JPH0855896A - ウェーハ搬送手段 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 比較的薄いウェーハや割れ易い化合物半導体
であっても吸着による破損を未然に防止出来るようにし
た、ウェーハ搬送手段を提供する。 【構成】 ウェーハを作業工程から他の作業工程まで搬
送するためのウェーハ搬送手段であって、このウェーハ
搬送手段はウェーハを保持する吸着部２と、搬送部とか
ら構成され、吸着部２はポーラス部材４で形成されてい
ると共に、吸着部と搬送部との間には緩衝材３が介在さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウェーハを吸着して搬
送するウェーハ搬送手段に関する。

【０００２】

【従来の技術】ウェーハの加工装置において、ウェーハ
を１枚ずつ所定の箇所まで搬送するには通常吸着機能を
備えた搬送手段が用いられている。この種のウェーハ搬
送手段としては、従来例えば図３に示すように吸着部に
ベルヌイチャックＡを備えたものや、図４のようにゴム
パットチャックＢを備えたもの等が知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記ベ
ルヌイチャックＡによると、内部が負圧となってウェー
ハＷの中央部が強く引き付けられ、比較的薄いウェーハ
やＧａＡｓ、ＧａＰ等の割れ易い化合物半導体であると
破損することがある。又、前記ゴムパットチャックＢに
よると、吸引力がウェーハＷの中央部に集中し、この場
合はベルヌイチャックよりもウェーハが割れ易くなる。
本発明は、このような従来の問題を解消するためになさ
れ、比較的薄いウェーハや割れ易い化合物半導体であっ
ても吸着による破損を未然に防止出来るようにした、ウ
ェーハ搬送手段を提供することを課題とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、ウェーハを所定の箇
所まで搬送するためのウェーハ搬送手段であって、この
ウェーハ搬送手段はウェーハを保持する吸着部と、搬送
部とから構成され、前記吸着部はポーラス部材で形成さ
れていると共に、吸着部と前記搬送部との間には緩衝材
が介在されているウェーハ搬送手段を要旨とする。

【０００５】

【作 用】吸着部はポーラス部材を介してウェーハの全
面を均等に吸引するので、比較的薄いウェーハや割れ易
い化合物半導体であっても吸着時に破損することはな
く、又緩衝材によって衝撃が吸収されるため接触時にウ
ェーハに損傷を与えることもない。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳説する。図１において、１はウェーハ搬送手段の搬送
部であり、上下動及び軸回転可能に形成された支柱１１
と、この支柱１１に取り付けられたアーム１２とを有
し、支柱１１の軸回転によってアーム１２を水平回動出
来るようにしてある。

【０００７】２はウェーハ搬送手段の吸着部であり、図
２に示すように前記アーム１２の先端部に形成された取
付孔１２ａに軸部２１を挿通すると共に上端にストッパ
２２が取り付けられ、取付孔１２ａの周囲に同心に形成
された凹溝１２ｂと下部の円盤部２３との間にコイルバ
ネ等の緩衝材３を介在させることにより下向き付勢の状
態で取り付けられている。

【０００８】この吸着部２は、前記円盤部２３の開口端
にポーラス部材４が取り付けられ、このポーラス部材４
より奥の空隙部は前記軸部２１及びストッパ２２に続く
通気路２４と連通しており、更にストッパ２２の開口端
には吸引チューブ（図略）を接続するための接続口２５
が設けられている。

【０００９】上記のように構成された本発明に係るウェ
ーハ搬送手段は、吸着部２でウェーハＷを吸着すると、
ポーラス部材４によりウェーハＷの全面が均等に吸引さ
れると共にポーラス部材４に安定良く受止されるので、
従来のように吸引力が局部的に集中しウェーハＷの一部
が強く吸引されて破損するようなことはない。従って、
比較的薄いウェーハや化合物半導体等の破損し易い被加
工物を搬送するのに好適である。

【００１０】この吸着に際し、吸着部２が支柱１１と共
に下降してウェーハＷに接触するが、前記緩衝材３がそ
の衝撃を吸収するので接触時にウェーハ表面に損傷を与
えることもない。

【００１１】吸着部２でウェーハＷを吸着した後、その
状態を保持して支柱１１によりアーム１２を回動させれ
ば所定の箇所にウェーハＷを搬送することが出来る。従
って、ダイサー等の研削装置や研磨装置等のウェーハ加
工装置に組み込んで使用することが出来る。

【００１２】尚、ポーラス部材４は、吸着部２の円盤部
２３内全体につまり円盤部内に隙間が生じること無く充
填して設けることも可能である。又、搬送部は前記実施
例の回動式に限定されず、例えば水平に直線移動する形
式や上下に移動する形式等ウェーハ加工装置に応じて適
宜変更することが可能である。

【００１３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ウェーハを吸着する吸着部にポーラス部材を設けたの
で、ウェーハ全面を均等な力で吸着することが出来、比
較的薄いウェーハや割れ易い化合物半導体であっても吸
着時の破損を未然に防止する効果を奏する。又、吸着部
の緩衝材によって衝撃が吸収されるため、接触時にウェ
ーハの表面に損傷を与えることもない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例を示す要部の斜視図である。

【図２】 吸着部の取付部分を示す断面図である。

【図３】 従来のベルヌイチャックによる吸着状態を示
す説明図である。

【図４】 従来のゴムパットチャックによる吸着状態を
示す説明図である。

【符号の説明】

１…搬送部 １１…支柱 １２…アーム １２ａ…取付孔 １
２ｂ…凹溝 ２…吸着部 ２１…軸部 ２２…ストッパ ２３…円盤部 ２
４…通気路 ２５…接続口 ３…緩衝材 ４…ポーラス部材

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェーハを所定の箇所まで搬送するため
   のウェーハ搬送手段であって、このウェーハ搬送手段は
   ウェーハを保持する吸着部と、搬送部とから構成され、
   前記吸着部はポーラス部材で形成されていると共に、吸
   着部と前記搬送部との間には緩衝材が介在されているこ
   とを特徴とするウェーハ搬送手段。