JPH10206833A - 液晶パネル基板の搬送方法、その搬送装置及びその位置決め方法 - Google Patents
液晶パネル基板の搬送方法、その搬送装置及びその位置決め方法Info
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- JPH10206833A JPH10206833A JP9011592A JP1159297A JPH10206833A JP H10206833 A JPH10206833 A JP H10206833A JP 9011592 A JP9011592 A JP 9011592A JP 1159297 A JP1159297 A JP 1159297A JP H10206833 A JPH10206833 A JP H10206833A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板に直接接触することなく搬送、位置決め
が可能で、基板の寸法が変わっても搬送系等の段取り換
えが不要な液晶パネル基板の搬送方法、その搬送装置及
びその位置決め方法を提供することにある。 【解決手段】 搬送装置３のハンド４はシリンダ５の駆
動によりアダプタ１の側面より、アダプタ１を挟み込ん
で保持する。アダプタ１を挟み込んで保持した搬送装置
のハンド４は搬送装置の駆動装置により、移動し、基板
を搬送する。
が可能で、基板の寸法が変わっても搬送系等の段取り換
えが不要な液晶パネル基板の搬送方法、その搬送装置及
びその位置決め方法を提供することにある。 【解決手段】 搬送装置３のハンド４はシリンダ５の駆
動によりアダプタ１の側面より、アダプタ１を挟み込ん
で保持する。アダプタ１を挟み込んで保持した搬送装置
のハンド４は搬送装置の駆動装置により、移動し、基板
を搬送する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネル製造に
用いられる基板の搬送方法、その搬送装置及びその位置
決め方法に関する。
用いられる基板の搬送方法、その搬送装置及びその位置
決め方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルを製造する際、材料となるガ
ラス基板やＴＦＴ、ＩＴＯ配線の形成された基板、カラ
ーフィルタ基板を搬送しなくてはならない。従来では膜
面の裏側から基板を吸着してロボットハンドに保持をし
て搬送する方法や、コロ搬送によって基板を滑らせなが
ら搬送する方法等が広く行われている。また、搬送の
際、基板を所定の位置に配置する時には、基板の外周側
面をピン等で機械的に押して、位置を決めることが広く
行われている。
ラス基板やＴＦＴ、ＩＴＯ配線の形成された基板、カラ
ーフィルタ基板を搬送しなくてはならない。従来では膜
面の裏側から基板を吸着してロボットハンドに保持をし
て搬送する方法や、コロ搬送によって基板を滑らせなが
ら搬送する方法等が広く行われている。また、搬送の
際、基板を所定の位置に配置する時には、基板の外周側
面をピン等で機械的に押して、位置を決めることが広く
行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の搬送方法では、
ロボットハンド、あるいはコロなどの搬送系が必ず基板
と接触しなければならず、キズや静電気による破壊の問
題以外にも、基板の寸法が多種にわたった場合、ハンド
やガイドの段取り換えが必要となる。また、基板の位置
決めを行う場合には、基板を揃えるためのガイドピン等
を基板側面にあてて押すため、基板のエッジ部分に割れ
や、カケが生じる危険性が大きかった。また、基板の寸
法が多種になった場合、位置決めのピンの間隔や基板を
押すストロークを段取り換えで、変更する必要があっ
た。
ロボットハンド、あるいはコロなどの搬送系が必ず基板
と接触しなければならず、キズや静電気による破壊の問
題以外にも、基板の寸法が多種にわたった場合、ハンド
やガイドの段取り換えが必要となる。また、基板の位置
決めを行う場合には、基板を揃えるためのガイドピン等
を基板側面にあてて押すため、基板のエッジ部分に割れ
や、カケが生じる危険性が大きかった。また、基板の寸
法が多種になった場合、位置決めのピンの間隔や基板を
押すストロークを段取り換えで、変更する必要があっ
た。
【０００４】本発明の目的は、基板に直接接触すること
なく搬送、位置決めが可能で、基板の寸法が変わっても
搬送系等の段取り換えが不要な液晶パネル基板の搬送方
法、その搬送装置及びその位置決め方法を提供すること
にある。
なく搬送、位置決めが可能で、基板の寸法が変わっても
搬送系等の段取り換えが不要な液晶パネル基板の搬送方
法、その搬送装置及びその位置決め方法を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、液晶
パネルに用いる基板に着脱可能な搬送部材を取り付け、
該搬送部材を搬送系に接触保持させて搬送することによ
り、前記基板を搬送することを特徴とする液晶パネル基
板の搬送方法である。
パネルに用いる基板に着脱可能な搬送部材を取り付け、
該搬送部材を搬送系に接触保持させて搬送することによ
り、前記基板を搬送することを特徴とする液晶パネル基
板の搬送方法である。
【０００６】請求項２の発明は、液晶パネルに用いる基
板に取り付けた着脱可能な搬送部材と、該基板保持部材
を接触保持して搬送する搬送系とを備えた液晶パネル基
板の搬送装置である。
板に取り付けた着脱可能な搬送部材と、該基板保持部材
を接触保持して搬送する搬送系とを備えた液晶パネル基
板の搬送装置である。
【０００７】請求項３の発明は、液晶パネルに用いる基
板に着脱可能な位置決め部材を所定の位置に取り付け、
該基板保持部材を位置決め装置に接触保持させて位置決
めすることにより、前記基板の位置決めを行う液晶パネ
ル基板の位置決め方法である。
板に着脱可能な位置決め部材を所定の位置に取り付け、
該基板保持部材を位置決め装置に接触保持させて位置決
めすることにより、前記基板の位置決めを行う液晶パネ
ル基板の位置決め方法である。
【０００８】本発明は、基板の裏面（膜の形成されてい
ない面）の所定の位置に、水溶性の接着剤や、紫外線に
より接着力をなくす接着剤を用いるなどして、基板保持
部材を接着する。搬送装置はその基板保持部材をチャッ
キングしたり、吸着することによって保持して、基板を
搬送したり、位置決めしたりする。これら装置は基板保
持部材を介して搬送や位置決めをするので、基板の寸法
に依存しないため、装置の段取り換えは生じない。ま
た、基板に対して、搬送装置や位置決め装置が直接接触
してはいないので、キズをつけたり、静電気による影響
を与えることがない。さらに、基板保持部材があること
が障害になる工程、あるいは搬送の必要がなくなった場
合は、着脱可能であるのですぐ取り外すことができる。
例えば、自在水溶性の接着剤であれば、水洗によって、
また紫外線により接着力を失う接着剤の場合は紫外線を
照射することによって基板保持部材を除去できる。
ない面）の所定の位置に、水溶性の接着剤や、紫外線に
より接着力をなくす接着剤を用いるなどして、基板保持
部材を接着する。搬送装置はその基板保持部材をチャッ
キングしたり、吸着することによって保持して、基板を
搬送したり、位置決めしたりする。これら装置は基板保
持部材を介して搬送や位置決めをするので、基板の寸法
に依存しないため、装置の段取り換えは生じない。ま
た、基板に対して、搬送装置や位置決め装置が直接接触
してはいないので、キズをつけたり、静電気による影響
を与えることがない。さらに、基板保持部材があること
が障害になる工程、あるいは搬送の必要がなくなった場
合は、着脱可能であるのですぐ取り外すことができる。
例えば、自在水溶性の接着剤であれば、水洗によって、
また紫外線により接着力を失う接着剤の場合は紫外線を
照射することによって基板保持部材を除去できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。図１は、本発明に係る搬送装
置に用いる基板保持部材の一実施形態を示す説明図であ
り、ガラス基板の保持部材であるアダプタ１を基板２の
裏面の所定の位置に接着した正面図と平面図である。図
１に示すように、アダプタ１を接着する位置を基板２の
重心とするのが、搬送時に安定するため推薦できるが、
必要であれば他の位置でも可能である。接着に用いる接
着剤は水溶性の接着剤（例えばポリビニルアルコールの
水溶液など）や、紫外線により接着力を失う接着剤（例
えば紫外線硬化樹脂など）を使用する。接着の方法は基
板２上に位置合わせ用のマーキングに対してアダプタ１
の位置合わせを行ったり、基板２の外形を用いてアダプ
タ１の位置合わせを行い、所定の位置に誤差が少なく接
着する。所定の位置に誤差が少なく接着されれば、手段
は問わない。
を参照しながら説明する。図１は、本発明に係る搬送装
置に用いる基板保持部材の一実施形態を示す説明図であ
り、ガラス基板の保持部材であるアダプタ１を基板２の
裏面の所定の位置に接着した正面図と平面図である。図
１に示すように、アダプタ１を接着する位置を基板２の
重心とするのが、搬送時に安定するため推薦できるが、
必要であれば他の位置でも可能である。接着に用いる接
着剤は水溶性の接着剤（例えばポリビニルアルコールの
水溶液など）や、紫外線により接着力を失う接着剤（例
えば紫外線硬化樹脂など）を使用する。接着の方法は基
板２上に位置合わせ用のマーキングに対してアダプタ１
の位置合わせを行ったり、基板２の外形を用いてアダプ
タ１の位置合わせを行い、所定の位置に誤差が少なく接
着する。所定の位置に誤差が少なく接着されれば、手段
は問わない。
【００１０】図２は、本発明に係る搬送装置の一実施形
態を示す構成図である。搬送装置３はアダプタ１を把持
して搬送する。把持の方法はチャッキングや吸着等特に
方法は限定されないが、本実施形態では駆動用シリンダ
５で開閉するハンド４でチャッキングして搬送する場合
について述べる。この後述べるシリンダ５はすべて圧縮
空気の注入により前後に駆動ができるものとする。搬送
装置３のハンド４はシリンダ５の駆動によりアダプタ１
の側面より、アダプタ１を挟み込んで保持する。アダプ
タ１の形状はハンド４が挟み込み易い形状であれば限定
はされないが、本実施形態では四角柱として説明する。
また、アダプタ１には搬送装置３のハンド４がつかみや
すいように、切り欠き６（図１参照）を設けてある。ア
ダプタの切り欠き部６を挟み込んで保持した搬送装置３
のハンド４は搬送装置３の駆動装置により、移動し、基
板２を搬送する。本実施形態では駆動装置としてエアシ
リンダ７で駆動する方法で説明するが、モータとボール
ネジでの駆動、あるいはロボットを用いてハンド４を移
動させてもかまわない。
態を示す構成図である。搬送装置３はアダプタ１を把持
して搬送する。把持の方法はチャッキングや吸着等特に
方法は限定されないが、本実施形態では駆動用シリンダ
５で開閉するハンド４でチャッキングして搬送する場合
について述べる。この後述べるシリンダ５はすべて圧縮
空気の注入により前後に駆動ができるものとする。搬送
装置３のハンド４はシリンダ５の駆動によりアダプタ１
の側面より、アダプタ１を挟み込んで保持する。アダプ
タ１の形状はハンド４が挟み込み易い形状であれば限定
はされないが、本実施形態では四角柱として説明する。
また、アダプタ１には搬送装置３のハンド４がつかみや
すいように、切り欠き６（図１参照）を設けてある。ア
ダプタの切り欠き部６を挟み込んで保持した搬送装置３
のハンド４は搬送装置３の駆動装置により、移動し、基
板２を搬送する。本実施形態では駆動装置としてエアシ
リンダ７で駆動する方法で説明するが、モータとボール
ネジでの駆動、あるいはロボットを用いてハンド４を移
動させてもかまわない。
【００１１】図３は、基板の受け取り加工を行う装置を
示す構成図である。基板２の受け取り加工を行う加工装
置９側には、シリンダ１０の駆動によりアダプタ１を挟
み込むチャック１１を備えている。勿論チャック１１を
開閉する方法はシリンダのみに限定されず、モータとボ
ールネジを使用しても良いし、モータとカムを組み合わ
せてもかまわない。搬送装置３はシリンダ７で前進し、
加工装置９のチャック１１のちょうど上空にアダプタ１
が位置するように基板２を運ぶ。搬送装置３の昇降機構
８によりハンド４が下降し、図４に示す様に加工装置９
のチャック１１の中にアダプタ１を嵌合させて挿入す
る。加工装置９のチャック１１はシリンダ１０の駆動に
より閉まりこみ、アダプタ１を挟み込んで固定する。そ
の後、搬送装置３のハンド４がシリンダ５の駆動により
開くと受け渡しが完了する。加工装置９側のチャッキン
グがなされると、アダプタ１と基板２の位置関係は一定
となるように接着されているため、基板２の加工装置９
に対する位置決めが同時に完了している。
示す構成図である。基板２の受け取り加工を行う加工装
置９側には、シリンダ１０の駆動によりアダプタ１を挟
み込むチャック１１を備えている。勿論チャック１１を
開閉する方法はシリンダのみに限定されず、モータとボ
ールネジを使用しても良いし、モータとカムを組み合わ
せてもかまわない。搬送装置３はシリンダ７で前進し、
加工装置９のチャック１１のちょうど上空にアダプタ１
が位置するように基板２を運ぶ。搬送装置３の昇降機構
８によりハンド４が下降し、図４に示す様に加工装置９
のチャック１１の中にアダプタ１を嵌合させて挿入す
る。加工装置９のチャック１１はシリンダ１０の駆動に
より閉まりこみ、アダプタ１を挟み込んで固定する。そ
の後、搬送装置３のハンド４がシリンダ５の駆動により
開くと受け渡しが完了する。加工装置９側のチャッキン
グがなされると、アダプタ１と基板２の位置関係は一定
となるように接着されているため、基板２の加工装置９
に対する位置決めが同時に完了している。
【００１２】加工装置９で加工がなされた後、基板２は
次の工程装置に送られなければならない。次の工程装置
に基板２を送る搬送装置は前述の搬送装置３と同様の構
成を持つ。基板２に加工がなされ、次工程に基板を送る
場合は次に送る搬送系のハンド４が前述と同様にシリン
ダ５の駆動により、アダプタ１を挟み込んだ後に、シリ
ンダ１０の駆動によって加工装置９のチャック１１が開
くと、次の搬送装置への受け渡しが完了する。
次の工程装置に送られなければならない。次の工程装置
に基板２を送る搬送装置は前述の搬送装置３と同様の構
成を持つ。基板２に加工がなされ、次工程に基板を送る
場合は次に送る搬送系のハンド４が前述と同様にシリン
ダ５の駆動により、アダプタ１を挟み込んだ後に、シリ
ンダ１０の駆動によって加工装置９のチャック１１が開
くと、次の搬送装置への受け渡しが完了する。
【００１３】このようにアダプタ１が接着剤を介して固
定されており、従来のようにハンド４が直接基板２をこ
することが無くなるのでキズをつけたり、静電気による
影響を与えることがない。また共通のアダプタ１を用い
て搬送、位置決めができ、基板２の寸法に依存しないの
で、基板寸法が変わっても段取り換えも生じない。
定されており、従来のようにハンド４が直接基板２をこ
することが無くなるのでキズをつけたり、静電気による
影響を与えることがない。また共通のアダプタ１を用い
て搬送、位置決めができ、基板２の寸法に依存しないの
で、基板寸法が変わっても段取り換えも生じない。
【００１４】アダプタ１が不要な工程、あるいはアダプ
タ１がついていると障害になる工程では、接着されたア
ダプタ１をとりはずす。水溶性の接着剤を用いた場合
は、水の槽に基板をつけるか、シャワー等で水洗するこ
とによってアダプタ１は取り除かれる。また紫外線の照
射によって接着力を失う接着剤を用いて接着した場合は
紫外線を照射することによって取り外す。
タ１がついていると障害になる工程では、接着されたア
ダプタ１をとりはずす。水溶性の接着剤を用いた場合
は、水の槽に基板をつけるか、シャワー等で水洗するこ
とによってアダプタ１は取り除かれる。また紫外線の照
射によって接着力を失う接着剤を用いて接着した場合は
紫外線を照射することによって取り外す。
【００１５】
【発明の効果】本発明により、基板の寸法が多種にわた
った場合でも、基板保持部材は共通であるため、搬送系
の段取り換えは不要である。同時に装置側も基板の保持
は共通の基板保持部材を介するため、位置決めの段取り
換えも不要となり、機種換えのための時間が大きく削減
されるため、生産性が向上する。また、搬送時及び位置
決め時には基板に非接触なため、ワレ、カケの危険性が
著しく減少する。また、基板が搬送時及び位置決め時に
装置に接触する過程を伴わないため、静電気によるＴＦ
Ｔ等の破壊の可能性も減少することになる。以上のよう
に製品の歩留まりも大きく改善される。
った場合でも、基板保持部材は共通であるため、搬送系
の段取り換えは不要である。同時に装置側も基板の保持
は共通の基板保持部材を介するため、位置決めの段取り
換えも不要となり、機種換えのための時間が大きく削減
されるため、生産性が向上する。また、搬送時及び位置
決め時には基板に非接触なため、ワレ、カケの危険性が
著しく減少する。また、基板が搬送時及び位置決め時に
装置に接触する過程を伴わないため、静電気によるＴＦ
Ｔ等の破壊の可能性も減少することになる。以上のよう
に製品の歩留まりも大きく改善される。
【図１】本発明に係る搬送装置に用いる基板保持部材の
一実施形態を示す説明図である。
一実施形態を示す説明図である。
【図２】本発明に係る搬送装置の一実施形態を示す構成
図である。
図である。
【図３】基板を受け取り加工を行う装置を示す構成図で
ある。
ある。
【図４】基板を受け取り加工を行う装置のアダプタ固定
動作を示す説明図である。
動作を示す説明図である。
１ アダプタ ２ 基板 ３ 搬送装置
Claims (3)
- 【請求項１】 液晶パネルに用いる基板に着脱可能な基
板保持部材を取り付け、該基板保持部材を搬送系に接触
保持させて搬送することにより、前記基板を搬送するこ
とを特徴とする液晶パネル基板の搬送方法。 - 【請求項２】 液晶パネルに用いる基板に取り付けた着
脱可能な搬送部材と、該基板保持部材を接触保持して搬
送する搬送系とを備えた液晶パネル基板の搬送装置。 - 【請求項３】 液晶パネルに用いる基板に着脱可能な基
板保持部材を所定の位置に取り付け、該基板保持部材を
位置決め装置に接触保持させて位置決めすることによ
り、前記基板の位置決めを行う液晶パネル基板の位置決
め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9011592A JPH10206833A (ja) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | 液晶パネル基板の搬送方法、その搬送装置及びその位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9011592A JPH10206833A (ja) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | 液晶パネル基板の搬送方法、その搬送装置及びその位置決め方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10206833A true JPH10206833A (ja) | 1998-08-07 |
Family
ID=11782185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9011592A Pending JPH10206833A (ja) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | 液晶パネル基板の搬送方法、その搬送装置及びその位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10206833A (ja) |
Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05291398A (ja) * | 1992-04-08 | 1993-11-05 | Sony Corp | 素子基板及び液晶表示装置の製造方法 |
| JPH0616436U (ja) * | 1992-07-29 | 1994-03-04 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 自動基板裁断装置における位置決め機能を有する搬送機 |
| JPH06169006A (ja) * | 1992-06-10 | 1994-06-14 | Nec Corp | 半導体基板保持板 |
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| JPH0878508A (ja) * | 1994-09-02 | 1996-03-22 | Fujitsu Ltd | ウェーハ保持プレート |
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| JPH08262090A (ja) * | 1995-03-18 | 1996-10-11 | Tokyo Electron Ltd | 液晶表示体用基板の検査装置 |
| JPH08288318A (ja) * | 1995-04-14 | 1996-11-01 | Hitachi Ltd | ピックアップ方法および装置 |
| JPH0917752A (ja) * | 1995-06-28 | 1997-01-17 | Sony Corp | 偏平な被切削物の切断方法及びその装置 |
| JPH0922933A (ja) * | 1995-07-06 | 1997-01-21 | Nikon Corp | 基板搬送方法及びその装置 |
| JPH09205129A (ja) * | 1996-01-26 | 1997-08-05 | Sony Corp | 半導体素子の移送用治具 |
-
1997
- 1997-01-24 JP JP9011592A patent/JPH10206833A/ja active Pending
Patent Citations (12)
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