TWI631881B - Transfer unit, transfer device and holding unit - Google Patents
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Abstract
一種移載單元,具備:保持單元、以及能夠使前述保持單元在上下方向上移動的驅動單元。前述保持單元具備:保持部,其係能夠保持工件;可動部,其係支撐前述保持部;支撐部,其係將前述可動部支撐為在上下方向上位移自如;以及施力部,其係相對於前述支撐部向下方對前述可動部進行施力。前述支撐部具有導引前述可動部的位移的導引面,前述可動部具有與前述導引面抵接的抵接面。前述導引面和前述抵接面分別是向上方或下方逐漸變細的面。
Description
[0001] 本發明有關移載單元、移載裝置及保持單元。
[0002] 在對小型電子零件等工件進行操作的設備中,存在以將同種的多個工件載置於收容器的狀態對它們進行搬運的情況。當在收容器間、或者是在收容器與組裝裝置或處理裝置之間移載工件時,使用單獨地保持並移載工件的裝置。 [0003] 在移載工件時,進行使保持工件的保持部移動到預先設定的取出位置的位置控制,並從上方對工件進行保持。在工件與保持部接觸時,若衝擊作用於工件,則工件有時會破損。為了緩衝接觸時的衝擊,賦予保持部上下方向上的緩衝功能(例如,日本特開2002-200585號公報以及日本特開2002-079484號公報)。 [0004] 即使是同種工件,載置於收容器的工件的姿勢也未必全部一定。另外,由於製造誤差,工件的尺寸有時不同。若保持工件的保持部無法與每個這樣的工件的狀態相適應,則在保持工件時,有時會損傷工件。但是,若保持部的位置與每個工件的狀態相適應地偏移,則移載目標位置的載置位置的位置精度會降低。
[0005] 本發明的目的在於緩衝保持工件時的衝擊並防止保持的工件的位置精度降低。 [0006] 根據本發明的某一方面,提供一種移載單元,係具備: 保持單元,其係能夠保持工件;以及 驅動單元,其係能夠使前述保持單元在上下方向上移動; 前述保持單元具備: 保持部,其係能夠保持工件; 可動部,其係支撐前述保持部; 支撐部,其係將前述可動部支撐為在上下方向上位移自如;以及 施力部,其係相對於前述支撐部向下方對前述可動部進行施力; 前述支撐部具有導引前述可動部的位移的第一導引面; 前述可動部具有與前述第一導引面抵接的第一抵接面; 前述第一導引面以及前述第一抵接面分別是向上方或下方逐漸變細的面,以便在使前述可動部相對於前述支撐部向下方位移時,前述第一導引面以及前述第一抵接面相互抵接而進行定位。 [0007] 另外,根據本發明的另一方面,提供一種移載裝置,係具備: 前述移載單元; 驅動單元,其係使前述移載單元從工件的移載初始位置向移載目標位置移動;以及 攝像單元,其係從下方對被前述保持部保持的工件進行攝像。 [0008] 另外,根據本發明的又一方面,提供一種保持單元,係具備: 保持部,其係能夠保持工件; 可動部,其係支撐前述保持部; 支撐部,其係將前述可動部支撐成在第一方向以及與前述第一方向相反的第二方向上位移自如;以及 施力部,其係相對於前述支撐部在前述第一方向上對前述可動部進行施力; 前述第一方向是使前述保持部從前述支撐部分離的方向; 前述支撐部具有導引前述可動部的位移的導引面; 前述可動部具有與前述導引面抵接的抵接面; 前述導引面以及前述抵接面分別是沿前述第一方向或前述第二方向逐漸變細的面。 [0009] 參閱附圖,從以下經由示例性的實施例的描述,可以明確本發明的進一步特徵。
[0011] <裝置的概要> 圖1是本發明的一實施方式的移載裝置1的立體圖。移載裝置1是對電子零件等工件進行移載的裝置。在圖中,箭頭X、Y、Z表示相互正交的方向,箭頭Z表示作為第一方向的上下方向,箭頭X以及箭頭Y表示作為與第一方向正交且彼此正交的第二方向以及第三方向的水平方向。 [0012] 移載裝置1具備:移載單元2、驅動單元3、搬運單元4、搬運單元5、以及攝像單元6。搬運單元4以及搬運單元5是搬運工件的機構。搬運單元4是在X方向上延伸設置的帶式輸送機等的輸送機,並在X方向上對搬運對象物41進行搬運。搬運對象物41在搬運單元4的指定的位置由未圖示的工件定位機構定位。搬運對象物41是收容有多個工件的托盤、或電路基板等。搬運單元5是在Y方向上延伸設置的帶式輸送機等輸送機,並在Y方向上對托盤P進行搬運。在搬運單元5的指定的位置利用未圖示的托盤定位機構對托盤P進行定位。工件的收容部呈矩陣狀地配置於托盤P,工件載置於各收容部。 [0013] 移載單元2是保持工件的機構,驅動單元3是使移載單元2移動的機構。在本實施方式的情況下,在搬運單元4與搬運單元5之間對工件進行移載。驅動單元3使移載單元2在X方向以及Y方向上移動,從搬運單元4和搬運單元5中作為工件的移載初始位置的一方,朝搬運單元5和搬運單元4中作為工件的移載目標位置的另一方,移動工件。在本實施方式的情況下,驅動單元3是龍門式的機構,並具備在Y方向上延伸的樑部31以及在X方向上延伸的相互平行的一對樑部32。樑部31架設於一對樑部32之間。樑部31具備滑塊31a和將馬達31b作為驅動源並使滑塊31a在Y方向上移動的機構。移載單元2支撐於滑塊31a。各樑部32具備滑塊32a和將馬達32b作為驅動源並使滑塊32a在X方向上移動的機構。樑部31的各端部支撐於各滑塊32a,透過同步地控制一對樑部32的各馬達32b,從而使各滑塊32a在X方向上平行移動,並使樑部31在X方向上移動。 [0014] 移載單元2具備:多個保持單元21,其係能夠單獨地保持工件;以及驅動單元22,其係能夠使保持單元21在上下方向上移動並繞Z軸旋轉。在本實施方式的情況下,多個保持單元21總計設置有7個,並在Y方向上排列成一列。透過利用驅動單元3使移載單元2在X方向以及Y方向上移動並利用驅動單元22使保持單元21在Z方向上升降,從而被保持單元21保持的工件能夠三維地移動。 [0015] 攝像裝置6配置於搬運單元4與搬運單元5之間,並能夠從工件的下方(與保持單元21相反的一側)對由保持單元21保持的工件進行拍攝。攝像裝置6例如是在X方向上延伸設置的線感測器。透過對由攝像裝置6拍攝的工件的影像進行解析,從而能夠檢測工件相對於保持單元21的中心軸的位置偏移、被保持單元21保持的工件的朝向等,透過調節移載目標位置處的工件的釋放位置,能夠進行更準確的工件的移載。例如,將保持單元21的中心軸(升降軸22a:參閱圖2)設為位置的基準,將從下方對該中心軸(中心軸線L:參閱圖10)進行攝像時的中心點設為基準點,能夠根據工件的多個部位的位置和基準點,算出工件的保持位置。 [0016] <移載單元> 進一步對移載單元2進行說明。圖2是移載單元2的立體圖。驅動單元2具備針對每個保持單元21的升降軸22a。升降軸22a是安裝於保持單元21並上下延伸的中空的安裝構件,在本實施方式的情況下,是以Z方向為軸向的軸。保持單元21安裝於升降軸22a的下端部。驅動單元22係於每個升降軸22a具有馬達22b以及馬達22c。馬達22b是使升降軸22a以其中心軸線(圖10的單點鏈線L)為旋轉中心而進行旋轉的旋轉機構的驅動源。透過使升降軸22a旋轉,能夠使保持單元21繞中心軸線旋動,能夠使被保持的工件旋轉而使工件的姿勢(朝向)變化。馬達22c是使升降軸22a升降的升降機構的驅動源。在圖2中,雖僅圖示了一個馬達22c,但該馬達是設置在每個升降軸22a。升降軸22a的旋轉機構例如也可以是具有與升降軸22a花鍵結合的驅動軸並利用馬達22b使驅動軸旋轉的機構。透過花鍵結合,從而容許升降軸22a在Z方向上移動。升降機構例如也可以是滾珠螺桿機構。升降機構也可以是容許升降軸22a旋轉並在上下方向上與該升降軸卡合的機構。 [0017] 在本實施方式的情況下,保持單元21利用負壓吸引來吸附並保持工件。因此,在移載單元2上設置有針對每個保持單元21的連接部23。連接部23透過未圖示的配管而與泵等未圖示的負壓源連接。在本實施方式中,升降軸22a是中空的圓筒體,在其內部設置有與連接部23連通的通路形成構件22a1(圖10)。通路形成構件22a1如後述那樣與保持單元21連通。此外,工件的保持方式不限於負壓吸引,例如也可以利用磁力進行吸附,另外,還可以由開閉驅動機構進行握持。 [0018] <保持單元> 參閱圖3~圖5,對保持單元21進行說明。圖3是保持單元21的立體圖,圖4是保持單元21的爆炸圖。圖5是保持單元21的上部的爆炸圖。 [0019] 保持單元21具備:保持部24,其係保持工件;可動部25,其係支撐保持部24;支撐部26,其係將可動部25支撐為在上下方向上位移自如;以及施力部27,其係相對於支撐部26向下方對可動部25進行施力。在本實施方式的情況下,支撐部26是筒狀的構件,可動部25以及施力部27收容在支撐部26的內部。保持部24在上下方向上裝卸自如地安裝於可動部25,由此,保持部24能夠配合工件的種類進行更換。 [0020] 在本實施方式的情況下,支撐部26由主體部261和安裝部262構成。圖6是支撐部26的爆炸圖。主體部261作為整體上下開放,且具有與中心軸線L同軸的圓筒形,作為其內部孔的內部空間S1為可動部25及施力部27的收容空間或動作空間。另外,在主體部261的周圍壁上形成有與內部空間S1連通並在上下方向上延伸的橢圓形的窗部(長孔)。 [0021] 安裝部262用於向升降軸22a進行安裝。安裝部262是安裝於主體部261的蓋體,以便封閉主體部261的上側的開口,在其下部設置有與主體部261固定的固定部262e。固定部262e插入於主體部261,兩者透過嵌合、接著、螺絲等進行固定。 [0022] 在安裝部262的中央形成有供升降軸22a插入之與中心軸線L同軸的開口部262a。在開口部262a形成有鍵槽262a1,在與該鍵槽262a1大致相對向的位置形成有切槽262b。該切槽262b並非形成涵蓋到安裝部262的直徑全長,而是形成僅涵蓋到半徑。在安裝部262的周圍面以橫切切槽262b的方式貫通形成有橫孔262c,螺栓262d插入於該橫孔262c。在橫孔262c的一部分形成有與螺栓262c螺合的內螺紋。在將升降軸22a插入於開口部262a的狀態下,透過將螺栓262d鎖緊,使開口部262a縮徑,從而將安裝部262固定於升降軸22a。另外,在升降軸22a上設置有未圖示的鍵,該鍵嵌合於鍵槽262a1。由此,安裝部262與升降軸22a之間在圓周方向上進行卡合。 [0023] 參閱圖5,可動部25具備主體部251和圓筒部252。主體部251具有與中心軸線L同軸且作為整體向下方逐漸變細的圓錐形狀(更具體而言,為圓錐梯形狀)。在主體部251的周圍面,抵接面251a和安裝部251b在圓周方向上交替地形成。在本實施方式的情況下,抵接面251a是與中心軸線L同軸且向下方逐漸變細的圓錐面。在安裝部251b安裝有與保持部24卡合的保持構件253,在本實施方式的情況下,安裝部251b是平坦面,至少上部形成比抵接面251a的上部外周圍面相還凹陷。換言之,安裝部251b透過在與Z軸平行的平面將抵接面251a開切口而形成。在本實施方式的情況下,利用多個保持構件253裝卸自如地對保持部24進行保持。在本實施方式的情況下,保持構件253透過將板彈簧彎折而形成,並利用其彈性變形將保持部24保持為保持/保持解除自如。形成於主體部251的上部的上表面251c作為施力部27的承受面發揮功能。在本實施方式的情況下,施力部27是螺旋彈簧,但也可以是橡膠等其他種類的彈性構件。圓筒部252是直徑比設置於主體部251的上表面251c的直徑小的圓筒部,並且與中心軸線L同軸且從上表面251c向上方延伸。升降軸22a插入於圓筒部252的中心孔252a。 [0024] 圖7是保持部24的爆炸圖。保持部24具備:主體(241、242);以及多個工具246,其係設置於主體的下部,並對工件進行保持。主體具備:基座部241;以及被保持部242,其係從基座部241的中央部向上方延伸。基座部241形成為方形的板狀,供工具246安裝的安裝孔241a在上下方向上貫通地形成於該基座部的四角。另外,與安裝孔241c連通地形成有流體通路241a。 [0025] 被保持部242與基座部241一體地形成,作為整體形成為與中心軸線L同軸的筒狀。在被保持部242的根部部分形成有多個卡合溝243。在本實施方式的情況下,卡合溝243在被保持部242的圓周方向上等間隔(間隔120°)地形成有3個。保持構件253解除自如地卡合於卡合溝243。透過該卡合,將保持部24保持於可動部25。透過在圓周方向上等間隔地設置多個卡合溝243和保持構件253,從而能夠均衡地支撐保持部24,且容易將保持部24支撐在與中心軸線L1相同的軸上。 [0026] 在被保持部242的周圍面形成有被旋動規制部244。被旋動規制部244與可動部25的旋動規制構件251e(圖16)一起構成規制保持部24相對於可動部25繞中心軸線L的旋動的旋動規制機構。在本實施方式的情況下,被旋動規制部244是在上下方向上延伸且向上方開放的溝,透過使旋動規制構件251e與溝的內側壁卡合,從而規制保持部24相對於可動部25的旋動。 [0027] 被保持部242的上部具有與中心軸線L同軸且向上方逐漸變細的圓錐形(更具體而言,為圓錐梯形狀),其周圍面形成有與可動部25抵接的抵接面242b。在本實施方式的情況下,抵接面242b是與中心軸線L同軸且向上方逐漸變細的圓錐面。設置在升降軸22a內的通路形成構件22a1(圖10)插入於被保持部242的中心孔245。 [0028] 工具246是具備工具主體246a以及波紋狀的吸附墊246b的吸附工具。工具主體246a的上部嵌合於安裝孔241a,在工具主體246a的下部嵌合有吸附墊246b。工具主體246a具有與流體通路241a連通的流體通路246c(圖10)。流體通路246c具備:設置在工具主體246a的內部並在上下方向上延伸的中心孔、以及設置在工具主體246a的上部並使中心孔與外部連通的水平孔。吸附墊246b與流體通路246c連通並向下方開放。透過從吸附墊246b的下部吸引空氣,從而將工件吸附保持於吸附墊246b。吸附墊246b透過在吸附工件時使波紋部收縮變形,從而使吸附的工件的吸附保持面與工具主體246的下端部(中心孔的下端)抵接。由此,限定了吸附工件時的工件的上下方向上的移動,將工件定位並穩定地保持於工具246。 [0029] 圖8以及圖9是保持單元21的垂直剖視圖,圖8是切斷面通過基座部241的四邊中的對向邊的中點的剖視圖,圖9是切斷面通過基座部241的對角線的剖視圖。 [0030] 可動部25能夠在中心軸線L方向(上下方向)上移動地插入或收容於支撐部26的內部空間S1。施力部27配置於可動部25的上表面251c與支撐部26的安裝部262之間,並向下方對可動部25進行施力。 [0031] 劃定主體部261的內部空間S1的內壁具有導引可動部25的上下方向上的位移的部分。劃定內部空間S1的內壁的上部具有圓筒形狀,下部形成與中心軸線L同軸且作為整體向下方逐漸變細的漏斗狀的面(換言之,為圓錐形(更具體而言,為圓錐梯形狀)的面)。圖13以及圖14是可動部25的圓筒部252的水平剖視圖,圖13表示立體圖,圖14表示俯視圖。根據圖13以及圖14來理解內部空間S1的內壁的上部的形狀。圖15以及圖16是可動部25的主體部251的水平剖視圖,圖15表示立體圖,圖16表示俯視圖。根據圖15以及圖16來理解內部空間S1的內壁的下部的形狀。 [0032] 劃定內部空間S1的內壁在圓周方向上交替地形成導引面261a和凹部261b。在本實施方式的情況下,導引面261a形成於與可動部25的抵接面251a相對向的位置,凹部261b形成於與安裝部251b相對向的位置。根據圖15以及圖16來理解導引面261a與抵接面251a的位置關係以及凹部261b與安裝部251b的位置關係。透過設置凹部261b,從而能夠避免安裝部251b中的保持構件253與支撐部26的干涉,並能夠由主體部261的導引面261a導引可動部25的抵接面251a。 [0033] 導引面261a是與中心軸線L同軸且向下方逐漸變細的漏斗狀的面(圓錐面)。可動部25的抵接面251a透過施力部27的施力而向支撐部26的導引面261a按壓並抵接。使抵接面251a與導引面261a為相同斜度的斜面。雖然可動部25在上下方向上位移自如,但是當透過施力部27的施力而從上側向下方位移時,抵接面251a與導引面261a抵接。支撐部26以使中心軸線L與支撐部26的中心軸一致的方式利用安裝部262安裝於升降軸,所以透過該抵接,將可動部25的中心導引(定心)到與中心軸線L相同的軸上而進行定位。 [0034] 可動部25具有作為供保持部24(尤其是被保持部242)插入的內部空間S2的孔。內部空間S2在其上部與中心孔252a連通,其下部向下方開放。劃定內部空間S2的內壁的下部具有圓筒形狀,上部形成與中心軸線L同軸且作為整體向上方逐漸變細的漏斗狀的面(換言之,為圓錐形(更具體而言,為圓錐梯形狀)的面)。 [0035] 內部空間S2的上部的內壁具有供保持部24安裝的導引面251d。圖11是卸下保持部24的狀態下的可動部25以及支撐部26的垂直剖視圖,根據圖11來理解內部空間S2的內壁的形狀。 [0036] 導引面251d形成於與被保持部242的抵接面242b相對向的位置。導引面251d是與中心軸線L同軸且向上方逐漸變細的漏斗狀的面(圓錐面)。使抵接面242b與導引面251d為相同斜度的斜面。在將保持部24安裝於可動部25時,若將被保持部242從下方向上方插入於內部空間S2,則抵接面242b與導引面251d抵接。由此,將保持部24的中心導引(定心)到與中心軸線L相同的軸上而進行定位。然後,透過使保持構件253與卡合溝243卡合,將保持部24安裝於可動部25。 [0037] 透過將保持部24安裝於可動部25,被旋動規制部244與可動部25的旋動規制構件251e成為卡合狀態。在本實施方式的情況下,如圖15以及圖16所示,旋動規制構件251e是從可動部25的內部空間S2的內壁向徑方向內側突出設置的銷狀的構件。在本實施方式的情況下,旋動規制構件251e和被旋動規制部244係設置有兩組,並在圓周方向上分開120°地進行設置,在將保持部24安裝於可動部25時,也用於使保持部24相對於可動部25在圓周方向上對位(相位匹配)。 [0038] 由於被旋動規制部244是上部開放的上下方向的溝,所以在將保持部24安裝於可動部25時,使旋動規制構件251e從被旋動規制部244的上開放端進入到被旋動規制部244內,且不在保持部24的插拔方向上卡合,而在圓周方向上卡合。由此,限制了保持部24相對於可動部25的轉動,防止被保持的工件的姿勢未預期地變化。 [0039] 如圖8、圖9或圖12所示,設置於保持部24的中心孔245的下部242a與流體通路241b連通,形成流體通路。圖12是保持部24的垂直剖視圖。流體通路241b交叉地形成在基座部241的對角線上,下部242a與該交叉點連接。流體通路241b還與流體通路246c連通。 [0040] 在中心孔245的上部嵌合有密封構件245b、以及將密封構件245b封閉在中心孔245中的封閉構件245a。如圖10所示,通路形成構件22a1的下端部插入於中心孔245,並利用密封構件245b將其周圍氣密地密封而與保持部24連結。通路形成構件22a1是與升降軸22a同軸的筒構件,並被設置成能夠在升降軸22a內上下移動,從而形成空氣的流通路。在圖10的狀態下,連接部23(圖2)、通路形成構件22a1、流體通路241b以及流體通路246c成為連通的狀態。由於通路形成構件22a1能夠在升降軸22a的內部沿上下方向移動,所以保持部24能夠在維持氣密性的狀態下相對於升降軸22a沿上下方向位移。 [0041] <保持單元的功能> 參閱圖17,對保持單元21的動作例進行說明。該圖示出了保持工件時的動作。 [0042] 狀態ST1表示為了將未圖示的工件向上方拿起而使保持單元21下降的狀態。利用施力部27的施力,將可動部25向下方按壓,使導引面261a與抵接面251a處於抵接的狀態。即,可動部25以及支撐於可動部25的保持部24被定位在與升降軸22a相同的軸上。 [0043] 狀態ST2表示使保持部24從上方與未圖示的工件抵接的狀態。此时,透過吸附墊246b的彈性變形和浮動功能來緩衝保持單元21與工件抵接時的衝擊。浮動功能是如下功能:使可動部25以及保持部24抵抗施力部27的施力而相對於支撐部26向上方位移。 [0044] 如圖17的放大圖所示,當可動部25相對於支撐部26相對地向上方(箭頭Z1方向))位移時,導引面261a與抵接面251a分離。可動部25的水平方向上的定位被解除,在箭頭D方向上能夠位移與間隙G相應的量。箭頭D是任意的水平方向。即,成為如下狀態:雖然可動部25以及保持部24的水平方向上的定位被解除,但容許其姿勢變化。並且,越向上方移動,該間隙G越大。因此,即使拿起的工件的姿勢(此處為水平姿勢)存在誤差(例如取出前的工件相對於水平面的斜度),可動部25以及保持部24也會與工件的姿勢(斜度)相適應地位移或它們的姿勢也會與工件的姿勢(斜度)相適應地變化。由此,防止過大的力施加於工件,並且使各個吸附墊246b分別切實地與工件保持面抵接,從而能夠精度良好且切實地對工件進行吸附保持。 [0045] 在狀態ST2下,當開始負壓吸引時,工件保持於保持部24。其後,當使保持單元21上升時,將工件向上方拿起。當使保持單元21上升時,利用施力部27的施力,將可動部25向下方按壓,抵接面251a被導引面261a導引,返回到各個導引面261a與抵接面251a在圓周方向上再次抵接的狀態。即,返回到與狀態ST1同樣地將可動部25以及支撐於可動部25的保持部24定位在與升降軸22a相同的軸上的狀態。另外,在移載目標位置,在釋放保持的工件時,能夠維持可動部25以及保持部24被定位的狀態地釋放工件,能夠防止工件的位置精度降低。 [0046] 圖18的狀態ST11、ST12表示裝卸了保持部24的狀態。在本實施方式的情況下,由於保持構件253由板彈簧形成,所以當從狀態ST11的狀態將保持部24強力地向下方拉拽時,雙方的卡合被解除,保持部24從可動部25分離。 [0047] 在重新安裝保持部24時,將保持部24的被保持部242從下方向上方插入於可動部25的內部空間S2。透過抵接面242b抵接到導引面251d且被導引,從而對保持部24的中心軸和可動部25的中心軸進行定心,將它們定位在相同的軸上。在此,在本實施方式的情況下,抵接面251a和導引面261a是一組向下方逐漸變細的面,抵接面242b和導引面251d是一組向上方逐漸變細的面。即,逐漸變細的方向互為反向。另外,與圖17的例子同樣地,在向可動部25安裝保持部24時,可動部25向上方位移。當完成安裝時,利用施力部27的施力將可動部25向下方按壓,抵接面251a被導引面261a導引,返回到各個導引面261a與抵接面251a在圓周方向上再次抵接的狀態。即,成為可動部25的中心軸以及保持部24的中心軸被定心而被定位在與升降軸22a相同的軸上的狀態。因此,即使將某一保持部24從可動部25卸下並將新的保持部24重新安裝於可動部25,也能夠將該新的保持部24精度良好且再現性良好地重新安裝於可動部25。其結果是,不會伴隨著保持部24的卸裝而對工件的定位精度產生影響。 [0048] 尤其是,在與工件的種類相應地準備多種保持部24的情況下,只要使被安裝部242的規格通用,即使在使用任意的保持部24的情況下,也均能夠使各個保持部24的中心軸與中心軸線L一致而安裝於可動部25。其結果是,在利用攝像裝置6對保持於保持部24的工件進行攝像並進行相對於保持部24的工件保持位置的算出時,由於作為算出基準的基準點為中心軸線L,所以能夠準確地算出工件的保持位置。因此,能夠精度良好地將保持的工件移載到移載目標位置的移載位置。 [0049] 另外,即使在使保持的工件的姿勢(朝向)變更而將其移載到移載目標位置的情況下,作為旋轉的中心,中心軸線L與保持部24的中心軸也一致。因此,即便使保持的工件旋轉,也能夠容易地算出旋轉的工件的保持位置,能夠精度良好地將姿勢變更的工件移載到移載目標位置。 [0050] <其他實施形態> 在上述實施方式中,抵接面251a、242b以及導引面261a、251d均為曲面,但也可以是平坦的傾斜面。即,逐漸變細的形狀也可以不是圓錐形狀,而是角錐形狀。 [0051] 在上述實施方式中,抵接面251a和導引面261a為向下方逐漸變細的面,但也可以是向上方逐漸變細的面。同樣地,抵接面242b以及導引面251d是向上方逐漸變細的面,但也可以是向下方逐漸變細的面。 [0052] 在上述實施方式中,是將可動部25收容於支撐部26的結構,但相反地,也可以是將支撐部26的一部分插入於可動部25的結構。同樣地,是將保持部24的一部分插入於可動部25的結構,但相反地,也可以是將可動部25的一部分插入於保持部24的結構。 [0053] 雖然已經參閱示例性的實施例對本發明進行了說明,但應當理解為本發明不限於所公開的示例性的實施例。接著申請專利範圍將被賦予最廣泛的解釋,以便包含所有全部的變形例及均等的結構和功能。
[0054] 1:移載裝置 2:移載單元 3:驅動單元 4:搬運單元 5:搬運單元 6:攝像單元 21:保持單元 22:驅動單元 23:連接部 24:保持部 25:可動部 26:支撐部 27:施力部 31:樑部 32:樑部 41:搬運對象物 241:基座部 242:被保持部 243:卡合溝 244:被旋動規制部 245:中心孔 246:工具 251:主體部 252:圓筒部 253:保持構件 261:主體部 262:安裝部 22a:升降軸 22a1:通路形成構件 22b:馬達 22c:馬達 241a:安裝孔 241b:流體通路 242a:下部 242b:抵接面 245a:封閉構件 245b:密封構件 246a:工具主體 246b:吸附墊 246c:流體通路 251a:抵接面 251b:安裝部 251c:上表面 251d:導引面 251e:旋動規制構件 252a:抵接面 261a:導引面 261b:凹部 262a:抵接面 262a1:鍵槽 262b:切槽 262c:橫孔 262d:螺栓 262e:固定部 31a:滑塊 31b:馬達 32a:滑塊 32b:馬達 G:間隙 L:中心軸線 L1:中心軸線 P:托盤 S1:內部空間 S2:內部空間
[0010] 圖1是移載裝置的立體圖。 圖2是圖1的移載裝置所具備的移載單元的立體圖。 圖3是圖2的移載單元所具備的保持單元的立體圖。 圖4是圖3的保持單元的爆炸圖。 圖5是圖3的保持單元的一部分的結構的爆炸圖。 圖6是圖3的保持單元的一部分的結構的爆炸圖。 圖7是圖3的保持單元的一部分的結構的爆炸圖。 圖8是圖3的保持單元的剖視圖。 圖9是圖3的保持單元的剖視圖。 圖10是圖2的移載單元的一部分的結構的剖視圖。 圖11是圖3的保持單元的一部分的結構的爆炸圖。 圖12是圖3的保持單元的一部分的結構的爆炸圖。 圖13是圖3的保持單元的剖視圖。 圖14是圖3的保持單元的剖視圖。 圖15是圖3的保持單元的剖視圖。 圖16是圖3的保持單元的剖視圖。 圖17是圖3的保持單元的動作說明圖以及部分放大圖。 圖18是圖3的保持單元的動作說明圖。
Claims (10)
- 一種移載單元,係具備: 保持單元,其係能夠保持工件;以及 驅動單元,其係能夠使前述保持單元在上下方向上移動; 前述保持單元具備: 保持部,其係能夠保持工件; 可動部,其係支撐前述保持部; 支撐部,其係將前述可動部支撐為在上下方向上位移自如;以及 施力部,其係相對於前述支撐部向下方對前述可動部進行施力; 前述支撐部具有導引前述可動部的位移的第一導引面; 前述可動部具有與前述第一導引面抵接的第一抵接面; 前述第一導引面以及前述第一抵接面分別是向上方或下方逐漸變細的面,以便在使前述可動部相對於前述支撐部向下方位移時,前述第一導引面以及前述第一抵接面相互抵接而進行定位。
- 如請求項1的移載單元,其中, 前述保持部在上下方向上裝卸自如地安裝於前述可動部; 前述可動部具有導引前述保持部的安裝的第二導引面; 前述保持部具有與前述第二導引面抵接的第二抵接面; 前述第二導引面以及前述第二抵接面,係分別是向上方或下方逐漸變細的面,以便在對前述可動部安裝前述保持部時,相互抵接而進行定位。
- 如請求項1的移載單元,其中, 前述支撐部是筒狀構件; 前述可動部在前述筒狀構件的軸向上能夠移動地設置於前述筒狀構件的內部空間; 前述第一導引面是形成前述內部空間的內壁的一部分的圓錐形的面; 前述第一抵接面是形成前述可動部的外周圍面的一部分的圓錐形的面。
- 如請求項2的移載單元,其中, 前述驅動單元能夠使前述保持單元繞上下方向的軸轉動; 前述第一導引面是形成與前述軸同軸的第一孔的內壁的一部分的第一漏斗狀的面,前述第一孔供前述可動部插入,並形成於前述支撐部; 前述第二導引面是形成與前述軸同軸的第二孔的內壁的一部分的第二漏斗狀的面,前述第二孔供前述保持部插入,並形成於前述可動部; 前述第一抵接面以及前述第二抵接面分別是與前述軸同軸的圓錐形的面。
- 如請求項3的移載單元,其中, 前述可動部包括將前述保持部裝卸自如地保持的保持構件; 前述保持部包括由前述保持構件保持的被保持部。
- 如請求項5的移載單元,其中, 前述第一導引面和收容有前述保持構件的凹部沿圓周方向形成於前述支撐部的前述內壁; 前述第一抵接面和前述保持構件的安裝部沿圓周方向形成於前述可動部的前述外周圍面。
- 如請求項4的移載單元,其中, 前述移載單元還具備旋動規制機構,其係規制前述保持部相對於前述可動部繞前述軸的旋動; 前述旋動規制機構包括: 旋動規制構件,其係從前述可動部的前述第二孔的內壁突出地設置;以及 被旋動規制部,其係設置於前述保持部,並在前述軸的圓周方向上與前述旋動規制構件卡合,在前述保持部的插拔方向上不與前述旋動規制構件卡合。
- 如請求項4的移載單元,其中, 前述保持部具備: 主體,其係具有被插入到前述第二孔中的部分;以及 工具,其係設置於前述主體的下部,對工件進行保持; 前述工具是吸附工件的吸附工具; 前述驅動單元具有安裝有前述保持單元並上下延伸的中空的安裝構件; 形成空氣的流通路的通路形成構件在前述安裝構件內能夠上下移動地設置於前述安裝構件的內部; 前述通路形成構件連結於前述保持部。
- 一種移載裝置,其中具備: 如請求項1的移載單元; 驅動單元,其係使前述移載單元從工件的移載初始位置向移載目標位置移動;以及 攝像單元,其係從下方對被請求項1的保持部保持的工件進行攝像。
- 一種保持單元,係具備: 保持部,其係能夠保持工件; 可動部,其係支撐前述保持部; 支撐部,其係將前述可動部支撐成在第一方向以及與前述第一方向相反的第二方向上位移自如;以及 施力部,其係相對於前述支撐部在前述第一方向上對前述可動部進行施力; 前述第一方向是使前述保持部從前述支撐部分離的方向; 前述支撐部具有導引前述可動部的位移的導引面; 前述可動部具有與前述導引面抵接的抵接面; 前述導引面以及前述抵接面分別是沿前述第一方向或前述第二方向逐漸變細的面。
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KR102513321B1 (ko) * | 2018-12-18 | 2023-03-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 로봇 암 장치, 이를 포함하는 부품 결합 시스템, 및 로봇 암 장치의 부품 결합 방법 |
US11325265B2 (en) * | 2020-06-29 | 2022-05-10 | Omnicell, Inc. | Apparatuses, systems, and methods for the grasping of objects |
CN216152369U (zh) * | 2021-05-17 | 2022-04-01 | 晋城三赢精密电子有限公司 | 吸嘴治具 |
CN113365440B (zh) * | 2021-06-30 | 2023-06-02 | 博众精工科技股份有限公司 | 一种插接机 |
US11839440B2 (en) * | 2021-07-30 | 2023-12-12 | Corindus, Inc. | Attachment for robotic medical system |
CN118219305B (zh) * | 2024-05-23 | 2024-07-16 | 深圳墨影科技有限公司 | 一款多个自由度浮动夹爪 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6276051B1 (en) * | 1998-01-29 | 2001-08-21 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Electric-component transferring apparatus |
US20020027207A1 (en) * | 2000-09-05 | 2002-03-07 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Suction nozzle, and electric-component-position detecting apparatus |
US20020083584A1 (en) * | 2000-12-28 | 2002-07-04 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Electric-component holding apparatus |
US6493927B2 (en) * | 2000-01-13 | 2002-12-17 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Linear-motor-driven chuck and electric-component mounting system |
JP2003228153A (ja) * | 2001-11-28 | 2003-08-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | フイルム製造装置および製造方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5762590A (en) * | 1980-10-03 | 1982-04-15 | Hitachi Ltd | Circuit board assembling device |
JPH08181190A (ja) * | 1994-12-22 | 1996-07-12 | Advantest Corp | ハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘッド |
JP3453447B2 (ja) * | 1995-04-06 | 2003-10-06 | ヤマハ発動機株式会社 | 実装機のノズル保持構造 |
SG52900A1 (en) * | 1996-01-08 | 1998-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Mounting apparatus of electronic components and mounting methods of the same |
JP3878816B2 (ja) * | 2001-04-05 | 2007-02-07 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品吸着用の吸着ヘッドおよび電子部品実装装置 |
WO2004103053A1 (ja) * | 2003-05-13 | 2004-11-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 部品実装機 |
JP4293150B2 (ja) * | 2005-03-29 | 2009-07-08 | セイコーエプソン株式会社 | 基板移載装置、基板移載方法、および電気光学装置の製造方法 |
WO2007015561A1 (en) * | 2005-08-02 | 2007-02-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electronic component mounter and mounting method |
KR100722300B1 (ko) * | 2007-02-06 | 2007-05-28 | (주)유진테크 | 정밀부품의 범용 클램핑 장치 |
KR20110136807A (ko) * | 2009-03-11 | 2011-12-21 | 파나소닉 주식회사 | 기판 반송 처리 시스템 및 기판 반송 처리 방법, 및 부품 실장 장치 및 방법 |
JP6075932B2 (ja) * | 2010-09-17 | 2017-02-08 | 富士機械製造株式会社 | 基板検査管理方法および装置 |
DE102013222378B3 (de) * | 2013-11-04 | 2015-01-22 | J. Schmalz Gmbh | Ventil für Unterdruckhandhabungs- oder Unterdruckspannvorrichtung, sowieUnterdruckhandhabungseinrichtung |
JP6497984B2 (ja) * | 2015-03-06 | 2019-04-10 | 平田機工株式会社 | 保持ノズル、保持ユニット及び搬送装置 |
JP6267152B2 (ja) * | 2015-04-14 | 2018-01-24 | ファナック株式会社 | 工具マガジンの工具保持手段の把持力測定手段を備えた工具搬送装置および加工システム |
CN205572429U (zh) * | 2016-03-30 | 2016-09-14 | 广州捷森凯特自动化控制设备有限公司 | 一种多产品同时移载装置 |
JP6385408B2 (ja) * | 2016-09-29 | 2018-09-05 | 平田機工株式会社 | 移載ユニット、移載装置および保持ユニット |
-
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- 2017-09-27 CN CN201710885376.9A patent/CN107877536B/zh active Active
- 2017-09-27 US US15/716,985 patent/US10694647B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6276051B1 (en) * | 1998-01-29 | 2001-08-21 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Electric-component transferring apparatus |
US6493927B2 (en) * | 2000-01-13 | 2002-12-17 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Linear-motor-driven chuck and electric-component mounting system |
US20020027207A1 (en) * | 2000-09-05 | 2002-03-07 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Suction nozzle, and electric-component-position detecting apparatus |
US20020083584A1 (en) * | 2000-12-28 | 2002-07-04 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Electric-component holding apparatus |
JP2003228153A (ja) * | 2001-11-28 | 2003-08-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | フイルム製造装置および製造方法 |
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