JPH05212691A - 真空吸着用フィンガ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構成で確実に空気流路を形成ししかも
薄型化が図られる真空吸着用フィンガを提供する。 【構成】 真空吸引用空気流路を構成するための溝４を
有するフィンガ本体１と、該溝４を覆って空気流路を密
封形成するための板材５と、該板材の外側面積より広い
面積を有し該板材の外側からこれを覆って前記フィンガ
本体１側に貼付され以て前記板材５をフィンガ本体１側
に固定するためのシート材６とからなる真空吸着用フィ
ンガ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造に係るウエ
ハやレチクルあるいはマスクの搬送装置または磁気ディ
スク等の搬送装置に適用される真空吸着用フィンガに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の真空吸着用フィンガの構造を図５
から図８に示す。図５は外観図であり、図６はそのＢ−
Ｂ断面図である。図示したように、金属等からなるフィ
ンガ本体１の厚さの範囲内でドリル孔１０が設けられ、
これが真空圧供給用の空気流路を構成する。ドリル孔１
０はフィンガ本体１の端部で開口し真空圧供給孔３を形
成する。２はウエハ吸着孔である。ドリル孔１０に連通
するウエハ吸着孔２を介してウエハを真空吸着して保持
する。

【０００３】図７は別の従来例を示す。この例は、真空
圧供給用の溝４が形成された第１のフィンガ部材１１と
これに対向して接合された第２のフィンガ部材１２によ
りフィンガ本体１を構成し、両部材１１、１２を接着す
ることにより溝４を空気流路として密封形成するもので
ある。

【０００４】図８はさらに別の従来例を示す。この例
は、真空圧供給用の溝４が形成されたフィンガ本体１に
金属テープ１３を接着して溝４を封止し空気流路を形成
するものである。

【０００５】真空吸着用フィンガは、軽量かつ高剛性で
あることが要求され、さらにウエハハウジングやキャリ
ア内に進入して内部に収容されたウエハを取り出し回収
するため、その形状や厚さに制約を受け小型で薄いもの
でなければならない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来技術においては、図６のドリル孔を設ける構成の場
合、薄い金属製フィンガ本体部材に精度良く穿孔するこ
とは技術的に容易でなく、加工時間やコスト等の面で製
造効率が悪くなる。また、このような加工技術上の点か
らフィンガ本体の薄型化には限界があった。

【０００７】また、図７に示す２枚の部材を貼り合わせ
る構成においては、貼り合わせ不良による空気漏れの問
題や余分な接着剤により空気流路が狭められたり塞がれ
たりする問題あるいは塵埃発生の問題があった。

【０００８】さらに、図８のような、金属テープのみで
空気流路を密封形成する構成においては、金属テープの
接着力が経時的に弱まり、テープが剥がれたりあるいは
空気流路を塞ぎ流路断面積を変化させる等耐久性や信頼
性の点で問題があった。

【０００９】本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みなさ
れたものであって、簡単な構成で確実に空気流路を形成
ししかも薄型化が図られる真空吸着用フィンガの提供を
目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明では、真空吸引用空気流路を構成するための
溝を有するフィンガ本体と、該溝を覆って空気流路を密
封形成するための板材と、該板材の外側面積より広い面
積を有し該板材の外側からこれを覆って前記フィンガ本
体側に貼付され以て前記板材をフィンガ本体側に固定す
るためのシート材とからなる真空吸着用フィンガを提供
する。

【００１１】

【作用】板状のフィンガ本体に設けられた溝に該フィン
ガ本体の厚さを増すことなく薄い板材を組込み可能とし
さらにシート材を貼付して空気流路を形成する。これに
より、要求されるフィンガの形状や板厚の制約範囲内で
容易に確実に加工組立を行なうことができ、耐久性およ
び信頼性に優れしかも薄型化された真空吸着用フィンガ
が達成される。

【００１２】

【実施例】図１は、本発明の実施例に係る真空吸着用フ
ィンガの平面図であり、図２はそのＡ−Ａ断面図であ
る。図において、１はフィンガ本体、２はウエハ吸着
孔、３は真空圧供給孔、４はウエハ吸着孔２と真空圧供
給孔３とを導通する溝である。５は溝４を覆い空気流路
を形成するための薄板、６は薄板５をフィンガ本体１側
に固定するためのポリエステルテープである。

【００１３】上記構成において、薄板５はフィンガ本体
１に加工された溝４を覆って埋め込まれ、溝４と薄板５
によって囲まれる空間が空気流路となる。溝４は、フィ
ンガ本体１に薄板５が埋め込まれた状態でもフィンガ本
体１の厚さが変らないように適当な段差を設けて加工さ
れる。ただし、許容される板厚の範囲内で薄板５が突出
してもかまわない。薄板５が溝４に埋め込まれた部分よ
り広い範囲で、ポリエステルテープ６が薄板５の全面を
覆ってフィンガ本体１に貼付される。これにより、薄板
５はフィンガ本体１側に固定される。

【００１４】上記実施例においては、フィンガの厚さ
は、実質上フィンガ本体１の厚さとポリエステルテープ
６の厚さのみの和により定まるため、薄型化が達成され
る。また、溝４は薄板５で覆われるため、空気流路の耐
久性および信頼性が向上する。さらに、溝４内に直接接
着剤が介入しないため、空気流路断面積の縮小等の接着
剤による悪影響が防止される。

【００１５】図３は、本発明の別の実施例の平面図であ
る。この実施例では、溝４は、この溝４に沿って複数に
分割された薄板７、８、９により覆われ、前記第１の実
施例の薄板５と同様に、空気流路を形成する。このよう
な構成によれば、溝４が複雑な形状であっても、溝４の
形状に沿って加工容易な形状に薄板を分割して溝を覆う
ことができる。

【００１６】図４は、本発明のさらに別の実施例に係る
真空吸着フィンガの断面図である。この実施例は、真空
吸着フィンガの厚さの許容範囲が充分大きい場合の構成
であり、薄板５はフィンガ本体１内に埋め込まれず下面
に突出している。このような構成によれば、溝４の加工
が容易になる。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、真空吸着フィンガを、溝が形成されたフィンガ本体
と、この溝を覆う薄板と、この薄板を固定するための接
着テープとにより構成したため、加工や組立が容易にで
きしかも薄型化の要求に充分対処でき、耐久性および信
頼性を向上させコストの低減が図られる。

【００１８】また、溝はフィンガ本体の両面に加工可能
であり、これを覆う薄板は溝に沿って加工しやすい形状
に分割可能であって、設計の自由度が高い。

【００１９】また、従来のように余分な接着剤が溝内に
進入することによる弊害およびテープ剥離や変形等の問
題が改善され、信頼性および耐久性を向上させることが
できる。

【００２０】さらに、高クリーン度の環境下で使用され
る吸着部材を軽量化、高剛性化の目的でセラミックス等
の素材を用いた場合であっても、本発明は適用可能であ
り、これらの素材の破損時に問題となる塵埃発生につい
ては、吸着部材の全面にテープを貼付することにより、
問題が解消される。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例に係る真空吸着フィンガの平
面図である。

【図２】 図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】 本発明の別の実施例に係る真空吸着フィンガ
の平面図である。

【図４】 本発明のさらに別の実施例に係る真空吸着フ
ィンガの断面図である。

【図５】 従来の真空吸着フィンガの斜視図である。

【図６】 図５のＢ−Ｂ断面図である。

【図７】 従来の真空吸着フィンガの別の例の断面図で
ある。

【図８】 従来の真空吸着フィンガのさらに別の例の断
面図である。

【符号の説明】

１；フィンガ本体、２；ウエハ吸着孔、３；真空圧供給
孔、４；溝、５；薄板、６；ポリエステルテープ、７、
８、９；薄板。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空吸引用空気流路を構成するための溝
   を有するフィンガ本体と、該溝を覆って空気流路を密封
   形成するための板材と、該板材の外側面積より広い面積
   を有し該板材の外側からこれを覆って前記フィンガ本体
   側に貼付され以て前記板材をフィンガ本体側に固定する
   ためのシート材とからなることを特徴とする真空吸着用
   フィンガ。
2. 【請求項２】 前記板材は、前記空気流路に沿って複数
   枚に分割され、複数の板材を１枚のシート材で固定した
   ことを特徴とする請求項１の真空吸着用フィンガ。
3. 【請求項３】 前記シート材は、樹脂、紙または金属の
   フィルムに粘着剤を塗布した粘着テープからなることを
   特徴とする請求項１または２の真空吸着用フィンガ。