制御により吸着テーブル３のＸ方向の位置調整を行うことができる。ベース１０は、Ｙ方向移動機構１１によりＹ方向に移動可能である。Ｙ方向移動機構１１による位置制御によりベース１０のＹ方向の位置調整を行うことができる。

Ｘ方向移動機構５は、直線移動機構である。Ｘ方向移動機構５は、例えば、スライダ７及びスライドレール９から構成することができる。スライダ７は、スライドレール９に沿って直線移動可能である。
スライダ７とスライドレール９とは、Ｘ方向に関しては互いに嵌挿（抜き差し）することにより着脱可能とし、上下方向等に関しては互いに把持させる構成あるいは一方が他方を把持する構成として分離不能とすることが望ましい。
尚、Ｘ方向移動機構５としては、汎用の移動機構を用いることができる。

Ｙ方向移動機構１１は、直線移動機構である。Ｙ方向移動機構１１は、例えば、スライダ１３及びスライドレール１５から構成することができる。スライダ１３は、スライドレール１５に沿って直線移動可能である。
尚、Ｙ方向移動機構１１としては、汎用の移動機構を用いることができる。

駆動機構１９は、Ｘ方向移動機構５を駆動させる装置である。駆動機構１９は、例えば、リニアモータであり、永久磁石２０、コイル２１等から構成される。永久磁石２０は、その外側を磁束の漏洩を防止するために金属製の部材（図示しない）により抱持される。
コイル２１を流れる電流により生じる磁力により、永久磁石２０は、複数のコイル２１から構成されるコイル列２２に沿って移動する。

ピン孔２８は、キャリア２３に設けられる位置決めピン２７の挿入孔である。尚、キャリア２３、ピン孔２８及び位置決めピン２７による位置決めについては、後述する。

次に、図１〜図４を参照しながら、載置装置１における吸着テーブル３の着脱について説明する。
図４は、載置装置１から吸着テーブル３側を分離した場合における吸着テーブル３側を示す斜視図である。

Ｘ方向移動機構５のスライダ７は、吸着テーブル３の下側に設けられる。Ｘ方向移動機構５のスライドレール９は、ベース１０の上側に設けられる。
スライダ７をスライドレール９に沿って移動させることにより、吸着テーブル３の位置調整が行われる。また、スライダ７をスライドレール９に対して抜き差しさせることにより、吸着テーブル３の脱着が行われる。
図４に示すように、スライダ７をスライドレール９から抜き出すことにより、吸着テーブル３を載置装置１から取り外すことができる。

駆動機構１９の永久磁石２０は、吸着テーブル３の下側に設けられる。駆動機構１９のコイル２１は、ベース１０の上側に設けられる。
駆動機構１９の永久磁石２０とコイル列２２との間に生じる電磁力により、Ｘ方向に駆動力が生じる。駆動機構１９の駆動力がＸ方向移動機構５に作用し、吸着テーブル３がベース１０の上側に設けられるスライドレール９に沿って移動する。

載置装置１には、測長機構（図示しない。）が設けられる。測長機構は、リニアスケールヘッド（図示しない。）、リニアスケール（図示しない。）等から構成され、ベース１０に対する吸着テーブル３の位置、駆動機構１９による吸着テーブル３の移動量等を測長する。
例えば、吸着テーブル３の下側にリニアスケールを設け、ベース１０の上側に、リニアスケールヘッドを設け、リニアスケールヘッドによりリニアスケールを読み取ることにより測長を行い、吸着テーブル３の位置、移動量等を制御する。

このように、図１〜図４を用いて説明したように、載置装置１におけるＸ方向移動機構５は、駆動機構１９の駆動力によりベース１０に対して吸着テーブル３をＸ方向に移動させるものであると共に、抜き差しすることによりベース１０に対して吸着テーブル３を脱着するためのものである。すなわち、同一のＸ方向移動機構５により、吸着テーブル３の移動及び脱着を行うことができる。

吸着テーブル３は、ベース１０のスライドレール９に沿って移動可能であり、スライドレール９に対して抜き差し可能であるので、駆動用及び脱着用の移動機構を上下に複数階層設ける必要はなく、その分、装置高さ等を小さくすることができる。従って、装置構成を小型化、簡素化して費用的負担、維持管理負担等を軽減することができる。

また、図１〜図３等に示すように、スライダ７の側面側に永久磁石２０を設け、スライドレール９の側面側にコイル２１を設けることにより、駆動機構１９の設置による装置高さの増加を抑制することができる。従って、移動機構部からテーブル吸着面までの距離を小さくすることができるので位置決め誤差を軽減することができる。

次に、図５〜図８を参照しながら、キャリア２３による吸着テーブル３の着脱について説明する。
図５は、キャリア２３を示す斜視図である。
図６は、キャリア２３による吸着テーブル３の搬送を示す図である。
図７は、載置装置１に対する吸着テーブル３の着脱を示す図である。
図８は、キャリア２３と載置装置１のベース１０との間の位置固定方法を示す図である。

キャリア２３は、載置装置１から取り外した吸着テーブル３や載置装置１に取り付ける吸着テーブル３を搬送する装置である。

図５に示すように、キャリア２３の上面には、スライドレール２５が設けられる。キャリア２３のスライドレール２５と載置装置１のスライドレール９の断面形状（Ｘ方向垂直断面）は、同一である。キャリア２３のスライドレール２５は、載置装置１のスライドレール９と連結可能な位置に設けられる。
キャリア２３の側面であって、載置装置１のベース１０と当接する面には、位置決めピン２７が設けられる。位置決めピン２７をベース１０の側面に設けられるピン孔２８に挿入することにより、キャリア２３とベース１０とを互いに位置固定することができる。

図６に示すように、キャリア２３のスライドレール２５に吸着テーブル３のスライダ７を差し込み、キャリア２３と共に吸着テーブル３を搬送することができる。
吸着テーブル３の重量に応じてキャリア２３に取っ手（図示しない。）を設け、当該取っ手によりキャリア２３ごと吊り上げて吸着テーブル３を搬送するようにしてもよい。また、台車等を用いて、吸着テーブル３を載せたキャリア２３を搬送するようにしてもよい。
スライドレール２５とスライダ７とが互いに把持し合い上下方向に分離できない構成となっている場合には、キャリア２３を上下逆にして吊り下げて吸着テーブル３を搬送することもできる。

図７に示すように、載置装置１から吸着テーブル３を取り外す場合、あるいは、載置装置１に吸着テーブル３を取り付ける場合、キャリア２３の側面を載置装置１のベース１０の側面に当接させ、ベース１０のスライドレール９とキャリア２３のスライドレール２５とを連結させる。
尚、キャリア２３の位置決めピン２７を載置装置１のベース１０のピン孔２８に挿入して互いの位置を固定することができる。
スライドレール２５とスライドレール９とを連結することにより、それぞれのスライドレールが延長される。吸着テーブル３は、連結されたスライドレール２５及びスライドレール９に沿って、キャリア２３〜載置装置１間を移動可能である。

図８に示すように、キャリア２３の側面からスライドレール２５の端部を突出させ、一方、載置装置１のベース１０の側面からスライドレール９の端部を後退させ、スライドレール９の端部両側面にガイド２９を設けるようにしてもよい。尚、ガイド２９の端部には、テーパ３１を設けることが望ましい。
キャリア２３のスライドレール２５の端部をベース１０のガイド２９間に挿嵌することにより、スライドレール２５とスライドレール９とを連結すると共に位置固定することができる。

このように、図５〜図８を用いて説明したように、キャリア２３のスライドレール２５と載置装置１のスライドレール９とを連結して、両スライドレール間において吸着テーブル３を移動させることにより、載置装置１における吸着テーブル３の交換作業を効率的に行うことができる。

次に、図９及び図１０を参照しながら、載置装置１を備える配線基板ユニット製造装置４１について説明する。
図９は、配線基板ユニット製造装置４１の構成を概略的に示す図である。
図１０は、配線基板ユニット製造装置４１の構成を機能的に示すブロック図である。

図９に示すように、配線基板ユニット製造装置４１は、配線基板供給部として設けられた基板供給ステーション４２及びフレキ載置ステーション４５と、基板組付ステーション４３（載置装置１）と、製品収容ステーション４７とを備える。
尚、基板組付ステーション４３は、先述の載置装置１に相当する。

また、配線基板ユニット製造装置４１には、図１０に示すように、位置決め手段として機能するリジッド基板ハンドリング装置（以下「リジッドハンド」と称する）５１及びフレキシブル基板ハンドリング装置（以下「フレキハンド」と称する）４９と、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）等を備え、端子位置検出手段として機能するリジッド位置測定カメラ５０及びフレキ位置測定カメラ５７と、固着手段として機能する仮止め用加熱装置５９と、装置全体の機器制御を統括して行うシステムコントローラ５８とが設けられている。また、仮止め用加熱装置５９を用いて行われる仮止め（仮固着）工程の後段の処理工程（本固着工程）で用いられる機器として、仮止め用加熱装置５９とともに固着手段として機能する真空多段プレス機（図示せず）が設けられている。

基板供給ステーション４２は、単数枚又は複数枚のリジッド基板６３を基板支持枠（基板支持用のフレーム）６１に接合して構成されるリジッド基板アッセンブリ６５を基板組付ステーション４３側へ供給するために設けられている。基板供給ステーション４２には、リジッド基板供給ケース５２が設置されており、このリジッド基板供給ケース５２は、基板の厚さ方向（Ｚ１−Ｚ２方向）に各々所定間隔をおいて積層構造で複数枚のリジッド基板アッセンブリ６５を収容することが可能である。また、このリジッド基板供給ケース５２には、例えば、リジッド基板アッセンブリ６５を、その厚さ方向に昇降移動させる昇降機構などが設けられている。さらに、リジッド基板供給ケース５２には、内部に収容されているリジッド基板アッセンブリ６５をケース外部、つまり、基板組付ステーション４３側に、リジッドハンド５１により取り出すための搬出口（図示せず）が設けられている。

フレキ載置ステーション４５は、基板組付ステーション４３側へ供給されるフレキシブル基板（フレキシブルプリント配線板）６７を載置しておくための場所である。フレキ載置ステーション４５には、フレキ載置台５５が設置されており、さらに、そのフレキ載置台５５の上には、複数枚のフレキシブル基板６７を載置可能なフレキ載置用トレー６９が置かれている。

基板組付ステーション４３は、組付台５４（吸着テーブル３）を備えており、この組付台５４上でリジッド基板アッセンブリ６５と、フレキシブル基板６７とを互いに固着して配線基板ユニット（フレキシブル・リジッド配線板）７１を作製するための箇所である。
尚、組付台５４は、先述の吸着テーブル３に相当する。
リジッド基板アッセンブリ６５は、基板供給ステーション４２側から基板組付ステーション４３側へリジッドハンド５１によって搬送され、さらに、リジッド位置測定カメラ５０によってその座標位置を測定されつつ組付台５４上の所定位置に位置決めされて置かれる。一方、フレキシブル基板６７は、フレキ載置ステーション４５側から基板組付ステーション４３側へフレキハンド４９によって搬送され、フレキ位置測定カメラ５７によって座標位置を測定されつつ組付台５４上のリジッド基板アッセンブリ６５上の所定部位に位置決めされて置かれる。互いに位置決めて組付台５４上で各々の接合部分どうしが重ね合わされたリジッド基板アッセンブリ６５とフレキシブル基板６７とは、まず、仮止め用加熱装置５９によって、まず、仮止め固定され（フレキシブル基板６７の端縁の主に樹脂部分がリジッド基板アッセンブリ６５にスポット溶着）、さらに、真空多段プレス機によって互いが強固に加熱溶着される。

製品収容ステーション４７は、前段の基板組付ステーション４３で作製された製品としての配線基板ユニット７１を収容（回収）するために設けられている。製品収容ステーション４７には、製品収容ケース５６が設置されており、この製品収容ケース５６は、基板の厚さ方向（Ｚ１−Ｚ２方向）に各々所定間隔をおいて積層構造で複数枚の配線基板ユニット７１を収容することが可能である。また、この製品収容ケース５６には、例えば、配線基板ユニット７１を、その厚さ方向に昇降移動させる昇降機構などが設けられている。さらに、製品収容ケース５６には、基板組付ステーション４３側から搬送されてきた配線基板ユニット７１をリジッドハンド５１によりケース内部に収容するための搬入口（図示せず）が設けられている。

システムコントローラ５８は、配線基板ユニット製造装置４１の全体的な制御や各種演算を実行するプロセッサ、ＲＡＭ、ＲＯＭなどを内蔵する。ＲＯＭには実行される制御や演算のためのプログラムや各種パラメータなどのソフトウェアが格納されており、プロセッサはこのＲＯＭからソフトウェアを読み込み、命令文を解釈し、ＲＡＭのメモリ空間を用いて命令を実行する。

すなわち、システムコントローラ５８は、上記リジッド位置測定カメラ５０及びフレキ位置測定カメラ５７によって捕捉されたリジッド基板アッセンブリ６５及びフレキシブル基板６７の映像を基に演算処理を行い、例えば２軸方向（Ｘ１−Ｘ２方向及びＹ１−Ｙ２方向）における仮想空間上のＸＹ座標位置を取得（認識）する。また、システムコントローラ５８は、リジッド基板アッセンブリ６５及びフレキシブル基板６７をそれぞれハンドリングするリジッドハンド５１及びフレキハンド４９を、３軸方向（Ｘ１−Ｘ２方向、Ｙ１−Ｙ２方向、Ｚ１−Ｚ２方向）及びこれらの基板表面に沿った（水平面を基準面とした）回転方向（θ１−θ２方向）の移動制御（位置決め制御）を行う。さらに、システムコントローラ５８は、仮止め用加熱装置５９の３軸方向の移動制御及び加熱温度の制御を行う。また、本固着手段として機能する上記真空多段プレス機は、図示しない制御部によってそのプレス圧及び加熱温度が制御される。

図１１は、リジッド基板アッセンブリ６５ａの一態様を示す図である。
図１１に示すリジッド基板アッセンブリ６５ａは、基板支持枠６１に複数枚（２５×２枚）のリジッド基板６３が接合されて構成される。
配線基板ユニット製造装置４１は、２枚のリジッド基板６３間にフレキシブル基板６７を架け渡して溶着し、各基板を一体化させる。
フレキシブル基板６７の組付前におけるリジッド基板アッセンブリ６５ａには、複数の開口部８１が存在する。

図１２は、吸着テーブル３ａ（組付台５４）の一態様を示す図である。
図１２に示す吸着テーブル３ａは、図１１に示すリジッド基板アッセンブリ６５ａを吸着支持するためのテーブルである。
吸着孔４は、載置領域８２内であって開口部領域８３外に設けられる。すなわち、吸着孔４は、開口部領域８３内には設けられない。
尚、載置領域８２は、リジッド基板アッセンブリ６５ａを吸着テーブル３ａに載置した際の基板支持枠６１の領域を示す。開口部領域８３は、リジッド基板アッセンブリ６５ａを吸着テーブル３ａに載置した際の開口部８１の領域を示す。

図１３は、リジッド基板アッセンブリ６５ｂの一態様を示す図である。
図１３に示すリジッド基板アッセンブリ６５ｂは、基板支持枠６１に複数枚（９×２枚）のリジッド基板６３が接合されて構成される。
図１４は、吸着テーブル３ｂ（組付台５４）の一態様を示す図である。
図１４に示す吸着テーブル３ｂは、図１３に示すリジッド基板アッセンブリ６５ｂを吸着支持するためのテーブルである。

このように、処理対象の品種に応じて、基板支持枠６１の位置のみ、あるいは、基板支持枠６１及びリジッド基板６３の位置のみに吸着孔４を設け、開口部８１の位置には吸着孔４を設けないようにすることにより、エアのリークを防止してリジッド基板アッセンブリ６５の把持を適正に行うことができる。

先述の載置装置１を用いて、ある品目に対応するリジッド基板アッセンブリ６５ａ（図１１）に対しての処理を終了し、新たな品目に対応するリジッド基板アッセンブリ６５ｂ（図１３）に対して処理を行う場合、以下の手順により作業が進められる。
［１］リジッド基板アッセンブリ６５ｂ（図１３）に対応する吸着テーブル３ｂ（図１４）を用意する。
［２］載置装置１において、既設の吸着テーブル３ａ（図１２）のスライダ７をスライドレール９に沿って抜き出す（吸着テーブル３の交換開始）。
［３］新たに用意した吸着テーブル３ｂ（図１４）のスライダ７をスライドレール９に沿って差し入れて設置する（吸着テーブル３の交換完了）。
［４］吸着テーブル３ｂ（図１４）によりリジッド基板アッセンブリ６５ｂ（図１３）を吸着固定してフレキシブル基板６７の組付処理を行う。

図１５は、吸着テーブル３ｃ（組付台５４）の一態様を示す図である。
図１６は、吸着テーブル３ｃのＡ−Ａ線端面図である。

図１２に示す吸着テーブル３ａ及び図１４に示す吸着テーブル３ｂでは、吸着孔４を複数設けることにより、基板を吸着支持するものとして説明したが、吸着孔４に代えて吸着溝８４を設けるようにしてもよい。
吸着溝８４の少なくとも１箇所から真空ポンプ８５により吸引を行うことにより、吸着溝８４全体において吸着を行うことができる。

このように、図９〜図１６を用いて説明したように、本発明の実施の形態に係る載置装置は、吸着テーブル側に設けられるスライダを載置装置側のスライドレールに抜き差しすることにより吸着テーブルごと交換して、異なる品種の基板に対応することができる。
従って、リジッド基板アッセンブリ等の開口部を有する基板であっても、品種毎に対応する吸着テーブルを用意することにより、開口部におけるエアのリークを防止して基板を適正に把持することができる。

以上説明したように、本発明に係る各種処理装置（載置装置等）では、同一の移動機構により、脱着用の移動機構及び駆動用の移動機構を同時に構成することができるので、その分、装置高さ等を小さくすることができる。従って、装置構成を小型化、簡素化して費用的負担、維持管理負担等を軽減し、位置決め精度を向上させることができる。また、移動機構から装置部分（吸着テーブル等）の交換を行うことができるので、段取り換えを容易化することができる。
すなわち、装置構成を小型化、簡素化すると共に、部分的交換作業を高精度かつ効率的に行うことができる。
また、各種処理装置における処理対象の変更及び維持管理等に伴う装置部分の交換を迅速かつ効率的におこなうことができる。

また、調整機構の大規模化あるいは増設等を行うことなく、ガラス基板等の処理対象の大型化等に対応することができるので、高精度を維持すると共に、装置製作費用等のコスト的負担、維持管理負担、調整等に係る労力的負担等を軽減することができる。また、装置の占有スペースの増大を抑制することができる。

尚、上述の実施の形態では、主として基板を吸着支持する載置装置について説明したが、同一の移動機構により脱着用の移動機構及び駆動用の移動機構を同時に構成する本発明に係る技術は、装置部分の交換を行う各種処理装置に適用可能である。
例えば、基板に対して加工を行う複数のヘッドをベースに設けてヘッドユニットを構成する場合、上記の移動機構を介してベースに対してヘッドを着脱したり位置決めしたりすることができる。この場合、移動機構のスライダ及び駆動機構の永久磁石を共に各ヘッド毎に設け、各ヘッド毎にベースに対する位置調整を行うこともできる。

また、駆動機構がリニアモータである場合、コイル可動形、磁石可動形のいずれでもよい。固定装置側（ベース等）に電気系統を集約する場合、磁石可動形のリニアモータを用いることが望ましい。
また、測長機構に関しては、可動装置側（吸着テーブル等）側にスケールを設け固定装置側（ベース等）にスケール読取部を設けてもよいし、固定装置側（ベース等）にスケールを設け、可動装置側（吸着テーブル等）にスケール読取部を設けてもよい。固定装置側（ベース等）に電気系統を集約する場合、可動装置側（吸着テーブル等）にスケールを設け固定装置側（ベース等）にスケール読取部を設けることが望ましい。

以上、添付図面を参照しながら、本発明にかかる各種処理装置等の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

載置装置１の概略斜視図 載置装置１をＸ方向から見た図 載置装置１をＹ方向から見た図 載置装置１から吸着テーブル３側を分離した場合における吸着テーブル３側を示す斜視図 キャリア２３を示す斜視図 キャリア２３による吸着テーブル３の搬送を示す図 載置装置１に対する吸着テーブル３の着脱を示す図 キャリア２３と載置装置１のベース１０との間の位置固定方法を示す図 配線基板ユニット製造装置４１の構成を概略的に示す図 配線基板ユニット製造装置４１の構成を機能的に示すブロック図 リジッド基板アッセンブリ６５ａの一態様を示す図 吸着テーブル３ａ（組付台５４）の一態様を示す図 リジッド基板アッセンブリ６５ｂの一態様を示す図 吸着テーブル３ｂ（組付台５４）の一態様を示す図 吸着テーブル３ｃ（組付台５４）の一態様を示す図 吸着テーブル３ｃのＡ−Ａ線端面図

符号の説明

１………載置装置
３、３ａ、３ｂ、３ｃ………吸着テーブル
４………吸着孔
５………Ｘ方向移動機構
７………スライダ
９………スライドレール
１０………ベース
１１………Ｙ方向移動機構
１３………スライダ
１５………スライドレール
１７………定盤
１９………駆動機構
２０………永久磁石
２１………コイル
２２………コイル列
２３………キャリア
２５………スライドレール
２７………位置決めピン
２８………ピン孔
２９………ガイド
３１………テーパ
４３………基板組付ステーション（載置装置１）
５４………組付台（吸着テーブル３）
６１………基板支持枠
６３………リジッド基板
６５、６５ａ、６５ｂ………リジッド基板アッセンブリ
６７………フレキシブル基板
８１………開口部
８２………載置領域
８３………開口部領域
８４………吸着溝
８５………真空ポンプ

Claims (14)

1. 所定の処理を行う第１装置と前記第１装置を支持する第２装置とを備える処理装置であって、
   前記第２装置に対して少なくとも１つの前記第１装置を個別に移動可能かつ個別に着脱可能に装着させる移動機構と、
   前記第２装置に対して前記第１装置を移動させるための駆動力を与える駆動機構と、
   を具備することを特徴とする処理装置。
2. 前記移動機構は、可動部及び固定部を有し、前記第１装置側に前記可動部が設けられ、前記第２装置側に前記固定部が設けられることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
3. 前記駆動機構は、可動子及び固定子を有し、前記第１装置側に前記可動子が設けられ、前記第２装置側に前記固定子が設けられることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
4. 前記第２装置に対する前記第１装置の位置を測長する測長機構を具備することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
5. 前記第１装置は、対象物を吸着する吸着テーブルを備えることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
6. 前記第１装置は、対象物に対して加工を行う加工手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
7. 所定の処理を行う第１装置と、前記第１装置を支持する第２装置と、固定部と前記固定部に対して移動可能かつ着脱可能である可動部とから構成される移動機構と、固定子と可動子とから構成される駆動機構と、を具備し、前記可動部及び前記可動子は前記第１装置側に設けられ、前記固定部及び前記固定子は前記第２装置側に設けられる、処理装置における前記第１装置の交換方法であって、
   前記駆動機構により前記第２装置に対して前記第１装置を移動させるステップと、
   前記移動機構の固定部から前記移動機構の可動部を抜き出して前記第１装置の取り外しを行うステップと、
   前記移動機構の固定部に前記移動機構の可動部を差し込むことにより、前記第１装置と同一または異なる第１装置の取り付けを行うステップと、
   を具備することを特徴とする交換方法。
8. 測長機構により、前記第２装置に対する前記第１装置の位置を測長するステップを具備することを特徴とする請求項７に記載の交換方法。
9. 前記第１装置を搬送する搬送装置に設けられる前記移動機構の固定部と前記第２装置に設けられる前記移動機構の固定部とを連結するステップと、
   前記連結された固定部に沿って、前記第１装置を前記搬送装置と前記第２装置との間で移動させるステップと、
   を具備することを特徴とする請求項７に記載の交換方法。
10. 第１装置と第２装置とを着脱する着脱装置であって、
    固定部と前記固定部に対して移動可能かつ着脱可能である可動部とから構成される移動機構を具備し、前記可動部は、前記第１装置側に設けられ、前記固定部は、前記第２装置側に設けられることを特徴とする着脱装置。
11. 固定子と可動子とから構成される駆動機構をさらに具備し、
    前記可動子は、前記第１装置側に設けられ、
    前記固定子は、前記第２装置側に設けられることを特徴とする請求項１０に記載の着脱装置。
12. 前記第２装置に対する前記第１装置の位置を測長する測長機構を具備することを特徴とする請求項１０に記載の着脱装置。
13. 固定部と前記固定部に対して移動可能かつ着脱可能である可動部とから構成される移動機構と、固定子と可動子とから構成される駆動機構と、を具備し、前記可動部及び前記可動子は第１装置側に設けられ、前記固定部及び前記固定子は第２装置側に設けられる、着脱装置における前記第１装置と前記第２装置との着脱方法であって、
    前記駆動機構により前記第２装置に対して前記第１装置を移動させるステップと、
    前記移動機構の固定部から前記移動機構の可動部を抜き出して前記第２装置から前記第１装置の取り外しを行うステップと、
    前記移動機構の固定部に前記移動機構の可動部を差し込むことにより前記第２装置に前記第１装置の取り付けを行うステップと、
    を具備することを特徴とする着脱方法。
14. 前記第２装置に対する前記第１装置の位置を測長する測長ステップを具備することを特徴とする請求項１３に記載の着脱方法。

Images