JPH08181190A - ハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘッド - Google Patents
ハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘッドInfo
- Publication number
- JPH08181190A JPH08181190A JP33606994A JP33606994A JPH08181190A JP H08181190 A JPH08181190 A JP H08181190A JP 33606994 A JP33606994 A JP 33606994A JP 33606994 A JP33606994 A JP 33606994A JP H08181190 A JPH08181190 A JP H08181190A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- shaft
- buffer function
- suction head
- handler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数個を小ピッチで並べて配置することを可
能とする電子計測装置のハンドラ用バッファ機能付き吸
着ヘッド部を提供する。 【構成】 中央部を上下に貫通する丸穴と、その丸穴ま
で達するガイドミゾ４と取り付け用の固定部８を有する
ハウジング１を設け、スプリング止め７が付いた中空の
丸シャフト２を、スプリング５を嵌めてからハウジング
１の丸穴に通し、丸シャフト２の所定位置に回転止めピ
ン３をガイドミゾ４から取り付け、同じく丸シャフト２
の下部には吸着パッド６を取り付け、更に丸シャフト２
の上部には吸着パッド６で吸引するために必要な真空ホ
ース２５を接続する、ハンドラ用バッファ機能付き吸着
ヘッド部の構成。
能とする電子計測装置のハンドラ用バッファ機能付き吸
着ヘッド部を提供する。 【構成】 中央部を上下に貫通する丸穴と、その丸穴ま
で達するガイドミゾ４と取り付け用の固定部８を有する
ハウジング１を設け、スプリング止め７が付いた中空の
丸シャフト２を、スプリング５を嵌めてからハウジング
１の丸穴に通し、丸シャフト２の所定位置に回転止めピ
ン３をガイドミゾ４から取り付け、同じく丸シャフト２
の下部には吸着パッド６を取り付け、更に丸シャフト２
の上部には吸着パッド６で吸引するために必要な真空ホ
ース２５を接続する、ハンドラ用バッファ機能付き吸着
ヘッド部の構成。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数個を小ピッチで並
べて配置することを可能とする、電子計測装置のハンド
ラ用バッファ機能付き吸着ヘッド部に関する。
べて配置することを可能とする、電子計測装置のハンド
ラ用バッファ機能付き吸着ヘッド部に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術のハンドラ用バッファ機能付き
吸着ヘッドの外観形状を図４に示す。 （１）図４Ａに示すように、ハウジングボルト２１と２
ヶの取り付け用ネジ２２によって、ハンドラ用バッファ
機能付き吸着ヘッドを取り付ける。従来技術のハンドラ
用バッファ機能付き吸着ヘッドは、ハウジングボルト２
１の中心部の穴は内側が六角形となっており、そこを貫
通する六角シャフト２３は中空であり、その外形は六角
形となっている。六角シャフト２３の上部には真空ホー
ス２５を接続し、下部には吸着パッド６を接続して、被
測定対象デバイス２６を吸着してハンドリングするもの
である。 （２）そして、図４Ｂに示すように、吸着パッド６が被
測定対象デバイス２６を吸着するときにバッファ機能を
持たせるために、内蔵スプリング２４がハウジング部ボ
ルト２１内部に取り付けてある。六角シャフト２３は、
吸着パッド６によって吸着された被測定対象デバイス２
６を所定位置から搬出又は搬入してハンドリングする際
に回転して方向が変わってしまわないようにするために
六角形にしてあるのである。
吸着ヘッドの外観形状を図４に示す。 （１）図４Ａに示すように、ハウジングボルト２１と２
ヶの取り付け用ネジ２２によって、ハンドラ用バッファ
機能付き吸着ヘッドを取り付ける。従来技術のハンドラ
用バッファ機能付き吸着ヘッドは、ハウジングボルト２
１の中心部の穴は内側が六角形となっており、そこを貫
通する六角シャフト２３は中空であり、その外形は六角
形となっている。六角シャフト２３の上部には真空ホー
ス２５を接続し、下部には吸着パッド６を接続して、被
測定対象デバイス２６を吸着してハンドリングするもの
である。 （２）そして、図４Ｂに示すように、吸着パッド６が被
測定対象デバイス２６を吸着するときにバッファ機能を
持たせるために、内蔵スプリング２４がハウジング部ボ
ルト２１内部に取り付けてある。六角シャフト２３は、
吸着パッド６によって吸着された被測定対象デバイス２
６を所定位置から搬出又は搬入してハンドリングする際
に回転して方向が変わってしまわないようにするために
六角形にしてあるのである。
【０００３】近時、被測定対象デバイス２６の小型化の
度合いが高まり、かつ、大量同時測定処理によって測定
作業におけるコストパフォーマンスの向上がより強く求
められている。ところが、図４に示すような従来技術に
よるバッファ機能付き吸着ヘッドの構成では、より小
型化を実現して、それによって、ハンドラのヘッド部
に複数個を並べて多数個を同時にハンドリングする、こ
とのためには限界があった。
度合いが高まり、かつ、大量同時測定処理によって測定
作業におけるコストパフォーマンスの向上がより強く求
められている。ところが、図４に示すような従来技術に
よるバッファ機能付き吸着ヘッドの構成では、より小
型化を実現して、それによって、ハンドラのヘッド部
に複数個を並べて多数個を同時にハンドリングする、こ
とのためには限界があった。
【０００４】即ち（１）小型化を図るために、六角シャ
フト２３の径をより小さくすると六角シャフト２３の角
の部分の高さが小さくなり回転防止機能が低下してしま
う。 （２）また、ハウジング部ボルト２１と取り付け用ネジ
２２によってハンドラのヘッド部へ固定する構成では、
固定するためのスペースが大きく取られてしまうので、
複数個並べるときにピッチ（間隔）が大きくなってしま
う。 （３）また、加工技術の上でもハウジング部ボルト２１
の内側に六角形の穴を精度良く加工することは困難が伴
うために効率が上がらず、コストアップの要因となって
いた。といった問題点を有していた。
フト２３の径をより小さくすると六角シャフト２３の角
の部分の高さが小さくなり回転防止機能が低下してしま
う。 （２）また、ハウジング部ボルト２１と取り付け用ネジ
２２によってハンドラのヘッド部へ固定する構成では、
固定するためのスペースが大きく取られてしまうので、
複数個並べるときにピッチ（間隔）が大きくなってしま
う。 （３）また、加工技術の上でもハウジング部ボルト２１
の内側に六角形の穴を精度良く加工することは困難が伴
うために効率が上がらず、コストアップの要因となって
いた。といった問題点を有していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、被測定対象デバイスの小型化に対応して、
ハンドリングの効率を上げるために多数個同時にハンド
リングを行うことを可能にするハンドラ用バッファ機能
付き吸着ヘッドを得ることである。即ち、ハンドリング
効率を上げるために小ピッチで複数個並べられるようハ
ンドラ用の吸着ヘッドを小型化しても、被測定対象デ
バイスの吸着時にスプリングによるバッファ機能を有
し、かつ、回転防止も確実にできる小型吸着パッドを
有し、さらには、加工作業が容易であるためにコスト
パフォーマンスが高いハンドラ用バッファ機能付き吸着
ヘッドの構成を得ることを目的とした。
する課題は、被測定対象デバイスの小型化に対応して、
ハンドリングの効率を上げるために多数個同時にハンド
リングを行うことを可能にするハンドラ用バッファ機能
付き吸着ヘッドを得ることである。即ち、ハンドリング
効率を上げるために小ピッチで複数個並べられるようハ
ンドラ用の吸着ヘッドを小型化しても、被測定対象デ
バイスの吸着時にスプリングによるバッファ機能を有
し、かつ、回転防止も確実にできる小型吸着パッドを
有し、さらには、加工作業が容易であるためにコスト
パフォーマンスが高いハンドラ用バッファ機能付き吸着
ヘッドの構成を得ることを目的とした。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、シャフト２を上下可動に通す案
内孔あるいは案内溝を有し、回転止め手段３とガイドミ
ゾ４によりシャフト２の上下動を案内するガイドミゾ４
を有するハウジング１を設けるハンドラ用バッファ機能
付き吸着ヘッド構造とする。上記構成に、ハウジング１
に対してシャフト２を押し下げる弾性体５を装着して設
けるハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘッド構造があ
る。
に、本発明の構成では、シャフト２を上下可動に通す案
内孔あるいは案内溝を有し、回転止め手段３とガイドミ
ゾ４によりシャフト２の上下動を案内するガイドミゾ４
を有するハウジング１を設けるハンドラ用バッファ機能
付き吸着ヘッド構造とする。上記構成に、ハウジング１
に対してシャフト２を押し下げる弾性体５を装着して設
けるハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘッド構造があ
る。
【０００７】また、ハウジングを、複数のシャフト２を
配置する多連型ハウジング９としたハンドラ用バッファ
機能付き吸着ヘッド構造がある。また、ハウジングを、
ネジ付きハウジング１１を設けたハンドラ用バッファ機
能付き吸着ヘッド構造がある。また、ガイドミゾを、シ
ャフト２の上下動でシャフト２を回転する螺旋状の回転
用ガイドミゾ１２を設けたハンドラ用バッファ機能付き
吸着ヘッド構造がある。
配置する多連型ハウジング９としたハンドラ用バッファ
機能付き吸着ヘッド構造がある。また、ハウジングを、
ネジ付きハウジング１１を設けたハンドラ用バッファ機
能付き吸着ヘッド構造がある。また、ガイドミゾを、シ
ャフト２の上下動でシャフト２を回転する螺旋状の回転
用ガイドミゾ１２を設けたハンドラ用バッファ機能付き
吸着ヘッド構造がある。
【０００８】
【作用】本発明の作用について、図２を参照しながら説
明する。 （１）丸シャフト２に取り付けられた回転止めピン３は
ハウジング１のガイドミゾ４でガイドされるので吸着パ
ッド６の回転を防止する。 （２）被測定対象デバイス２６を吸着パッド６で吸着す
る瞬間は、スプリング５が縮んでクッションの役割をす
る。つまり、バッファ機能を果たすのである。 （３）そして、吸着ヘッド部が持ち上げられると負荷で
あった押圧がなくなるので、スプリング５の力で通常に
戻された状態で搬出が行われる。 （４）また、被測定対象デバイス２６をテストヘッドや
トレイ上に搬入する場合にもバッファ機能を果たし、吸
着パッド６での真空吸引を休止することで被測定対象デ
バイス２６はリリースされる。そしてスプリング５の力
で吸着パッド６は元の位置に戻る。
明する。 （１）丸シャフト２に取り付けられた回転止めピン３は
ハウジング１のガイドミゾ４でガイドされるので吸着パ
ッド６の回転を防止する。 （２）被測定対象デバイス２６を吸着パッド６で吸着す
る瞬間は、スプリング５が縮んでクッションの役割をす
る。つまり、バッファ機能を果たすのである。 （３）そして、吸着ヘッド部が持ち上げられると負荷で
あった押圧がなくなるので、スプリング５の力で通常に
戻された状態で搬出が行われる。 （４）また、被測定対象デバイス２６をテストヘッドや
トレイ上に搬入する場合にもバッファ機能を果たし、吸
着パッド６での真空吸引を休止することで被測定対象デ
バイス２６はリリースされる。そしてスプリング５の力
で吸着パッド６は元の位置に戻る。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明の実施例の概念を示す正面図
と組立図である。 （１）本発明によるハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘ
ッド部の構成は、図１に示すようになっている。先ず、
中央部を上下に貫通する丸穴と、その丸穴に達するガイ
ドミゾ４と取り付け用の固定部８を有するハウジング１
を設ける。次に、スプリング止め７が付いた中空の丸シ
ャフト２をスプリング５を嵌めてからハウジング１の丸
穴に通す。そして、丸シャフト２の所定位置に回転止め
ピン３をガイドミゾ４の部分から取り付ける。最後に、
丸シャフト２の下部には吸着パッド６を取り付け、更に
上部には吸着パッド６で必要な吸引力の源となる真空ホ
ース２５に接続する。
と組立図である。 （１）本発明によるハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘ
ッド部の構成は、図１に示すようになっている。先ず、
中央部を上下に貫通する丸穴と、その丸穴に達するガイ
ドミゾ４と取り付け用の固定部８を有するハウジング１
を設ける。次に、スプリング止め７が付いた中空の丸シ
ャフト２をスプリング５を嵌めてからハウジング１の丸
穴に通す。そして、丸シャフト２の所定位置に回転止め
ピン３をガイドミゾ４の部分から取り付ける。最後に、
丸シャフト２の下部には吸着パッド６を取り付け、更に
上部には吸着パッド６で必要な吸引力の源となる真空ホ
ース２５に接続する。
【００１０】図１に示した本発明の実施例の内容につい
て補足説明する。 （２）本発明による、ハンドラ用バッファ機能付き吸着
ヘッド部は、ハウジング１に設けた固定部８を用いてハ
ンドラのヘッド部の機構部に取り付けられる。スプリン
グ５は、被測定対象デバイス２６を吸着パッド６で搬出
する吸着時及び搬入の際のリリース時のクッションの役
割をする。即ち、バッファ機能を果たす。また、回転止
めピン３は、ガイドミゾ４でガイドされて吸着パッド６
が回転してしまうのを防止する。また、回転止めピン３
が取り付けられる位置で、丸シャフト２がハウジング１
の上下から突き出す長さが決まる。
て補足説明する。 （２）本発明による、ハンドラ用バッファ機能付き吸着
ヘッド部は、ハウジング１に設けた固定部８を用いてハ
ンドラのヘッド部の機構部に取り付けられる。スプリン
グ５は、被測定対象デバイス２６を吸着パッド６で搬出
する吸着時及び搬入の際のリリース時のクッションの役
割をする。即ち、バッファ機能を果たす。また、回転止
めピン３は、ガイドミゾ４でガイドされて吸着パッド６
が回転してしまうのを防止する。また、回転止めピン３
が取り付けられる位置で、丸シャフト２がハウジング１
の上下から突き出す長さが決まる。
【００１１】図３の（Ａ）〜（Ｃ）に、本発明の他の実
施例の概念図を示す。 （３）図３−（Ａ）に示したのは、本発明の目的の１つ
であった小型化が達成できたので、複数個の吸着パッド
６を持つ吸着ヘッド部が、多連型ハウジング９を用いた
構成で実現したものである。作用効果についても、スプ
リング５によるバッファ機能及び回転止めピン３による
回転防止機能は十分に発揮される。図３−（Ｂ）に示し
たのは、被測定対象デバイス２６が大きい等の理由で、
吸着ヘッド部に複数個の吸着パッド６を設ける配置ピッ
チが、比較的広くとれる場合、あるいは吸着ヘッド部の
取り付け機構の都合に合わせて取り付けられる構成とし
たものである。即ち、ハウジング部をネジ付きハウジン
グ１１とし、かつ固定部をネジ付き固定部１０とした。
図３−（Ｃ）に示したのは、ハウジング部を円筒形とし
た回転用ハウジング１３とし、その周囲に螺旋状に回転
用ガイドミゾ１２を設けたものである。吸着パッド６に
よって吸着したりリリースしたときに被測定対象デバイ
ス２６に意図的に所定の回転あるいは摩擦力を加えるこ
とができるものである。
施例の概念図を示す。 （３）図３−（Ａ）に示したのは、本発明の目的の１つ
であった小型化が達成できたので、複数個の吸着パッド
６を持つ吸着ヘッド部が、多連型ハウジング９を用いた
構成で実現したものである。作用効果についても、スプ
リング５によるバッファ機能及び回転止めピン３による
回転防止機能は十分に発揮される。図３−（Ｂ）に示し
たのは、被測定対象デバイス２６が大きい等の理由で、
吸着ヘッド部に複数個の吸着パッド６を設ける配置ピッ
チが、比較的広くとれる場合、あるいは吸着ヘッド部の
取り付け機構の都合に合わせて取り付けられる構成とし
たものである。即ち、ハウジング部をネジ付きハウジン
グ１１とし、かつ固定部をネジ付き固定部１０とした。
図３−（Ｃ）に示したのは、ハウジング部を円筒形とし
た回転用ハウジング１３とし、その周囲に螺旋状に回転
用ガイドミゾ１２を設けたものである。吸着パッド６に
よって吸着したりリリースしたときに被測定対象デバイ
ス２６に意図的に所定の回転あるいは摩擦力を加えるこ
とができるものである。
【００１２】上記実施例の説明では、真空ホース２５の
接続部を丸シャフト２の上部に接続する構造例で説明し
ているが、吸着パッド６に近いスプリング止め７の辺り
にホース接続部を設ける構造とし、吸着パッド６間を通
気する孔を設ける構造とし、丸シャフト２の上下動を妨
げないフレキシブルな可動ホースを使用して接続するよ
うにすれば良く、同様にして実施できる。
接続部を丸シャフト２の上部に接続する構造例で説明し
ているが、吸着パッド６に近いスプリング止め７の辺り
にホース接続部を設ける構造とし、吸着パッド６間を通
気する孔を設ける構造とし、丸シャフト２の上下動を妨
げないフレキシブルな可動ホースを使用して接続するよ
うにすれば良く、同様にして実施できる。
【００１３】上記実施例の説明では、スプリング５を設
けて、被測定対象デバイス２６を吸着パッド６で搬出す
る吸着時のクッションの役割として使用するとして説明
していたが、丸シャフト２の自重で足りる場合には、所
望により削除しても良い。
けて、被測定対象デバイス２６を吸着パッド６で搬出す
る吸着時のクッションの役割として使用するとして説明
していたが、丸シャフト２の自重で足りる場合には、所
望により削除しても良い。
【００１４】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 （１）本発明によれば、構造が簡素化されたことで小型
化が実現できたので、小ピッチで複数個が容易に並べて
配置できるハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘッド部が
実現したので、ハンドリングの効率が格段に向上した。 （２）また、本発明とすることでバッファ機能を有し、
かつ回転防止機能も確実である小型吸着パッドの構成が
実現できた。 （３）さらには、加工作業が容易な構造の構成となった
ので、加工精度が得易くなったばかりか、加工費が大幅
に低減し、ハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘッド部の
コストダウンが実現した。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 （１）本発明によれば、構造が簡素化されたことで小型
化が実現できたので、小ピッチで複数個が容易に並べて
配置できるハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘッド部が
実現したので、ハンドリングの効率が格段に向上した。 （２）また、本発明とすることでバッファ機能を有し、
かつ回転防止機能も確実である小型吸着パッドの構成が
実現できた。 （３）さらには、加工作業が容易な構造の構成となった
ので、加工精度が得易くなったばかりか、加工費が大幅
に低減し、ハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘッド部の
コストダウンが実現した。
【図１】本発明の実施例の概念を示す正面図と組立図で
ある。
ある。
【図２】本発明の実施例の動作状態を説明する概念図で
ある。
ある。
【図３】本発明の他の実施例を示す概念図である。
【図４】従来技術によるハンドラ用バッファ機能付き吸
着ヘッド部を示す概念図である。
着ヘッド部を示す概念図である。
１ ハウジング ２ 丸シャフト ３ 回転止めピン（回転止め手段） ４ ガイドミゾ ５ スプリング（弾性体） ６ 吸着パッド ７ スプリング止め ８ 固定部 ９ 多連型ハウジング １０ ネジ付き固定部 １１ ネジ付きハウジング １２ 回転用ガイドミゾ １３ 回転用ハウジング ２１ ハウジング部ボルト ２２ 取り付け用ネジ ２３ 六角シャフト ２４ 内蔵スプリング ２５ 真空ホース ２６ 被測定対象デバイス
Claims (5)
- 【請求項１】 真空ホース（２５）接続部と吸着パッド
（６）間を通気する孔を有し、ハウジング（１）のガイ
ドミゾ（４）と回転止め手段（３）との間でシャフト
（２）の上下動が案内されて、ハウジング（１）内を上
下動するシャフト（２）を設け、 シャフト（２）を上下可動に通す案内孔あるいは案内溝
を有し、回転止め手段（３）とガイドミゾ（４）により
シャフト（２）の上下動を案内するガイドミゾ（４）を
有するハウジング（１）を設け、 以上を具備することを特徴とするハンドラ用バッファ機
能付き吸着ヘッド。 - 【請求項２】 請求項１記載の構造手段に加えて、 ハウジング（１）に対してシャフト（２）を押し下げる
弾性体（５）を装着して設け、 以上を具備することを特徴とするハンドラ用バッファ機
能付き吸着ヘッド。 - 【請求項３】 ハウジングを、複数のシャフト（２）を
配置する多連型ハウジング（９）とした請求項１、２記
載のハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘッド。 - 【請求項４】 ハウジングを、ネジ付きハウジング（１
１）を設けた請求項１、２記載のハンドラ用バッファ機
能付き吸着ヘッド。 - 【請求項５】 ガイドミゾを、シャフト（２）の上下動
でシャフト（２）を回転する螺旋状の回転用ガイドミゾ
（１２）を設けた請求項１、２記載のハンドラ用バッフ
ァ機能付き吸着ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33606994A JPH08181190A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | ハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33606994A JPH08181190A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | ハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08181190A true JPH08181190A (ja) | 1996-07-12 |
Family
ID=18295379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33606994A Withdrawn JPH08181190A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | ハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08181190A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007061226A1 (en) * | 2005-11-23 | 2007-05-31 | Techwing Co., Ltd. | Pick and place apparatus |
| CN102463573A (zh) * | 2010-11-18 | 2012-05-23 | 比亚迪股份有限公司 | 吸嘴安装组件、吸嘴装置及具有其的镜头模组组装设备 |
| KR101307310B1 (ko) * | 2011-08-24 | 2013-09-10 | 임석규 | 안정된 상하이동이 보장된 듀얼 가이드형 반도체 소자용 픽업실린더 |
| JP2014110342A (ja) * | 2012-12-03 | 2014-06-12 | Samsung Techwin Co Ltd | 表面実装機の部品保持ヘッド |
| CN107226348A (zh) * | 2017-08-07 | 2017-10-03 | 常州市新创智能科技有限公司 | 一种风电叶片预成型生产线的取布框架 |
| CN107381040A (zh) * | 2017-08-10 | 2017-11-24 | 珠海市运泰利自动化设备有限公司 | 一种真空吸嘴 |
| JP2018056394A (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 平田機工株式会社 | 移載ユニット、移載装置および保持ユニット |
| CN108867012A (zh) * | 2018-09-13 | 2018-11-23 | 常州市新创智能科技有限公司 | 一种多工位裁切吸布机 |
| CN108966825A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-12-11 | 浙江工业大学 | 三段缓冲式草莓柔性捕捉装置 |
| CN112897075A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-06-04 | 蚌埠奥德压缩机工贸有限公司 | 一种玻璃生产用的吸盘轴套总成 |
| CN112975792A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-06-18 | 天津金海通半导体设备股份有限公司 | 一种高精度对准可随动自适应浮动吸头 |
-
1994
- 1994-12-22 JP JP33606994A patent/JPH08181190A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8038191B2 (en) | 2005-11-23 | 2011-10-18 | Techwing Co., Ltd. | Pick and place apparatus |
| WO2007061226A1 (en) * | 2005-11-23 | 2007-05-31 | Techwing Co., Ltd. | Pick and place apparatus |
| CN102463573A (zh) * | 2010-11-18 | 2012-05-23 | 比亚迪股份有限公司 | 吸嘴安装组件、吸嘴装置及具有其的镜头模组组装设备 |
| KR101307310B1 (ko) * | 2011-08-24 | 2013-09-10 | 임석규 | 안정된 상하이동이 보장된 듀얼 가이드형 반도체 소자용 픽업실린더 |
| JP2014110342A (ja) * | 2012-12-03 | 2014-06-12 | Samsung Techwin Co Ltd | 表面実装機の部品保持ヘッド |
| KR20180035681A (ko) * | 2016-09-29 | 2018-04-06 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 이동탑재 유닛, 이동탑재 장치 및 보유지지 유닛 |
| JP2018056394A (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 平田機工株式会社 | 移載ユニット、移載装置および保持ユニット |
| CN107226348A (zh) * | 2017-08-07 | 2017-10-03 | 常州市新创智能科技有限公司 | 一种风电叶片预成型生产线的取布框架 |
| CN107381040A (zh) * | 2017-08-10 | 2017-11-24 | 珠海市运泰利自动化设备有限公司 | 一种真空吸嘴 |
| CN108966825A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-12-11 | 浙江工业大学 | 三段缓冲式草莓柔性捕捉装置 |
| CN108867012A (zh) * | 2018-09-13 | 2018-11-23 | 常州市新创智能科技有限公司 | 一种多工位裁切吸布机 |
| CN112897075A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-06-04 | 蚌埠奥德压缩机工贸有限公司 | 一种玻璃生产用的吸盘轴套总成 |
| CN112975792A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-06-18 | 天津金海通半导体设备股份有限公司 | 一种高精度对准可随动自适应浮动吸头 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08181190A (ja) | ハンドラ用バッファ機能付き吸着ヘッド | |
| US7235964B2 (en) | Test head positioning system and method | |
| WO2021068332A1 (zh) | 电路板抗震性能测试装置 | |
| EP2261520A2 (en) | Vacuum pad device | |
| CN106514631A (zh) | 一种柔性铰链导向的平面XYθ三自由度精度补偿器 | |
| MY126936A (en) | Inertial latch for an actuator in a disk drive device | |
| US7562923B2 (en) | Tray transferring apparatus with gripper mechanism | |
| US6462533B1 (en) | IC test system for testing BGA packages | |
| JP5287741B2 (ja) | 部品のマウンタ装置及び部品のマウント方法 | |
| EP0302475A1 (en) | Head for attachment to a robot to pick up articles | |
| US5886488A (en) | Swing support apparatus | |
| EP0260212A1 (en) | Hold down type mechanism | |
| JP2006220627A (ja) | プローブピン、プローブピンユニット及びこれを用いた被検査物の検査方法 | |
| JPS61121891A (ja) | ロボツト用エンド・エフエクタ | |
| JP3548857B2 (ja) | コンプライアンス装置 | |
| JP3042092B2 (ja) | 対象物取扱装置 | |
| JP3707837B2 (ja) | チップマウンタ | |
| JP3217110B2 (ja) | 搬送装置 | |
| CN112917496A (zh) | 一种可搭载接触式检测设备的水下检测机械臂 | |
| CN217212821U (zh) | 检测设备 | |
| US6468023B1 (en) | Apparatus and method for inverting an IC device | |
| JP6406197B2 (ja) | チャック工具付き装置用治具 | |
| US5461325A (en) | Probe clamp assembly | |
| KR100668238B1 (ko) | 반도체 소자 테스터에서 스테핑 모터를 이용한 피커 장치 | |
| CN212379211U (zh) | 一种落球装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020305 |