JP6716969B2 - 実装装置 - Google Patents

Description

本発明は、ウエハから切断分離した電子部品を基板に実装する実装装置に関する。

半導体チップに代表される電子部品は、切断済みの状態で供給され、例えば一個ずつ取り出された後に、プリント基板等の基板における所定の実装位置に対して、向き等を修正し、実装される。このような電子部品の実装に伴う各操作は、所謂実装装置によって行われる。

該実装装置にあっては、一般的には、取り出し部、シャトル部、及び実装部が主要構成として配される。取り出し部では、前述した切断済みウエハからの電子部品の取り出し、該電子部品における実装面の検査、シャトル部に対する粗位置決めが行われる。シャトル部では電子部品を凡そ定められた姿勢で受け取り、実際に基板に対して実装される位置までの電子部品の搬送を行う。実装部では位置決めカメラによって電子部品の把持姿勢と実装位置との位置関係の確認が行われ、該確認の結果に応じた姿勢の修正等を行った後、基板上の所定位置に対して電子部品が実装される。

特開２０００−１２４６７３号公報 特開２００８−００４８１０号公報

従来、このシャトル部は実装部に対して一つ配されており、該シャトル部は取り出し部と実装部との間で一軸上での往復の動きを行っていた。これに対し、近年は実装速度の向上等を目的として、該シャトル部を複数配置し、これらを交互に動作させる構成が提示されている（特許文献１及び２参照）。

しかし、シャトル部を複数配置した場合、これに対応して実装部、及び該実装部に付随する位置決めカメラ等も複数とすることが必要となる。このことは実装装置のコストアップや制御系の負荷の増大を招く。ここで、基板平面をＸＹ平面とし且つシャトルの移動方向をＸ軸とした場合に、この構成では該Ｘ軸に直交するＹ軸方向にも、実装時において基板を支持するテーブルを移動させることを要する。従って、実装部が複数となった場合、該テーブルのＹ軸方向の動作も複雑になる。

本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、位置決めカメラや実装部を増やすことなく稼働速度を高めた実装装置の提供を目的とする。

上記課題を解決するために、本発明に係る実装装置は、
電子部品を供給部から得て基板に実装する実装装置であって、
前記電子部品を供給する供給部と、
供給された前記電子部品を前記基板に実装する実装部と、
供給された前記電子部品を受け取り、前記実装部に受け渡す、第一のシャトル及び第二のシャトルを有するシャトル部と、を有し、
前記第一のシャトル及び前記第二のシャトルの各々は前記電子部品を受け取る位置から前記電子部品を前記実装部に受け渡す位置への方向であるＸ方向と同一の方向での往復駆動が可能であると共に、単一の前記受け取る位置及び単一の前記受け渡す位置に停止され、
前記シャトル部は、前記第一のシャトルに前記往復駆動を行わせる第一のＸ方向駆動ユニットと、前記第二のシャトルに前記往復駆動を行わせる第二のＸ方向駆動ユニットと、前記第一のＸ方向駆動ユニット、或いは前記第二のＸ方向駆動ユニットの少なくとも一方に付随して、前記実装部が前記電子部品を前記基板に対して相対移動させるＸＹ平面に垂直なＺ方向に前記第一のシャトル或いは前記第二のシャトルを駆動するＺ方向駆動ユニットとを、有し、
前記第一のシャトルと前記第二のシャトルとは、前記往復駆動の際に前記Ｚ方向に間隔を空けてすれ違うことを特徴とする。

なお、上述した実装装置において、前記第一のＸ方向駆動ユニットと、前記第二のＸ方向駆動ユニットの各々は、前記ＸＹ平面に垂直なＺ方向にずらされるように配置されることが好ましい。
また、該実装装置において、前記電子部品を受け取る位置と前記電子部品を前記実装部に受け渡す位置とを結ぶ直線を軸線としたとき、前記第一のＸ方向駆動ユニットと前記第二のＸ方向駆動ユニットにおける前記Ｚ方向駆動ユニットが付随する駆動ユニットに駆動されるシャトルが前記付随する駆動ユニットに支持される部分から前記軸線までの距離は、前記Ｚ方向駆動ユニットが付随しない駆動ユニットに駆動されるシャトルが前記付随しない駆動ユニットに支持される部分から前記軸線までの距離とは異なることが好ましい。

また、該実装装置において、前記第一のＸ方向駆動ユニットは、前記第一のシャトルの前記往復駆動を行う経路において前記往復駆動を一時的に停止する第一の待機位置を前記受け取る位置の近傍に、同じく第二の待機位置を前記受け渡す位置の近傍に配し、
前記第二のＸ方向駆動ユニットは、前記第二のシャトルの前記往復駆動を行う経路において前記往復駆動を一時的に停止する第三の待機位置を前記受け取る位置の近傍に、同じく第四の待機位置を前記受け渡す位置の近傍に配し、
前記実装装置は、前記第一の待機位置と前記受け取る位置との間、及び前記第三の待機位置と前記受け取る位置との間において、前記第一のシャトルと前記第二のシャトルが各々干渉しないように前記第一のシャトルと前記第二のシャトルの駆動を制御する制御部を有することが好ましい。
この場合、該実装装置において、前記第二の待機位置と前記受け渡す位置との間、及び前記第四の待機位置と前記受け渡す位置との間において、前記第一のシャトルと前記第二のシャトルが各々干渉しないように前記第一のシャトルと前記第二のシャトルの駆動を制御する制御部を有することがさらに好ましい。
或いは、該実装装置において、前記第一のＸ方向駆動ユニットは、前記第一のシャトルの前記往復駆動を行う経路において前記往復駆動を一時的に停止する第一の待機位置を前記受け取る位置の近傍に、同じく第二の待機位置を前記受け渡す位置の近傍に配し、
前記第二のＸ方向駆動ユニットは、前記第二のシャトルの前記往復駆動を行う経路において前記往復駆動を一時的に停止する第三の待機位置を前記受け取る位置の近傍に、同じく第四の待機位置を前記受け渡す位置の近傍に配し、
前記実装装置は、前記第一の待機位置と前記受け取る位置との間、及び前記第三の待機位置と前記受け取る位置との間において、前記第一のシャトルと前記第二のシャトルの駆動経路の一部は同一であることが好ましい。
この場合、該実装装置において、前記第二の待機位置と前記受け渡す位置との間、及び前記第四の待機位置と前記受け渡す位置との間において、前記第一のシャトルと前記第二のシャトルの駆動経路の一部は同一であることがさらに好ましい。

また、該実装装置にあって、前記Ｚ方向駆動ユニットは、回転アクチュエータと、前記回転アクチュエータの回転軸から偏心して前記回転アクチュエータによって回転する偏心シャフトと、前記ＸＹ平面に平行な方向に延びる長穴を有すると共に前記偏心シャフトが前記長穴に嵌合されて前記偏心シャフトの回転に応じて前記垂直な方向に駆動され、前記偏心シャフトに支持される可動ブロックと、を有することが好ましい。
さらに、該実装装置にあって、前記受け取る位置に配置されて、前記電子部品を前記第一のシャトル及び前記第二のシャトルの各々が受け取る際の予備位置決めを行うための画像を得るシャトルカメラを有することが好ましい。
或いは、前記受け渡す位置に配置されて、前記第一のシャトル及び前記第二のシャトルの各々から前記実装部に受け渡す際の前記実装部に対する前記電子部品の位置決めを行うための画像を得る実装位置決めカメラを有することが好ましい。
また、上記課題を解決するために、本発明に係る実装装置は、電子部品を供給部から得て基板に実装する実装装置であって、
前記電子部品を供給する供給部と、
供給された前記電子部品を前記基板に実装する実装部と、
供給された前記電子部品を受け取り、前記実装部に受け渡す複数のシャトルを有するシャトル部と、を有し、
複数の前記シャトルの各々は、前記電子部品を受け取る位置から前記電子部品を前記実装部に受け渡す位置への方向であるＸ方向と同一の方向での往復駆動が可能であると共に、単一の前記受け取る位置及び単一の前記受け渡す位置に停止し、
前記前記シャトル部は、複数のシャトル部の各々に前記往復駆動を行わせる前記複数のシャトル部の各々に対応する複数のＸ方向駆動ユニットと、前記複数のＸ方向駆動ユニットのいずれかに付随して前記実装部が前記電子部品を前記基板に対して相対移動させるＸＹ平面に垂直なＺ方向に前記複数のＸ方向駆動ユニットのいずれかを駆動するＺ方向駆動ユニットと、を有し、
前記複数のシャトルは前記往復駆動の際に前記Ｚ方向に間隔を空けてすれ違うことを特徴とする。

本発明によれば、位置決めカメラや実装部を増やすことなく実装装置の稼働速度を高めることが可能となる。

本発明の第一の実施形態に係る実装装置の主要部の概略構成を示す平面図と側面図である。 第一の実施形態に係る実装装置におけるシャトル移動時における移動開始時の状態を模式的に示す側面図と端面図である。 第一の実施形態に係る実装装置におけるシャトル移動時における移動時の状態を模式的に示す側面図と端面図である。 第一の実施形態に係る実装装置におけるシャトル移動時におけるすれ違い状態を模式的に示す側面図と端面図である。 第一の実施形態に係る実装装置におけるシャトル移動時における移動終了時の状態を模式的に示す側面図と端面図である。 第一の実施形態における実装装置の動作を説明するフローチャートである。 第一の実施形態におけるＺ軸方向駆動部の構成例の概略を示す図である。 本発明の第二の実施形態における実装装置の動作を説明するフローチャートである。 第二の実施形態におけるシャトルの移動の態様を説明する図である。 第二の実施形態において第一のシャトルがＢ点に移動する際の動作を説明する図である。 第二の実施形態において第二のシャトルがＢ点に移動する際の動作を説明する図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に関わる本発明を限定するものではなく、また、本実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが本発明の解決手段に必須のものとは限らない。また、以降の説明において、ＸＹ平面はウエハ表面及び平板状の基板の表面と平行な平面と仮定し、該平面に垂直な方向に延在する軸をＺ軸、該ＸＹ平面に平行であって、シャトルを移動させる方向に延在する軸をＸ軸、Ｘ軸及びＺ軸に垂直な軸をＹ軸と規定する。また、これらＸＹＺの各々に番号を付して記した軸は、これらＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸各々に平行な軸を示す。なお、これらＸ、Ｙ、及びＺ軸は説明の便宜上、以上の定義としているが、シャトルの移動方向等、実施形態において説明する各方向の延在する軸はこれらによって限定されず、用途、装置の設置条件等に応じて種々改変が可能である。

（第一の実施形態）
図１は本発明の第一の実施形態に係る実装装置の概略構成を示す模式図であって、図１（ａ）は平面図を、図１（ｂ）は側面図を各々示している。本実施形態に係る実装装置１００は、供給部１０、取り出し部２０、シャトル部３０、実装部５０、及びこれらの動作を制御する不図示の制御部を有する。

供給部１０は個々の電子部品が切断分離されたウエハ１を支持し、且つ取り出し部２０が有する把持部２１に対して電子部品３を一個ずつ提供する。該供給部１０は、そのための構成として、ウエハ１を支持する支持テーブル、突き上げユニット１３、及び供給カメラ１４を有する。支持テーブルは、Ｘ軸方向に移動可能である供給部Ｘテーブル１２と、該供給部Ｘテーブル１２に支持されたＹ軸方向に移動可能である供給部Ｙテーブル１１とを有する。供給部Ｙテーブル１１は、その上面においてウエハ１を吸着保持する。ウエハ１を動かして電子部品３を供給するための供給部Ｘテーブル１２及び供給部Ｙテーブル１１の可動範囲を、図中二点鎖線にて示す。

突き上げユニット１３は、供給部Ｘテーブル１２及び供給部Ｙテーブル１１を貫通してウエハ１の裏面に対して当接可能に配置されている。突き上げユニット１３は、Ｚ方向上部の当接部が供給部Ｙテーブルの上面より突き出すことによって、電子部品３をウエハ１より分離し、後述する把持部２１による電子部品３単体の把持が可能な状態を呈する。電子部品の取り出し位置（図中Ａ点、以下Ａ点と称する）は、把持部２１が供給部１０より電子部品３を取り出す位置に対応する。供給カメラ１４はＡ点における電子部品３を撮影し、撮影結果に基づいて電子部品３が突き上げピンの中心位置に来るように供給部Ｙテーブル１１と供給部Ｘテーブル１２により位置補正される。位置補正後に、突き上げピンによって電子部品３は突き上げられ、この状態から把持部２１が電子部品３を取り出す。

取り出し部２０は、把持部２１、把持駆動ユニット２２及び検査カメラ２４を有する。把持駆動ユニット２２は、把持部２１をＺ１軸方向（図１（ｂ））に示す矢印Ｚ１方向）、及びＸ１軸方向（矢印Ｘ１方向）に駆動可能に支持する。把持駆動ユニット２２は、例えば公知のボールねじ、リニアモータ等からなる把持駆動部２２ａと該駆動方向を規定する把持駆動レール２２ｂとから構成される。把持駆動ユニット２２は、Ａ点からシャトルへの電子部品受け取り位置（Ｂ点、以下Ｂ点と称する。）までの間で、把持部２１を移動させる。

把持部２１は、例えば吸着保持等により電子部品３を保持することが可能である。該把持部２１は、Ｚ軸方向の移動下端において供給部Ｙテーブルより突き上げられた電子部品３を吸着保持した後、Ｚ１軸の上方向に移動し、その後Ｂ点直上までＸ１軸に沿って移動し、停止後さらにＺ１軸の下方向に移動する。Ｚ１軸方向の移動下端であるＢ点にて、シャトル（３１、３３）による電子部品３の受け取りが行われる。また、検査カメラ２４は、把持部２１に把持された状態で搬送される電子部品３を下方から撮影し、該電子部品３の外観検査等のための画像情報を取得するために用いられる。

シャトル部３０は、第一のシャトル３１、第一のシャトル駆動ユニット３２、第二のシャトル３３、第二のシャトル駆動ユニット３４、及びシャトルカメラ３５を有する。本実施形態において、第一のシャトル駆動ユニット３２は、Ｂ点からＣ点まで、Ｘ２軸方向（矢印Ｘ２方向）に、電子部品３を保持した第一のシャトル３１を駆動する第一の駆動ユニットとして機能する。なお、このＣ点は、実装の実装ヘッド５１に対する電子部品３の受け渡しが行われる位置に対応する。第一のシャトル駆動ユニット３２は、例えば公知のボールねじ、リニアモータ等からなるＸ２軸駆動部３２ａと、Ｘ２軸レール３２ｂとから構成される（図２参照）。また、電子部品３を実装ヘッド５１に受け渡した後、第一のシャトル駆動ユニット３２は、第一のシャトル３１をＣ点からＢ点まで駆動する。

第一のシャトル駆動ユニット３２はまた、Ｚ軸方向（矢印Ｚ２方向）に対しても第一のシャトル３１を駆動するために、Ｚ２軸駆動部３６及びＺ２軸レール３７からなるＺ方向駆動ユニットが付随する。Ｚ２軸駆動部３６は、第二のシャトル駆動ユニット３４が第二のシャトル３３を駆動する際の駆動経路に干渉しないように当該駆動経路から第一のシャトル３１を退避させるために、Ｚ２軸方向（矢印Ｚ２方向）に対しても第一のシャトル３１を駆動する。

第二のシャトル駆動ユニット３４は、Ｂ点からＣ点まで、Ｘ３軸方向（矢印Ｘ３方向）に、電子部品３を保持した第二のシャトル３３を駆動する。第二のシャトル駆動ユニット３４は、例えば公知のボールねじ、リニアモータ等からなるＸ３軸駆動部３４ａと、Ｘ３軸レール３４ｂとから構成される（図２参照）。また、電子部品３を実装ヘッド５１に受け渡した後、第二のシャトル駆動ユニット３４は、第二のシャトル部３３をＣ点からＢ点まで駆動する。シャトルカメラ３５はＢ点或いはその近傍に配置されて、第一のシャトル３１或いは第二のシャトル３３上の電子部品３の画像を撮影する。撮影された画像に基づいて、Ｃ点で実装ヘッド５１に電子部品３を受け渡す際の位置補正を行う。

ここで、シャトル部３０の構成を抽出し記載した第一及び第二のシャトルの動作を説明するための図である、図２（ａ）のシャトル部３０の側面図及び図２（ｂ）の供給部１０方向から見たシャトル部３０の端面図を用いて、シャトル部３０について更に述べる。本実施形態では、二つのシャトル部を有し且つこれらが交互に電子部品３を搬送する構成としている。その際、Ｂ点とＣ点において、両シャトルによる電子部品３の保持部は同一位置に位置するように装置構成が為されている。そのために、本実施形態では、第一のシャトル駆動ユニット３２と第二のシャトル駆動ユニット３４とによる両シャトルの駆動軸線であるＸ２軸及びＸ３軸が、Ｚ方向において略平行に延在するように配置される。

第二のシャトル３３は、第二のアーム部３３ａ、第二の連結部３３ｂ及び第二の可動部３３ｃを有する。第二のアーム部３３ａは、第二の連結部３３ｂを介して第二の可動部３３ｃに連結される。第二の可動部３３ｃは、Ｘ３軸駆動部３４ａによりＸ３軸レール３４ｂに対してＸ３軸方向に駆動可能に支持されている。第二のアーム部３３ａは、Ｙ軸方向において第二の所定長さ離れた位置に電子部品３の保持部が位置するようにＸ３軸からＹ方向の負側に突き出すように設けられる。該第二のアーム部３３ａにおける電子部品３の保持部に対応する位置には、例えば電子部品３を吸着保持が可能となるように、不図示の吸引口等が設けられている。

第一のシャトル３１は、第一のアーム部３１ａ、第一の連結部３１ｂ、Ｚ２軸レール３７、Ｚ２軸駆動部３６及び第一の可動部３１ｃを有する。第一のアーム部３１ａは、第一の連結部３１ｂを介してＺ２軸レール３７に対してＺ２軸方向に駆動可能に支持される。Ｚ２軸駆動部３６及びＺ２軸レール３７は、第一の可動部３１ｃにより指示される。第一の可動部３１ｃは、Ｘ２軸駆動部３２ａによりＸ２軸レール３２ｂに対してＸ２軸方向に駆動可能に支持されている。第一のアーム部３１ａは、Ｙ軸方向において第一の所定長さ離れた位置に電子部品３の保持部が位置するようにＸ２軸からＹ方向の負側（第二のアーム部３３ａと同方向であればよい。）に突き出すように設けられる。該第一のアーム部３１ａにおける電子部品３の保持部に対応する位置には、例えば電子部品３を吸着保持が可能となるように、不図示の吸引口等が設けられている。

なお、本実施形態では、第一のシャトル３１が第二のシャトル３３の駆動軌道から退避し、且つＢ点及びＣ点の直上からＺ２軸方向に降下してＢ点及びＣ点で停止することとしている。このため、上述した第一の所定長さと第二の所定長さとを相違させている。本実施形態では、第一の所定長さを第二の所定長さより短くし、これによって第一の連結部３１ｂと第二の連結部３３ｂとがＹ方向において隔置されることとしている。当該構成とすることにより、Ｚ方向において一方のシャトルが他方のシャトルの駆動軌道より退避するタイミングを設けるだけで、各々のシャトルのすれ違いを可能としている。なお、第一のシャトル３１が第二のシャトル３３の駆動軌道に入る位置はＢ点及びＣ点の直上からに限定されず、Ｂ点及びＣ点の近傍から入り第二のシャトル３３と同一駆動軌道を移動してＢ点及びＣ点で停止することとしてもよい。

ここで、本実施形態では第一のシャトル３１をＺ２軸方向に移動させる構成としえてＺ２軸駆動部３６及びＺ２軸レール３７を例示している。しかし、当該構成は他の態様とすることも可能である。以下、図７を参照して、Ｚ２軸方向のシャトル移動に好適な小型且つ簡易な構成からなる駆動ユニットについて説明する。図７（ａ）は該駆動ユニット４１の正面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）における切断面Ａ−Ａにおける断面を示している。

該駆動ユニット４１は、偏心シャフト４２、第一の軸受け４３、第二の軸受け４４、Ｚ２軸ガイド４５、及び可動ブロック４６を有する。偏心シャフト４２は、回転アクチュエータであるＺ２軸駆動部３６の回転シャフト３６ａの回転軸と偏心して連結される。第一の軸受け４３は回転シャフト３６ａを回転可能に支持し、第二の軸受け４４は偏心シャフト４２に回転可能に支持され、可動ブロック４６に設けられたＸ方向に延びるＸ方向長穴４６ａの上下壁であるカム部４２ａに嵌合する。また、可動ブロック４６は、Ｚ２軸ガイド４５により摺動可能に支持される。以上の構成により、Ｚ２軸駆動部３６により回転シャフト３６ａが回転されると、これに伴って偏心シャフト４２及び軸受４４がＸ方向長穴４６ａの上下壁であるカム部４２ａを押圧する。その結果、可動ブロック４６はカム部４２ａの移動量に対応して、上下に駆動される。該可動ブロック４６に第一のシャトル３１を取り付けることにより、簡易且つ小さな構造体により第一のシャトル３１をＺ２軸方向の所定範囲での駆動が可能となる。

実装部５０は、実装ヘッド５１、基板支持テーブル、及び実装位置決めカメラ５４を有する。基板支持テーブルは、Ｘ軸方向に移動可能である基板支持Ｘテーブル５２と、該基板支持Ｘテーブル５２に支持されたＹ軸方向に移動可能である基板支持Ｙテーブル５３とを有する。基板支持Ｙテーブル５３は、その上面において基板４を吸着保持し、図中二点鎖線にて示される範囲で実装ヘッド５１に対して基板４を相対移動させる。実装ヘッド５１は、不図示の実装ヘッド駆動系により、実装位置（Ｄ点）と実装位置検査位置（Ｅ点）との間でＺ軸（Ｚ３軸）方向に上下動され、受け渡し位置（Ｃ点）においてシャトルより電子部品３を吸着保持等により受け渡される。

なお、実装ヘッド５１は、基板４に対して電子部品３を正しく実装するために、ＸＹ平面内での駆動及び軸中心の回転を行うことが可能である。実装位置決めカメラ５４により撮影された電子部品３の画像より、実装ヘッド５１による該電子部品３の保持姿勢、位置等が求められる。得られた結果に基づいて、実装ヘッド５１は保持する電子部品３の姿勢等を修正する軸回転（θ軸回転）の動作、及びＸＹ平面内の移動の動作を実行することによって、基板４の実装位置に対する位置合わせを行う。

（第一の実施形態に係る実装装置の動作）
次に、図２〜６を参照して、本実施形態に係る実装装置の動作について述べる。なお、図２〜５は、実装の操作時における第一のシャトル３１及び第二のシャトル３３の動作における異なるタイミングの状態を各々示す。また、図６は、該実装工程の諸動作の流れを示すフローチャートである。なお、Ｂ点及びＣ点は、本来各々のシャトルにおけるアーム部の先端近傍に設けられた電子部品３の保持位置に対応する。しかし、以降の説明においては、便宜上各々の吸着口がこれら点に位置する場合に各々のシャトルがこれらＢ点或いはＣ点に位置していると述べることとする。

図２（ａ）及び（ｂ）は、図６におけるステップＳ６０１における待機状態を示している。当該状態において、第一のシャトル３１は一方の駆動端であるＢ点に、第二のシャトル３３は他方の駆動端であるＣ点に位置している。この状態で、制御部より、第一のシャトル３１に対して、電子部品３を実装ヘッド５１に受け渡す指示が為される（ステップＳ６０２）。また、制御部より、第二のシャトル３３に対して、供給部１０から電子部品３を受け取る指示が為される。これら指示に応じて、第一のシャトル３１による供給部１０からの電子部品３の受け取りからＣ点までの搬送と、第二のシャトル３３による電子部品３受け取りのためのＢ点までの駆動とが実行される。

指示実行の検知に応じて、ステップＳ６０３において、制御部は、Ｚ２軸駆動部３６により第一のシャトル３１をＺ２軸に沿って上昇させる。第二のシャトル３３の駆動軌道から第一のシャトル３１が退避できる所定高さ上昇後、制御部の指示に応じて、Ｘ３軸駆動部３４ａによって第二のシャトル３３がＣ点からＢ点に向けて駆動される（ステップＳ６０４）。同時に、第一のシャトル３１も、制御部の指示に応じて、Ｘ２軸駆動部によってＢ点直上の位置からＣ点直上の位置に向けて駆動される。各々のシャトルのＸ軸方向の駆動開始時の状態を図３（ａ）及び（ｂ）に示す。各々のシャトルは、この移動時において、前述した退避用の所定高さに応じた間隔を空けて、互いにすれ違う。すれ違い時の状態を図４（ａ）及び（ｂ）に示す。

第二のシャトル３３は、この駆動により目的位置であるＢ点に到達する。第一のシャトル３１は、Ｃ点の直上の位置に至ったところで出力される制御部からの指示に応じて、Ｘ２軸駆動部３２ａによるＸ２軸方向の駆動を停止する。停止後、制御部による指示に応じて、Ｚ２軸駆動部３６によって第一のシャトル３１はＺ２軸に沿って降下され、Ｃ点に至る（ステップＳ６０５）。これら両シャトルが所定位置に到達したか否かは、駆動部の動作量、或いは各々の到達地点に配されたセンサの出力値より、制御部において確認される（ステップＳ６０６）。

目標位置に各々のシャトルが到達していることが確認された後、制御部は、Ｂ点に到達した第二のシャトル３３に対して電子部品３を受け取らせるための動作を実行するように供給部１０指示する。供給部１０では、当該指示に応じて、電子部品３を第二のシャトル３３の第二のアーム部３３ａの先端近傍の所定の保持位置（吸着口上）に受け取らせるための動作が行われる。また実装部３０では、当該指示に応じて、第一のシャトル３１の第一のアーム部３１ａにある電子部品３を実装ヘッド５１に受け渡すための動作が行われる（ステップＳ６０７）。以上の工程において、電子部品３一個についての受け渡しの指示を受けてから該電子部品３を受け渡すまでの受け渡し時間Ｔ１が終了する。この状態での、各々のシャトルの配置を図５（ａ）及び（ｂ）に示す。図５に示す状態は、実装装置においては、制御部による次の指示を待つ待機状態となる。なお、電子部品３の受け取り或いは受け渡しについては、例えば、吸着保持のための不図示の吸引経路の圧力の変化、及び把持部２１及び実装ヘッド５１の動作開始の信号に基づき、その実行の有無が検知される。しかし、この検知の方法は当該例に限定されず、各々のシャトルにおける電子部品３の存在の有無が検知できれば種々の方法を適用可能である。

この待機状態において、制御部より、第一のシャトル３１に対して、電子部品３を供給部１０より受け取る指示が行われ、第二のシャトル３３に対して、実装ヘッド５１に電子部品３を受け渡す指示が行われる（ステップＳ６０９）。これら指示に応じて、第二のシャトル３３による供給部１０からの電子部品３の受け取りからＣ点までの搬送と、第一のシャトル３１による電子部品３受け取りのためのＢ点までの移動とが実行される。

指示実行の検知に応じて、ステップＳ６０９において、制御部は、Ｚ２軸駆動部３６により第一のシャトル３１をＺ２軸に沿って上昇させる。第二のシャトル３３の駆動軌道から第一のシャトル３１が退避できる所定高さ上昇後、制御部の指示に応じて、Ｘ３軸駆動部３４ａによって第二のシャトル３３がＢ点からＣ点に向けて駆動される（ステップＳ６１０）。同時に、第一のシャトル３１も、制御部の指示に応じて、Ｘ２軸駆動部によってＣ点直上の位置からＢ点直上の位置に向けて駆動される。各々のシャトルは、この移動時において、前述した退避用の所定高さに応じた間隔を空けて、互いにすれ違う。

第二のシャトル３３は、この駆動により目的位置であるＣ点に到達する。第一のシャトル３１は、Ｂ点直上の位置に至ったところで出力される制御部からの指示に応じて、Ｘ２軸駆動部３２ａによるＸ２軸方向の駆動を停止する。停止後、制御部による指示に応じて、Ｚ２軸駆動部３６によって第一のシャトル３１はＺ２軸に沿って降下され、Ｂ点に至る（ステップＳ６１１）。これら両シャトルが所定位置に到達したか否かは、駆動部の動作量、或いは各々の到達地点に配されたセンサの出力値より、制御部において確認される（ステップＳ６１２）。

目標位置に各々のシャトルが到達していることが確認された後、制御部はＢ点に到達した第一のシャトル３１に対して電子部品３を受け取らせる動作の実行を供給部１０に行う。供給部１０では、当該指示に応じて、電子部品３を第一のシャトル３１の第一のアーム部３１ａの先端近傍の所定の保持位置に載置させるための動作が行われる。また実装部３０では、当該指示に応じて、第二のシャトル３３の第二のアーム部３３ａにある電子部品３を実装ヘッド５１に受け渡すための動作が行われる（ステップＳ６１３）。以上の工程において、電子部品３の次の一個の受け渡し時間Ｔ１が終了し、実装装置は制御部による次の指示の待機状態となる。
なお、第一のシャトル３１と第二のシャトル３２とは、互いに干渉しないように、すれ違い動作のタイミングで各々の移動が行われるように制御されなければならない。このため、すれ違いに至る前の段階で、第一のシャトル３１はＢ点或いはＣ点の直上位置を待機位置とし、第二のシャトル３３はＣ点或いはＢ点を各々の待機位置とし、該待機位置で各々適当な時間の駆動の停止等を実行することが好ましい。即ち、該待機位置において駆動開始タイミングの調整が行われることが好ましい。これにより、位置決めカメラや実装部を増やすことなく実装装置の稼働速度を高めることが可能となる。

以上述べたように、本発明においては、電子部品の受け取り位置（Ｂ点）と受け渡し位置（Ｃ点）との間を往復駆動可能とする複数のシャトル各々について、電子部品の受け取り位置と受け渡し位置とが一致するように構成している。また、その際に、一つのシャトル部は単に両位置の間を往復することとし、他のシャトル部は該一つのシャトルの動作に干渉しない位置まで移動した後、該一つのシャトルの往復駆動の軸と平行の軸に沿った往復駆動を行うこととしている。これにより、電子部品の供給部からの受け取りと実装部への受け渡しとを各々単一の位置で行うことが可能となり、構成の簡略化と制御負荷の抑制が図れる。

また、本実施形態では、複数のシャトルの往復駆動の軸をＺ軸方向において略平行に並べることとしている。より詳細には、上述したシャトル部はシャトル３１、３３の各々に往復駆動を行わせる複数の駆動ユニット３２、３４を有するが、これら駆動ユニットの各々は、実装ヘッド５１が電子部品３を基板４に対して相対移動させる平面をＸＹ平面とした時、ＸＹ平面に垂直な方向に並ぶように配置される。なお、この場合の配置における垂直な方向は、厳密に垂直方向に整列することのみを意味するのではなく、略整列して、ＸＹ平面においてはみ出す領域がないレベルで整列している状態も含む。例えば、特許文献１に開示する構成のようにシャトルの往復移動の軸をＹ軸方向に複数配置した場合、実装部において基板上に複数のシャトル駆動ユニットが存在することとなる。この場合基板に対して実装ヘッドをアクセスさせる空間が制限され、実装部５０側での更なる対応を行う必要が生じる。本実施形態とすることにより、実装ヘッドが基板にアクセスする際の空間上の制限は、従来の構成と何ら変わらない。

（第二の実施形態に係る実装装置の動作）
ここで、実装時においては、基板に対する精密な位置決めの操作と、実装操作との二つの操作が存在する。これに対して供給部１０から電子部品３をシャトル３１、３３に受け渡す際には、予備位置決めを行う操作しか存在しない。このため、Ｂ点において電子部品３を受け取ってから次の電子部品３を必要とするまでに要する時間と、Ｃ点に停止後に電子部品３を受け取って搬送可能とするまでの時間とに差がある。このためこの時間差を考慮してシャトル部の動きを制御することにより、両シャトルの接触可能性の低減とより高速な基板の受け取りと受け渡しとが可能となる。以下に、本発明の第二の実施形態として、ＢＣ点間において駆動中に各々のシャトルが待機する位置を配置することで、往復駆動の最適化を図った場合について説明する。なお、上述した第一の実施形態で説明した実装装置と構成上は同じであるため、ここでの装置構成についての説明は省略する。

図９に示すように、第一のシャトル３１に対しては、ＢＣ点間での駆動動作を一旦停止し、シャトル駆動の両端近傍で行う電子部品３の受け渡し等の実行の指示を待つ待機位置として、ＢＣ間においてＢ２点及びＣ２点が設けられている。該Ｂ２点は、第一のシャトル３１が往復駆動を行う経路において該往復駆動を一時的に停止する位置であって、受け取る位置Ｂ点近傍の第一の待機位置として定義される。該Ｃ２点は、第一のシャトル３１が往復駆動を行う経路において該往復駆動を一時的に停止する位置であって、受け渡す位置Ｃ点近傍の第二の待機位置として定義される。また、同様に、第二のシャトル３３に対しては、待機位置として、ＢＣ間にＢ３点及びＣ３点が設けられている。該Ｂ３点は、第二のシャトル３３が往復駆動を行う経路において該往復駆動を一時的に停止する位置であって、受け取る位置Ｂ点近傍の第三の待機位置として定義される。該Ｃ３点は、第二のシャトル３３が往復駆動を行う経路において該往復駆動を一時的に停止する位置であって、受け渡す位置Ｃ点近傍の第四の待機位置として定義される。図１０に示すように、第一のシャトル３１は、Ｂ２点及びその直上の位置においてＺ２軸方向の上昇及び下降の移動を行う。また、この動作はＣ２点及びその直上の位置でも同様に行われる。第二のシャトル３３は、図１１に示すように、Ｃ点側からＢ点側への駆動時において、Ｂ３点で一旦待機し（一時的に往復駆動を停止し）、その後以降のＢ点までの駆動を行う。この動作はＣ３点からＣ点の間でも同様に行われる。即ち、第一のシャトル３１及び第二のシャトル３３は、Ｂ点或いはＣ点に向かう際に、目標地点（Ｂ点或いはＣ点）に他のシャトルがいないことを確認した後、各々の待機位置から目標地点に移動することとしている。
なお、本実施形態では、待機位置において各々のシャトルが干渉しないように、仮にＢ２点直上の位置に第一のシャトル３１が待機し且つ同時にＢ３点に第二のシャトル３３が待機した場合であっても、各々のシャトルが接触しないようにＢ２点とＢ３点との間隔を空けている。また、Ｂ点に至る際に第一のシャトル３１が第二のシャトル３３の駆動軌道に侵入することから、両シャトルの駆動軌道の重なり部分をより短くするために、Ｂ２点をＢ３点よりよりＢ点に近い位置に配置している。以上の関係はＣ点、Ｃ２点及びＣ３点についても同様である。

次に、第二の実施形態に係る実装工程におけるシャトル部の諸動作の流れを示すフローチャートである図８を用いて、その詳細について述べる。なお、同図に示すフローチャートにおいて、左側は第一のシャトル３１に関するフローチャートであり、右側は第二のシャトル３３に関するフローチャートである。当該フローチャートにおいて、各々のシャトル間で対応するステップにおいて行われる操作は、後述するように各々任意のタイミングで実行される。

同フローチャートにおいて、ステップＳ１００１Ａでは、第一のシャトル３１はＢ２点の直上に位置し、待機状態にある。また、ステップＳ１００１Ｂでは、第二のシャトル３３はＣ３点に位置し、待機状態にある。ステップＳ１００２Ａでは、制御部より第一のシャトル３１をＢ点に移動させて電子部品３を受け取る旨の指示が出される。また、ステップＳ１００２Ｂでは、制御部より第二のシャトル３３をＣ点まで駆動させて電子部品３の受け渡しを行う旨の指示が出される。これら指示を受付けたことによって、シャトルの動作が開始される。

ステップＳ１００３Ａでは、Ｂ点にシャトルが存在していないこと、より詳細にはＢ２点からＢ点の間における各々のシャトルが重複する駆動軌道に第二のシャトル３３が存在していないことが確認される。また、ステップＳ１００３Ｂでは、Ｃ点にシャトルが存在しないこと、より詳細には第一のシャトル３１がＣ３点からＣ点の間に存在していないことが確認される。これら両点におけるシャトルの有無の検出は不図示のセンサによって行われ、検出結果は制御部に出力される。これら位置にシャトルが存在していないことが確認された後、次のステップにおけるシャトルの駆動が行われる。ステップＳ１００４Ａでは、第一のシャトル３１のＢ２点直上の位置からの下降と下降後のＸ軸方向のＢ２点からＢ点までの駆動が、制御部の指示に基づいて実行される。同様に、ステップＳ１００４Ｂでは、第二のシャトル３３のＸ軸方向におけるＣ３点からＣ点までの駆動が、制御部の指示に基づいて実行される。

ステップＳ１００５Ａでは、第一のシャトル３１がＢ点に到着したことが確認される。また、ステップＳ１００５Ｂでは、第二のシャトル３３がＣ点に到着したことが確認される。確認後、ステップＳ１００６Ａにおいて、供給部１０からの第一のシャトル３１による電子部品３の受け取りが行われる。ステップＳ１００６Ｂでは、第二のシャトル３３から実装ヘッド５１に対する電子部品３の受け渡しが行われる。以上の工程において、電子部品３一個についての受け渡しの指示を受けてから該電子部品３を受け渡すまでの受け渡し時間Ｔ２が終了する。本実施形態の場合、各々のシャトルは指示を受けた段階で目標地点に近い待機位置に位置している。従って、第一の実施形態で要した受け渡し時間Ｔ１に対して、本実施形態における受け渡し時間Ｔ２はより短時間となる。
ステップＳ１００７Ａでは、電子部品３を受け取った第一のシャトル３１がＢ２点に駆動し、該Ｂ２点において上昇動作を行い、待機位置に至る。ステップＳ１００７Ｂでは、電子部品３を受け渡した後の第二のシャトル３３が駆動し、Ｃ３点の待機位置に至る。しかし、これらステップにおいて、各々のシャトルは当該待機位置において待機せず、各々次のステップに移行して次の待機位置への駆動を行う。

ステップＳ１００８Ａでの第一のシャトル３１のＣ２点直上の位置への駆動と、ステップＳ１００８Ｂでの第二のシャトル３３のＢ３点への駆動とが行われ、両シャトルがＸ軸方向にてすれ違う。その際、本実施形態では、個々のシャトルの両待機位置間での駆動軌道は所定距離離れて平行に存在していることから各々の干渉を考慮する必要がない。従って、両シャトルの駆動開始のタイミングは任意に設定可能である。
ここで、シャトルが上述した指示を受けて待機位置に至るまでの時間は、Ｂ点での電子部品３の受け取り時とＣ点での電子部品３の受け渡し時とにおいて各々異なる。本実施形態では、待機位置としてＢ点近傍にＢ２点及びＢ３点、及びＣ点近傍にＣ２点及びＣ３点を設け、他のシャトルが目標地点にいないことが確認された後に目標地点近傍の待機位置から目標地点に至って個々のシャトルに関する操作を行うこととしている。これにより、電子部品３の受け取り時及び受け渡し時に各々のシャトルが干渉しないように、駆動タイミングの調整が行われる。この場合、干渉可能性のある駆動領域が短いことから、第一の実施形態の場合のすれ違いのタイミングの調整に対して、待機時間を短くすることが可能となる。駆動後各々の待機位置において、両シャトルは次の受け取りの指示を待つ。

ステップＳ１００９Ａでは、制御部より第一のシャトル３１をＣ点に駆動させて電子部品３の実装ヘッド５１への受け渡しを行う旨の指示がだされる。また、ステップＳ１００９Ｂでは、制御部より第二のシャトル３３をＢ点まで駆動させて電子部品３の受け取りを行う旨の指示が出される。これら指示を受付けたことによって、シャトルの動作が再び開始される。

ステップＳ１０１０Ａでは、Ｃ点にシャトルが存在していないことが確認される。また、ステップＳ１０１０Ｂでは、Ｂ点にシャトルが存在しないことが確認される。これら両点におけるシャトルの有無の検出は不図示のセンサによって行われ、検出結果は制御部に出力される。これら位置にシャトルが存在していないことが確認された後、次にステップにおけるシャトルの駆動が行われる。ステップＳ１０１１Ａでは、第一のシャトル３１のＣ２点直上の位置からＣ２点までの下降と下降後のＸ軸方向のＣ２点からＣ点までの駆動が、制御部の指示に基づいて実行される。同時に、ステップＳ１０１１Ｂでは、第二のシャトル３３のＸ軸方向におけるＢ３点からＢ点までの駆動が、制御部の指示に基づいて実行される。

ステップＳ１０１２Ａでは、第一のシャトル３１がＣ点に到着したことが確認される。また、ステップＳ１０１２Ｂでは、第二のシャトル３３がＢ点に到着したことが確認される。確認後、ステップＳ１０１３Ａにおいて、第一のシャトル３１から実装ヘッド５１に対する電子部品３の受け渡しが行われる。ステップＳ１０１３Ｂでは、供給部１０から第二のシャトル３３による電子部品３の受け取りが行われる。ステップＳ１０１４Ａでは、電子部品３を保持した第一のシャトル３１がＣ２点に駆動し、該Ｃ２点において上昇動作を行い、待機位置であるＣ２点に至る。ステップＳ１０１４Ｂでは、電子部品３を受け渡した後の第二のシャトル３３が駆動し、Ｂ３点の待機位置に至る。しかし、これらステップにおいて、各々のシャトルは当該待機位置において待機せず、各々次のステップに移行して次の待機位置への駆動を行う。

両シャトルが各々待機位置に至った後、ステップＳ１０１５Ａでの第一のシャトル３１のＣ２点直上の位置からＢ２点直上の位置への駆動と、ステップＳ１０１５Ｂでの第二のシャトル３３のＢ３点からＣ３点への駆動とが行われ、両シャトルがＸ軸方向にてすれ違う。上述したように、すれ違い時の互いのシャトルの干渉は考慮する必要がないことから、両シャトルの駆動開始のタイミングは任意に設定可能である。駆動後各々の待機位置において、両シャトルは次の受け取りの指示を待つ。

以上の動作を行うことにより、第一のシャトル３１及び第二のシャトル３３は、ステップＳ１００１Ａ及びステップＳ１００１Ｂにおける制御部からの指示を待つ待機状態となる。以後、フローはステップＳ１００１Ａ或いはＳ１００１Ｂに戻り、電子基板３の搬送の動作を繰り返す。
本実施形態によれば、電子基板３の受け取り及び受け渡しのタイミングを好適に制御するために、各々のシャトルのＸ方向の駆動範囲において、二か所の待機位置を設けている。また、その際に、一つのシャトル部は単に両位置の間を往復することとし、他のシャトル部は該一つのシャトルの動作に干渉しない位置まで駆動した後に待機し、その後、該一つのシャトルの往復駆動の軸と平行の軸に沿った往復駆動を行うこととしている。また一つのシャトル部については、他のシャトル部の待機位置よりも内側の範囲であって、他のシャトル部が待機位置にあったとしても、互いに干渉しない範囲に待機位置を設けている。これにより、電子部品の供給部からの受け取りと実装部への受け渡しを各々単一の位置で行うことが可能となり、構成の簡略化と制御負荷の抑制が図れる。

なお、以上の実施形態ではシャトルが二つ配置される場合について述べたが、シャトルの数はさらに増加することも可能である。また、待機位置に関しても、シャトルの数、Ｂ点及びＣ点での操作に要する時間等を勘案して、複数とすることも可能である。この場合、複数のシャトルの各々に関して、Ｂ点近傍の待機位置からＢ点までのシャトルの駆動軌道において、各々の駆動軌道が同一となる（重なる）領域において他のシャトルが存在しないことが確認されるまで待機する態様とすれば良い。これにより、より短時間での電子部品の搬送と行うことが可能となる。

１：ウエハ、 ３：電子部品、 ４：基板、 １０：供給部、 １１：供給部Ｙテーブル、 １２：供給部Ｘテーブル、 １３：突き上げユニット、 １４：供給カメラ、 ２０：取り出し部、 ２１：把持部、 ２２：把持駆動ユニット、 ２２ａ：把持駆動部、 ２２ｂ：把持駆動レール、 ２４：検査カメラ、 ３０：シャトル部、 ３１：第一のシャトル、 ３１ａ：第一のアーム部、 ３１ｂ：第一の連結部、 ３１ｃ：第一の可動部、 ３２：第一のシャトル駆動ユニット、 ３２ａ：Ｘ２軸駆動部、 ３２ｂ：Ｘ２軸レール、 ３３：第二のシャトル、 ３３ａ：第二のアーム部、 ３３ｂ：第二の連結部、 ３３ｃ：第二の可動部、 ３４：第二のシャトル駆動ユニット、 ３４ａ：Ｘ３軸駆動部、 ３４ｂ：Ｘ３軸レール、 ３５：シャトルカメラ、 ３６：Ｚ２軸駆動部、 ３６ａ：回転シャフト、 ３７：Ｚ２軸レール、 ４１：駆動ユニット、 ４２：偏心シャフト、 ４２ａ：カム部、 ４３：第一の軸受け、 ４４：第二の軸受け、 ４５：Ｚ２軸ガイド、 ４６：可動ブロック、 ４６ａ：Ｘ方向長穴、 ５０：実装部、 ５１：実装ヘッド、 ５２：実装部Ｘテーブル、 ５３：実装部Ｙテーブル、 ５４：実装カメラ

Claims (11)

1. 電子部品を供給部から得て基板に実装する実装装置であって、
   前記電子部品を供給する供給部と、
   供給された前記電子部品を前記基板に実装する実装部と、
   供給された前記電子部品を受け取り、前記実装部に受け渡す、第一のシャトル及び第二のシャトルを有するシャトル部と、を有し、
   前記第一のシャトル及び前記第二のシャトルの各々は前記電子部品を受け取る位置から前記電子部品を前記実装部に受け渡す位置への方向であるＸ方向と同一の方向での往復駆動が可能であると共に、単一の前記受け取る位置及び単一の前記受け渡す位置に停止し、
   前記シャトル部は、前記第一のシャトルに前記往復駆動を行わせる第一のＸ方向駆動ユニットと、前記第二のシャトルに前記往復駆動を行わせる第二のＸ方向駆動ユニットと、前記第一のＸ方向駆動ユニット、或いは前記第二のＸ方向駆動ユニットの少なくとも一方に付随して、前記実装部が前記電子部品を前記基板に対して相対移動させるＸＹ平面に垂直なＺ方向に前記第一のシャトル或いは前記第二のシャトルを駆動するＺ方向駆動ユニットとを、有し、
   前記第一のシャトルと前記第二のシャトルとは、前記往復駆動の際に前記Ｚ方向に間隔を空けてすれ違うことを特徴とする実装装置。
2. 前記第一のＸ方向駆動ユニットと、前記第二のＸ方向駆動ユニットの各々は、前記ＸＹ平面に垂直なＺ方向にずらされるように配置されることを特徴とする請求項１に記載の実装装置。
3. 前記電子部品を受け取る位置と前記電子部品を前記実装部に受け渡す位置とを結ぶ直線を軸線としたとき、前記第一のＸ方向駆動ユニットと前記第二のＸ方向駆動ユニットにおける前記Ｚ方向駆動ユニットが付随する駆動ユニットに駆動されるシャトルが前記付随する駆動ユニットに支持される部分から前記軸線までの距離は、前記Ｚ方向駆動ユニットが付随しない駆動ユニットに駆動されるシャトルが前記付随しない駆動ユニットに支持される部分から前記軸線までの距離とは異なることを特徴とする請求項１又は２に記載の実装装置。
4. 前記第一のＸ方向駆動ユニットは、前記第一のシャトルの前記往復駆動を行う経路において前記往復駆動を一時的に停止する第一の待機位置を前記受け取る位置の近傍に、同じく第二の待機位置を前記受け渡す位置の近傍に配し、
   前記第二のＸ方向駆動ユニットは、前記第二のシャトルの前記往復駆動を行う経路において前記往復駆動を一時的に停止する第三の待機位置を前記受け取る位置の近傍に、同じく第四の待機位置を前記受け渡す位置の近傍に配し、
   前記実装装置は、前記第一の待機位置と前記受け取る位置との間、及び前記第三の待機位置と前記受け取る位置との間において、前記第一のシャトルと前記第二のシャトルが各々干渉しないように前記第一のシャトルと前記第二のシャトルの駆動を制御する制御部を有することを特徴とする、請求項３記載の実装装置。
5. 前記実装装置は、前記第二の待機位置と前記受け渡す位置との間、及び前記第四の待機位置と前記受け渡す位置との間において、前記第一のシャトルと前記第二のシャトルが各々干渉しないように前記第一のシャトルと前記第二のシャトルの駆動を制御する制御部を有することを特徴とする、請求項４記載の実装装置。
6. 前記第一のＸ方向駆動ユニットは、前記第一のシャトルの前記往復駆動を行う経路において前記往復駆動を一時的に停止する第一の待機位置を前記受け取る位置の近傍に、同じく第二の待機位置を前記受け渡す位置の近傍に配し、
   前記第二のＸ方向駆動ユニットは、前記第二のシャトルの前記往復駆動を行う経路において前記往復駆動を一時的に停止する第三の待機位置を前記受け取る位置の近傍に、同じく第四の待機位置を前記受け渡す位置の近傍に配し、
   前記実装装置は、前記第一の待機位置と前記受け取る位置との間、及び前記第三の待機位置と前記受け取る位置との間において、前記第一のシャトルと前記第二のシャトルの駆動経路の一部は同一であることを特徴とする請求項３記載の実装装置。
7. 前記実装装置は、前記第二の待機位置と前記受け渡す位置との間、及び前記第四の待機位置と前記受け渡す位置との間において、前記第一のシャトルと前記第二のシャトルの駆動経路の一部は同一であることを特徴とする請求項６記載の実装装置。
8. 前記Ｚ方向駆動ユニットは、回転アクチュエータと、前記回転アクチュエータの回転軸から偏心して前記回転アクチュエータによって回転する偏心シャフトと、前記ＸＹ平面に平行な方向に延びる長穴を有すると共に前記偏心シャフトが前記長穴に嵌合されて前記偏心シャフトの回転に応じて前記垂直な方向に駆動され、前記偏心シャフトに支持される可動ブロックと、を有することを特徴とする請求項３乃至７の何れか一項に記載の実装装置。
9. 前記受け取る位置に配置されて、前記電子部品を前記第一のシャトル及び前記第二のシャトルの各々が受け取る際の予備位置決めを行うための画像を得るシャトルカメラを有することを特徴とする請求項１乃至８の何れか一項に記載の実装装置。
10. 前記受け渡す位置に配置されて、前記第一のシャトル及び前記第二のシャトルの各々から前記実装部に受け渡す際の前記実装部に対する前記電子部品の位置決めを行うための画像を得る実装位置決めカメラを有することを特徴とする請求項１乃至９の何れか一項に記載の実装装置。
11. 電子部品を供給部から得て基板に実装する実装装置であって、
    前記電子部品を供給する供給部と、
    供給された前記電子部品を前記基板に実装する実装部と、
    供給された前記電子部品を受け取り、前記実装部に受け渡す複数のシャトルを有するシャトル部と、を有し、
    複数の前記シャトルの各々は、前記電子部品を受け取る位置から前記電子部品を前記実装部に受け渡す位置への方向であるＸ方向と同一の方向での往復駆動が可能であると共に、単一の前記受け取る位置及び単一の前記受け渡す位置に停止し、
    前記シャトル部は、複数のシャトル部の各々に前記往復駆動を行わせる前記複数のシャトル部の各々に対応する複数のＸ方向駆動ユニットと、前記複数のＸ方向駆動ユニットのいずれかに付随して前記実装部が前記電子部品を前記基板に対して相対移動させるＸＹ平面に垂直なＺ方向に前記複数のＸ方向駆動ユニットのいずれかを駆動するＺ方向駆動ユニットと、を有し、
    前記複数のシャトルは前記往復駆動の際に前記Ｚ方向に間隔を空けてすれ違うことを特徴とする実装装置。

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