JP2014091208A - 工具着脱治具 - Google Patents
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Abstract
【課題】切削ブレードやマウント工具などの工具を容易に着脱自在とすることができる工具着脱治具を提供すること。
【解決手段】工具着脱治具1は治具本体2とガイドロッド3を備えている。治具本体2は工具を把持する爪8を備えた工具把持部4と3個の工具把持部4を環状に支持する円板状基台5と貫通孔6と工具把持部4に連結し円板状基台5を支点として爪8を開状態と閉状態に位置付ける握り部7とから構成されている。貫通孔6は工具把持部4から等距離の位置に設けられスピンドルの先端に形成された凹みと同径である。ガイドロッド3は貫通孔6と同径の外径を有する。工具着脱治具1は貫通孔6に挿入されたガイドロッド3をスピンドルの先端に形成された凹みに挿入して工具把持部4に把持された工具をスピンドルの先端部に取り付けられたマウント工具の取付部に挿入又は離脱させる。
【選択図】図2
【解決手段】工具着脱治具1は治具本体2とガイドロッド3を備えている。治具本体2は工具を把持する爪8を備えた工具把持部4と3個の工具把持部4を環状に支持する円板状基台5と貫通孔6と工具把持部4に連結し円板状基台5を支点として爪8を開状態と閉状態に位置付ける握り部7とから構成されている。貫通孔6は工具把持部4から等距離の位置に設けられスピンドルの先端に形成された凹みと同径である。ガイドロッド3は貫通孔6と同径の外径を有する。工具着脱治具1は貫通孔6に挿入されたガイドロッド3をスピンドルの先端に形成された凹みに挿入して工具把持部4に把持された工具をスピンドルの先端部に取り付けられたマウント工具の取付部に挿入又は離脱させる。
【選択図】図2
Description
本発明は、ダイシング装置等の切削装置におけるスピンドルに装着される切削ブレードやスペーサをマウント工具から着脱する工具着脱治具に関する。
ダイシング装置等の切削装置に配設される切削手段としては円形の切削ブレードが一般的である。切削ブレードはマウント工具という治具によってスピンドルの先端に装着され、40000rpm等の高速で回転することで切削を行う。
ダイシング装置等の切削装置では、装着された切削ブレードの回転中心とスピンドルの回転中心とが一致している状態が切削加工では重要であり、被加工物の欠けの少ない良好な加工結果を得る要因の一つとなる。そのため、マウント工具のボス部に対し切削ブレードを挿入できるようボス部の直径に対し切削ブレードの中心孔がわずかながら大きく形成されている。
また、切削ブレードは一つのマウント工具に対し重なって複数装着され、一度の切削加工で複数本の切削溝を形成できる加工方法も知られている(例えば、特許文献1参照)。この場合、切削ブレードに挟まれるスペーサが用いられるが、スペーサの中央孔も同じく、ボス部に対してわずかながら大きく公差が設定されている。
しかしながら、ボス部に切削ブレードやスペーサを装着する際、ボス部の軸方向(スピンドルの回転軸線方向)と垂直ではなく斜めに誤って差し込むとボス部と切削ブレードの内径とが引っ掛かり動かなくなってしまったり、ボス部に傷が付きさらに引っ掛かりやすくなったりすると言う問題が有った。さらには、複数の切削ブレードを装着させるマウント工具の場合、ボス部が非常に長いため、引っ掛かる可能性が高くなり、着脱が非常に難しくなるという問題が有った。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、切削ブレードやマウント工具などの工具を容易に着脱自在とすることができる工具着脱治具を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の工具着脱治具は、中央に開口を有した環状の工具をスピンドルの先端に突出して形成され中央に凹みを備えたボス部に挿入する工具着脱治具であって、工具を把持する爪を備えた工具把持部と、少なくとも3個の該工具把持部を環状に支持する円板状基台と、該円板状基台の中央に形成され該工具把持部から等距離の位置に該スピンドルの先端に形成された凹みと同径の貫通孔と、該工具把持部に連結し該円板状基台を支点として該爪を開状態と閉状態とに位置付ける握り部と、から構成された治具本体と、該円板状基台の中央に形成された貫通孔と同径の外径を有するガイドロッドとを備え、該円板状基台の中央に形成された貫通孔に挿入された該ガイドロッドを該スピンドルの先端に形成された該凹みに挿入して該工具把持部に把持された環状の工具を該ボス部に挿入、又は該ボス部から離脱させることを特徴とする。
そこで、本願発明の工具着脱治具は、スピンドルの先端に形成された凹みと治具本体の円板状基台に設けられた貫通孔とが同径でかつ貫通孔とガイドロッドとが同径に形成されている。このために、ガイドロッドをスピンドルの凹みに係合させると、ガイドロッドをスピンドルの軸心に一致させることができる。したがって、ガイドロッドをスピンドルの凹みに係合させて、工具把持部に工具を把持した治具本体をガイドロッドに対し摺動させることで、治具本体の工具把持部に把持された工具をスピンドルと同軸な状態に保ったまま摺動させることができる。よって、工具着脱治具は、工具をボス部に引っ掛けることなく、スピンドルに挿入または離脱させることができる。したがって、工具着脱治具は、工具をスピンドルに対して斜めに挿入してしまう事を抑制でき、工具を容易に正しい方向で着脱することができる。
本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る工具着脱治具について、図面に基づいて説明する。図1は、実施形態に係る工具着脱治具により工具が着脱される切削装置の切削手段の概略を示す分解斜視図である。図2(a)は、実施形態に係る工具着脱治具の概略を示す斜視図である。図2(b)は、実施形態に係る工具着脱治具の図2(a)中のIIb−IIb線に沿う断面図である。図3(a)は、実施形態に係る工具着脱治具の治具本体の概略を示す斜視図である。図3(b)は、実施形態に係る工具着脱治具を図3(a)の下方からみた平面図である。
本発明の実施形態に係る工具着脱治具について、図面に基づいて説明する。図1は、実施形態に係る工具着脱治具により工具が着脱される切削装置の切削手段の概略を示す分解斜視図である。図2(a)は、実施形態に係る工具着脱治具の概略を示す斜視図である。図2(b)は、実施形態に係る工具着脱治具の図2(a)中のIIb−IIb線に沿う断面図である。図3(a)は、実施形態に係る工具着脱治具の治具本体の概略を示す斜視図である。図3(b)は、実施形態に係る工具着脱治具を図3(a)の下方からみた平面図である。
実施形態に係る工具着脱治具1は、中央に開口を有した環状の切削ブレード30(図1に示し、工具に相当)を、スピンドル31の先端部31aに取り付けられたマウント工具32に着脱する際に用いられる治具である。なお、工具着脱治具1により切削ブレード30が着脱されるスピンドル31は、半導体ウエーハ、光デバイスウエーハやパッケージ基板などの被加工物を切削加工する切削装置の切削手段33を構成するものである。切削手段33は、スピンドル31と、マウント工具32と、切削ブレード30などを備えている。
スピンドル31は、先端部31aが先細に形成されている。スピンドル31は、図示しないブレード駆動源により軸心回りに回転駆動され、円柱状の先端部31aにマウント工具32及び切削ブレード30などが取り付けられる。マウント工具32は、金属で構成され、図1に示すように、スピンドル31の先端に突出して形成される円筒状の取付部34(ボス部に相当)と、取付部34の外周面から外周方向に延びた円板状の支持部35とを一体に備えている。取付部34の内周面は、スピンドル31の先端部31aの外周面と略同形状のテーパ状に形成されている。マウント工具32は、取付部34の内側にスピンドル31の先端部31aが挿入され、取付部34内に収容されたボルト36がスピンドル31の先端面にねじ込まれることにより、スピンドル31の先端部31aに取り付けられる。
また、ボルト36の頭には、平面形状が多角形状の凹み37(スピンドル31の先端に形成された凹みに相当)が、スピンドル31と同軸に設けられている。なお、実施形態では、凹み37の平面形状は、正六角形状である。さらに、ボルト36の頭とスピンドル31の先端面との間には、ワッシャ43が設けられている。また、マウント工具32の取付部34は、内側に収容したボルト36が凹み37を備えることで、当該凹み37を備えている。
切削ブレード30は、図1に示すように、アルミニウム合金で構成された円環状の基台38と、基台38にダイヤモンド砥粒等がニッケル鍍金で固定された厚みが20〜200μmのブレード39とを備えた、所謂電鋳ハブブレードである。基台38の外縁には、断面円弧状の係合凹部40が設けられている。切削ブレード30は、基台38の内側にマウント工具32の取付部34を通して、マウント工具32の支持部35に重ねられる。そして、切削ブレード30は、マウント工具32の取付部34の外周に螺合した固定ナット41とマウント工具32とに挟持されて、スピンドル31の先端部31aに取り付けられる。
工具着脱治具1は、基台38が設けられた切削ブレード30を、スピンドル31の先端に突出して形成され中央に凹み37を備えたマウント工具32の取付部34に挿入するものである。工具着脱治具1は、図2(a)及び図2(b)に示すように、治具本体2と、ガイドロッド3とを備えている。治具本体2は、図3(a)及び図3(b)に示すように、少なくとも3個設けられた工具把持部4と、少なくとも3個の工具把持部4を環状に支持する円板状基台5と、貫通孔6と、握り部7とから構成されている。
工具把持部4は、切削ブレード30の基台38の外縁に設けられた係合凹部40に係合して切削ブレード30を把持する爪8を先端に備えている。本実施形態では、工具把持部4は、3個設けられている。円板状基台5は、図3(b)に示すように、円板状に形成され、外縁が工具把持部4の基端に連なって、3個の工具把持部4を環状に支持する。貫通孔6は、円板状基台5の中央に形成され、3個の工具把持部4から等距離の位置に設けられている。貫通孔6は、切削ブレード30の内径よりも遥かに小径で、かつ凹み37の平面視における対角線の長さと同径の円形に形成されている。握り部7は、工具把持部4と同数設けられている。握り部7は、工具把持部4の基端に連結し、円板状基台5から工具把持部4の逆向きに延びている。握り部7は、オペレータなどにより互いに近づけられたり離されることで、円板状基台5を支点として、爪8を爪8同士が離れる開状態と爪8同士が近づく閉状態とに位置付ける。また、治具本体2には、爪8が開状態に位置付けられると、爪8同士が近付く方向に握り部7を付勢する板ばね9が取り付けられている。
ガイドロッド3は、図2(a)及び図2(b)に示すように、貫通孔6と同径の外径を有する円柱状に形成されている。ガイドロッド3は、貫通孔6内に通されて、治具本体2に摺動自在に取り付けられる。また、ガイドロッド3の先端には、凹み37に係合する凹み用係合部10が設けられている。凹み用係合部10の平面形状は、凹み37と同じ大きさの正六角形に形成されている。このために、凹み用係合部10とガイドロッド3とは、正面視において、所謂正六角形と当該正六角形の外接円との関係となっている。また、ガイドロッド3の基端には、ガイドロッド3よりも遥かに外径の大きな持ち手部11が設けられている。
次に、実施形態に係る工具着脱治具1を用いた切削ブレード30のスピンドル31への着脱方法について、図面に基づいて説明する。図4は、実施形態に係る工具着脱治具のガイドロッドが凹みに係合し工具把持部が切削フレードを把持した状態を示す断面図である。図5は、図4に示された工具着脱治具が切削フレードをマウント工具に取り付けた状態を示す断面図である。
まず、切削ブレード30を取り付ける前に、スピンドル31の先端部31aをマウント工具32内に挿入し、ボルト36をスピンドル31の先端面にねじ込んで、スピンドル31の先端部31aにマウント工具32を取り付けておく。そして、治具本体2の工具把持部4の爪8に切削ブレード30の基台38の係合凹部40を係合して、工具把持部4の爪8に切削ブレード30を把持させる。さらに、ガイドロッド3を貫通孔6内に挿入する。そして、図4に示すように、ガイドロッド3の先端に設けられた凹み用係合部10を凹み37に挿入する。すると、貫通孔6とガイドロッド3とが同径で、かつ凹み37の対角線の長さと貫通孔6とが同径に形成されているので、凹み用係合部10が凹み37に係合して、ガイドロッド3とスピンドル31の軸心とが一致する。
そして、治具本体2即ち工具把持部4に把持された切削ブレード30がマウント工具32に近付くように、ガイドロッド3に対して治具本体2を摺動させる。工具把持部4に把持された切削ブレード30をマウント工具32の取付部34に挿入して、図5に示すように、工具把持部4に把持された切削ブレード30をマウント工具32の支持部35に重ねる。そして、握り部7同士を近づけて、爪8を開状態に位置付けて工具把持部4の係合凹部40の係合を解除して、ガイドロッド3の先端の凹み用係合部10を凹み37から離脱させる。そして、固定ナット41を取付部34の外周に螺合させて、固定ナット41とマウント工具32との間に切削ブレード30を挟持する。こうして、切削ブレード30をスピンドル31の先端部31aに取り付ける。
また、切削ブレード30を取り外す際には、固定ナット41を取り外す。そして、ガイドロッド3を貫通孔6内に挿入して、ガイドロッド3の先端の凹み用係合部10を凹み37に係合させる。そして、治具本体2即ち工具把持部4がマウント工具32に近付くように、ガイドロッド3に対して治具本体2を摺動させる。そして、工具把持部4の爪8に切削ブレード30の基台38の係合凹部40を係合させて、工具把持部4に切削ブレード30を把持させる。そして、治具本体2即ち工具把持部4がマウント工具32から離れるように、ガイドロッド3に対して治具本体2を摺動させる。工具把持部4に把持された切削ブレード30をマウント工具32の取付部34から離脱させた後、ガイドロッド3の先端の凹み用係合部10を凹み37から離脱させる。こうして、切削ブレード30をスピンドル31の先端部31aから取り外す。
また、実施形態に係る工具着脱治具1は、複数の切削ブレード30aを備えた切削装置の切削手段33a(図6に示す)において、複数の切削ブレード30間に設けられるスペーサ42(工具に相当)を、スピンドル31の取付部34に着脱する際にも用いられる。なお、図6は、実施形態に係る工具着脱治具により工具が着脱される切削装置の切削手段の他の例の概略を示す分解斜視図である。なお、図6において、図1〜図5と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
切削装置の切削手段33aは、図6に示すように、スピンドル31と、マウント工具32、固定ナット41に加えて、複数の切削ブレード30aと、これら複数の切削ブレード30a間に設けられるスペーサ42を備えている。図6に示された例では、切削手段33aは、切削ブレード30aを二つ備え、スペーサ42を一つ備えている。また、図6に示された例では、切削ブレード30aは、ダイヤモンド砥粒等をレジンボンドで固めて構成されるレジンボンドブレードや、ダイヤモンド砥粒等をメタルボンドで固めて構成されるメタルボンドブレードや、ダイヤモンド砥粒等をヒドリファイドボンドで固めて構成されるヒドリファイドメタルボンドブレードなどのブレード39のみで構成されて、基台38を備えていない。
スペーサ42は、中央に開口を有した環状に形成されており、内径が、貫通孔6の内径よりも遥かに大きく、かつスピンドル31の取付部34の外径に対しわずかに大きく公差が設定されている。また、スペーサ42の軸心方向の両端の外縁には、前述した係合凹部40が設けられている。
図6に示された例では、工具着脱治具1は、スペーサ42を、スピンドル31の先端に突出して形成され中央に凹み37を備えたマウント工具32の取付部34に挿入するものである。次に、工具着脱治具1を用いたスペーサ42のスピンドル31への着脱方法について、図面に基づいて説明する。図7は、実施形態に係る工具着脱治具のガイドロッドが凹みに係合し工具把持部がスペーサを把持した状態を示す断面図である。なお、図7において、図1〜図5と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
まず、切削ブレード30a及びスペーサ42を取り付ける前に、スピンドル31の先端部31aにマウント工具32を取り付けておく。そして、二つの切削ブレード30aのうち一つの切削ブレード30aの内側に取付部34を通して、該一つの切削ブレード30aをマウント工具32の支持部35に重ねる。そして、治具本体2の工具把持部4の爪8にスペーサ42の係合凹部40を係合して、工具把持部4の爪8にスペーサ42を把持させる。さらに、ガイドロッド3を貫通孔6内に挿入する。そして、図7に示すように、ガイドロッド3の先端に設けられた凹み用係合部10を凹み37に挿入して、係合させる。
そして、治具本体2即ち工具把持部4に把持されたスペーサ42がマウント工具32に近付くように、ガイドロッド3に対して治具本体2を摺動させる。工具把持部4に把持されたスペーサ42をマウント工具32の取付部34に挿入して、工具把持部4に把持されたスペーサ42をマウント工具32に取り付けられた一つの切削ブレード30aに重ねる。そして、握り部7同士を近づけて、爪8を開状態に位置付けて工具把持部4の係合凹部40の係合を解除して、ガイドロッド3の先端部31aを凹み37から離脱させる。そして、他の一つの切削ブレード30aの内側に取付部34を通して、該他の一つの切削ブレード30aをスペーサ42に重ねてから、固定ナット41を取付部34の外周に螺合させて、固定ナット41とマウント工具32との間に二つの切削ブレード30a及びスペーサ42を挟持する。こうして、二つの切削ブレード30a及びスペーサ42をスピンドル31の先端部31aに取り付ける。
また、スペーサ42を取り外す際には、固定ナット41を取り外し、スピンドル31の先端側の切削ブレード30aを取り外す。そして、ガイドロッド3を貫通孔6内に挿入して、ガイドロッド3の先端の凹み用係合部10を凹み37に係合させる。そして、治具本体2即ち工具把持部4がスペーサ42に近付くように、ガイドロッド3に対して治具本体2を摺動させる。そして、工具把持部4の爪8にスペーサ42の係合凹部40を係合させて、工具把持部4にスペーサ42を把持させる。そして、治具本体2即ち工具把持部4がマウント工具32から離れるように、ガイドロッド3に対して治具本体2を摺動させる。そして、工具把持部4に把持されたスペーサ42をマウント工具32の取付部34から離脱させる。また、残りの切削ブレード30aをマウント工具32から取り外す。こうして、二つの切削ブレード30a及びスペーサ42をスピンドル31の先端部31aから取り外す。
以上のように、実施形態に係る工具着脱治具1によれば、貫通孔6とガイドロッド3とが同径で、かつ凹み37の対角線の長さと貫通孔6とが同径に形成されている。このために、ガイドロッド3をスピンドル31の凹み37に係合させると、ガイドロッド3とスピンドル31の軸心とが一致する。したがって、ガイドロッド3をスピンドル31の凹み37に係合させた状態で、工具把持部4に切削ブレード30又はスペーサ42を把持した治具本体2をガイドロッド3に対し摺動させることで、切削ブレード30又はスペーサ42をスピンドル31と同軸な状態に保ったまま摺動させることができる。よって、工具着脱治具1は、切削ブレード30又はスペーサ42をマウント工具32の取付部34に引っ掛けることなく、スピンドル31に挿入または離脱させることができる。したがって、工具着脱治具1は、切削ブレード30又はスペーサ42をスピンドル31に対して斜めに挿入してしまう事を抑制でき、切削ブレード30又はスペーサ42を容易に正しい方向で着脱することができる。
前述した実施形態では、工具着脱治具1が工具把持部4を3個備えているが、本発明では、工具着脱治具1が工具把持部4を4個以上備えても良い。また、前述した実施形態では、凹み37及び凹み用係合部10の平面形状が多角形(実施形態では、正六角形)であるが、本発明では、凹み37及び凹み用係合部10の平面形状は、円形、種々の多角形(正多角形に限定されない)などの種々の形状であっても良い。要するに、本発明では、凹み37及び凹み用係合部10の平面形状は、凹み37に凹み用係合部10を係合させると、治具本体2の工具把持部4に把持した切削ブレード30やスペーサ42をスピンドル31と同軸な状態に保つことができれば、種々の形状にしても良い。
図6及び図7に示された例では、切削ブレード30aが、ブレード39のみで構成されて、基台38を備えていない。しかしながら、本発明では、切削ブレード30aは、基台38を備えても良い。この場合、工具着脱治具1を用いて、複数の切削ブレード30a及びスペーサ42を着脱するのが望ましい。要するに、本発明の工具着脱治具1は、基台38付きの切削ブレード30a及びスペーサ42を着脱する際に用いられるのが望ましい。また、本発明では、切削ブレード30aを三つ以上備え、かつスペーサ42を複数備えた切削手段33aのスピンドル31に切削ブレード30aやスペーサ42を着脱しても良い。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
1 工具着脱治具
2 治具本体
3 ガイドロッド
4 工具把持部
5 円板状基台
6 貫通孔
7 握り部
8 爪
30 切削ブレード(工具)
31 スピンドル
34 取付部(ボス部)
37 凹み
42 スペーサ(工具)
2 治具本体
3 ガイドロッド
4 工具把持部
5 円板状基台
6 貫通孔
7 握り部
8 爪
30 切削ブレード(工具)
31 スピンドル
34 取付部(ボス部)
37 凹み
42 スペーサ(工具)
Claims (1)
- 中央に開口を有した環状の工具をスピンドルの先端に突出して形成され中央に凹みを備えたボス部に挿入する工具着脱治具であって、
工具を把持する爪を備えた工具把持部と、少なくとも3個の該工具把持部を環状に支持する円板状基台と、該円板状基台の中央に形成され該工具把持部から等距離の位置に該スピンドルの先端に形成された凹みと同径の貫通孔と、該工具把持部に連結し該円板状基台を支点として該爪を開状態と閉状態とに位置付ける握り部と、から構成された治具本体と、
該円板状基台の中央に形成された貫通孔と同径の外径を有するガイドロッドとを備え、
該円板状基台の中央に形成された貫通孔に挿入された該ガイドロッドを該スピンドルの先端に形成された該凹みに挿入して該工具把持部に把持された環状の工具を該ボス部に挿入、又は該ボス部から離脱させる工具着脱治具。
Priority Applications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2012-11-06 JP JP2012244903A patent/JP2014091208A/ja active Pending
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