JP2007273731A - ウェハ搬送ハンド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上面にウェハ吸着面を持つ薄板状のハンド本体(13)が、その後端部(305)にて、ロボットアーム(19)上で支持される。ハンド本体(13)は、ロボットアーム(19)に対して、ウェハ吸着面に垂直な方向へ移動可能なように弾性的に支持される。ハンド本体(13)内の空気通路(307)はハンド本体(13)の下面から掘られた溝であり、そこに蓋(323)が被せてある。ハンド本体(13)の下面の蓋(323)を覆う領域に樹脂テープ(325)が貼られ、樹脂テープ(325)が空気通路(307)の蓋(323)の周囲の隙間を封止する。樹脂テープ(325)を剥がし蓋(323)を外すと、空気通路(307)の掃除ができる。
【選択図】図3
Description
13 ハンド本体
15 ヒールブロック
17 リストブラケット
19 ロボットアーム
21 半導体ウェハ
21 半導体ウェハ
301 ハンド本体13のパーム
303 ハンド本体13のフィンガー
305 ハンド本体13のヒール
307 空気通路
309,311 吸着孔
313 接続孔
315,317 保護テープ
319 窓
320 壁
323 蓋
325 封止テープ
327 基体
329 溝
331 凹部
501 ヒールブロック15の上ブロック
503 ヒールブロック15の下ブロック
503 ブロック
503 下ブロック
505,507 空気通路
509 ヒール室
511 位置決めピン
513 センサ室
515 ウェハ検出センサ
517 レール
519 上顎
521 下顎
523,525 スプリングプランジャ
527 光ビーム
529 反射ビーム
701 リストブラケット17のバックフレーム
703 リストブラケット17のサイドウィング
705 ガイド溝
707 間隔(前進可能距離)
709 間隔(後退可能距離)
Claims (8)
- 少なくとも片側の表面にウェハ吸着面をもつ平板状のハンド本体(13)と、
前記ハンド本体(13)を、前記ハンド本体(13)の平面形状における前記ウェハ吸着面から外れた所定部分(305)にて、ロボットアーム(19)上で支持する支持装置(15,17)と
を備え、
前記支持装置(15,17)は、前記ハンド本体(13)を前記ロボットアーム(19)に対して、前記ウェハ吸着面に垂直な方向へ移動可能なように弾性的に支持しているウェハ搬送用ハンド(11)。 - 請求項1記載のウェハ搬送ハンド(11)において、
前記支持装置(15,17)は、
前記ハンド本体(13)に、前記ウェハ吸着面に垂直な第1方向へ第1の弾性力を加える第1の弾性装置(523)と、
前記ハンド本体(13)の前記所定部分(305)に、前記第1方向とは反対の第2方向へ第2弾性力を加える第2の弾性装置(525)と
を有し、
前記ハンド本体(13)に他の外力が加わらない状態で、前記第1の弾性力と前記第2の弾性力との釣り合いにより、前記ハンド本体(13)が所定の移動可能範囲内の所定位置で静止するようになっているウェハ搬送用ハンド(11)。 - 請求項1記載のウェハ搬送ハンド(11)において、
前記ウェハ搬送ハンド(11)は、ウェハ加工装置のウェハチャックにウェハを受け渡すために使用され、
前記支持装置(15,17)は、前記ハンド本体(13)を所定距離(709)まで前記垂直方向へ移動させることが可能であり、前記所定距離が、前記ウェハチャックの少なくとも1回のセルフカットによる削り深さ以上であるウェハ搬送用ハンド(11)。 - 請求項1記載のウェハ搬送ハンド(11)において、
前記ウェハ搬送ハンド(11)は、複数のウェハ(21)を積載したカセットにウェハを受け渡すために使用され、
前記ハンド本体(13)の厚さが、前記カセット内の隣り合うウェハ(21,21)間の隙間よりも薄いウェハ搬送用ハンド(11)。 - 請求項1記載のウェハ搬送ハンド(11)において、
前記ハンド本体(13)は、
前記ウェハ吸着面に設けられた吸着孔(309,311)と、
前記ハンド本体(13)内に設けられ、前記吸着孔(309,311)に接続する空気通路(307)と、
前記ハンド本体(13)の一側の表面に設けられ、前記空気通路(307)を覆い且つこれが除去されると前記空気通路(307)が開くようになった蓋(323)と、
前記ハンド本体(13)の前記一側の表面上に、蓋(323)を覆うように貼付されて、前記空気通路(307)の前記蓋(323)の周囲の隙間を封止する封止テープ(325)と
を有し、
前記封止テープ(325)は、前記ハンド本体(13)を破壊すること無しに、前記ハンド本体(13)から剥がすことができるようになったウェハ搬送用ハンド(11)。 - 請求項5記載のウェハ搬送ハンド(11)において、
前記ハンド本体(13)が、前記所定部分(305)にて、前記支持装置(15,17)に着脱可能に取り付けられているウェハ搬送用ハンド(11)。 - 請求項6記載のウェハ搬送ハンド(11)において、
前記支持装置(15,17)が、
前記ハンド本体(13)を前記支持装置(15,17)に取り付けるときに、前記ハンド本体(13)と当接することで、前記ハンド本体(13)の前記支持装置(15,17)に対する相対的位置を決定する位置決め部材(511)
を有するウェハ搬送用ハンド(11)。 - ウェハ吸着面をもつ平板状のハンド本体(13)を備え、
前記ハンド本体(13)は、
前記ウェハ吸着面に設けられた吸着孔(309,311)と、
前記ハンド本体(13)内に設けられ、前記吸着孔(309,311)に接続する空気通路(307)と、
前記ハンド本体(13)の一側の表面に設けられ、前記空気通路(307)を覆い且つこれが外れると前記空気通路(307)が開くようになった蓋(323)と、
前記ハンド本体(13)の前記一側の表面上に、蓋(323)を覆うように貼付されて、前記空気通路(307)の前記蓋(323)の周囲の隙間を封止する封止テープ(325)と
を有し、
前記封止テープ(325)は、前記ハンド本体(13)を破壊すること無しに、前記ハンド本体(13)から剥がすことができるようになったウェハ搬送用ハンド(11)。
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